TWI565978B - 偏振光照射裝置 - Google Patents

Description

偏振光照射裝置

本發明的實施方式涉及一種偏振光照射裝置。

先前，在液晶面板的配向膜或視角補償薄膜的配向膜等的配向處理中，是使用偏振光照射裝置，所述偏振光照射裝置包括線狀的燈及線柵(wire grid)的偏振元件。這種偏振光照射裝置將燈與工件(work)的寬度方向平行地配置，並將偏振元件配置於燈與工件之間。而且，偏振光照射裝置僅使燈所照射的紫外線中偏振元件為規定方向的振動方向的紫外線通過，將所通過的紫外線照射至工件等，借此進行配向膜的配向處理。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利第4506412號公報

然而，在現有技術中，伴隨著液晶面板的大型化即工件的大型化，將多個所述偏振元件配置於沿燈的長邊方向的不同位 置。這時，偏振光照射裝置優選更迅速地對偏振元件的安裝角度進行調整，以使多個偏振元件彼此的所通過的紫外線的振動方向與基準方向相一致。

因此，本發明所要解決的問題在於提供一種偏振光照射裝置，所述偏振光照射裝置例如可以迅速地調整偏振元件的安裝角度，以使多個偏振元件彼此的所通過的紫外線的振動方向相對於基準方向為±0.1°以內。

實施方式的偏振光照射裝置包括線狀光源、多個第1偏振元件、可動部、第2偏振元件、受光單元及控制裝置。光源照射紫外線。第1偏振元件配置于沿光源的長邊方向的不同位置。可動部變更多個第1偏振元件的安裝角度。第2偏振元件被通過第1偏振元件的紫外線照射。受光單元接收通過第1偏振元件及第2偏振元件的紫外線。控制裝置根據所接收的紫外線的強度，控制可動部，以使通過第1偏振元件的紫外線的振動方向相對於基準方向為±0.1°以內，所述基準方向成為振動方向的基準。

偏振光照射裝置能夠迅速地調整偏振元件的安裝角度，以使多個偏振元件彼此的所通過的紫外線的振動方向相對於基準方向為±0.1°以內。

1‧‧‧偏振光照射裝置

11‧‧‧光源

12‧‧‧第1偏振部

13‧‧‧可動部

14‧‧‧第2偏振元件

15‧‧‧受光單元

16‧‧‧移動單元

17‧‧‧筒槽狀聚光鏡

18‧‧‧保持構件

19‧‧‧第1偏振元件

19a‧‧‧框構件

19b‧‧‧線柵偏振元件

20‧‧‧控制裝置

21‧‧‧構件用可動馬達(構件用可動部)

22‧‧‧元件用可動馬達(元件用可動部)

22a‧‧‧輸出軸

23‧‧‧法線方向可動馬達

24‧‧‧受光側可動部

25‧‧‧照度計

61‧‧‧齒輪

62‧‧‧小齒輪

71‧‧‧測微計

81‧‧‧齒條

M、N、L‧‧‧方向

P‧‧‧軸心

Q‧‧‧水平軸

RD‧‧‧基準方向

ST31~ST33、ST41、ST91~ST93‧‧‧步驟

UA、UB‧‧‧紫外線

W‧‧‧工件

X、Y、Z‧‧‧軸

圖1是表示實施方式的偏振光照射裝置的整體構成的圖。

圖2是表示實施方式的偏振光照射裝置的整體構成的框圖。

圖3是表示實施方式的偏振光照射裝置的控制裝置的處理的一例的流程圖。

圖4是表示實施方式的偏振光照射裝置的控制裝置的處理的另一例的流程圖。

圖5是示意性地表示實施方式的偏振光照射裝置的可動部的構成的平面圖。

圖6是示意性地表示實施方式的變形例1的偏振光照射裝置的可動部的構成的平面圖。

圖7是示意性地表示實施方式的變形例2的偏振光照射裝置的可動部的構成的平面圖。

圖8(a)及圖8(b)是示意性地表示實施方式的變形例3的偏振光照射裝置的可動部的構成的平面圖。

圖9是表示實施方式的變形例4的偏振光照射裝置的控制裝置的處理的一例的流程圖。

實施方式的偏振光照射裝置1包括：線狀光源11，照射紫外線UA；多個第1偏振元件19，配置於沿所述光源11的長邊方向的不同位置，並且被所述光源11照射所述紫外線UA；可動部13，能夠變更所述多個第1偏振元件19的安裝角度；第2偏振 元件14，配置於與所述第1偏振元件19相對向的位置，被通過所述第1偏振元件19的所述紫外線UB照射；受光單元15接收通過所述第1偏振元件19及所述第2偏振元件14的所述紫外線；以及控制裝置20，根據所述受光單元15所接收的所述紫外線的強度，控制所述可動部13，以使通過所述多個第1偏振元件19的所述紫外線UB的振動方向相對於基準方向為±0.1°以內，所述基準方向成為振動方向的基準。

而且，所述可動部13包括元件用可動部22，所述元件用可動部22能夠變更圍繞著軸心P的安裝角度，所述軸心P是自所述光源11向所述第1偏振元件19的軸心。

而且，所述控制裝置20根據所述受光單元15所接收的所述紫外線的強度，算出所述紫外線UB的所述基準方向RD與通過所述第1偏振元件19的所述紫外線UB的振動方向所成的角度，並對所述可動部13進行控制，以使所述角度為±0.1°以內。

而且，更包括受光側可動部24，所述受光側可動部24使所述第2偏振元件14圍繞著所述軸心P旋轉，所述控制裝置20一面使所述第2偏振元件14圍繞著所述軸心P旋轉，一面算出所述受光單元15所接收的所述紫外線的強度最強的所述第2偏振元件14的方向與所述基準方向RD之間的角度，作為所述基準方向RD與通過所述第1偏振元件19的所述紫外線UB的振動方向所成的角度。

而且，更包括移動單元16，所述移動單元16使所述第2 偏振元件14及所述受光單元15沿所述光源11的長邊方向移動。

[實施方式]

其次，根據附圖，說明本發明的實施方式的偏振光照射裝置1。圖1是表示實施方式的偏振光照射裝置的整體構成的圖，圖2是表示實施方式的偏振光照射裝置的整體構成的框圖，圖3是表示實施方式的偏振光照射裝置的控制裝置的處理的一例的流程圖，圖4是表示實施方式的偏振光照射裝置的控制裝置的處理的另一例的流程圖，圖5是示意性地表示實施方式的偏振光照射裝置的可動部的構成的平面圖。

圖1所示的實施方式的偏振光照射裝置1是對工件W(圖1中以兩點劃線表示)的表面照射預先設定的振動方向的紫外線UB的裝置，例如，用於液晶面板的配向膜或視角補償薄膜的配向膜等的製造。照射至工件W的表面的紫外線UB的振動方向根據工件W的構造、用途或所要求的規格而預先設定。例如，在所述液晶面板的配向膜用的製造裝置中，優選的是將紫外線UB的振動方向相對於基準方向RD設定在±0.1°以內。而且，偏振光照射裝置1在對工件W照射紫外線UB之前，調整第1偏振元件19的安裝角度，從而調整照射至工件W的紫外線UB的振動方向。再者，將工件W的寬度方向稱為X軸方向，將與X軸方向正交且為工件W的長邊方向稱為Y軸方向，將與Y軸方向及X軸方向正交的方向稱為Z軸方向。在本實施方式中，偏振光照射裝置1以X軸方向為基準方向RD，僅將相對於基準方向RD為±0.1°以內的紫外線 UB照射至工件W。

在這裏，所謂第1偏振元件19及第2偏振元件14，是指自紫外線UA取出僅在特定方向上振動的偏振成分的紫外線UB的元件，所述紫外線UA是光源11所照射，且一樣地在所有方向上振動。所謂紫外線UA、紫外線UB的振動方向，是指所述紫外線UA、紫外線UB的電場及磁場的振動方向。而且，所謂第1偏振元件19的安裝角度，是指圍繞著軸心P的N方向(圖1中以箭頭表示)的角度、以及圍繞著水平軸Q的L方向(圖1中以箭頭表示)的角度，所述軸心P是自光源11向第1偏振元件19的軸心，所述水平軸Q與光源11的長邊方向平行並且與自光源11向第1偏振元件19的軸心P正交。再者，在本實施方式中，軸心P與Z軸平行，水平軸Q與X軸平行。

偏振光照射裝置1如圖1及圖2所示，包括線狀光源11；第1偏振部12，包括多塊第1偏振元件19(僅圖1所示)；可動部13；第2偏振元件14(僅圖1所示)；受光單元15；移動單元16；以及控制裝置20。光源11是例如，高壓汞燈或金屬鹵化物燈(metal halide lamp)等管型燈，至少包括線狀的發光部。光源11將發光部的長邊方向配置成與圖1中的X軸方向成平行。光源11自線狀的發光部，例如照射波長為200nm至400nm的紫外線UA。光源11所照射的紫外線UA是具有各種振動方向成分的紫外線，即所謂非偏振的紫外線。光源11也可以設為如下構成：使例如能夠照射波長為200nm至400nm的紫外線UA的發光二極體 (light-emitting diode，LED)晶片、鐳射二極體(laser diode)、有機電致發光(electroluminescence，EL)等的小型燈相間隔而配置成直線狀。

而且，在本實施方式中，光源11配置於工件W的上方。此外，在光源11的上方，設置有截面為橢圓形的筒槽狀聚光鏡17。自光源11照射至筒槽狀聚光鏡17的紫外線UA借由筒槽狀聚光鏡17反射而形成為平行光，向工件W照射。

第1偏振部12是與光源11相對向而配置，被紫外線UA照射，所述紫外線UA是自光源11照射且借由筒槽狀聚光鏡17而反射。第1偏振部12包括保持構件18及多個第1偏振元件19。保持構件18用於保持多個第1偏振元件19，形成為與光源11大致相等的長度的框狀。保持構件18在內側收納有多個第1偏振元件19。而且，保持構件18在其長邊方向與X軸方向平行的狀態下，借由未圖示的定位機構而定位並固定於工件W與光源11之間。

多個第1偏振元件19並排地配置于沿光源11的長邊方向即沿X軸方向的不同位置。多個第1偏振元件19收納於保持構件18內，被光源11照射紫外線UA。第1偏振元件19如圖5所示，包括框構件19a及線柵偏振元件19b，所述線柵偏振元件19b收納於框構件19a內。框構件19a收納於保持構件18內。線柵偏振元件19b是在石英玻璃等的基板上等間隔地平行配置有多個直線狀的電導體(例如鉻或鋁合金等的金屬線)的元件。電導體的 間距優選的是自光源11照射的紫外線UA的波長的1/3以下。線柵偏振元件19b使自光源11照射的紫外線UA中與電導體的長邊方向平行的偏振成分的大部分反射，並且使與電導體的長邊方向正交的偏振成分通過。再者，在本實施方式中，第1偏振元件19需要將電導體的長邊方向與Y軸平行而配置，從而僅使振動方向為X軸方向的紫外線UB通過。

可動部13能夠變更第1偏振元件19的安裝角度。可動部13如圖1所示，包括構件用可動馬達21(相當於構件用可動部)、多個元件用可動馬達22(相當於元件用可動部)及多個法線方向可動馬達23(相當於法線方向可動部)。

構件用可動馬達21能夠變更保持構件18的圍繞著軸心P的N方向的安裝角度，所述軸心P是與Z軸平行的軸心(相當於自光源向第1偏振元件的軸心)。在保持構件18上安裝有一個構件用可動馬達21。

多個元件用可動馬達22與第1偏振元件19一一對應，且能夠變更所對應的第1偏振元件19的圍繞著軸心P的N方向的安裝角度。在本實施方式中，如圖5所示，將元件用可動馬達22的輸出軸22a直接安裝於框構件19a上，從而元件用可動馬達22對框構件19a與線柵偏振元件19b一體地變更圍繞著軸心P的N方向的安裝角度。而且，在本實施方式中，第1偏振元件19是線柵偏振元件19b能夠自平行于光源11的位置向圍繞著軸心P的N方向例如在約±1度以下的範圍旋轉。

多個法線方向可動馬達23與第1偏振元件19一一對應，且能夠變更所對應的第1偏振元件19的圍繞著水平軸Q的L方向的安裝角度，所述水平軸Q與X軸平行。在本實施方式中，法線方向可動馬達23變更線柵偏振元件19b的圍繞著水平軸Q的L方向的安裝角度。

第2偏振元件14配設於與第1偏振元件19相對向的位置，被通過第1偏振元件19的紫外線UB照射。第2偏振元件14配置於第1偏振部12的下方，且配置于與光源11之間夾著第1偏振部12的位置。而且，第2偏振元件14借由受光側可動部24(圖1所示)而沿圍繞著所述軸心P的N方向旋轉。在本實施方式中，第2偏振元件14形成為被照射如下紫外線UB的大小，所述紫外線UB通過多個第1偏振元件19中的一個第1偏振元件19。第2偏振元件14在石英玻璃等的基板上等間隔地平行配置有多個直線狀的電導體(例如鉻或鋁合金等的金屬線)。電導體的間距優選的是自光源11照射的紫外線UA的波長的1/3以下。第2偏振元件14使通過第1偏振元件19的紫外線UB中與電導體的長邊方向平行的偏振成分的大部分反射，且使與電導體的長邊方向正交的偏振成分通過。

受光單元15接收通過第1偏振元件19及第2偏振元件14的紫外線。受光單元15配置於第2偏振元件14的下方。受光單元15向照度計(illuminance meter)25輸出表示所接收的紫外線的資訊，照度計25算出所接收的紫外線的強度，並向控制裝置 20輸出所算出的所接收的紫外線的強度。

移動單元16使第2偏振元件14及受光單元15一體地沿光源11的長邊方向移動。移動單元16包含眾所周知的馬達、球頭螺釘(ball screw)及直線導軌(linear guide)等而構成。

控制裝置20對構成偏振光照射裝置1的上述構成要素分別進行控制，使偏振光照射裝置1對工件W進行紫外線UB的照射。而且，控制裝置20在對工件W照射紫外線UB之前，使偏振光照射裝置1進行第1偏振元件19的安裝角度的調整。再者，控制裝置20以未圖示的微處理器(microprocessor)為主體而構成，並與顯示單元、未圖示的操作單元相連接，所述微處理器包括例如由中央處理器(central processing unit，CPU)等所構成的運算處理裝置，唯讀記憶體(read only memory，ROM)、隨機存取記憶體(random accessmemory，RAM)等，所述顯示單元顯示加工動作的狀態，所述操作單元用於操作員(operator)登記加工內容資訊等時。

其次，參照圖3及圖4，說明實施方式的偏振光照射裝置1的控制裝置20的第1偏振元件19的安裝角度調整的處理的一例。再者，安裝角度調整是在如下時候進行：連同保持構件18一起更換了第1偏振部12整體時、或者更換了第1偏振部12的多個第1偏振元件19中的至少一個第1偏振元件19時等。

在本實施方式中，安裝角度調整將第1偏振元件19的安裝角度設為僅使如下紫外線UB通過的安裝角度，所述紫外線UB 是以X軸方向為基準方向RD，振動方向相對於基準方向RD為±0.1°以內的紫外線UB。即，在本實施方式中，基準方向RD(圖1中以一點劃線表示)與X軸平行，所述基準方向RD成為通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向的基準。再者，所謂基準方向RD，是指將第1偏振元件19定位於理想的安裝角度時通過第1偏振元件19的紫外線UB的直線偏振成分(也稱為振動方向)。

首先，當自操作員發出調整動作的指令時，偏振光照射裝置1的控制裝置20開始安裝角度調整的處理。在安裝角度調整的處理中，控制裝置20在圖3所示的步驟ST31中，設為N=1，進入至步驟T32。

在步驟ST32中，控制裝置20在移動單元16上將第2偏振元件14及受光單元15定位於多個第1偏振元件19中位於一端的一個第1偏振元件19的下方。並且，控制裝置20對光源11進行點燈，向第1偏振元件19照射一樣地在所有方向上振動的紫外線UA，並且借由受光側可動部24而使第2偏振元件14旋轉。於是，僅使如下紫外線UB向第2偏振元件14通過，所述紫外線UB是紫外線UA中與第1偏振元件19的線柵偏振元件19b的電導體正交的偏振成分的紫外線UB，即振動方向與第1偏振元件19的線柵偏振元件19b的電導體正交的紫外線UB。而且，第2偏振元件14也僅使如下紫外線通過，所述紫外線是與第1偏振元件19同樣地與電導體正交的偏振成分的紫外線，即振動方向與第2偏振元件14的電導體正交的紫外線。於是，受光單元15僅接收如 下紫外線，所述紫外線是光源11所照射的一樣地在所有方向上振動的紫外線UA中通過第1偏振元件19及第2偏振元件14的紫外線。

這時，由於第1偏振元件19僅使紫外線UB通過並且第2偏振元件14在旋轉，因此受光單元15所接收的紫外線的強度與第2偏振元件14的旋轉進行聯動而發生變化，所述紫外線是照度計25向控制裝置20輸出的紫外線。接著，控制裝置20算出受光單元15所接收的紫外線的強度最強的圍繞著軸心P的N方向的第2偏振元件14的位置。接著，控制裝置20一面使第2偏振元件14圍繞著軸心P旋轉，一面算出受光單元15所接收的紫外線的強度最強的第2偏振元件14的位置的自基準方向RD算起的圍繞著軸心P的N方向的旋轉角度。接著，控制裝置20算出受光單元15所接收的紫外線的強度最強的第2偏振元件14的位置的自基準方向RD算起的旋轉角度(即，受光單元15所接收的紫外線的強度最強的第2偏振元件14的方向與基準方向RD之間的角度)，作為基準方向RD與通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度。

並且，控制裝置20按照所述角度的情況，對元件用可動馬達22進行驅動(控制)，以使基準方向RD與通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度為±0.1°以內。這樣一來，控制裝置20根據受光單元15所接收的紫外線的強度，算出基準方向RD與通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的 角度，對可動部13的元件用可動馬達22進行控制，以使所述角度為±0.1°以內。然後，當基準方向RD與通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度達到預先設定的例如0.1°等容許角度以下時，控制裝置20結束所述一個第1偏振元件19的安裝角度調整，進入至步驟ST33。

在步驟ST33中，控制裝置20判定是否結束了所有的第1偏振元件19的安裝角度調整，如果尚未結束，則在步驟ST34中設為N=N+1，返回至步驟ST32。接著，控制裝置20對移動單元16進行驅動，將第2偏振元件14及受光單元15定位於另一個第1偏振元件19的下方，與剛才同樣地進行安裝角度調整。這樣一來，控制裝置20重複進行步驟ST32至步驟ST34，直至結束所有的第1偏振元件19的安裝角度調整為止，逐個依次進行多個第1偏振元件19的安裝角度調整。當結束所有的第1偏振元件19的安裝角度調整時，控制裝置20結束安裝角度調整的處理。

當結束所有的第1偏振元件19的安裝角度調整時，通過所有的第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向與基準方向RD平行，或者所述紫外線UB的振動方向與基準方向RD所成的角度為容許角度以下即±0.1°以下。這樣，控制裝置20根據受光單元15所接收的紫外線的強度，對可動部13的元件用可動馬達22進行控制，以使通過多個第1偏振元件19的來自光源11的紫外線UB的振動方向相對於基準方向RD為±0.1°以內。

而且，在更換了第1偏振部12整體等情況下，當多個第 1偏振元件19的所通過的紫外線UB的振動方向為相互平行時，本實施方式的偏振光照射裝置1對構件用可動馬達21進行控制而進行安裝角度調整，所述多個第1偏振元件19預先收納於保持構件18中。這時，在圖4中的步驟ST41中，控制裝置20在移動單元16上將第2偏振元件14及受光單元15定位於多個第1偏振元件19中任意的第1偏振元件19的下方。並且，控制裝置20對光源11進行點燈，並且使受光側可動部24讓第2偏振元件14旋轉。

接著，控制裝置20算出受光單元15所接收的紫外線的強度最強的圍繞著軸心P的N方向的第2偏振元件14的位置。控制裝置20算出受光單元15所接收的紫外線的強度最強的第2偏振元件14的位置的自基準方向RD算起的圍繞著軸心P的N方向的旋轉角度。控制裝置20將紫外線的強度最強的第2偏振元件14的位置的自基準方向RD算起的旋轉角度，作為基準方向RD與通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度。控制裝置20按照所述角度的情況，對構件用可動馬達21進行驅動(控制)，以使基準方向RD與通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度為±0.1°以內。並且，當基準方向RD與通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度為容許角度以下時，控制裝置20結束安裝角度調整。

所述構成的偏振光照射裝置1是在第1偏振元件19與受光單元15之間設置第2偏振元件14，並且根據受光單元15所接收的紫外線的強度，控制裝置20對可動部13進行控制。因此， 偏振光照射裝置1借由預先掌握通過第2偏振元件14的紫外線的振動方向等，能夠推測通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向。因此，偏振光照射裝置1能夠推測通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向，因此借由對可動部13進行控制，可以使通過多個第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向相對於基準方向RD為±0.1°以內。因此，偏振光照射裝置1可以對第1偏振元件19的安裝角度進行調整，以使多個第1偏振元件19的所通過的紫外線UB的振動方向相對於基準方向RD為±0.1°以內。

而且，偏振光照射裝置1中，可動部13的元件用可動馬達22能夠變更作為安裝角度的N方向的安裝角度，所述N方向圍繞著自光源11向第1偏振元件19的軸心P。因此，偏振光照射裝置1借由控制裝置20對元件用可動馬達22進行控制，可以使通過多個第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向相對於基準方向RD為±0.1°以內。

而且，偏振光照射裝置1借由預先規定通過第2偏振元件的紫外線的振動方向等，可以根據受光單元15所接收的紫外線的強度，容易地算出基準方向RD與通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度。因此，偏振光照射裝置1借由對元件用可動馬達22進行控制，可以使通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向相對於基準方向RD為±0.1°以內。

偏振光照射裝置1將受光單元15所接收的紫外線最強的第2偏振元件14的自基準方向RD算起的旋轉角度，作為通過第 1偏振元件19的紫外線UB的振動方向。因此，偏振光照射裝置1可以容易且準確地推測通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向。因此，可期待能夠對第1偏振元件19的安裝角度進行調整，以使多個第1偏振元件19的所通過的紫外線UB的振動方向相對於基準方向RD為±0.1°以內。

偏振光照射裝置1包括移動單元16，所述移動單元16使第2偏振元件14及受光單元15沿光源11的長邊方向移動，因此無須對應於各第1偏振元件19的各個而設置第2偏振元件14及受光單元15。因此，偏振光照射裝置1可以使第2偏振元件14及受光單元15的數量少於多個第1偏振元件19，可以針對多個第1偏振元件19，利用一組第2偏振元件14及受光單元15對第1偏振元件19的安裝角度進行調整。因此，偏振光照射裝置1可以抑制零件個數的增加或大型化。

[變形例1~變形例3]

其次，根據附圖，說明本發明的實施方式的變形例1~變形例3的偏振光照射裝置1。圖6是示意性地表示實施方式的變形例1的偏振光照射裝置的可動部的構成的平面圖，圖7是示意性地表示實施方式的變形例2的偏振光照射裝置的可動部的構成的平面圖，圖8(a)及圖8(b)是示意性地表示實施方式的變形例3的偏振光照射裝置的可動部的構成的平面圖。再者，在圖6至圖8(b)中，對與所述實施方式相同的部分標注相同符號，並省略說明。

在變形例1中，如圖6所示，在元件用可動馬達22與第 1偏振元件19的框構件19a之間設置有至少1個以上的齒輪61。在變形例1中，借由小齒輪(pinion)62與齒輪61相咬合，而利用元件用可動馬達22對第1偏振元件19的安裝角度進行調整，所述小齒輪62安裝於元件用可動馬達22的輸出軸22a上。

在變形例2中，如圖7所示，在第1偏振元件19的框構件19a上設置有測微計(micrometer)71等的推入螺釘。在變形例2中，借由元件用可動馬達22，對測微計71進行推或拉，而對第1偏振元件19的安裝角度進行調整。

在變形例3中，如圖8(a)及圖8(b)所示，在第1偏振元件19的框構件19a的外緣設置有齒條(rack)81。在變形例3中，在齒條81上咬合著小齒輪62，所述小齒輪62安裝於元件用可動馬達22的輸出軸22a上。在變形例3中，借由元件用可動馬達22，借由元件用可動馬達22使小齒輪62旋轉，借此對第1偏振元件19的安裝角度進行調整。而且，線柵偏振元件19b的方向也可以設為相對於圖1的實施方式，旋轉90度的方向，可以根據偏振光照射裝置1的用途而適時設定。

[變形例4]

其次，根據附圖，說明本發明的實施方式的變形例4的偏振光照射裝置1。圖9是表示實施方式的變形例4的偏振光照射裝置的控制裝置的處理的一例的流程圖。

在變形例4中，在安裝角度調整的處理中，控制裝置20在圖9所示的步驟ST91中，一面對光源11進行點燈，借由受光 側可動部24使第2偏振元件14旋轉，一面使第2偏振元件14及受光單元15自第1偏振部12的一端的下方向另一端的下方移動。並且，控制裝置20與第2偏振元件14及受光單元15的移動進行聯動，而被輸入資訊，所述資訊表示通過多個第1偏振元件19中的每一個且通過第2偏振元件14的紫外線的強度。並且，控制裝置20算出所述基準方向RD與通過第1偏振元件19各個的紫外線UB的振動方向所成的角度。控制裝置20算出基準方向RD與通過所有的第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度時，進入至步驟ST92。

在步驟ST92中，控制裝置20按照所述角度的情況，對各元件用可動馬達22進行驅動(控制)，以使基準方向RD與通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度為±0.1°以內。接著，進入至步驟ST93。

在步驟ST93中，控制裝置20一面借由受光側可動部24使第2偏振元件14旋轉，一面使第2偏振元件14及受光單元15自第1偏振部12的一端的下方向另一端的下方移動。接著，控制裝置20判定基準方向RD與通過各第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向所成的角度是否為預先設定的例如0.1度等容許角度以下，如果存在超過容許角度的第1偏振元件19，則將第2偏振元件14及受光單元15定位於超過容許角度的第1偏振元件19的下方，根據受光單元15所接收的紫外線的強度，對元件用可動馬達22進行控制，以使所述角度為容許角度以下。這樣一來，控制 裝置20進行所有的第1偏振元件19的安裝角度調整。變形例1~變形例4的偏振光照射裝置1可獲得與所述實施方式相同的效果。

在所述實施方式中，揭示了進行第1偏振元件19的圍繞著軸心P的N方向的安裝角度的調整的示例，但是在本發明中，也可以對法線方向可動馬達23進行控制而對第1偏振元件19的L方向的安裝角度進行調整，所述L方向圍繞著與光源11的長邊方向平行的水平軸Q。作為對第1發光元件的19的圍繞著水平軸Q的L方向的安裝角度進行調整的方法，例如有如下方法，即，在第1偏振元件19的圖中的長邊部的中央部，以使第1偏振元件能夠沿方向L旋轉的方式而設置旋轉軸(無圖示)等，利用法線方向可動馬達23使第1偏振元件19的短邊部沿Z軸方向移動。或者，沿第1偏振元件19的至少一個短邊部，以使第1偏振元件能夠沿方向L旋轉的方式而設置旋轉軸(無圖示)，利用法線方向可動馬達23使第1偏振元件19的另一個短邊部沿Z軸方向移動，借此也可以調整L方向的安裝角度。例如，當多個第1偏振元件19的面方向能夠分別相對於工件W的面方向而確保平行度時，也可以自可動部13中省略法線方向可動馬達23(法線方向可動部)。而且，此外還可以省略構件用可動馬達21(構件用可動部)，而將可動部13設為只有多個元件用可動馬達22(元件用可動部)的構成。這時，可以簡化偏振光照射裝置1的構成。

而且，在所述實施方式中，一面使第2偏振元件14旋轉， 一面利用受光單元15接收紫外線。然而，在本發明中，還可以不使第2偏振元件14旋轉，而利用受光單元15接收紫外線。這時，控制裝置20只要借由預先掌握通過第2偏振元件14的紫外線的振動方向或強度等，而根據受光單元15所接收的紫外線的強度，推測通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向即可。

此外，在所述實施方式中，第1偏振元件19是使如下紫外線UB通過，所述紫外線UB的振動方向相對於X軸方向(基準方向RD)為±0.1°以內。但是，在本發明中，通過第1偏振元件19的紫外線UB的振動方向並沒有特別限定，也可以根據工件W的商品編號或種類進行適當變更。

以上已說明本發明的若干實施方式及變形例，但是所述實施方式及變形例是作為示例起提示作用，並不打算限定發明的範圍。所述實施方式及變形例可以通過其他各種方式來實施，在沒有脫離發明主旨的範圍內，可以進行各種省略、置換、變更。所述實施方式及變形例包含于發明的範圍或主旨內，與此同樣地，包含於權利要求書中所記載的發明及其同等的範圍內。

1‧‧‧偏振光照射裝置

11‧‧‧光源

12‧‧‧第1偏振部

13‧‧‧可動部

14‧‧‧第2偏振元件

15‧‧‧受光單元

16‧‧‧移動單元

17‧‧‧筒槽狀聚光鏡

18‧‧‧保持構件

19‧‧‧第1偏振元件

19a‧‧‧框構件

19b‧‧‧線柵偏振元件

20‧‧‧控制裝置

21‧‧‧構件用可動馬達(構件用可動部)

22‧‧‧元件用可動馬達(元件用可動部)

23‧‧‧法線方向可動馬達

24‧‧‧受光側可動部

25‧‧‧照度計

M、N、L‧‧‧方向

P‧‧‧軸心

Q‧‧‧水平軸

RD‧‧‧基準方向

UA、UB‧‧‧紫外線

W‧‧‧工件

X、Y、Z‧‧‧軸

Claims (4)

1. 一種偏振光照射裝置，其特徵在於包括：線狀光源，照射紫外線；多個第1偏振元件，配置於沿所述光源的長邊方向的不同位置，並且被所述光源照射所述紫外線；可動部，能夠變更所述多個第1偏振元件的安裝角度；第2偏振元件，配置於與所述第1偏振元件相對向的位置，被通過所述第1偏振元件的所述紫外線照射；受光單元，接收通過所述第1偏振元件及所述第2偏振元件的所述紫外線；移動單元，使所述第2偏振元件及所述受光單元沿所述光源的長邊方向移動；以及控制裝置，根據所述受光單元所接收的所述紫外線的強度，控制所述可動部，以使通過所述多個第1偏振元件的所述紫外線的振動方向相對於基準方向為±0.1°以內，所述基準方向成為振動方向的基準，所述受光單元由所述移動單元移動，且檢測通過各個所述多個第1偏振元件的所述紫外線的強度。
2. 根據權利要求1所述的偏振光照射裝置，其特徵在於，所述可動部包括元件用可動部，所述元件用可動部能夠變更圍繞著軸心的安裝角度，所述軸心是自所述光源向所述第1偏振元件的軸心。
3. 根據權利要求2所述的偏振光照射裝置，其特徵在於，所述控制裝置根據所述受光單元所接收的所述紫外線的強度，算出所述紫外線的所述基準方向與通過所述第1偏振元件的所述紫外線的振動方向所成的角度，並對所述可動部進行控制，以使所述角度為±0.1°以內。
4. 根據權利要求3所述的偏振光照射裝置，其特徵在於更包括：受光側可動部，使所述第2偏振元件圍繞著所述軸心旋轉，所述控制裝置一面使所述第2偏振元件圍繞著所述軸心旋轉，一面算出所述受光單元所接收的所述紫外線的強度最強的所述第2偏振元件的方向與所述基準方向之間的角度，作為所述基準方向與通過所述第1偏振元件的所述紫外線的振動方向所成的角度。