TWI581018B - 光照射裝置 - Google Patents

Description

光照射裝置

本發明係關於一種具備偏光元件之光照射裝置。

習知，有一種被稱為光配向之技術，該技術係藉由將偏光光線照射於配向膜或配向層(以下，稱此等為「光配向膜」)而進行配向，此光配向已廣泛地應用於液晶顯示面板之液晶顯示元件所具備之液晶配向膜的配向等。

用於光配向之光照射裝置，一般具備光源及偏光器，特別是近年來，為了能進行帶狀之較長之光配向膜之光配向，亦提出有一種將光源作成桿狀燈並於此桿狀燈之長軸方向配置複數個線柵偏光器(WGP)之光照射裝置。

光配向膜之配向方向係取決於線柵偏光器之金屬線方向(或偏向軸之方向)。另一方面，使光配向膜產生之配向方向，根據光配向膜之用途及種類等而有各種變化。

因此，提出有一種方案，其於將線柵偏光器安裝及排列配置於框架上之構成中，藉由可繞光軸(光之透射軸方向)旋轉地安裝線柵偏光器，而可手動對線柵偏光器之各個的金屬線方向進行調整(例如，參照專利文獻1)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開2006-126464號公報

然而，以手動對線柵偏光器之金屬線方向進行調整之習知構成中，於將紫外線燈使用於光源之情況下，為了避開紫外線或熱，每次調整時皆需要連同整個框架拆下線柵偏光器，並配置於另外設置之調整台上，然後對金屬線方向進行調整。此情況下，由於調整台之光源與光照射裝置之光源不同，因此恐有在調整台之調整結果與在光照射裝置的調整結果不同之虞。此外，還有產生框架之安裝誤差、及作業者造成之誤差之問題。

本發明係鑑於上述情事而完成者，其目的在於提供一種能夠以正確且容易之方式對線柵偏光器之金屬線方向進行調整之光照射裝置。

為了達成上述目的，本發明係為一種具備有光源、對此光源之光線進行偏光之線柵偏光器、及配置此線柵偏光器之框架之光照射裝置，該光照射裝置之特徵在於：於上述框架上以可轉動之方式設置上述線柵偏光器，且具備有對上述線柵偏光器之轉動進行調整之調整機構。

上述構成中，也可具備有將上述線柵偏光器以不能轉動之方式加以保持之保持手段。

上述構成中也可為，上述調整機構係具備有使上述線柵偏光器產生轉動之驅動手段，且上述驅動手段係具備有於信號未 輸入時將線柵偏光器以不能轉動之方式加以保持之保持功能。

上述構成中，上述驅動手段也可為壓電馬達。

上述構成中也可為，具備有對上述線柵偏光器之偏光光線進行測量之測量手段，上述調整機構係根據上述測量手段之偏光光線的測量結果，對上述線柵偏光器之轉動進行調整。

上述構成中也可為，上述調整機構係於上述光源之亮燈中，以可轉動之方式構成上述線柵偏光器。

根據此構成，不用將光源熄燈即可對上述線柵偏光器之轉動進行調整，因此可縮短調整時間。例如，於將放射紫外線之光源作為光源使用之情況下，只要作成由對紫外線具有耐受性之材料形成調整機構等之抗紫外線構造即可。

上述構成中也可為，於上述框架上配置有複數個上述線柵偏光器，且於上述框架上對應於每個上述線柵偏光器而設置有上述調整機構。

上述構成中也可為，於上述框架上排列有複數個上述線柵偏光器，且上述驅動手段係以可移動之方式設置於上述線柵偏光器之排列方向上。

根據本發明，由於具備在框架上可轉動地設置線柵偏光器，且對線柵偏光器之轉動進行調整之調整機構，而可自動地對線柵偏光器之金屬線方向進行調整，因此可正確且容易地調整線柵偏光器之金屬線方向。

A‧‧‧金屬線方向

B‧‧‧排列方向

C‧‧‧中心

D‧‧‧圓

E‧‧‧直線方向(軸向)

S‧‧‧光配向對象物之面

W‧‧‧寬度

X‧‧‧工作台之直線運動方向

1、101、201、301、401‧‧‧光配向裝置(照射裝置)

2‧‧‧光配向對象物

3‧‧‧工件台

4‧‧‧平台

5‧‧‧照射器收容箱

6‧‧‧照射器

7‧‧‧燈(光源)

8‧‧‧反射鏡

10、110、210、310、410‧‧‧偏光器單元

12‧‧‧單位偏光器單元

14‧‧‧框架

14A‧‧‧上下端部

16‧‧‧線柵偏光器

16A‧‧‧端部

16B‧‧‧側緣

18‧‧‧支持框架

20‧‧‧開口

22‧‧‧上下之端部

24‧‧‧支持部

25‧‧‧邊

30、130、230、330、430‧‧‧調整機構

31‧‧‧支持孔

32‧‧‧支持孔

34、234‧‧‧壓電馬達

34A‧‧‧馬達軸

35‧‧‧連桿

33‧‧‧支柱

36、436‧‧‧鎖止手段(保持手段)

37‧‧‧賦予勢能構件

38‧‧‧導引部

40‧‧‧控制裝置

41‧‧‧轉動控制部

42‧‧‧檢測控制部

43‧‧‧偏光軸運算部

50‧‧‧測量單元(測量手段)

51‧‧‧檢測部

52‧‧‧線性導軌

234A‧‧‧爪部

234B‧‧‧本體

333‧‧‧軸承

334‧‧‧伺服馬達

334A‧‧‧馬達軸

335‧‧‧傳動機構

335A‧‧‧傘齒輪

335B‧‧‧小齒輪

335C‧‧‧齒條

336‧‧‧制動手段

435‧‧‧傳動機構

435A‧‧‧驅動軸

439‧‧‧卡盤(拆裝手段)

圖1為本發明之第一實施形態之光配向裝置之示意圖。

圖2為顯示光配向裝置之俯視圖。

圖3為顯示偏光器單元之構成之圖，(A)為俯視圖，(B)為側剖視圖，(C)為仰視圖。

圖4為同時顯示偏光器單元及調整機構之俯視圖。

圖5為顯示框架之俯視圖。

圖6為同時顯示本發明之第二實施形態之光配向裝置之偏光器單元及調整機構之俯視圖。

圖7為同時顯示本發明之第三實施形態之光配向裝置之偏光器單元及調整機構之俯視圖。

圖8為顯示本發明之變化例之光配向裝置之偏光器單元之俯視圖。

圖9為同時顯示本發明之第四實施形態之光配向裝置之偏光器單元及調整機構之俯視圖。

圖10為顯示本發明之第四實施形態之光配向裝置之照射器收容箱之側視圖。

圖11為同時顯示本發明之第五實施形態之光配向裝置之偏光器單元及調整機構之圖，(A)為俯視圖，(B)為側剖視圖。

圖12為顯示本發明之第五實施形態之光配向裝置之照射器收容箱之側視圖。

以下，參照圖式，對本發明之實施形態進行說明。

<第一實施形態>

圖1為本發明之第一實施形態之光配向裝置1之示意圖。

光配向裝置1係將偏光光線照射於光配向對象物2上而進行光配向之光配光用之光照射裝置。圖1中，工件台3係矩形板狀之工作台且於上面載置有光配向對象物2。光配向對象物2例如為液晶面板等之薄板狀之面板體，且包含光配向對象之光配向膜。平台4係支持工件台3之有防振功能之工作台，且內部設置有使工件台3直線運動之直動機構(未圖示)，藉由此直動機構使工件台3沿直線運動方向X往返移動於平台4之面上。照射器收容箱5係固定於平台4上，且於平台4之上方位置橫跨設置於平台4之寬度方向(與直動機構之直線運動方向垂直之方向)之箱體。照射器6係內建於照射器收容箱5，朝平台4照射偏光光線。

照射器6具備燈(光源)7、反射鏡8及偏光器單元10，且使偏光光線聚光並照射於藉由直定機構移動於正下方之光配向對象物2之面S。

具體而言，燈7係至少延長與光配向對象物2之寬度相同寬度以上之直管型(桿狀)之紫外線燈。燈7例如使用以200~400nm之波長作為主波長進行照射之燈。反射鏡8係截面橢圓形且沿燈7之長度方向延長之柱狀凹面反射鏡，將反射光照射於光配向對象物2。偏光器單元10係配置於反射鏡8與光配向對象物2之間，對照射於光配向對象物2之光線進行偏光。藉由將此偏光光線照射於光配向對象物2之光配向膜上，該光配向膜對應於偏光光線之偏光軸方向被配向。

圖2為顯示光配向裝置1之俯視圖。再者，同圖中，為了容易理解偏光器單元10之構成，於照射器收容箱5中僅顯示偏光器單元10。

偏光器單元10具備：複數個單位偏光器單元12，及將此等單位偏光器單元12橫向配置成一列之框架14，且至少配置有達到在反射鏡8(圖1)之長度方向的長度之數量之單位偏光器單元12。框架14係並排地配置各單位偏光器單元12之板狀框體。單位偏光器單元12具備線柵偏光器16。

本實施形態中，各單位偏光器單元12係支持線柵偏光器16以使其金屬線方向A與上述工件台3之直線運動方向X平行，且使與此金屬線方向A正交之方向及線柵偏光器16之排列方向B一致。

線柵偏光器16係將入射光中之與金屬線方向A平行的部分反射，且使與此金屬線方向A正交之部分透射而獲得直線偏光光線之直線偏光器之一種。於此線柵偏光器16中，將與金屬線方向A正交之方向定義為直線偏光光線之偏光軸P，本實施形態中，偏光軸P係與排列方向B形成為一致。如上述，由於燈7為桿狀，因此朝線柵偏光器16射入有各種各樣之角度之光，但即使為斜向射入之光，只要偏光軸P(透射軸)之方向正確，線柵偏光器16仍可進行直線偏光並透射。

圖3為顯示單位偏光器單元12之構成之圖，圖3(A)為俯視圖，圖3(B)為側剖視圖，圖3(C)為仰視圖。

單位偏光器單元12具備：線柵偏光器16；及支持此線柵偏光器16之支持框架18。

支持框架18係於金屬板之面內具有大致矩形之開口20之框體，且於隔著開口20之上下之端部22的各個，具備夾入並支持線柵偏光器16之端部16A之支持部24。此外，支持框架18係將開口20之左右兩側之邊25(亦即，延伸於上下之端部22之間的邊25) 之寬度W，形成為對照射範圍不容易產生因寬度W而形成之陰影的狹窄之寬度。

線柵偏光器16係具有將支持框架18之開口20封閉之大小的大致矩形之板材，且連結上下之端部16A之兩側的緣部即一對側緣16B，係形成為與金屬線方向A大致平行。

偏光器單元10中，所相關之構成的複數個單位偏光器單元12，係藉由使各線柵偏光器16之側緣16B彼此靠近且橫向排列配置，而以金屬線方向A形成在與所排列之方向B(圖2)大致正交之方向上的狀態下被排列。

另外，若於各單位偏光器單元12之間，線柵偏光器16之金屬線方向A不一致，則於偏光器單元10中，無法使光配向對象物2之配向方向與所需之方向一致，因而會招致產品品質之降低。

因此，於此偏光器單元10設置有對安裝於框架14之各個之單位偏光器單元12之金屬線方向A進行調整之調整機構30。

圖4為同時顯示偏光器單元10及調整機構30之俯視圖。圖5為顯示框架14之俯視圖。再者，圖4中，僅顯示一個單位偏光器單元12。

如此等圖所示，各單位偏光器單元12係支持於框架14上以使其可以法線方向作為轉動軸於面內轉動而對金屬線方向A進行調整。具體而言，於框架14之上下端部14A之一方(本實施形態中為下側)設置有用以可旋轉自如地支持單位偏光器單元12之支持孔31。單位偏光器單元12係藉由將支柱33插入形成於支持框架18之端部22的一側(本實施形態中為下側)之支持孔32及框架14之支 持孔31，可轉動自如地支持於框架14上。

此外，框架14係於設置有支柱33側之端部14A，按每個單位偏光器單元12設置有旋轉驅動單位偏光器單元12之壓電馬達(驅動手段)34。如此，由於將複數個壓電馬達34一體設置於框架14，而藉由框架14之拆或裝，可對複數個壓電馬達34進行拆或裝，因此與將壓電馬達34與框架14分開設置而對每個壓電馬達34分別進行拆或裝之情況比較，壓電馬達34之拆裝作業變得容易。

壓電馬達34係具有藉由輸入信號而移動於直線方向E(軸向)之馬達軸34A之直動型馬達。馬達軸34A係經由連桿35連接於單位偏光器單元12之支持框架18。藉此，當壓電馬達34驅動而使馬達軸34A朝方向E移動時，單位偏光器單元12以支柱33作為支點(中心)進行轉動。

雖省略圖示，於壓電馬達34上設置有對馬達軸34A及/或連桿35之移動進行限制之鎖止手段(保持手段)36。鎖止手段36係構成為於驅動時將馬達軸34A及/或連桿35固定，且藉由驅動鎖止手段36，來限制馬達軸34A及/或連桿35之移動，將單位偏光器單元12固定為不能轉動。此等支持孔31、32、支柱33、壓電馬達34、連桿35、鎖止手段36係構成調整機構30。

於壓電馬達34上連接有控制光配向裝置1之控制裝置40。如圖2所示，控制裝置40係具備對該壓電馬達34(圖3)進行驅動，以控制單位偏光器單元12之轉動之轉動控制部41。轉動控制部41係控制朝壓電馬達34施加之電壓而使馬達軸34A移動，藉此，使單位偏光器單元12移動並對鎖止手段36之驅動進行控制而將單位偏光器單元12固定。

光配向裝置1係設置有對該光配向裝置1之偏光光線之偏光特性進行測量之測量單元(測量手段)50。測量單元50具備檢測偏光光線之檢測部51。此外，為了使每個線柵偏光器16之各個之測量更方便，測量單元50具備將導引方向與排列方向B平行地設置，且沿直線對檢測部51進行導引之線性導軌52。線性導軌52係設置於平台4之面上，於偏光光線測量時，以使線性導軌52連結於上述工件台3之行進方向側之側面3A而被移送至偏光器單元10之正下方、或者使線性導軌52位於偏光器單元10之正下方。並且，使檢測部51沿線性導軌52自動行走以使其位於調整對象之線柵偏光器16之正下方，並於此位置利用檢測部51對穿透該線柵偏光器16之偏光光線進行檢測，以測量偏光光線。

控制裝置40具備：對檢測部51之檢測進行控制之檢測控制部42；及基於檢測部51之偏光光線之檢測結果，計算線柵偏光器16之偏光軸之偏光軸運算部43。再者，控制裝置40也可藉由使例如個人電腦執行電腦可讀取之用以實現圖2所示之各部分之程式而實施。

檢測控制部42係使檢測部51檢測偏光光線，並將檢測部51之偏光光線的檢測結果輸出至偏光軸運算部43。此外，檢測控制部42係於調整對象之單位偏光器單元12之調整結束時，使檢測部51沿線性導軌52移動而位於下一之調整對象之線柵偏光器16的正下方。

偏光軸運算部43係基於檢測部51之偏光光線的檢測結果計算偏光軸，並對計算出之偏光軸(角度)及所要求之偏光器之角度(規定角度)進行比較，計算使單位偏光器單元12轉動之轉動 角。於所計算出之轉動角在規定範圍外之情況下，偏光軸運算部43將該轉動角輸出至轉動控制部41，且於所計算出之轉動角在規定範圍內之情況下，將調整對象之單位偏光器單元12之調整結束，輸出至轉動控制部41及檢測控制部42。再者，本實施形態中，由於光配向裝置1所要求之偏光軸之部位偏差為±0.03度，因此將規定範圍設為0.01度，惟規定範圍不限於此。

自偏光軸運算部43輸入有轉動角之情況時，轉動控制部41算出對應於此轉動角之馬達軸34A之移動量，並將對應於此移動量之信號輸出至壓電馬達34，使單位偏光器單元12轉動相當於計算出之轉動角之角度。另一方面，當自偏光軸運算部43指示調整結束時，轉動控制部41對鎖止手段36進行驅動，並將單位偏光器單元12固定。

接著，對線柵偏光器16之轉動之調整進行說明。

首先，作業者將測量單元50設置於光配向裝置1。於此設置時，作業者係對線性導軌52進行設置，以使線性導軌52之導引方向與上述線柵偏光器16之排列方向B平行且位於偏光器單元10之正下方。並且，作業者指示控制裝置40進行線柵偏光器16之調整。

當藉由作業者對控制裝置40指示其開始進行調整時，檢測控制部42使檢測部51沿線性導軌52以使其位於調整對象之線柵偏光器16之正下方。接著，檢測控制部42使檢測部51對偏光光線進行檢測，並將檢測部51之偏光光線之檢測結果輸出至偏光軸運算部43。偏光軸運算部43基於檢測結果對偏光軸進行計算，並基於計算出之偏光軸，計算使單位偏光器單元12轉動之轉動角，於計算出之轉動角在規定範圍外之情況下，將該轉動角輸 出至轉動控制部41。轉動控制部41驅動壓電馬達34而使單位偏光器單元12轉動所計算出之轉動角之角度。本實施形態中，於轉動調整時，於燈7之亮燈中可使單位偏光器單元12轉動，但也可於檢測部51之檢測時以外，將燈7熄燈。

控制裝置40係反復地進行檢測及轉動控制，直到所算出之轉動角落在規定範圍內為止。當計算出之轉動角落在規定範圍內時，檢測控制部42將調整對象之單位偏光器單元12之調整結束，輸出至轉動控制部41及檢測控制部42。當有調整結束之指示時，轉動控制部41驅動鎖止手段36，並將單位偏光器單元12固定。當有調整結束之指示時，檢測控制部42使檢測部51沿線性導軌52移動，以使其位於下一之調整對象之線柵偏光器16的正下方。

藉此，所有之線柵偏光器16之偏光軸P之方向與排列方向B成為一致，從而可獲得於偏光器單元10之長軸方向全長高精度地使偏光軸P形成一致之偏光光線，進而可成為高品質之光配向。

如此，由於設置對線柵偏光器16之轉動進行自動調整之調整機構30，而不需要拆下框架14，因此不會產生因框架14之拆或裝而引起之誤差。此外，由於在光配向裝置1之燈7之下方對線柵偏光器16之轉動進行調整，因此於調整時及配光時不會產生因光源不同而引起之誤差。又，可省去對框架14進行拆或裝之時間，因此可縮短調整時間。特別是於燈7之發光長度較長之光配向裝置1中，框架14本身也長且重，使得對框架14進行拆或裝之時間變長，因此可大幅縮短調整時間。

此外，由於是對線柵偏光器16之轉動自動進行調整，因此不會產生因作業者之技術量而引起之誤差。此外，由於可高精度且短 時間地對線柵偏光器16之轉動進行調整，因此可縮短調整時間。

如以上說明，根據本實施形態，由於具備可轉動地將線柵偏光器16設置於框架14，且對線柵偏光器16之轉動進行調整之調整機構30，而可自動地調整線柵偏光器16之金屬線方向A，因此可正確且容易地調整線柵偏光器16之金屬線方向A。

此外，根據本實施形態，由於具備將線柵偏光器16保持為不能轉動之保持手段，因此即使光配向裝置1振動，仍可於調整了轉動之狀態下對線柵偏光器16進行保持。

<第二實施形態>

第一實施形態中，經由連桿35將壓電馬達34之馬達軸34A連接於單位偏光器單元12，但於第二實施形態中，省略連桿35。

圖6為同時顯示第二實施形態之光配向裝置101之偏光器單元110及調整機構130之俯視圖。再者，圖6中，對與第一實施形態之光配向裝置1相同之部分係賦予相同之符號並省略說明。此外，圖6中，僅顯示一個單位偏光器單元12。

於圖6之例子中，設置壓電馬達34而使馬達軸34A連接於單位偏光器單元12之端部22，並在相對於支柱33而與壓電馬達34為相反側之端部22設置有朝方向F對單位偏光器單元12賦予勢能之賦予勢能構件(賦予勢能手段)37。本實施形態中，賦予勢能構件37例如使用彈簧構件所構成，但不限於此。本實施形態中，支持孔31、32、支柱33、壓電馬達34、連桿35、鎖止手段36、及賦予勢能構件37，係構成偏光器單元110之調整機構130。

如此，本實施形態中，由於也具備對線柵偏光器16 之轉動進行調整之調整機構130，而可對柵偏光器16之金屬線方向A自動進行調整，因此可正確且容易地調整線柵偏光器16之金屬線方向A。

此外，由於將壓電馬達34之馬達軸34A直接連接於單位偏光器單元12，而不需要設置連接馬達軸34A與單位偏光器單元12之連桿，因此可防止因連桿之連接而引起之誤差，從而可更正確地調整單位偏光器單元12之金屬線方向A。

<第三實施形態>

第一實施形態中，經由連桿35將壓電馬達34之馬達軸34A連接於單位偏光器單元12，但於第三實施形態中，省略連桿35及壓電馬達234之馬達軸。

圖7為同時顯示第三實施形態之光配向裝置201之偏光器單元210及調整機構230之俯視圖。再者，圖7中，對與第一實施形態之光配向裝置1相同之部分，賦予相同之符號並省略說明。

圖7之例子中，壓電馬達234係將用以使上述馬達軸34A(圖4及圖6)移動之爪部234A朝壓電馬達234之本體234B的外部延伸，且將該爪部234A直接連接於單位偏光器單元12。具體而言，於單位偏光器單元12之端部22形成圓弧狀之導引部38，並使壓電馬達234之爪部234A抵接於此導引部38。藉由朝壓電馬達234施加電壓，爪部234A朝方向E移動，以使單位偏光器單元12轉動。本實施形態中，支持孔31、32、支柱33、壓電馬達234、連桿35及鎖止手段36，係構成偏光器單元210之調整機構230。

如此，本實施形態中，也由於具備對線柵偏光器16之轉動進行調整之調整機構230，而可對線柵偏光器16之金屬線方 向A自動進行調整，因此可正確且容易地調整線柵偏光器16之金屬線方向A。

此外，由於將壓電馬達34之爪部234A直接連接於單位偏光器單元12，而不需要設置馬達軸及連桿，因此可防止因馬達軸及連桿之連接引起之誤差，從而可更正確地調整單位偏光器單元12之金屬線方向A。

再者，上述第一至第三實施形態中，使單位偏光器單元12以設於遠離線柵偏光器16之平面的中心之位置上之支柱33作為軸心進行轉動，但如圖8所示，也可以線柵偏光器16之平面的中心C作為軸心進行轉動。於此情況下，例如，將單位偏光器單元12之上下端部22之外形形成為與以線柵偏光器16之平面的中心C為中心之圓D的圓周之一部分一致之圓弧狀，並於框架14形成圓弧狀之導引部14B以使這些導引部卡合於此等端部22之圓弧狀。藉此，單位偏光器單元12可以線柵偏光器16之平面的中心C為軸心進行轉動，因此，此單位偏光器單元12之轉動角度與線柵偏光器16之金屬線方向A的轉動角度始終成為一致，從而可簡單且正確地對單位偏光器單元12之金屬線方向A進行調整，且調整作業變為非常容易。

此外，上述第一至第三實施形態中，藉由將壓電馬達34、234連接於設置作為支點之支柱33之端部22側，以減小施加於支持框架18之力矩，但也可連接於不設置支柱33之端部22側。此外，雖設置鎖止手段36，但由於壓電馬達34、234具備保持功能，該功能於未施加電壓時、即信號未輸入時，停止馬達軸34A或爪部234A之移動，且將單位偏光器單元12保持為不能轉動，因此也可 省略鎖止手段36。

<第四實施形態>

第一至第三實施形態中，使用壓電馬達作為驅動機構，但第四實施形態中，使用伺服馬達作為驅動機構。

圖9為同時顯示第四實施形態之光配向裝置301之偏光器單元310及調整機構330之俯視圖。圖10為顯示第四實施形態之光配向裝置301之照射器收容箱5之側視圖。再者，圖9及圖10中，對與第一實施形態之光配向裝置1相同之部分，賦予相同之符號並省略說明。此外，圖9中，僅顯示一個單位偏光器單元12。

圖9及圖10之例子中，單位偏光器單元12係藉由軸承333將上下之端部22的一側(本實施例中為上側)可轉動地支持於框架14。於框架14上按每個單位偏光器單元12設置有旋轉驅動單位偏光器單元12之伺服馬達(驅動手段)334。伺服馬達334係具備藉由信號輸入而進行軸旋轉之馬達軸334A之旋轉型馬達。此伺服馬達334係配置於框架14上，以使馬達軸334A與線柵偏光器16之平面平行且與線柵偏光器16之排列方向B正交。馬達軸334A係經由傳動機構335連接於單位偏光器單元12之支持框架18。

傳動機構335具備：連接於馬達軸334A之傘齒輪335A；與傘齒輪335A嚙合之小齒輪(pinion gear)335B；及與小齒輪335B嚙合之齒條335C。齒條335C係設置於單位偏光器單元12之上下端部22的另一側(本實施例中為下側)而朝偏光軸P方向延伸。藉此，當馬達軸334A驅動而馬達軸334A旋轉時，馬達軸334A之旋轉藉由傘齒輪335A被轉換為以單位偏光器單元12之法線作為軸之旋轉，並傳遞至小齒輪335B。小齒輪335B之旋轉，藉由小齒 輪335B與齒條335C之嚙合而被轉換為直線運動，從而使單位偏光器單元12以軸承333作為支點(中心)進行轉動。

於伺服馬達334設置有限制馬達軸334A之旋轉之制動手段(保持手段)336。制動手段336係構成為於驅動時將馬達軸334A固定，藉由對制動手段336進行驅動以限制馬達軸334A之旋轉，進而將單位偏光器單元12固定為不能轉動。本實施形態中，軸承333、伺服馬達334、傳動機構335、及制動手段336，係構成偏光器單元310之調整機構330。

此外，本實施形態中，雖省略圖示，圖2所示之轉動限制部41係構成為對伺服馬達334之驅動進行控制並對制動手段336之驅動進行控制。亦即，自偏光軸運算部43輸入有轉動角之情況時，轉動控制部41係對根據此轉動角之馬達軸334A之旋轉量進行計算，並將根據此旋轉量之信號輸出至伺服馬達334，使單位偏光器單元12轉動相當於計算出之轉動角之角度。另一方面，當自偏光軸運算部43指示調整結束時，轉動控制部41於維持在將信號輸入伺服馬達334之狀態下對制動手段336進行驅動，將單位偏光器單元12固定。藉此，即使於伺服馬達334未輸入信號時，也可以調整後之角度對單位偏光器單元12進行保持。

如此，本實施形態中，也由於設置對線柵偏光器16之轉動進行調整之調整機構330，而可對線柵偏光器16之金屬線方向A自動進行調整，因此可正確且容易地調整線柵偏光器16之金屬線方向A。

此外，由於將伺服馬達334一體地設於框架14，而藉由框架14之拆或裝，可對複數個伺服馬達334進行拆或裝，因此與將伺服 馬達334與框架14分開設置而對每個伺服馬達334分別進行拆或裝之情況比較，伺服馬達334之拆裝作業變得容易。

<第五實施形態>

第四實施形態中，將伺服馬達334以對應於每個單位偏光器單元12之方式設置於框架14，但於第五實施形態中，相對於複數個單位偏光器單元12而設置一個伺服馬達334。

圖11為同時顯示第五實施形態之光配向裝置401之偏光器單元410及調整機構430之圖，圖11(A)為俯視圖，圖11(B)為側剖視圖。圖12為顯示第五實施形態之光配向裝置401之照射器收容箱5之側視圖。再者，圖11及圖12中，對與第四實施形態之光301相同之部分，賦予相同之符號並省略說明。此外，圖11(A)中，僅顯示一個單位偏光器單元12。

圖11及圖12之例子中，對所有之單位偏光器單元12設置一個伺服馬達334，伺服馬達334之馬達軸334A係經由傳動機構435連接於單位偏光器單元12之支持框架18。

傳動機構435包括：小齒輪335B；齒條335C；及設於小齒輪335B之中心之驅動軸435A。驅動軸435A係構成為固定於小齒輪335B且可與小齒輪335B一體旋轉，並貫通框架14而朝框架14之下方延伸。

伺服馬達334具備用以對驅動軸435A進行拆或裝之卡盤(拆裝手段)439。卡盤439係連接於馬達軸334A，且構成為於驅動時用以夾住驅動軸435A，藉由驅動卡盤439，將馬達軸334A之旋轉傳遞至驅動軸435A。藉此，於卡盤439驅動時，當馬達軸334A驅動而馬達軸334A旋轉時，馬達軸334A之旋轉被傳遞至卡 盤439、驅動軸435A、小齒輪335B。小齒輪335B之旋轉，藉由小齒輪335B與齒條335C之嚙合而被轉換為直線運動，於是單位偏光器單元12以軸承333作為支點(中心)進行轉動。

於框架14設置有對小齒輪335B及/或驅動軸435A之旋轉進行限制之鎖止手段(保持手段)436。鎖止手段436係構成為於驅動時將小齒輪335B及/或驅動軸435A固定，且藉由驅動鎖止手段436以限制小齒輪335B及/或驅動軸435A之旋轉，進而將單位偏光器單元12固定為不能轉動。

本實施形態中，軸承333、伺服馬達334、鎖止手段436、傳動機構435，係構成偏光器單元410之調整機構430。

伺服馬達334係設置為可與檢測部51一起沿線性導軌52移動。

本實施形態中，雖省略圖示，圖2所示之轉動限制部41係構成為對伺服馬達334之驅動進行控制並對鎖止手段436及卡盤439之驅動進行控制。亦即，轉動控制部41係構成為可與檢測控制部42連動，當藉由檢測控制部42使檢測部51與伺服馬達334一起朝調整對象之線柵偏光器16之正下方移動時，驅動卡盤439將馬達軸334A與驅動軸435A連接。當馬達軸334A與驅動軸435A時，檢測控制部42使檢測部51檢測偏光光線。

然後，於自偏光軸運算部43輸入有轉動角之情況下，計算出對應於此轉動角之馬達軸334A之旋轉量，並將對應於此旋轉量之信號輸出至伺服馬達334，使單位偏光器單元12轉動相當於計算出之轉動角之角度。另一方面，當自偏光軸運算部43指示調整結束時，轉動控制部41於維持在將信號輸入伺服馬達334 之狀態下且維持在驅動卡盤439之狀態下，驅動制動手段336將單位偏光器單元12固定。然後，轉動限制部41將卡盤439停止，使卡盤439離開驅動軸435A，然後不將信號輸入伺服馬達334。藉此，即使於伺服馬達334未輸入信號時，也可以調整後之角度對單位偏光器單元12進行保持。檢測控制部42係當有調整結束之指示且卡盤439停止時，使檢測部51與伺服馬達334一起沿線性導軌52移動而位於下一之調整對象之線柵偏光器16的正下方。

如此，由於對複數個單位偏光器單元12設置一個伺服馬達334，與於每個單位偏光器單元12設置伺服馬達334之情況比較，可削減伺服馬達334之個數，因此可削減零件數，並可降低成本。此外，由於不在框架14設置伺服馬達334，因此可簡化偏光器單元410之構成。

再者，本實施形態中，雖對所有之單位偏光器單元12設置一個伺服馬達334，但也可對所有之單位偏光器單元12中之複數個單位偏光器單元12設置一個伺服馬達334。此情況下，藉由按每個伺服馬達334設置測量單元50，即可利用複數個伺服馬達334同時對單位偏光器單元12之轉動進行調整，因此可縮短調整時間。

惟，上述實施形態係本發明之一個形態而已，只要在未超出本發明之實質範圍內，當然可作適宜之變更。

例如，於上述實施形態中，作為驅動手段，對壓電馬達34及伺服馬達334進行了說明，但驅動手段不限於此。此外，作為具備於信號未輸入時將線柵偏光器16保持為不能轉動之保持功能之驅動手段，以壓電馬達為例進行了說明，但具備保持功能之驅動手段 不限為壓電馬達。

雖然說明了作為線性馬達之壓電馬達，及作為回轉型馬達之伺服馬達，但線性馬達及回轉型馬達中仍有各種可適用之馬達。

此外，上述實施形態中，將保持手段即鎖止手段436及制動手段336構成為於驅動時將線柵偏光器保持為不能轉動，但保持手段也可構成為於停止時將線柵偏光器保持為不能轉動。此情況下，可抑制將線柵偏光器保持為不能轉動時之電力。此外，保持手段不限於鎖止手段436及制動手段336之構成及配置位置。

10‧‧‧偏光器單元

12‧‧‧單位偏光器單元

14‧‧‧框架

14A‧‧‧端部

16‧‧‧線柵偏光器

18‧‧‧支持框架

22‧‧‧上下之端部

30‧‧‧調整機構

32‧‧‧支持孔

33‧‧‧支柱

34‧‧‧壓電馬達

34A‧‧‧壓電馬達

35‧‧‧連桿

36‧‧‧鎖止手段(保持手段)

40‧‧‧控制裝置

A‧‧‧金屬線方向

E‧‧‧直線方向(軸向)

P‧‧‧偏光軸

Claims (10)

1. 一種光照射裝置，其具備有光源、對此光源之光線進行偏光之線柵偏光器、及配置此線柵偏光器之框架，其特徵在於，於上述框架上以可轉動之方式設置上述線柵偏光器，並具備：調整機構，其係對上述線柵偏光器之轉動進行調整；測量手段，其係對上述光源之光所產生之上述線柵偏光器之偏光光線進行測量；及偏光軸運算部，其係基於上述測量手段之偏光光線之測量結果，計算上述線柵偏光器之偏光軸之角度；上述調整機構係以上述偏光軸運算部所計算出之上述線柵偏光器之偏光軸之角度成為所要求之偏光軸之角度之方式，使上述線柵偏光器轉動。
2. 如申請專利範圍第1項之光照射裝置，其中，具備有將上述線柵偏光器以不能轉動之方式加以保持之保持手段。
3. 如申請專利範圍第1項之光照射裝置，其中，上述調整機構係具備有使上述線柵偏光器產生轉動之驅動手段，上述驅動手段係具備有於信號未輸入時將上述線柵偏光器以不能轉動之方式加以保持之保持功能。
4. 如申請專利範圍第3項之光照射裝置，其中，上述驅動手段係為壓電馬達。
5. 如申請專利範圍第1或2項之光照射裝置，其中，並排地配置複數個上述線柵偏光器，上述測量手段係可對上述光源之光所產生之各線柵偏光器之偏 光光線進行測量，上述調整機構係以上述偏光軸運算部所計算出之各線柵偏光器之偏光軸之角度成為所要求之偏光軸之角度之方式，使各線柵偏光器轉動，而使複數個上述線柵偏光器之偏光軸一致。
6. 如申請專利範圍第1或2項之光照射裝置，其中，上述調整機構係於上述光源之亮燈中，以可轉動之方式構成上述線柵偏光器。
7. 如申請專利範圍第5項之光照射裝置，其中，上述調整機構係於上述光源之亮燈中，以可轉動之方式構成上述線柵偏光器。
8. 如申請專利範圍第1或2項之光照射裝置，其中，於上述框架上配置有複數個上述線柵偏光器，且於上述框架上對應於每個上述線柵偏光器而設置有上述調整機構。
9. 如申請專利範圍第3項之光照射裝置，其中，於上述框架上排列有複數個上述線柵偏光器，且上述驅動手段係以可移動之方式設置於上述線柵偏光器之排列方向上。
10. 一種光照射裝置，其具備有光源、對此光源之光線進行偏光之線柵偏光器、及配置此線柵偏光器之框架，其特徵在於，於上述框架上以可轉動之方式設置上述線柵偏光器，並具備對上述線柵偏光器之轉動進行調整之調整機構，上述調整機構係具備使上述線柵偏光器產生轉動之驅動手段，上述驅動手段係具備於信號未輸入時將線柵偏光器以不能轉動之方式予以保持之保持功能的壓電馬達。