JP5541312B2 - 偏光子ユニット、及び調整用治具 - Google Patents

Description

本発明は、複数のワイヤーグリッド偏光子を並べて設けた偏光子ユニット、及び当該偏光子ユニットが備えるワイヤーグリッド偏光子の各々のワイヤーグリッドの方向を調整するための調整用治具に関する。

従来、配向膜、或いは配向層（以下、これらを「光配向膜」と称する）に偏光光を照射することで配向する光配向と呼ばれる技術が知られており、この光配向は、液晶表示パネルの液晶表示素子が備える液晶配向膜の配向等に広く応用されている。
光配向に用いる照射装置は、一般に光源と、偏光子とを備えて構成され、特に近年では、帯状の長い光配向膜の光配向を可能にするために、光源を棒状ランプとするとともに、この棒状ランプの長軸方向に複数のワイヤーグリッド偏光子を配列した照射装置も提案されている（例えば、特許文献１参照）。

ワイヤーグリッド偏光子は、多数の導体のワイヤーを同一平面内に互いに平行に並べて配列したものであり、偏光光を入射させると、ワイヤーに平行な偏光を反射し、垂直な偏光光を透過する偏光フィルターとして機能する。このようなワイヤーグリッド偏光子を複数配列して使用する場合には、各々のワイヤーグリッド偏光子の間の偏光軸の方向を揃えるために、各ワイヤーグリッド偏光子のワイヤーの方向を揃える必要がある。
そこで、複数のワイヤーグリッド偏光子をフレームに取り付けて配列する構成において、個々のワイヤーグリッド偏光子を光軸（光の透過軸方向）回りに回転可能に取り付けることで、ワイヤーグリッド偏光子のそれぞれのワイヤーの方向（すなわち偏光軸）を調整可能にすることが提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特許文献２には、ワイヤーグリッド偏光子の調整機構として、次のような機構が開示されている。すなわち、ワイヤーグリッド偏光子の外周の側面の複数箇所を、ワイヤーグリッド偏光子の平面と平行な方向からフレームにねじ止めし、これらのねじを適宜に押し引きすることで、ワイヤーグリッド偏光子を当該ワイヤーグリッド偏光子の平面内で回転させる機構である。具体的には、ワイヤーグリッド偏光子の対向する２辺の側面の一方の側面を１点で押して支持し、２個のねじが他方の側面を２点で押して支持する。この機構により、ワイヤーグリッド偏光子の他方の側面を支持する２個のねじの各々を押し引きすることで、上記一方の側面を支持する１個のねじを支点としてワイヤーグリッド偏光子が平面内で回転し、ワイヤーグリッド偏光子のワイヤーの方向が調整される。

特開２００４−１６３８８１号公報 特開２００６−１２６４６４号公報

しかしながら、上記特許文献２の技術では、ワイヤーグリッド偏光子の側面の１点を支点として回転して調整することから、当該側面の中で支点とする位置によってワイヤーグリッドの回転が変わってしまう等して、複数のワイヤーグリッド偏光子の各々を正確に調整することは困難であった。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、複数のワイヤーグリッド偏光子の各々を正確に調整可能な偏光子ユニット、及び調整用治具を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、光を偏光する複数のワイヤーグリッド偏光子ごとに支持フレームに支持して並べて配置するフレームとを備えた偏光子ユニットにおいて、前記支持フレームのそれぞれは、上端の端部及び下端の端部の外形が前記ワイヤーグリッド偏光子の平面の中心を中心とした円の円周の一部に一致する円弧状に形成され、前記フレームは、前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームごとに取付部を備え、前記取付部は、前記支持フレームの端部の円弧状に係合するように円弧状に形成され、前記ワイヤーグリッド偏光子の平面の中心を軸心に前記支持フレームが回動するようにガイドすることを特徴とする。

また本発明は、上記偏光子ユニットにおいて、前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームは、前記平面に対して垂直に延びるリブを備え、前記リブを前記平面に平行な方向に押し引きして前記ワイヤーグリッド偏光子を支持した前記支持フレームを回動可能にしたことを特徴とする。

また上記目的を達成するために、本発明は、上記偏光子ユニットが備える前記ワイヤーグリッド偏光子を支持した支持フレームの各々の回動を調整する調整用治具において、前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームの前記リブが遊貫する遊貫孔が設けられ、前記遊貫孔に前記リブを貫通させながら前記ワイヤーグリッド偏光子を覆うように前記フレームと係合し、前記遊貫孔に貫通した前記リブを前記平面に平行な方向に押し引きして前記ワイヤーグリッド偏光子を支持した前記支持フレームの回動を調整する調整手段をそなえることを特徴とする。

また上記目的を達成するために、本発明は、光を偏光する複数のワイヤーグリッド偏光子ごとに支持フレームに支持して並べて配置するフレームとを備え、前記支持フレームのそれぞれは、上端の端部及び下端の端部の外形が前記ワイヤーグリッド偏光子の平面の中心を中心とした円の円周の一部に一致する円弧状に形成され、前記フレームは、前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームごとに取付部を備えた偏光子ユニットの前記支持フレームの各々の回動を調整する調整用治具において、前記取付部に配置された前記ワイヤーグリッド偏光子を覆うように前記フレームと係合する係合部と、前記支持フレームの上端、及び下端の端部の円弧に沿った位置に設けられた複数のガイド部とを備え、前記ガイド部で前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームの回動をガイドしながら調整可能としたことを特徴とする。

また本発明は、上記調整用治具において、前記調整手段は、前記リブの押し引きの量を示す目盛を備えることを特徴とする。

本発明によれば、ワイヤーグリッド偏光子の各々の取付部でワイヤーグリッド偏光子の平面の中心を軸心にして回動させ当該ワイヤーグリッド偏光子のワイヤーの方向を調整可能となる。これにより、ワイヤーグリッド偏光子の各々の間で、ワイヤーグリッド偏光子の調整量とワイヤーの方向の回動角度との関係が常に一定に維持されることとなり、複数のワイヤーグリッド偏光子の各々を正確に調整できる。

本発明の実施形態に係る偏光子ユニットを備えた照射装置の模式図である。 偏光子ユニットの構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側断面視図である。 単位偏光子ユニットの構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側面図である。 偏光子ユニットが備えるフレームの構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側断面視図である。 調整用治具の構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側断面視図、（Ｃ）はマイクロメータの側からみた側面図である。 調整用治具を偏光子ユニットに装着した態様を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側断面視図、（Ｃ）はマイクロメータの側からみた側面図である。 本発明の変形例に係る偏光子ユニットの構成を示す平面図である。 調整用治具の構成を示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は側断面視図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は本実施形態に係る偏光子ユニット１０を備えた光配向装置１の模式図である。
光配向装置１は、光配向対象物２に偏光光を照射して光配向する装置である。図１において、ワークステージ３は、矩形板状のステージであり上面に光配向対象物２が載置される。光配向対象物２は、例えば液晶パネル等の薄板状のパネル体であり、光配向対象の光配向膜を含む。定盤４は、ワークステージ３を支持する防振が図られたステージであり、ワークステージ３を直動する直動機構（図示せず）が内設されており、この直動機構によってワークステージ３が直動方向Ｘに沿って定盤４の面上を往復移動する。照射器収容ボックス５は、定盤４に固定されることで、定盤４の上方位置で定盤４の幅方向（直動機構の直動方向Ｘに垂直な方向）に横架される箱体である。照射器６は、照射器収容ボックス５に内蔵され、定盤４に向けて偏光光を照射する。

照射器６は、ランプ７と、反射鏡８と、偏光子ユニット１０とを備え、直動機構により直下を移動する光配向対象物２の面Ｓに偏光光を集光させて照射する。
具体的には、ランプ７は、少なくとも光配向対象物２の幅と同等以上に延びる直管型（棒状）の紫外線ランプである。反射鏡８は、断面楕円形、かつランプ７の長手方向に沿って延びるシリンドリカル凹面反射鏡であり、光配向対象物２に反射光を照射する。
偏光子ユニット１０は、反射鏡８と光配向対象物２の間に配置され、光配向対象物２に照射される光を偏光する。この偏光光が光配向対象物２の光配向膜に照射されることで、当該光配向膜が偏光光の偏光軸方向に応じて配向される。

図２は偏光子ユニット１０の構成を示す図であり、図２（Ａ）は平面図、図２（Ｂ）は側断面視図である。
これらの図に示すように、偏光子ユニット１０は、複数の単位偏光子ユニット１２と、これら単位偏光子ユニット１２を横並びに一列に配列するフレーム１４とを備え、少なくとも反射鏡８の長手方向の長さに亘る分の単位偏光子ユニット１２が配列されている。フレーム１４は、各単位偏光子ユニット１２の支持体として機能するとともに、各々の取付位置を規定するように構成されており、各単位偏光子ユニット１２の配列方向の位置ズレが防止されるようになっている。なお、この構成については、後に詳述する。

図３は単位偏光子ユニット１２の構成を示す図であり、図３（Ａ）は平面図、図３（Ｂ）は側断面視図である。
単位偏光子ユニット１２は、ワイヤーグリッド偏光子１６と、このワイヤーグリッド偏光子１６を支持する支持フレーム１８とを備える。
支持フレーム１８は、金属板の面内に略矩形の開口２０を有した枠体であり、開口２０を挟む上下の端部２２の各々にワイヤーグリッド偏光子１６の端部１６Ａを挟み込んで支持する支持部２４を備える。また支持フレーム１８は、開口２０の左右両側の辺２５（すなわち、上下の端部２２の間に延びる辺２５）の幅Ｗが、照射野に幅Ｗによる影が生じ難くなるように幅狭に形成されている。
ワイヤーグリッド偏光子１６は、支持フレーム１８の開口２０を閉塞する大きさを有する略矩形状の板材であり、上下の端部１６Ａを結ぶ両側の縁部である一対の側縁１６Ｂがワイヤーの方向Ａと略平行に成るように形成されている。
偏光子ユニット１０にあっては、かかる構成の複数の単位偏光子ユニット１２が各ワイヤーグリッド偏光子１６の側縁１６Ｂ同士を近接させて横並びに配列されることで、ワイヤーの方向Ａが配列の方向Ｂ（図２）と略直交した方向に揃った状態で配列される。

図４は偏光子ユニット１０が備えるフレーム１４の構成を示す図であり、図４（Ａ）は平面図、図４（Ｂ）は側断面視図である。
フレーム１４は、これらの図に示すように、矩形の枠形状を成し、この枠の中に単位偏光子ユニット１２が並べて配列される。すなわち、フレーム１４は、上下の縁部を成す上縁フレーム１４Ａ、及び下縁フレーム１４Ｂを備え、これら上縁フレーム１４Ａ、及び下縁フレーム１４Ｂに上記単位偏光子ユニット１２の上下の端部２２が係合して支持される。
更に詳述すると、上縁フレーム１４Ａの面内には、単位偏光子ユニット１２の上端１２Ａ（図３（Ａ））の側の端部２２の外形に合わせて凹みを設けた上端係合部３０Ａが形成され、同様に、下縁フレーム１４Ｂの面内にも単位偏光子ユニット１２の下端１２Ｂ（図３（Ａ））の側の端部２２の外形に合わせて凹みを設けた下端係合部３０Ｂが形成されている。そして、これら一対の上端係合部３０Ａ、及び下端係合部３０Ｂによって、上記単位偏光子ユニット１２の取付位置を規定する取付部３１が構成される。フレーム１４には、長手方向に沿って単位偏光子ユニット１２の分だけ取付部３１が設けられており、これにより、それぞれの取付部３１に単位偏光子ユニット１２を嵌め込むだけで、それぞれが所定の決まった位置に簡単に配置されることとなる。
フレーム１４の上記上端係合部３０Ａ、及び下端係合部３０Ｂには、単位偏光子ユニット１２をネジ止めするネジ孔３２が適宜に設けられており、単位偏光子ユニット１２の上端１２Ａ、及び下端１２Ｂのそれぞれの端部２２のネジ孔２９（図３（Ａ））にネジ１９（図２（Ａ））を通してフレーム１４にネジ止めすることで、フレーム１４に固定配置される。なお、単位偏光子ユニット１２のネジ孔２９は、当該単位偏光子ユニット１２の所定量の後述する回動を許容するように横長形状に形成されている。

ところで、偏光子ユニット１０にあっては、各単位偏光子ユニット１２の間でワイヤーグリッド偏光子１６のワイヤーの方向Ａが不揃いになっていると、光配向対象物２の配向方向を所望の方向に揃えられずに製品品質の低下を招く。
そこで、この偏光子ユニット１０には、フレーム１４に取り付けられた個々の単位偏光子ユニット１２のワイヤーの方向Ａを調整するために次の機構が設けられている。
すなわち、単位偏光子ユニット１２の上端１２Ａの端部２２、及び下端１２Ｂの端部２２の外形が円弧状に形成されるとともに、これらの端部２２の円弧形状に係合するようにフレーム１４の取付部３１においても上端係合部３０Ａ、及び下端係合部３０Ｂが円弧状に形成されおり、これにより単位偏光子ユニット１２の面内での回動をガイドするガイド部として機能する。

具体的には、単位偏光子ユニット１２の端部２２の円弧形状は、前掲図３（Ａ）に示すように、単位偏光子ユニット１２が支持するワイヤーグリッド偏光子１６の平面（光透過面）の中心（より正確には開口２０の中心）Ｃを中心とした円Ｄの円周の一部に一致する。すなわち、単位偏光子ユニット１２が回動する際には、ワイヤーグリッド偏光子１６の平面の中心Ｃを軸心として回動することとなり、これにより、単位偏光子ユニット１２の回動角度と、ワイヤーグリッド偏光子１６のワイヤーの方向Ａの回動角度とが常に一致することとなる。

単位偏光子ユニット１２は、下端１２Ｂの側の端部２２にワイヤーグリッド偏光子１６の平面に対して垂直に立設されたリブ３６を備えており、このリブ３６をワイヤーグリッド偏光子１６の平面に平行な方向に押し引きすることで、単位偏光子ユニット１２の回動操作が簡単にできるようになっている。

このように、この偏光子ユニット１０では、取付部３１が単位偏光子ユニット１２の回動をガイドすることから、取付部３１に単位偏光子ユニット１２を係合させた状態で、この単位偏光子ユニット１２を回動させるだけで、単位偏光子ユニット１２が支持するワイヤーグリッド偏光子１６のワイヤーの方向Ａを簡単に調整できる。
また、単位偏光子ユニット１２は、ワイヤーグリッド偏光子１６の平面の中心Ｃを軸心として回動するため、この単位偏光子ユニット１２の回動角度と、ワイヤーグリッド偏光子１６のワイヤーの方向Ａの回動角度とが常に一致することから、簡単かつ正確に単位偏光子ユニット１２のワイヤーの方向Ａを調整することができ、調整作業が非常に容易となる。
これに加え、単位偏光子ユニット１２が回動するときの端部２２は、前掲図３（Ａ）に示す円Ｄの範囲内に必ず収められる。すなわち、単位偏光子ユニット１２の回動の軸心が各々の単位偏光子ユニット１２の間で揃っていない場合、端部２２の範囲が個々にばらつくことから、個々の単位偏光子ユニット１２の回動を妨げないように、単位偏光子ユニット１２の隣り同士の隙間７５（図６（Ａ）参照）の幅αを大きくとる必要がある。このように隙間７５が大きくなると、ワイヤーグリッド偏光子１６での偏光制御がされない領域が拡大してしまう。

これに対して、本実施形態では、上記のように、単位偏光子ユニット１２が回動するときの端部２２は、前掲図３（Ａ）に示す円Ｄの範囲内に必ず収められることから、個々の隙間７５が最小に抑えられる。
特に、前掲図３（Ａ）に示すように、単位偏光子ユニット１２の上下の端部２２は、それぞれ両側の肩部２２Ａが辺２５から角度δだけ内側に傾斜することで、肩部２２Ａを切り落とした形状とされている。肩部２２Ａが切り落とされることで、図６（Ａ）に示すように、隣り合う単位偏光子ユニット１２の端部２２同士の間に、隙間７５の幅αよりも広い回動用の調整しろ７６が形成される。このように、隙間７５の幅αを小さくしつつ、大きな調整しろ７６が設けられることから、単位偏光子ユニット１２同士の間を狭くして偏光制御されない光の発生を抑えつつ、単位偏光子ユニット１２のワイヤーの方向Ａの調整量が十分に確保されることとなる。

次いで、偏光子ユニット１０が備える単位偏光子ユニット１２の各々の回動を精度良く、なおかつ簡単に調整する調整用治具６０について説明する。
図５は調整用治具６０の構成を示す図であり、図５（Ａ）は平面図、図５（Ｂ）は側断面視図、図５（Ｃ）はマイクロメータ６４Ａ、６４Ｂの側からみた側面図である。また図６は調整用治具６０を偏光子ユニット１０に装着した態様を示す図であり、図６（Ａ）は平面図、図６（Ｂ）は側断面視図、図６（Ｃ）はマイクロメータ６４、６４Ｂの側からみた側面図である。
調整用治具６０は、矩形枠状の枠体６２と、この枠体６２の上端６２Ａ、及び下端６２Ｂのうちの下端６２Ｂに配設された調整手段としての一対のマイクロメータ６４Ａ、６４Ｂとを備えている。
枠体６２は、単位偏光子ユニット１２の開口２０と略同一寸法形状、或いは開口２０よりも広い開口６３を有し、図６（Ｂ）に示すように、フレーム１４の取付部３１に位置決め配置された単位偏光子ユニット１２を間に挟むようにしてフレーム１４に取り付けられる。
すなわち、図５（Ａ）に示すように、調整用治具６０の枠体６２の四隅には、フレーム１４の取付部３１の四隅に設けた基準位置決め凹部３８（図４（Ａ）参照）に嵌る凸部６８が設けられており、これ位置決め凹部３８、及び凸部６８の係合によって、図６（Ａ）に示すように、調整用治具６０の枠体６２がフレーム１４の所定の位置に位置決めされ、図６（Ｂ）に示すように、このフレーム１４と調整用治具６０の間に単位偏光子ユニット１２が挟み込まれる。
調整用治具６０の枠体６２には、図５（Ａ）に示すように、単位偏光子ユニット１２のリブ３６が遊貫する遊貫孔６６が設けられ、この遊貫孔６６を挟んで、上記一対のマイクロメータ６４Ａ、６４Ｂが設けられている。

したがって、調整用治具６０をフレーム１４に取り付けると、図６（Ａ）、及び図６（Ｃ）に示すように、遊貫孔６６から単位偏光子ユニット１２のリブ３６が突出して、一対のマイクロメータ６４Ａ、６４Ｂの間に配設される。マイクロメータ６４Ａ、６４Ｂは、ユーザー操作に伴ってワイヤーグリッド偏光子１６の平面に平行な方向Ｅに進退し、リブ３６を遊貫孔６６の遊びの範囲で移動させることで、単位偏光子ユニット１２がワイヤーグリッド偏光子１６の中心Ｃを軸心として回動し、ワイヤーの方向Ａが調整されることとなる。

マイクロメータ６４Ａ、６４Ｂの各々には、リブ３６の押し引き量を示す目盛６５が設けられており、作業者が調整の際の押し引き量を把握できるようになっている。本実施形態では、押し引き量（調整量）と、単位偏光子ユニット１２の回動角度、及びワイヤーグリッド偏光子１６のワイヤーの方向Ａの回動角度とは比例することから、この押し引き量からワイヤーの方向Ａの回動角度を把握することができる。

調整用治具６０の枠体６２には、図５（Ａ）に示すように、単位偏光子ユニット１２の上端１２Ａ、及び下端１２Ｂをフレーム１４にネジ止めするネジ１９を露出させ、このネジ１９を締める工具が挿入されるネジ締め用開口６７が設けられている。なお、本実施形態では、下端１２Ｂの側のネジ１９を露出させるネジ止め用開口６７を上記遊貫孔６６と連結して形成している。
このように、調整用治具６０に単位偏光子ユニット１２のネジ１９を露出させるネジ止め用開口６７を設けたため、調整用治具６０で単位偏光子ユニット１２を回動調整した後、工具をネジ締め用開口６７に通してネジ１９を締めて当該単位偏光子ユニット１２をフレーム１４に固定することで、回転ズレが生じることなく単位偏光子ユニット１２がフレーム１４に固定される。単位偏光子ユニット１２を調整した後、調整用治具６０はフレーム１４から取り外され、このフレーム１４に配列された他の単位偏光子ユニット１２の調整に供される。

以上説明したように、本実施形態によれば、フレーム１４に設けた各々の取付部３１でワイヤーグリッド偏光子１６の平面の中心Ｃを軸心にして当該ワイヤーグリッド偏光子１６を含む単位偏光子ユニット１２を回動して調整する構成とした。これにより、単位偏光子ユニット１２の調整量に対するワイヤーの方向Ａの回動角度を常に等しくできるため、簡単かつ正確に単位偏光子ユニット１２のワイヤーの方向Ａを調整することができ、調整作業が非常に容易となる。また、単位偏光子ユニット１２が回動するときの端部２２が前掲図３（Ａ）に示す円Ｄの範囲内に必ず収められることとなり、円Ｄの直径の間隔で個々の単位偏光子ユニット１２を配置することで、個々の隙間が最小に抑えられる。

また本実施形態によれば、ワイヤーグリッド偏光子１６を支持する単位偏光子ユニット１２の各々に、ワイヤーグリッド偏光子１６の平面に対して垂直に延びるリブ３６を設け、このリブ３６を平面に平行な方向に押し引きしてワイヤーグリッド偏光子１６を回動可能に構成した。
この構成によれば、リブ３６の押し引き量と、これに伴うワイヤーグリッド偏光子１６の回動角度、及びワイヤーの方向Ａの回動角度とは比例することから、押し引き量を調整量として管理することで、ワイヤーの方向Ａの調整量を正確に管理できる。

特に、本実施形態によれば、リブ３６をワイヤーグリッド偏光子１６の平面に平行な方向に押し引きして当該ワイヤーグリッド偏光子１６のワイヤーの方向Ａを調整する調整手段としてのマイクロメータ６４Ａ、６４Ｂを備えた調整用治具６０を構成した。
これにより、リブ３６の押し引き操作が容易となり、またマイクロメータ６４Ａ、６４Ｂによる微調整が可能となる。
更に、マイクロメータ６４Ａ、６４Ｂに設けた目盛６５によって、調整量を正確に管理することができる。

なお、上述した実施形態は、あくまでも本発明の一態様を例示するものであって、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で任意に変形、及び応用が可能である。

例えば、上述した実施形態において、取付部３１が単位偏光子ユニット１２の回動をガイドする構成を例示した。しかしながら、これに限らず、調整用治具が単位偏光子ユニット１２の回動をガイドする構成としても良い。
図７は本変形例に係る偏光子ユニット１００の構成を示す平面図である。また図８は調整用治具１６０の構成を示す図であり、図８（Ａ）は平面図、図８（Ｂ）は側断面視図である。なお、これらの図において、実施形態で説明した部材については同一の符号を付して説明を省略する。

図７に示すように、偏光子ユニット１００は、複数の単位偏光子ユニット１１２を備える。偏光子ユニット１００が備えるフレーム１１４には、各単位偏光子ユニット１１２をネジ止めするネジ孔３２が設けられており、このネジ孔３２が単位偏光子ユニット１１２ごとに取付位置を規定する取付部として機能する。
また、このフレーム１１４には、単位偏光子ユニット１１２の取付位置ごとに、当該単位偏光子ユニット１１２の対角位置に、調整用治具１６０と係合して位置決めする位置決め凹部３８が設けられている。

一方、調整用治具１６０にあっては、フレーム１１４の位置決め凹部３８に対応して、枠体６２の裏側に凸部６８が設けられており、これら位置決め凹部３８、及び凸部６８の係合構造によって、調整用治具１６０がフレーム１１４の所定の位置に位置決めされ、調整用治具１６０とフレーム１１４の間に上記単位偏光子ユニット１１２が挟み込まれた状態となる。
この単位偏光子ユニット１１２の上端１２Ａ、及び下端１２Ｂの端部２２は、上述の実施形態で説明した単位偏光子ユニット１２と同様に、ワイヤーグリッド偏光子１６の中心Ｃを中心とした円Ｄの円周の一部を成す円弧状である。一方、調整用治具１６０の裏面には、図８（Ａ）に示すように、この円Ｄの円弧に沿った位置に複数のガイドピン５０が設けられている。すなわち、調整用治具１６０をフレーム１１４に係合させると、各々のガイドピン５０が単位偏光子ユニット１１２の上端１２Ａ側の端部２２の円弧状の外周に当接する。これにより、マイクロメータ６４Ａ、６４Ｂが操作されると、単位偏光子ユニット１１２が円Ｄの円弧に沿って配置された各々ガイドピン５０によってガイドされながら回動することとなる。なお、図７において、符号７０は、ガイドピン５０の先端を受けるようにフレーム１１４に設けられた穴部７０である。

１ 光配向装置
２ 光配向対象物
６ 照射器
１０、１００ 偏光子ユニット
１２、１１２ 単位偏光子ユニット
１４、１１４ フレーム
１６ ワイヤーグリッド偏光子
１８ 支持フレーム
３０Ａ 上端係合部
３０Ｂ 下端係合部
３１ 取付部
３２ ネジ孔（取付部）
３６ リブ
３８ 位置決め凹部
５０ ガイドピン
６０、１６０ 調整用治具
６４Ａ、６４Ｂ マイクロメータ（調整手段）
６５ 目盛
６６ 遊貫孔
Ａ ワイヤーの方向
Ｂ 配列方向
Ｃ ワイヤーグリッド偏光子の平面の中心
Ｅ 平面に平行な方向

Claims (4)

1. 光を偏光する複数のワイヤーグリッド偏光子ごとに支持フレームに支持して並べて配置するフレームとを備えた偏光子ユニットにおいて、
   前記支持フレームのそれぞれは、上端の端部及び下端の端部の外形が前記ワイヤーグリッド偏光子の平面の中心を中心とした円の円周の一部に一致する円弧状に形成され、
   前記フレームは、前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームごとに取付部を備え、
   前記取付部は、前記支持フレームの端部の円弧状に係合するように円弧状に形成され、前記ワイヤーグリッド偏光子の平面の中心を軸心に前記支持フレームが回動するようにガイドする
   ことを特徴とする偏光子ユニット。
2. 前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームは、前記平面に対して垂直に延びるリブを備え、前記リブを前記平面に平行な方向に押し引きして前記ワイヤーグリッド偏光子を支持した前記支持フレームを回動可能にしたことを特徴とする請求項１に記載の偏光子ユニット。
3. 請求項２に記載の偏光子ユニットが備える前記ワイヤーグリッド偏光子を支持した支持フレームの各々の回動を調整する調整用治具において、
   前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームの前記リブが遊貫する遊貫孔が設けられ、前記遊貫孔に前記リブを貫通させながら前記ワイヤーグリッド偏光子を覆うように前記フレームと係合し、
   前記遊貫孔に貫通した前記リブを前記平面に平行な方向に押し引きして前記ワイヤーグリッド偏光子を支持した前記支持フレームの回動を調整する調整手段をそなえることを特徴とする調整用治具。
4. 光を偏光する複数のワイヤーグリッド偏光子ごとに支持フレームに支持して並べて配置するフレームとを備え、前記支持フレームのそれぞれは、上端の端部及び下端の端部の外形が前記ワイヤーグリッド偏光子の平面の中心を中心とした円の円周の一部に一致する円弧状に形成され、前記フレームは、前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームごとに取付部を備えた偏光子ユニットの前記支持フレームの各々の回動を調整する調整用治具において、
   前記取付部に配置された前記ワイヤーグリッド偏光子を覆うように前記フレームと係合する係合部と、
   前記支持フレームの上端、及び下端の端部の円弧に沿った位置に設けられた複数のガイド部とを備え、
   前記ガイド部で前記ワイヤーグリッド偏光子の支持フレームの回動をガイドしながら調整可能としたことを特徴とする調整用治具。
   
   

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