RU2010139923A - Измерение напряжений в стеклянном контейнере с использованием флуоресценции - Google Patents
Измерение напряжений в стеклянном контейнере с использованием флуоресценции Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010139923A RU2010139923A RU2010139923/28A RU2010139923A RU2010139923A RU 2010139923 A RU2010139923 A RU 2010139923A RU 2010139923/28 A RU2010139923/28 A RU 2010139923/28A RU 2010139923 A RU2010139923 A RU 2010139923A RU 2010139923 A RU2010139923 A RU 2010139923A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- glass container
- side wall
- fluorescent light
- light beam
- light
- Prior art date
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract 88
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 17
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 17
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 13
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 3
- 230000001268 conjugating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000005262 ferroelectric liquid crystals (FLCs) Substances 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/6402—Atomic fluorescence; Laser induced fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/6445—Measuring fluorescence polarisation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/90—Investigating the presence of flaws or contamination in a container or its contents
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
1. Устройство для измерения напряжений в стенках стеклянного контейнера, содержащее: ! источник светового пучка, который генерирует световой пучок; ! устройство сопряжения светового пучка для направления светового пучка на боковую стенку стеклянного контейнера под углом, обеспечивающим вход светового пучка в боковую стенку стеклянного контейнера и прохождение сквозь нее, при этом световой пучок вызывает флуоресцентный свет, излучаемый внутри боковой стенки стеклянного контейнера в ответ на этот световой пучок внутри боковой стенки стеклянного контейнера; ! устройство сопряжения флуоресцентного света для подачи части этого флуоресцентного света, излучаемого в ответ на световой пучок внутри боковой стенки стеклянного контейнера наружу из боковой стенки стеклянного контейнера, и ! устройство для обработки и анализа флуоресцентного света, которое обрабатывает флуоресцентный свет, выходящий из боковой стенки стеклянного контейнера, и определяет напряжения в боковой стенке стеклянного контейнера по обработанному флуоресцентному свету, выходящему из боковой стенки стеклянного контейнера. ! 2. Устройство по п.1, в котором источник светового пучка содержит лазер, формирующий линейно поляризованный световой пучок. ! 3. Устройство по п.2, в котором источник светового пучка дополнительно содержит устройство регулировки поляризации, выполненное с возможностью регулировки для поворота плоскости поляризации линейно поляризованного светового пучка в требуемую ориентацию, которая создает максимально возможный флуоресцентный свет, испускаемый в ответ на этот световой пучок внутри боковой стенки стеклянного
Claims (29)
1. Устройство для измерения напряжений в стенках стеклянного контейнера, содержащее:
источник светового пучка, который генерирует световой пучок;
устройство сопряжения светового пучка для направления светового пучка на боковую стенку стеклянного контейнера под углом, обеспечивающим вход светового пучка в боковую стенку стеклянного контейнера и прохождение сквозь нее, при этом световой пучок вызывает флуоресцентный свет, излучаемый внутри боковой стенки стеклянного контейнера в ответ на этот световой пучок внутри боковой стенки стеклянного контейнера;
устройство сопряжения флуоресцентного света для подачи части этого флуоресцентного света, излучаемого в ответ на световой пучок внутри боковой стенки стеклянного контейнера наружу из боковой стенки стеклянного контейнера, и
устройство для обработки и анализа флуоресцентного света, которое обрабатывает флуоресцентный свет, выходящий из боковой стенки стеклянного контейнера, и определяет напряжения в боковой стенке стеклянного контейнера по обработанному флуоресцентному свету, выходящему из боковой стенки стеклянного контейнера.
2. Устройство по п.1, в котором источник светового пучка содержит лазер, формирующий линейно поляризованный световой пучок.
3. Устройство по п.2, в котором источник светового пучка дополнительно содержит устройство регулировки поляризации, выполненное с возможностью регулировки для поворота плоскости поляризации линейно поляризованного светового пучка в требуемую ориентацию, которая создает максимально возможный флуоресцентный свет, испускаемый в ответ на этот световой пучок внутри боковой стенки стеклянного контейнера.
4. Устройство по п.3, в котором устройство регулировки поляризации содержит устройство для установки лазера для фиксирования лазера в положение, в котором это устройство для установки лазера выполнено с возможностью селективного обеспечения поворота лазера для поворота плоскости поляризации линейно поляризованного светового пучка в нужную ориентацию.
5. Устройство по п.3, в котором устройство регулировки поляризации содержит полуволновую пластину, расположенную между лазером и устройством сопряжения светового пучка, при этом полуволновая пластина выполнена с возможностью селективного вращения для поворота плоскости поляризации линейно поляризованного светового пучка в требуемую ориентацию.
6. Устройство по п.1, в котором устройство сопряжения светового пучка и устройство сопряжения флуоресцентного света совместно содержат оптический сопрягающий элемент для установки в непосредственной близости к стеклянному контейнеру, при этом световой пучок направляется на этот оптический сопрягающий элемент, после чего этот оптический сопрягающий элемент направляет световой пучок в боковую стенку стеклянного контейнера, при этом флуоресцентный свет, излучаемый из боковой стенки стеклянного контейнера собирается оптическим сопрягающим элементом, после чего оптический сопрягающий элемент направляет излученный флуоресцентный свет на устройство обработки и анализа флуоресцентного света.
7. Устройство по п.6, в котором оптическое сопрягающее устройство содержит сопрягающую призму.
8. Устройство по п.6, в котором оптический сопрягающий элемент расположен и сконфигурирован для подачи светового пучка в стеклянный контейнер и для подачи излученного флуоресцентного света из стеклянного контейнера, используя воздух в качестве сопрягающей среды.
9. Устройство по п.8, в котором оптический сопрягающий элемент расположен и сконфигурирован для подачи светового пучка в стеклянный контейнер под углом в нескольких плоскостях, который содержит угол от около 40° до около 70° от нормали к поверхности стеклянного контейнера в точке входа в горизонтальной плоскости ортогональной к оси стеклянного контейнера и под углом около 45° к горизонтальной плоскости.
10. Устройство по п.9, в котором оптический сопрягающий элемент расположен и сконфигурирован для подачи светового пучка в стеклянный контейнер под углом в нескольких плоскостях, который содержит угол около 60° от нормали к поверхности стеклянного контейнера в точке входа в горизонтальной плоскости, ортогональной к оси стеклянного контейнера, и под углом около 45° к горизонтальной плоскости.
11. Устройство по п.6, дополнительно содержащее устройство для направления потока жидкой сопрягающей среды между оптическим сопрягающим элементом и стеклянным контейнером для оптического направления светового пучка в стеклянный контейнер и для направления излученного флуоресцентного света из стеклянного контейнера, в котором оптический сопрягающий элемент расположен и сконфигурирован для обеспечения направления светового пучка в стеклянный контейнер и для обеспечения направления излученного флуоресцентного света из стеклянного контейнера.
12. Устройство по п.11, в котором оптический сопрягающий элемент расположен и сконфигурирован для подачи светового пучка в стеклянный контейнер под углом в нескольких плоскостях, который содержит угол от около 40° и около 70° от нормали к поверхности стеклянного контейнера в точке входа, в горизонтальной плоскости, ортогональной оси стеклянного контейнера, и угол около 45° к горизонтальной плоскости.
13. Устройство по п.12, в котором оптический сопрягающий элемент расположен и сконфигурирован для подачи светового пучка в стеклянный контейнер под углом в нескольких плоскостях, который содержит угол около 45° от нормали к поверхности стеклянного контейнера в точке входа в горизонтальной плоскости, ортогональной к оси стеклянного контейнера, и угол около 45° к этой горизонтальной плоскости.
14. Устройство по п.1, в котором устройство обработки и анализа флуоресцентного света содержит:
устройство обработки флуоресцентного света, которое обрабатывает флуоресцентный свет, выходящий из боковой стенки стеклянного контейнера для получения обработанного флуоресцентного света, и
устройство анализа флуоресцентного света, которое анализирует обработанный флуоресцентный свет для получения информации, указывающей на напряжения в боковой стенке стеклянного контейнера.
15. Устройство по п.14, в котором устройство обработки флуоресцентного света содержит четвертьволновую пластину, расположенную между устройством сопряжения флуоресцентного света и устройством анализа флуоресцентного света для линейной поляризации флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера, в котором четвертьволновая пластина имеет ось, совмещенную с углом около 45° относительно линейно поляризованной части флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера.
16. Устройство по п.15, в котором устройство обработки флуоресцентного света дополнительно содержит устройство, расположенное между четвертьволновой пластиной и устройством анализа флуоресцентного света, предназначенное для генерирования двух изображений идеально ортогональных состояний поляризации линейно поляризованной части флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера.
17. Устройство по п.16, в котором устройство для генерирования двух изображений содержит устройство поворота плоскости поляризации, для поочередной модуляции состояния поляризации линейно поляризованной части флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера на плюс/минус 45° относительно оси четвертьволновой пластины.
18. Устройство по п.17, в котором устройство поворота плоскости поляризации содержит:
привод устройства поворота плоскости поляризации, создающий положительное и отрицательное напряжение, и
сегнетоэлектрический жидкокристаллический элемент, возбуждаемый чередующимся положительным и отрицательным напряжением от привода устройства поворота плоскости поляризации.
19. Устройство по п.17, в котором устройство для анализа флуоресцентного света далее содержит:
камеру для съемки через устройство поворота плоскости поляризации первого изображения модулированной линейно поляризованной части флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера под углом плюс 45° к оси четвертьволновой пластины, и для съемки через устройство поворота плоскости поляризации второго изображения модулированной линейно поляризованной части флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера под углом минус 45° к оси четвертьволновой пластины, и
дифференциатор изображений для дифференциации первого и второго изображений для создания нормализованного разностного изображения, характеризующего напряжения по толщине стеклянного контейнера.
20. Устройство по п.19, в котором устройство для анализа флуоресцентного света дополнительно содержит процессор изображений для обработки нормализованного разностного изображения для создания по меньшей мере одной из кривой запаздывания и параболы напряжений для стеклянного контейнера.
21. Устройство по п.16, в котором устройство для генерирования двух изображений содержит призму светоделителя поляризованного пучка, на вход которой подается линейно поляризованная часть флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера, в котором призма светоделителя поляризованного пучка на выходе имеет два изображения идеально ортогональных поляризованных состояний линейно поляризованной части флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера.
22. Устройство по п.21, в котором устройство для анализа флуоресцентного света содержит:
пару камер для соответствующей съемки двух изображений идеально ортогональных поляризованных состояний линейно поляризованной части флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера, и
дифференциатор изображений для дифференциации двух изображений, снятых парой камер, для получения нормализованного разностного изображения, характеризующего напряжения по толщине стеклянного контейнера.
23. Устройство по п.22, в котором устройство для анализа флуоресцентного света дополнительно содержит процессор изображений для обработки нормализованного разностного изображения для создания по меньшей мере одной из кривой запаздывания и параболы напряжений для стеклянного контейнера.
24. Устройство по п.14, в котором устройство для обработки флуоресцентного света дополнительно содержит фильтр, который пропускает флуоресцентный свет, но не пропускает свет на частоте источника светового пучка, при этом фильтр расположен между боковой стенкой стеклянного контейнера и устройством для анализа флуоресцентного света.
25. Устройство по п.24, в котором фильтр содержит один из группы элементов, состоящий из длинноволнового фильтра, который пропускает флуоресцентный свет, полосового фильтра, который пропускает флуоресцентный свет, и узкополосного режекторного фильтра, который пропускает флуоресцентный свет.
26. Устройство по п.1, дополнительно содержащее устройство для вращения стеклянного контейнера во множество положений, в каждом из которых определяют напряжение в боковой стенке стеклянного контейнера.
27. Устройство для измерения напряжений в стенке стеклянного контейнера, содержащее:
источник светового пучка, который генерирует пучок линейно поляризованного света;
устройство сопряжения светового пучка для направления линейно поляризованного светового пучка в боковую стенку стеклянного контейнера под углом, обеспечивающим вход светового пучка в боковую стенку стеклянного контейнера и прохождение сквозь нее, при этом линейно поляризованный световой пучок вызывает излучение флуоресцентного света в боковой стенке стеклянного контейнера в ответ на линейно поляризованный световой пучок в боковой стенке стеклянного контейнера;
устройство сопряжения флуоресцентного света для подачи части флуоресцентного света, излученного в ответ на линейно поляризованный световой пучок в боковой стенке стеклянного контейнера наружу из боковой стенки стеклянного контейнера;
камеру для съемки изображений обработанного флуоресцентного света, выходящего из боковой стенки стеклянного контейнера; и
устройство для анализа флуоресцентного света, которое анализирует обработанный флуоресцентный свет для получения информации, указывающей на напряжения в боковой стенке стеклянного контейнера.
28. Устройство для измерения напряжений в стенках стеклянного контейнера, содержащее:
источник светового пучка, который генерирует световой пучок;
устройство сопряжения светового пучка для направления светового пучка в боковую стенку стеклянного контейнера под углом, обеспечивающим вход светового пучка в боковую стенку стеклянного контейнера и прохождение сквозь нее, при этом световой пучок вызывает излучение флуоресцентного света в боковой стенке стеклянного контейнера в ответ на световой пучок в боковой стенке стеклянного контейнера;
устройство сопряжения флуоресцентного света для подачи части флуоресцентного света, излученного в ответ на световой пучок в боковой стенке стеклянного контейнера наружу из боковой стенки стеклянного контейнера; и
устройство обработки флуоресцентного света, которое обрабатывает флуоресцентный свет, выходящий из боковой стенки стеклянного контейнера для определения профиля напряжений в боковой стенке стеклянного контейнера.
29. Способ измерения напряжений в стенках стеклянного контейнера, содержащий этапы, на которых:
направляют световой пучок в боковую стенку стеклянного контейнера под углом, обеспечивающим вход светового пучка в боковую стенку стеклянного контейнера и прохождение сквозь нее;
обнаруживают флуоресцентный свет, излучаемый в ответ на световой пучок внутри боковой стенки стеклянного контейнера, при этом флуоресцентный свет выходит из боковой стенки стеклянного контейнера,
обрабатывают флуоресцентный свет, выходящий из боковой стенки стеклянного контейнера, и анализируют обработанный флуоресцентный свет, выходящий из боковой стенки стеклянного контейнера для определения напряжений в боковой стенке стеклянного контейнера.
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US12/535,821 US8134695B2 (en) | 2009-08-05 | 2009-08-05 | Glass container stress measurement using fluorescence |
| US12/535,836 | 2009-08-05 | ||
| US12/535,821 | 2009-08-05 | ||
| US12/535,836 US8049871B2 (en) | 2009-08-05 | 2009-08-05 | Glass stress measurement using fluorescence |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010139923A true RU2010139923A (ru) | 2012-04-10 |
| RU2467310C2 RU2467310C2 (ru) | 2012-11-20 |
Family
ID=43037132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010139923/28A RU2467310C2 (ru) | 2009-08-05 | 2010-09-28 | Измерение напряжений в стеклянном контейнере с использованием флуоресценции |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP2282186B1 (ru) |
| JP (1) | JP2011033630A (ru) |
| RU (1) | RU2467310C2 (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013160105A1 (de) * | 2012-04-23 | 2013-10-31 | Saint-Gobain Glass France | Verfahren und anordnung zur messung von blasstrukturen einer vorgespannten scheibe |
| CN105115430B (zh) * | 2015-05-26 | 2016-08-31 | 山东建筑大学 | 一种点栅透射式化学药液涂抹均匀性检测方法及装置 |
| CN105115429B (zh) * | 2015-05-26 | 2016-06-29 | 雷艳梅 | 一种反射式化学药液涂抹均匀性检测方法及装置 |
| CN108593172B (zh) * | 2018-05-03 | 2024-09-06 | 深圳精创视觉科技有限公司 | 玻璃内应力缺陷自动化检测装置 |
| CN110530800B (zh) * | 2018-05-25 | 2022-03-29 | 深圳市杰普特光电股份有限公司 | 玻璃应力缺陷的检测方法和装置 |
| CA3107458A1 (en) | 2018-07-24 | 2020-01-30 | Glasstech, Inc. | System and method for measuring a surface in contoured glass sheets |
| US10871400B2 (en) * | 2018-08-27 | 2020-12-22 | Corning Incorporated | Retardation profile for stress characterization of tubing |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6236110Y2 (ru) * | 1980-10-14 | 1987-09-14 | ||
| JPS6131907A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-14 | Hitachi Ltd | 膜厚測定装置 |
| US5001353A (en) * | 1989-01-17 | 1991-03-19 | Sumitomo Light Metal Industries, Ltd. | Method and apparatus to measure the thickness of coating films |
| JP3237810B2 (ja) * | 1994-03-18 | 2001-12-10 | 株式会社豊田中央研究所 | 応力検出方法 |
| US6067155A (en) * | 1997-12-24 | 2000-05-23 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Optical inspection of transparent containers using infrared and polarized visible light |
| US6133999A (en) * | 1998-04-10 | 2000-10-17 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Measuring sidewall thickness of glass containers |
| JP2000111317A (ja) * | 1998-10-06 | 2000-04-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ガラス材の厚み測定装置及び測定方法 |
| JP3025268B1 (ja) * | 1999-05-26 | 2000-03-27 | 東洋ガラス株式会社 | ガラスびんの肉厚測定装置 |
| US6962670B1 (en) * | 2000-08-16 | 2005-11-08 | Eastman Chemical Company | Determination of layer thickness or non-uniformity of layer thickness based on fluorophore additives |
| JP2002174598A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 表面検査装置及び方法 |
| CN1300558C (zh) * | 2002-03-14 | 2007-02-14 | 株式会社堀场制作所 | 应力测定方法及应力测定装置 |
| RU2254372C1 (ru) * | 2004-06-30 | 2005-06-20 | Александров Михаил Тимофеевич | Способ люминесцентной диагностики и/или качественной оценки состояния биологического объекта и устройство для его осуществления |
| JP2006317314A (ja) * | 2005-05-13 | 2006-11-24 | Nikon Corp | 欠陥検査装置 |
| JP2007127435A (ja) * | 2005-11-01 | 2007-05-24 | Taiyo Yuden Co Ltd | 応力測定方法および装置ならびに品質管理方法 |
| US7800749B2 (en) * | 2007-05-31 | 2010-09-21 | Corning Incorporated | Inspection technique for transparent substrates |
| WO2009063756A1 (ja) * | 2007-11-12 | 2009-05-22 | Asahi Glass Company, Limited | ガラス板の製造方法およびガラス物品の残留応力測定方法 |
-
2010
- 2010-07-27 EP EP10170983.0A patent/EP2282186B1/en not_active Not-in-force
- 2010-08-03 JP JP2010174343A patent/JP2011033630A/ja active Pending
- 2010-09-28 RU RU2010139923/28A patent/RU2467310C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2467310C2 (ru) | 2012-11-20 |
| JP2011033630A (ja) | 2011-02-17 |
| EP2282186A2 (en) | 2011-02-09 |
| EP2282186B1 (en) | 2015-09-09 |
| EP2282186A3 (en) | 2012-12-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2010139923A (ru) | Измерение напряжений в стеклянном контейнере с использованием флуоресценции | |
| CN101153965B (zh) | 光学各向异性参数测定装置 | |
| TWI444610B (zh) | 平板玻璃表面的異物檢測裝置 | |
| KR101594982B1 (ko) | 광학 이방성 파라미터 측정 장치, 측정 방법 및 측정용 프로그램 | |
| TWI384213B (zh) | 光學異向性參數測量方法及測量裝置 | |
| CN110546749A (zh) | 用于蚀刻处理监测的高级光学传感器、系统和方法 | |
| RU2010132841A (ru) | Измерение толщины стенок в стеклянном контейнере с использованием флуоресценции | |
| WO2015067026A1 (zh) | 激光修复设备 | |
| JP2011033631A5 (ru) | ||
| TW201426131A (zh) | 聯機測量裝置 | |
| KR101636055B1 (ko) | 편광을 이용한 투명기판 상면 이물 검출 방법 | |
| WO2017036065A1 (zh) | 显示面板组件的检测设备和显示面板组件的检测方法 | |
| JP7105925B2 (ja) | ディスプレイユニットの異物検査システム | |
| JP4091193B2 (ja) | 媒質の非線形光学応答測定装置 | |
| JP4728830B2 (ja) | 光学的異方性パラメータ測定方法及び測定装置 | |
| US8953030B1 (en) | System for viewing samples that are undergoing ellipsometric investigation in real time | |
| JP5873742B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2009085887A (ja) | 測定装置及び方法 | |
| US11852549B2 (en) | Enhanced hybrid systems and methods for characterizing stress in chemically strengthened transparent substrates | |
| TW201326788A (zh) | 光學視野調整方法 | |
| TW201226882A (en) | Measurement apparatus and measurement method thereof | |
| JP5019110B2 (ja) | 赤外線厚さ計 | |
| JP2008139274A (ja) | 偏光板軸向測量装置および測量方法 | |
| JP6581338B2 (ja) | 液晶配向膜の状態測定装置 | |
| CN208026650U (zh) | 偏光片检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180929 |