JP4471822B2 - 結像光学装置及びレーザリペア装置 - Google Patents
結像光学装置及びレーザリペア装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4471822B2 JP4471822B2 JP2004348205A JP2004348205A JP4471822B2 JP 4471822 B2 JP4471822 B2 JP 4471822B2 JP 2004348205 A JP2004348205 A JP 2004348205A JP 2004348205 A JP2004348205 A JP 2004348205A JP 4471822 B2 JP4471822 B2 JP 4471822B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser beam
- repair
- prism
- laser light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 0 CC*(*)(CC1)CC(C)C1C(C)C Chemical compound CC*(*)(CC1)CC(C)C1C(C)C 0.000 description 2
Images
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
2;レーザ発振器
3;結像光学装置
4;ビームエキスパンダ
5;正四角錐形プリズム
5a〜5d;面
6;可変スリット部
7;結像用リレーレンズ
8;対物レンズ
9;回転用駆動モータ
10;回転用機構部
11a〜11d;スリット部材
12;開口部
21a〜21f;レーザ光
50;ワーク
101;光学装置
102;四角錐形プリズム
103a、103b;レーザ光
104;加工面
105;レーザ光103aの光軸垂直面における強度分布を表す線
106;レーザ光103bの加工面104における強度分布を表す線
Claims (6)
- レーザ光を照射することにより被修正対象物をリペアするレーザリペア装置に組み込まれ前記レーザ光をリペア形状に整形して前記被修正対象物に導く結像光学装置において、その中心軸が前記レーザ光の光軸と一致するように配置された角錐形プリズムと、この角錐形プリズムにより集光された前記レーザ光をリペア形状に整形するスリットと、このスリットの像を前記被修正対象物において結像させる光学素子と、前記角錐形プリズムをその中心軸を回転軸として回転させる回転手段と、を有することを特徴とする結像光学装置。
- 前記角錐形プリズムが正四角錐形プリズムであることを特徴とする請求項1に記載の結像光学装置。
- レーザ光を照射することにより被修正対象物をリペアするレーザリペア装置に組み込まれ前記レーザ光をリペア形状に整形して前記被修正対象物に導く結像光学装置において、その中心軸が前記レーザ光の光軸に対して傾斜し且つその頂点を前記レーザ光が通過するように配置された錐形プリズムと、この錐形プリズムにより集光された前記レーザ光をリペア形状に整形するスリットと、このスリットの像を前記被修正対象物において結像させる光学素子と、前記錐形プリズムを前記レーザ光の光軸を回転軸として回転させる回転手段と、を有することを特徴とする結像光学装置。
- 前記錐形プリズムが円錐形プリズムであることを特徴とする請求項3に記載の結像光学装置。
- レーザ光を照射することにより被修正対象物をリペアするレーザリペア装置において、レーザ発振器と、このレーザ発振器から出射されたレーザ光をリペア形状に整形して前記被修正対象物に導く結像光学装置と、を有し、前記結像光学装置が請求項1乃至4のいずれか1項に記載の結像光学装置であることを特徴とするレーザリペア装置。
- 前記被修正対象物における前記レーザ光が照射される位置にCVDの原料ガスを供給する原料ガス供給手段を有し、レーザCVDにより前記リペアを行うことを特徴とする請求項5に記載のレーザリペア装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004348205A JP4471822B2 (ja) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | 結像光学装置及びレーザリペア装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004348205A JP4471822B2 (ja) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | 結像光学装置及びレーザリペア装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006154595A JP2006154595A (ja) | 2006-06-15 |
JP4471822B2 true JP4471822B2 (ja) | 2010-06-02 |
Family
ID=36632953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004348205A Expired - Fee Related JP4471822B2 (ja) | 2004-12-01 | 2004-12-01 | 結像光学装置及びレーザリペア装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4471822B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009251381A (ja) * | 2008-04-08 | 2009-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ照射装置 |
JP5126547B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2013-01-23 | オムロン株式会社 | Cvd薄膜の形成方法及び装置 |
CN101846806B (zh) * | 2010-04-02 | 2012-06-06 | 深圳市量子通科技有限公司 | 一种光斑整形匀化的方法及激光红外照明器 |
CN104238121B (zh) * | 2014-07-11 | 2017-08-04 | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所 | 用于序列激光阴影照相系统的小孔滤光装置 |
CN105231991A (zh) * | 2015-08-27 | 2016-01-13 | 上海莫视智能科技有限公司 | 一种裂隙光源装置 |
CN111922515A (zh) * | 2020-09-01 | 2020-11-13 | 苏州科韵激光科技有限公司 | 一种激光修复装置 |
-
2004
- 2004-12-01 JP JP2004348205A patent/JP4471822B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006154595A (ja) | 2006-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI397787B (zh) | Exposure device | |
JP2008164729A (ja) | 光照射器及び光照射装置並びに露光方法 | |
TWI463270B (zh) | 雷射曝光裝置 | |
JP4368357B2 (ja) | 多照明源露光装置 | |
KR20150112747A (ko) | 광조사 장치 및 묘화 장치 | |
TW201344377A (zh) | 用於補償微影投影曝光系統的通道缺陷的設備及方法 | |
JP4471822B2 (ja) | 結像光学装置及びレーザリペア装置 | |
JP7226499B2 (ja) | 描画装置 | |
JP6780267B2 (ja) | レーザ照射装置 | |
JP2007029959A (ja) | レーザ加工機 | |
TWI417674B (zh) | 無遮罩曝光裝置、以及使用此裝置以製造用於顯示器之基板之方法 | |
WO2013191255A1 (ja) | 照明装置、処理装置、及びデバイス製造方法 | |
JP2009210726A (ja) | マスクレス露光装置 | |
KR102667683B1 (ko) | 패턴 묘화 장치 | |
KR102372650B1 (ko) | 투영 광학계, 노광 장치, 물품의 제조 방법, 및 조정 방법 | |
KR20140052840A (ko) | 레이저 조사 유닛 및 레이저 가공 장치 | |
WO2018193913A1 (ja) | 光照射装置 | |
WO2013179977A1 (ja) | 照明装置、処理装置、及びデバイス製造方法 | |
WO2022162896A1 (ja) | 露光装置 | |
JP4754703B2 (ja) | 照明光学系及びこれを備えるレーザー処理装置 | |
JP2012030267A (ja) | レーザビーム照射装置、およびレーザビーム照射方法 | |
KR102040341B1 (ko) | 조명 장치 | |
JP2009157325A (ja) | 露光照明装置及び露光パターンの位置ずれ調整方法 | |
JP5239830B2 (ja) | 照明光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 | |
US10962840B2 (en) | Recursive photoalignment method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070111 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070115 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080630 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100302 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100302 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130312 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140312 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |