JP2014119092A - 金属ロール及びその製造方法並びに金属ロールを用いた表面処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 回転軸13を有する金属製のインナードラム11と、該インナードラム11の外周面11aに内接し、該インナードラム11とは異種金属のアウターリング14とからなる金属ロールであって、前記インナードラム11とアウターリング14とが例えばレーザ又は電子ビームにより互いに溶接されている。インナードラム11とアウターリング14とは溶接の前に焼嵌めにより互いに結合されているのが好ましく、また、アウターリング14を構成する金属の線膨張係数はインナードラム11を構成する金属の線膨張係数よりも小さいのが好ましい。
【選択図】 図4
Description
アルミニウム製のインナードラムと、ステンレス製のアウターリングとからなる金属ロールを図3に示す製造方法に従って作製し、これを図1に示すような成膜装置50(スパッタリングウェブコータ)のキャンロール56として使用し、長尺樹脂フィルムFにスパッタリング成膜を施して、金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを作製した。
実施例1と同様のインナードラムとアウターリングとを使用したが、図5に示す製造方法に従ってインナードラムの外周面に複数の溝を備えた表面冷却キャンロールを作製し、これを実施例1と同様に成膜装置50に搭載して金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを作製した。
実施例1と同様のインナードラムとアウターリングとを使用したが、図2に示す製造方法に従ってキャンロールを作製した。すなわち、焼き嵌めは行ったが、溶接は行わなかった。以降は実施例1と同様にして外径が800mmになるまで切削・円筒研磨し、外周面に硬質クロムめっきを施してキャンロールを完成させた。この比較例1では、切削・円筒研磨工程の際に、薄くしたアウターリングが緩んでしまうトラブルが発生した。このキャンロールを実施例1と同様に成膜装置50に搭載して実施例1と同様の条件で金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを作製した。
インナードラムとアウターリングに両方ともアルミニウム製にした以外は比較例1と同様にしてキャンロールを作製した。このキャンロールを実施例1と同様に成膜装置50に搭載して実施例1と同様の条件で金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを作製した。
12 側面部
13 回転軸
14 アウターリング
15 溶接ビード
16 冷媒循環用パイプ
17 冷媒循環路
21 インナードラム
22 側面部
23 回転軸
24 アウターリング
25 溶接ビード
28 溝
29 突条部分
50 成膜装置
51 真空チャンバー
52 巻出ロール
53 フリーロール
54 張力センサロール
55 フィードロール
56 キャンロール
57 マグネトロンスパッタリングカソード
58 マグネトロンスパッタリングカソード
59 マグネトロンスパッタリングカソード
60 マグネトロンスパッタリングカソード
61 フィードロール
62 張力センサロール
63 フリーロール
64 巻取ロール
F 長尺樹脂フィルム
Claims (8)
- 回転軸を有する金属製のインナードラムと、該インナードラムの外周面に内接し、該インナードラムとは異種金属のアウターリングとからなる金属ロールであって、前記インナードラムと前記アウターリングとが互いに溶接されていることを特徴とする金属ロール。
- 前記アウターリングの線膨張係数が前記インナードラムの線膨張係数よりも小さいことを特徴とする、請求項1に記載の金属ロール。
- 前記溶接の前にアウターリングと前記インナードラムとが焼嵌めにより互いに結合されており、前記溶接がアウターリングの外周面側から照射したレーザ又は電子ビームによる溶接であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の金属ロール。
- 前記インナードラムの外周面には前記回転軸方向に延在する複数の溝が周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って設けられており、互いに隣接する溝の間の突条部分で前記溶接が行われていることを特徴とする、請求項3に記載の金属ロール。
- 内部に冷媒又は温媒が循環する機構を有すると共に外周面にロールツーロールで搬送される長尺の帯状物を巻き付ける搬送経路を備えたキャンロールと、前記キャンロールの外周面に対向して設けられ、前記外周面に巻き付けられている帯状物に熱負荷の掛かる表面処理を施す表面処理手段とを備えた表面処理装置であって、前記キャンロールが請求項1〜4のいずれかに記載の金属ロールであることを特徴とする表面処理装置。
- 前記表面処理手段が乾式めっき手段であることを特徴とする、請求項5に記載の表面処理装置。
- 前記乾式めっき手段がスパッタリングカソードであることを特徴とする、請求項6に記載の表面処理装置。
- 回転軸を有する金属製のインナードラムと、該インナードラムの外径よりも小さな内径を有し、該インナードラムとは異種金属のアウターリングとを用意し、焼き嵌めにより該インナードラムの外周面に該アウターリングの内面を内接させて結合する工程と、該アウターリングの外周面側からレーザ又は電子ビームを照射して該アウターリングと該インナードラムとを互いに溶接する工程とからなることを特徴とする金属ロールの製造方法。
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