JP2014115267A - 力学量センサ及び力学量センサシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】力センサ100は、Z方向及びX方向の力を受ける受力部40と、受力部40が受けるZ方向の力に応じて、第1回転方向へ回動し、受力部40が受けるX方向の力学量に応じて、第1回転方向へ回動するシーソー部30Aと、受力部40が受けるZ方向の力学量に応じて、第2回転方向へ回動し、受力部40が受けるXの力学量に応じて、第2回転方向とは反対方向へ回動するシーソー部30Cと、を備えるものである。
【選択図】図1D
Description
以下、図面を参照して実施の形態1について説明する。本実施の形態は、多軸力学量センサとして、力学量の一つである力を3軸で検出する力センサの例である。3軸の力センサは、X方向、Y方向、Z方向の力を検出可能である。図1Aは、本実施の形態に係る力センサ100の上面図である。図1Bは、力センサ100の封止基板を省略した下面透視図である。図1Cは、力センサ100の封止基板及び固定電極を省略した下面透視図である。図1Dは、図1Aにおける力センサ100のA−B側面断面図である。
以下、図面を参照して実施の形態2について説明する。本実施の形態は、実施の形態1に対し、可動支持部のみで力センサを構成した例である。図6Aは、本実施の形態に係る力センサ100の上面図である。図6Bは、図6Aにおける力センサ100のA−B側面断面図である。
以下、図面を参照して実施の形態3について説明する。本実施の形態は、実施の形態2に対し、3個のシーソー部で力センサを構成した例である。図8Aは、本実施の形態に係る力センサ100の上面図である。図8Bは、図8Aにおける力センサ100のA−B側面断面図である。
以下、図面を参照して実施の形態4について説明する。本実施の形態は、実施の形態2の力センサに対し、支持基板にダイアフラムを形成した例である。図9Aは、本実施の形態に係る力センサ100の上面図である。図9Bは、図9Aにおける力センサ100のA−B側面断面図である。
以下、図面を参照して実施の形態5について説明する。本実施の形態は、実施の形態2及び4の力センサに対し、突起を形成した例である。
以下、図面を参照して実施の形態6について説明する。本実施の形態は、実施の形態5の図11の力センサに対し、さらに封止部20を備えた例である。図12Aは、本実施の形態に係る力センサ100の封止基板を省略した下面透視図である。図12Bは、図12Aにおける力センサ100のA−B側面断面図である。
以下、図面を参照して実施の形態7について説明する。本実施の形態は、実施の形態6の力センサに対し、受力部にストッパーを形成した例である。図13Aは、本実施の形態に係る力センサ100の封止基板を省略した下面透視図であり、図13Bは、その拡大図である。図13Cは、図13Aにおける力センサ100のA−B側面断面図である。
以下、図面を参照して実施の形態8について説明する。本実施の形態は、実施の形態2に対し、2個のシーソー部で2軸の力を検出する力センサを構成した例である。2軸の力センサでは、例えば、X方向、Z方向の力を検出可能である。図15Aは、本実施の形態に係る力センサ100の上面図である。図15Bは、図15Aにおける力センサ100のA−B側面断面図である。
以下、図面を参照して実施の形態9について説明する。本実施の形態は、実施の形態8に対し、光学方式で可動部の変位を検出する例である。図17Aは、本実施の形態に係る力センサ100の上面図である。図17Bは、図17Aにおける力センサ100のA−B側面断面図である。
以下、図面を参照して実施の形態10について説明する。本実施の形態は、実施の形態2の力センサに対し、受力部を周辺部に配置した例である。図18Aは、本実施の形態に係る力センサ100の上面図である。図18Bは、図18Aにおける力センサ100のA−B側面断面図である。
以下、図面を参照して実施の形態11について説明する。本実施の形態は、実施の形態5及び6の構成を、力学量の一つである加速度を検出する加速度センサに適用した例である。
以下、図面を参照して実施の形態12について説明する。本実施の形態では、実施の形態1の力センサを用いて力を検出する力検出回路の例について説明する。
11 第1のシリコン層
11a 周辺部
12 絶縁膜
13 第2のシリコン層
13a 周辺部
14 貫通電極
15 固定部
20 封止部
21 封止基板
22 接合部
30A〜30D シーソー部
31A〜31D 可動電極
311、312 可動電極部
32A〜32D トーションビーム
33A〜33D ヒンジビーム
34 エッチングホール
35A〜35D 回転軸
40 受力部
41 受力板
42 ストッパー
43 エッチングホール
50A〜50D 固定電極対
51A〜51D、52A〜52D 固定電極
511、521 容量素子
53 ダミー電極
60 ダイアフラム
61 突起
62 質量体
70a〜70d 光学式距離測定装置
71a、71b 発光ダイオード
72a〜72d フォトダイオード
100 力センサ
101 加速度センサ
201〜204 差動演算回路
210a、210b チャージアンプ
211a、211b 抵抗
212a、212b コンデンサ
220 差動アンプ
221 オペアンプ
222〜225 抵抗
230 交流電源
300 マトリックス演算回路
401〜404 差動演算回路
410 スイッチング回路
411〜416 スイッチ
420 チャージアンプ
421 オペアンプ
422 抵抗
423 コンデンサ
424 スイッチ
Claims (26)
- 受力部と、
前記受力部が受ける第1方向の力学量に応じて、第1回転軸まわりに第1回転方向へ回動し、前記受力部が受ける前記第1方向とは異なる第2方向の力学量に応じて、前記第1回転軸まわりに前記第1回転方向へ回動する第1可動部と、
前記受力部が受ける前記第1方向の力学量に応じて、第2回転軸まわりに第2回転方向へ回動し、前記受力部が受ける前記第2方向の力学量に応じて、前記第2回転軸まわりに前記第2回転方向とは反対方向へ回動する第2可動部と、
を備え、
少なくとも前記第1方向の力学量及び前記第2方向の力学量を検出可能な力学量センサ。 - 前記受力部は、第1可動部と第2可動部との間に配置されている、
請求項1に記載の力学量センサ。 - 前記受力部は、第1可動部及び第2可動部を囲むように配置されている、
請求項1に記載の力学量センサ。 - 前記受力部と前記第1可動部を連結する第1連結部と、
前記受力部と前記第2可動部を連結する第2連結部と、を備える、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記第1連結部及び前記第2連結部は、撓み可能、かつ、捩れ可能なビーム状である、
請求項4に記載の力学量センサ。 - 前記第1連結部は、前記第1回転軸に沿う方向と交差する方向に伸びており、
前記第2連結部は、前記第2回転軸に沿う方向と交差する方向に伸びている、
請求項4または5に記載の力学量センサ。 - 前記第1可動部は、一端部から前記第1回転軸に向かって窪んだ第1凹部を有し、当該第1凹部の窪みに前記第1連結部が連結されており、
前記第2可動部は、一端部から前記第2回転軸に向かって窪んだ第2凹部を有し、当該第2凹部の窪みに前記第2連結部が連結されている、
請求項4乃至6のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記第1可動部及び前記第2可動部を前記第1回転軸及び前記第2回転軸まわりに回動可能に支持する支持部を備える、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記支持部は、前記第1可動部及び前記第2可動部が回動可能となるように、かつ、前記第1可動部及び前記第2可動部が前記第1可動部及び前記第2可動部の厚さ方向に変位不可能となるように、幅が細く、厚さが厚く、かつ、長さが短い、
請求項8に記載の力学量センサ。 - 前記第1可動部及び前記第2可動部を前記第1回転軸及び前記第2回転軸まわりに回動可能に支持する支持部を備え、
前記第1連結部及び前記第2連結部の回転剛性は、前記支持部の回転剛性よりも低い、
請求項4に記載の力学量センサ。 - 前記第1可動部及び前記第2可動部を支持する支持基板と、
前記支持基板に形成され、前記受力部に接続された撓み可能なダイアフラムと、を備える、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記第1可動部及び前記第2可動部を前記第1回転軸及び前記第2回転軸まわりに回動可能に支持する支持部と、
前記支持部を介して、前記第1可動部及び前記第2可動部を支持する支持基板と、
前記支持基板に形成され、前記受力部に接続された撓み可能なダイアフラムと、を備え、
前記ダイアフラムの厚さ方向の剛性は、前記第1連結部、前記第2連結部及び前記支持部の厚さ方向の剛性よりも高い、
請求項4に記載の力学量センサ。 - 前記受力部と力学的に接続された突起部を備える、
請求項1乃至12のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記受力部と力学的に接続された、加速度に応じて変位可能な質量体を備える、
請求項1乃至12のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記受力部、前記第1可動部及び前記第2可動部を封止する封止基板を備える、
請求項1乃至14のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記第1可動部及び前記第2可動部を支持する支持基板と、
前記支持基板に接合され、前記受力部、前記第1可動部及び前記第2可動部を封止する封止基板を備える、
請求項1乃至10のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記封止基板は、半導体集積回路基板を含む、
請求項15または16に記載の力学量センサ。 - 前記受力部は、当該受力部が変位したときに、前記第1可動部及び前記第2可動部よりも先に前記封止基板側に接する接触部を備え、
前記受力部は、前記第1方向の力学量及び前記第2方向の力学量を受ける受力板を備え、
前記接触部は、前記受力板の端部を拡張するように形成されている、
請求項15乃至17のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記接触部が接する前記封止基板側の接触部分は、前記受力部と同電位の電極、もしくは、絶縁体である、
請求項18に記載の力学量センサ。 - 前記第1可動部は、前記第1回転軸を挟んで第1可動電極及び第2可動電極を有し、
前記第2可動部は、前記第2回転軸を挟んで第3可動電極及び第4可動電極を有し、
前記第1可動電極と第1静電容量を構成する第1固定電極と、
前記第2可動電極と第2静電容量を構成する第2固定電極と、
前記第3可動電極と第3静電容量を構成する第3固定電極と、
前記第4可動電極と第4静電容量を構成する第4固定電極と、を備える、
請求項1乃至19のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記受力部が力学量を受けていない状態では、前記第1静電容量と前記第2静電容量とは略等しい容量であり、かつ、前記第3静電容量と前記第4静電容量とは略等しい容量である、
請求項20に記載の力学量センサ。 - 請求項20または21に記載の力学量センサと、
前記第1静電容量と前記第2静電容量の差と、前記第3静電容量と前記第4静電容量の差とを求める差動演算回路と、を備える、
力学量センサシステム。 - 前記求めた静電容量の差に対して変換マトリックスを乗算し、前記第1方向及び前記第2方向の力学量を求めるマトリックス演算回路を備える、
請求項22に記載の力学量センサシステム。 - 前記第1可動部のうち前記第1回転軸より一方の側部の第1位置を測定する第1測定部と、
前記第1可動部のうち前記第1回転軸より他方の側部の第2位置を測定する第2測定部と、
前記第2可動部のうち前記第2回転軸より一方の側部の第3位置を測定する第3測定部と、
前記第2可動部のうち前記第2回転軸より他方の側部の第4位置を測定する第4測定部と、を備える、
請求項1乃至19のいずれか一項に記載の力学量センサ。 - 前記第1測定部、第2測定部、第3測定部、及び第4測定部は、光学方式により、前記第1可動部及び前記第2可動部までの距離を測定する、
請求項24に記載の力学量センサ。 - 請求項24または25に記載の力学量センサと、
前記第1位置と前記第2位置の差と、前記第3位置と前記第4位置との差とを求める差動演算回路と、
前記求めた位置の差に対して変換マトリックスを乗算し、前記第1方向及び前記第2方向の力学量を求めるマトリックス演算回路と、を備える、
力学量センサシステム。
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