JP2014112247A - 移動体装置、露光装置、及び移動方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 液晶露光装置は、基板Pを保持する基板保持部材(PH、21)と、基板保持部材(PH、21)を下方から支持する装置本体60と、装置本体60を下方から支持するステップボード71と、ステップボード71を駆動する駆動装置を備えている。そして、駆動装置は、装置本体60がステップボード71に支持される状態が維持されるように、ステップボード71を駆動する。従って、基板を長ストロークで駆動することが可能になる。
【選択図】図2
Description
次に、上記実施形態の露光装置10をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記実施形態の露光装置10では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
まず、上述した露光装置10を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
Claims (15)
- 基板を保持する基板保持部材と、
前記基板保持部材を下方から支持する第一支持部材と、
前記第一支持部材を下方から支持する第二支持部材と、
前記第二支持部材を駆動する駆動装置を備え、
前記第一支持部材が前記第二支持部材に支持される状態が維持されるように、前記駆動装置は前記第二支持部材を駆動する移動体装置。 - 前記駆動装置は、さらに前記第一支持部材を駆動する請求項1に記載の移動体装置。
- 前記第一支持部材の重心に前記駆動装置の駆動力が作用して前記第一支持部材が移動する請求項2に記載の移動体装置。
- 前記第一支持部材が移動する方向と同じ方向に、前記第二支持部材が移動する請求項2又は3に記載の移動体装置。
- 前記第一支持部材の移動に追従して前記第二支持部材が移動する請求項4に記載の移動体装置。
- 前記第二支持部材は、前記第一支持部材の移動速度よりも遅い速度で前記第一支持部材に追従する請求項5に記載の移動体装置。
- 前記駆動装置は、
前記基板保持部材を支持した前記第一支持部材を第1方向に駆動する第一駆動部と、
前記第一支持部材と前記第二支持部材とを、前記第1方向と交差する第2方向に駆動する第二駆動部を備える請求項1に記載の移動体装置。 - 前記第二駆動部は、前記第一支持部材と前記第二支持部材とともに、前記第一駆動部を前記第2方向に駆動する請求項7に記載の移動体装置。
- 前記第二支持部材と前記第一支持部材が互いに機械的に接続されることにより、前記第一支持部材が前記第二支持部材に支持される請求項1〜8のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記駆動装置は、アクチュエータ又は送りねじを含む請求項1〜9のいずれか一項に記載の移動体装置。
- エネルギビームの照射により基板を露光する露光装置であって、
前記基板保持部材に前記基板が保持される請求項1〜10のいずれか一項に記載の移動体装置と、
前記基板保持部材上に載置された前記基板に前記エネルギビームを照射するパターニング装置と、を備える露光装置。 - 前記基板は前記移動体装置に保持されて第1方向に走査しながら露光され、
前記第一支持部材が前記第二支持部材に支持される状態が維持されるように、前記第二支持部材は前記第1方向に交差する第2方向に駆動される請求項11に記載の露光装置。 - 基板を基板保持部材で保持して移動させる移動方法であって、
第一支持部材を用いて前記基板保持材を下方から支持することと、
第二支持部材を用いて前記第一支持部材を下方から支持することと、
前記第一支持部材が前記第二支持部材に支持される状態が維持されるように、前記第二支持部材を移動させることと、を含む移動方法。 - 前記第一支持部材を第1方向に移動させることと、
前記第一支持部材が移動する方向と同じ方向に、前記第二支持部材を移動させることを含む請求項1〜13のいずれか一項に記載の移動方法。 - 前記第二支持部材を、前記第一支持部材の移動に追従させて移動させる請求項1〜14のいずれか一項に記載の移動方法。
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