JP2014111298A - ホットメルト接着剤を用いた平面研削加工方法と平面研削用溝付マグネットチャック及び溝付保持プレート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 平面加工用マグネットチャックや真空チャック上に搭載された被研削物2(主として非磁性体)をホットメルト接着剤1で固定するか又は溝6を設けた溝付マグネットチャックや溝付プレートの上面に被研削物を搭載しホットメルト接着剤1で固定して研削加工を行う。
【選択図】図8
Description
a)被研削物に反りがある場合に、反りが矯正された状態で固定されてしまうため、解放後に反りが戻り高精度研削が出来ない問題点がある他、真空チャックの場合、被研削物の形状によってはシールが困難となる問題点がある。また、小さな被研削物は保持力が小さく、固定が困難な場合が生ずる。
b)薄鋼板の加圧により被研削物の浮き上がりや反りが発生する恐れがあり加圧に熟練を要する。また、単純な輪郭形状のものでないと固定がしにくい。また、薄鋼板を置くための余分なスペースが必要となる等の問題点がある。
c)バイスの加圧力により被研削物に浮き上がりや反りが発生する。単純な輪郭形状のものではないと固定しにくい。大きな被研削物は固定しにくい。大きな被研削物は固定しにくい。バイスやゲタ(支持台)等の精度保持が必要。
d)被研削物の反りが矯正された状態で固定されてしまうため解放後に反りが戻る。また、ジクの精度保持が必要。
e)接着や剥離に時間がかかる。剥離剤が必要,洗浄に手間がかかる,接着層の厚さが不明確,不均一で固定精度の保持や再生が悪い,加圧による反りの矯正が必要,熱影響による反りの発生,ベース板の精度維持が必要,耐水性が低く,湿式加工には不向き(特に両面テープの場合)。
f)これ等はいずれも高価でほぼ専用機となってしまう。一方、これ等のシステムが不要の加工に対してはコスト高となる恐れがある。
1)ホットメルトをワークとチャックの間に充填する方法であり、本件とは接着方法が異なる。
2)溝形状、パターンは酷似しているが、接着剤を逃がすための溝であり、溝の目的が異なる。
3)加熱・冷却機能を有するチャックに適用するものであり、ただのプレートやマグネットチャックでは該当しない。
4)溝の大きさについて、言及していない。
1)瞬間接着剤を使う方法であり、本件とは使用する接着剤が異なる。
2)接着剤を充填するための溝であり溝の目的が異なる。
3)溝深さが0.01〜0.1mmに限定されており、本件とは溝の大きさが異なる。
この深さでは、浮き上がり防止効果は期待出来ない。
1)溝の働きがPDPの画像向上機能を有するフィルター構造に関するものであり、本件とは目的や用途が異なる。
2)溝幅、深さ、ピッチが夫々数μmから数百μmを想定しており、数mm単位の溝である本件とは溝の大きさが異なる。
3)溝に充填されるのは光吸収部剤であり、研削液や空気を流す本件とは異なる。
4)ホットメルト接着剤の用途はコントラスト向上層と電磁波遮蔽層を接着し、フィルター構造をなすために用いられており、加工部材の仮止めのために用いる本件とは異なる。
1)溝の働きがCD等の光記憶/再生媒体に関するものであり、本件とは目的や用途が異なる。
2)溝形状が同心円状であり、直線を基本とした本件とは、溝のパターンが異なる。
3)溝幅、深さ、ピッチが数μm以下〜数+μmを想定しており、数mm単位の溝である本件とは溝の大きさが異なる。
4)溝に充填されるのは色素であり、保護層、色素層、反射層の各層を接着し、CDを構成するものであり、加工部材の仮止めのために用いる本件とは異なる。
図2には図1に示した被研削物2におけるホットメルト接着剤1をグルーガン4で固着させている状態と砥石5による平面加工状態の一例を示すものであり、研削加工時には図略の研削液が提供される。
ホットメルト接着剤1は、100%固形分で、熱すれば液体化し、冷めれば再び固形化する性質を持っている。従って、液状である間に被着材の表面を濡らし、冷えて固形化する過程で緊密な接着が行われる。圧着されれば、(被着材に熱が奪われて)冷却スピードが増し、秒速での接着が可能になる。
ホットメルト接着剤1がある一定の長さで塗布した場合、塗布部(接着部)全体では研削力に十分対抗できる接着力を有している。
しかし、剥離の際は、前記のようにピンセットなどの器具を用いて、塗布後固化したホットメルト接着剤1の端部をつまみ上げることにより、端部から徐々にかつ連続的に固化したホットメルト接着剤1を剥離させることが出来る。
これはホットメルト接着剤1が強くかつ弾性を持った固体であることを利用した剥離方法であり、剥離力は接着力に比較して極めて小さい力ですむ。
図3の場合、溝6は磁極部材19の配列方向と一致した方向に形成されており、その断面形状はV型のものからなるが、その形状はこれに限定するものではなく、但し図3(b)に示すように溝6の巾寸法(a)は1mm乃至10mmで深さ(b)は1mm乃至10mmのものからなる。
ホットメルト接着剤1は前記のような性質を有するものであるが熱可塑性ポルマをベースとしたものであり、被研削物2とマグネットチャック3等との間に隙間が生じ易く、浮き上がりが生じ安い。溝6はこの浮き上がりを防止すると共に被研削物2がマグネットチャック3側に吸着することを防止する効果があり、かつ溝6内を流れる研削液により冷却され冷却性の向上を図ることが出来る。
また、巾寸法(a)や深さ(b)は前記の値に限定したのはこの数値の保持により前記の溝6の存在機能を満足させるものであり、その値は被研削物2の形状,材質や研削液の性質により適宜決定されるものである。
また、図示していないが溝6の形成方向は図3及び図4の方向に限定するものでなく、例えば斜め方向でもよい。
2 被研削物
3 マクネットチャック
3A 真空チャック
4 グルーガン
5 砥石
6 溝
7 磁極部材
8 磁極部材
9 仕切板
10 溝付プレート
100 溝付マグネットチャック
100A 溝付マグネットチャック
Claims (4)
- マグネットチャックの表面又は該マグネットチャックの表面側に磁着するプレートの表面又は真空チャックに吸着するプレートの表面に種々な形状の単一又は複数の被研削物を研削抵抗以上の保持力を有する保持手段により着脱可能に固定し前記被研削物を研削加工するための加工方法であって、前記被研削物は磁性体又は非磁性体からなり、前記保持手段としてホットメルト接着剤を用い、該ホットメルト接着剤は60℃乃至120℃に加温し前記被研削物の側面に固着して使用することを特徴とするホットメルト接着剤を用いた研削加工方法。
- 研削盤で種々形状の単一又は複数の磁性体又は非磁性体からなる被研削物を浮き上がり防止や吸着防止や冷却性を向上した状態で研削加工するために使用するマグネットチャック又は該マグネットチャックの表面側に磁着するプレート又は真空チャックの表面側に吸着されるプレートに関するもので前記のチャックやプレートの表面側に接触して配設される前記被研削物を直接又はホットメルト接着剤により固定して前記被研削物を研削加工するために使用する保持具であって、該保持具はその表面に種々のパターンや形状の溝を形成するものからなり、該溝の面積が前記保持具に接触して配設される被研削物の接触部における面積20%以上のものからなり、その巾寸法が1mm乃至10mmで深さが1mm乃至10mmのものからなることを特徴とする研削加工用溝付マグネットチャック及び溝付プレート。
- 前記溝が分離型や寸法及び/又は形成方向の相異するものからなることを特徴とする請求項2に記載の研削加工用マグネットチャック及び溝付プレート
- 請求項1又は2に記載のホットメルト接着剤が100%固形分の熱可塑性ポリマをベースにしたものからなることを特徴とするホットメルト接着剤を用いた研削加工方法又は研削加工用マグネットチャック及び溝付プレート。
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