JP2014110398A - シートの貼付装置 - Google Patents

Abstract

【課題】帯状素材の長手方向の無駄が生じず、且つ、ローラーを交換することなく種々の大きさの貼付シートを形成してワークに貼付可能なシートの貼付装置を提供する。
【解決手段】貼付装置は帯状素材Ｍを送る帯状素材運搬機構と、ローラーにシート状刃物が巻回されたカッティングローラー２１を有し、カッティングローラー２１の回転によりフィルムに閉ループの切り込みを入れて貼付シートを形成するプリカット機構２０と、帯状素材運搬機構の駆動を制御する制御部１００とを備える。シート状刃物がローラーに着脱自在であり、制御部１００の制御により、帯状素材Ｍを送るとともにカッティングローラー２１が回転して閉ループの一部の切り込みを入れた後、カッティングローラー２１が回転したまま帯状素材Ｍの送りを停止し、カッティングローラー２１が所定角度回転した後に帯状素材Ｍの送りを開始して閉ループの残りの切り込みを入れて貼付シートを形成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、シートの貼付装置に関する。

各種ワークへの保護シートの貼着、或いは、各種ワーク同士の固定等、薄膜状のシートを各種ワークに貼付することが工業的に行われている。例えば、半導体ウエハをダイシングする際、半導体ウエハをリングフレームの内側領域に配置し、それらの面にダイシングテープを貼着し、リングフレームに半導体ウエハを固定することが行われている。

リングフレームに半導体ウエハを固定する方法及び装置として、例えば、特許文献１、２に開示の発明がある。

特許文献１に開示の発明は、ベースシートにダイシングテープ形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する支持手段と、ダイカットローラーにより帯状素材のフィルム面に切り込みを設けてダイシングテープを形成するプリカット手段と、ダイシングテープをベースシートから剥離してリングフレーム及び半導体ウエハに貼着する貼合手段とを備えている。ダイカットローラーは略円形状の刃を備え、これにより、閉ループの切れ込みを設けた後、ダイカットローラーをスリップさせ、次の閉ループの切れ込みを設けている。

また、特許文献２の装置では、シート状刃物が巻回されたカッティングローラーを備え、カッティングローラーが回転してフィルムに切れ込みを施し、互いに線接触した貼付シートを形成し、ワークに貼付シートを貼付している。

特開２００９−１３２５２９号公報 特開２０１１−１９２８５０号公報

特許文献１では、閉ループと閉ループとの間隔を狭くしているものの、ダイカットローラーをスリップさせているのは、閉ループを形成してから次の閉ループを形成するまでの間であり、閉ループと閉ループとの隙間を完全になくせるものではない。したがって、帯状シートの長手方向については、貼付シートとして使用されない無駄な部分が生じてしまう。

また、特許文献２では、帯状シートの長手方向への無駄は生じない。しかし、形成される貼付シートの直径は、カッティングローラーの周長に限定されてしまうため、種々の大きさの閉ループの貼付シートを形成しようとする場合、異なる径のカッティングローラーが必要になる。

本発明は、上記事項に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、帯状素材の長手方向の無駄が生じず、且つ、ローラーを交換することなく種々の大きさの貼付シートを形成してワークに貼付可能なシートの貼付装置を提供することにある。

本発明に係るシートの貼付装置は、
円形状のワークが載置されるテーブルと、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する帯状素材支持機構と、
前記帯状素材を送る帯状素材運搬機構と、
ローラーにシート状刃物が巻回されたカッティングローラーを有し、前記カッティングローラーの回転により前記フィルムに閉ループの切り込みを入れて貼付シートを形成するプリカット機構と、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する貼合機構と、
前記帯状素材運搬機構の駆動を制御する制御部と、を備え、
前記シート状刃物が前記ローラーに着脱自在であり、
前記プリカット機構では、前記制御部の制御により、前記帯状素材を送るとともに前記カッティングローラーが回転して閉ループの一部の切り込みを入れた後、前記帯状素材の送りを停止し、前記カッティングローラーが所定角度回転した後に前記帯状素材の送りを再開して閉ループの残りの切り込みを入れて貼付シートを形成する、
ことを特徴とする。

また、前記カッティングローラーの変位を検知するセンサを備え、
前記センサの検知に基づいて前記制御部が前記帯状素材の移動の停止及び開始を制御してもよい。

また、前記シート状刃物が磁力によって前記ローラーに着脱自在であることが好ましい。

また、前記シート状刃物は、前記ローラーの軸に平行な直線部を有し、前記直線部による切り込みで互いに直線状に線接触した前記貼付シートを形成してもよい。

本発明に係る貼付装置では、互いに接触する貼付シートを形成することができるので帯状素材の長手方向の無駄が生じない。そして、シート状刃物を交換するだけで、ローラーを交換することなく、種々の大きさの貼付シートを形成してワークに貼付可能である。

マウント装置の概略構成図である。 帯状素材の斜視図である。 （Ａ）はカッティングローラーの斜視図、（Ｂ）はカッティングローラーの側面図である。 （Ａ）はシート状刃物の平面図、（Ｂ）はシート状刃物の側面図である。 （Ａ）はカッティングローラーがシートに切り込みを施している様子を説明する図であり、（Ｂ）はフィルムに施された切れ込みの状態を説明する図である。 （Ａ）はカッティングローラーがシートに切り込みを施している様子を説明する図であり、（Ｂ）はフィルムに施された切れ込みの状態を説明する図である。 （Ａ）はカッティングローラーがシートに切り込みを施している様子を説明する図であり、（Ｂ）はフィルムに施された切れ込みの状態を説明する図である。 （Ａ）はカッティングローラーがシートに切り込みを施している様子を説明する図であり、（Ｂ）はフィルムに施された切れ込みの状態を説明する図である。 （Ａ）はカッティングローラーがシートに切り込みを施している様子を説明する図であり、（Ｂ）はフィルムに施された切れ込みの状態を説明する図である。 閉ループの貼付シートが形成された帯状素材の平面図である。 テンション調整機構の概略構成図である。 （Ａ）は可動ローラーが上限位置まで上昇した際の状態図、（Ｂ）は可動ローラーが下限位置まで下降した際の状態図である。 （Ａ）は可動ローラーが上限位置をオーバーランした際の状態図、（Ｂ）は可動ローラーが下限位置をオーバーランした際の状態図である。 テーブルにリングフレーム及び半導体ウエハが配置された状態を示す平面図である。 （Ａ）〜（Ｃ）は貼り合わせの様子を示す図である。 （Ａ）〜（Ｄ）は貼り合わせの様子を示す図である。 リングフレームに半導体ウエハが固定された状態を示す平面図である。 他の形態に係るシート状刃物の平面図である。 他の形態に係るシート状刃物の平面図である。 （Ａ）は他の形態に係るシート状刃物の平面図であり、（Ｂ）は他の形態に係るシート状刃物を備えるカッティングローラーの側面図である。

貼付装置及び貼付方法について、以下、図を参照しつつ、具体的な一例である半導体ウエハのマウント装置及びマウント方法を例にとり説明する。マウント装置１は、半導体ウエハＷのダイシングを行うに際し、半導体ウエハＷをリングフレームＲＦに固定するために用いられる装置である。

本実施の形態に係るマウント装置１は、図１に示すように、ベースシートＢＳの一方の面に貼付シートＳ形成用のフィルムＦが貼着された帯状素材Ｍを支持する帯状素材支持機構１０と、リングフレームＲＦの大きさに応じてフィルムＦに切り込みを施し、帯状素材Ｍの長手方向に連続して直列に並び、且つ、それぞれ接触する貼付シートＳを形成するプリカット機構２０と、貼付シートＳをベースシートＢＳから剥離し、貼付シートＳをリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼着して半導体ウエハＷをリングフレームＲＦに固定する貼合機構５０と、帯状素材Ｍを運搬する駆動ローラー６０と、各機構を制御する制御部１００と、を備える。

帯状素材Ｍは、図２に示すように、ベースシートＢＳの一方の面に貼付シートＳ形成用のフィルムＦが貼着された構造である。フィルムＦはベースシートＢＳから剥離可能な構成である。この帯状素材Ｍは、帯状素材支持機構１０としての巻き出しローラー１１にロール状に巻回されて支持されている。

帯状素材Ｍは、帯状素材支持機構１０の巻き出しローラー１１から巻き出され、プリカット機構２０、テンション調整機構３０、貼合機構５０を順次通過した後、巻き取りローラー７０に巻き取られてゆく。

帯状素材Ｍの巻き出しは、主として駆動ローラー６０及び巻き取りローラー７０によって行われる。駆動ローラー６０及び巻き取りローラー７０は、それぞれ不図示のモーター等の駆動装置によって、矢印で示すように帯状素材Ｍを巻き出しローラー１１から引き出し、巻き取りローラー７０で巻き取る方向（以下、順方向とも言う）へ回転駆動される。

巻き出しローラー１１から引き出された帯状素材Ｍは、ガイドローラー１２を介して、プリカット機構２０へと向かう。なお、巻き出しローラー１１は、巻き出される帯状素材Ｍが弛まないよう、不図示のモーター等の駆動装置により、巻き出し方向とは逆向き（以下、逆方向ともいう）に回転駆動し、帯状素材Ｍにテンションをかけている。

プリカット機構２０は、主としてカッティングローラー２１とカッター受けローラー２６から構成されている。プリカット機構２０は、帯状素材Ｍがカッティングローラー２１とカッター受けローラー２６の間を通過する際に、帯状素材ＭのフィルムＦに切り込みを施し、貼付シートＳを形成する機構である。カッティングローラー２１は、制御部１００の制御により駆動が制御される駆動装置（不図示）によって、順方向に回転駆動される。

カッティングローラー２１は、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ローラー２５とローラー２５面から径方向に突出した刃２４が形成された構成である。より具体的には、カッティングローラー２１は、図４（Ａ）、（Ｂ）に示すシート状刃物２２ａが、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、ローラー２５の外周面に巻回されて構成されている。

シート状刃物２２ａは、矩形のシート２３上に刃２４が立設し、一体的に形成された構造である。図４（Ａ）に示すように、シート状刃物２２ａの刃２４は、平面視で略半円弧状の刃２４Ａ、２４Ｂが２つ、それぞれの円弧の中央部が接するように形成されている。そして、それぞれの円弧が接する箇所は直線部２４ａとして直線状に形成されている。この直線部２４ａは、シート状刃物２２ａがローラー２５に巻かれた際、ローラー２５の軸に平行になるよう形成されている。

また、刃２４のローラー２５の回転方向の両端部は、それぞれローラー２５の回転方向に沿って直線部２４ｂ〜２４ｅが形成されている。また、それぞれの円弧状の刃２４Ａ、２４Ｂの両端、即ち、直線部２４ｂ〜２４ｅのローラー２５の回転方向における端部は、シート２３の端部からそれぞれ離間している。即ち、シート２３のローラーの回転方向の長さＬｘよりも、刃２４のローラーの回転方向の長さＬｘ１の方が短い。なお、シート２３のローラーの回転方向の長さＬｘは、ローラー２５の周長と同じになるよう構成されている。また、シート２３のローラーの軸方向の長さＬｙは、用いられるローラー２５に応じて設定される。

このシート状刃物２２ａがローラー２５に巻かれることで、図３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、シート２３のローラーの回転方向の両端が接触しても、刃２４Ａ、２４Ｂの両端、即ち、直線部２４ｂと直線部２４ｃとが、また、直線部２４ｄと直線部２４ｅとがそれぞれ接触しないようになっている。即ち、カッティングローラー２１が一回転する際、周方向の直線部２４ｄ（直線部２４ｂ）の端部−カッティングローター２１の軸−直線部２４ｅ（直線部２４ｃ）で規定される角度だけ、刃２４がない領域（スリップ領域）が存在することとなる。

上記のプリカット機構２０では、帯状素材ＭのフィルムＦの面がカッティングローラー２１に対向するように、帯状素材Ｍを通過させるので、カッティングローラー２１とカッター受けローラー２６の押圧及び回転により、刃２４がフィルムＦに食い込み、切り込みが施される。

上記のカッティングローラーによるプリカット動作について、図５〜図１０を参照しつつ説明する。これらのプリカット動作は、制御部１００の制御により行われる。なお、図５〜図９では、説明の容易化のため、カッター受けローラー２６の描写を省略している。

まず、図５（Ａ）に示す刃２４の直線部２４ａがフィルムＦに接触して切り込みを施している状態から、カッティングローラー２１を回転させるとともに、帯状素材Ｍの送りを開始させる。なお、帯状素材Ｍの送り開始時では、図５（Ｂ）に示すように、フィルムＦには刃２４の直線部２４ａにより、直線状の切れ込みが施される。

図６（Ａ）に示すように、帯状素材Ｍの順方向への送り、及び、カッティングローラー２１の回転が進行することで、図６（Ｂ）に示すように、半円弧状の切れ込み（閉ループの一部の切れ込み）が施される。そして、カッティングローラー２１の刃２４がない領域まで回転した後、制御部１００は、帯状素材Ｍの送りを停止させる。なお、不図示のレーザー変位計等の変位センサによりカッティングローラー２１を監視しておき、カッティングローラー２１の刃２４がない領域まで回転したタイミングで変位センサがこれを検知し、この変位センサの検知に基づき、制御部１００が帯状素材Ｍの順方向への送りを停止させる。

そして、図７（Ａ）に示すように、帯状素材Ｍの順方向への送りが停止している状態で、カッティングローラー２１が所定角度θほど回転する。この間、刃２４はフィルムＦに接触しないため、図７（Ｂ）に示すように、フィルムＦへの切り込みは施されない。

そして、カッティングローラー２１が所定角度θ回転した後、図８（Ａ）に示すように、帯状素材Ｍの順方向への送りが開始される。カッティングローラー２１が所定角度θほど回転し、刃２４がない領域から刃２４がある領域まで回転したことを変位センサが検知し、この検知に基づいて制御部１００は、帯状素材Ｍの順方向への送りを開始させる。

そして、図９（Ａ）に示すように、カッティングローラー２１の回転、及び、帯状素材Ｍの送りが進行し、カッティングローラー２１が一回転すると、図９（Ｂ）に示すように、残りの閉ループの切れ込みが施される。これにより、略円形状の貼付シートＳが形成される。

以下、上記で記した動作が順次連続して行われることにより、帯状素材Ｍの長手方向に連続して貼付シートＳが複数形成される。

なお、フィルムＦのみに切り込みが施されるように、刃２４の長さ及びカッティングローラー２１の押圧力等が設定されているので、ベースシートＢＳまでは切れ込みが施されない。

図１０に、複数の略円形状の貼付シートＳａ〜Ｓｇが形成された帯状素材Ｍの平面図を示す。シート状刃物２２ａでは、刃２４の直線部２４ａでそれぞれの貼付シートＳを分割するよう形成するので、貼付シートＳは、それぞれ隣り合う貼付シートＳと直線状に線接触して形成される。一例を示すと、貼付シートＳｂは貼付シートＳａ及び貼付シートＳｃとそれぞれ帯状素材Ｍの長手方向に線接触して形成されている。

それぞれの貼付シートＳが互いに接触して形成されるので、それぞれの貼付シートＳａ〜Ｓｇの間にはフィルムＦが残らない。このため、帯状素材Ｍを無駄なく使用でき、一巻きの帯状素材Ｍから形成できる貼付シートＳの数が増加するので、帯状素材Ｍのコストの低減を実現できる。更に、帯状素材Ｍの消費量が低減するので、省資源化にも有効である。

上述のようにしてプリカット機構２０で貼付シートＳが形成された帯状素材Ｍは、テンション調整機構３０へと向かう。テンション調整機構３０は、前述したプリカット機構２０による帯状素材Ｍの送り速度と駆動ローラー６０による帯状素材Ｍの送り速度との誤差を吸収し、前述のプリカット機構２０において均一形状の貼付シートＳが形成されるよう、また、後述する貼合機構において帯状素材Ｍの弛みをなくし、ベースシートＢＳから貼付シートＳが剥離しやすいよう、帯状素材Ｍに適度なテンションを与える機構である。

テンション調整機構３０は、図１１に示すように、主として可動ローラー位置検出センサ３１、センサドグ３２、可動ローラー３３、ばね３４、から構成される。

可動ローラー３３は弾性体であるばね３４を介して吊り下げられている。可動ローラー３３は図１、図１１において上下方向に揺動自在に支持されている。可動ローラー３３の上方を帯状素材Ｍが通過する。センサドグ３２は可動ローラー３３の回転に支障を与えることなく、可動ローラー３３の上下方向への移動に追従するよう、一体的に設けられている。

可動ローラー位置検出センサ３１は、可動ローラー３３の移動方向に沿って、配置された上限センサ３１ａ、共通センサ３１ｂ、及び、下限センサ３１ｃから構成される。上限センサ３１ａ、共通センサ３１ｂ、及び、下限センサ３１ｃはそれぞれ可動ローラー３３と一体的に設けられたセンサドグ３２の位置を検出するセンサである。上限センサ３１ａはセンサドグ３２の上限位置を検出し、下限センサ３１ｃはセンサドグ３２の下限位置を検出し、共通センサ３１ｂはセンサドグのオーバーラン状態をそれぞれ検出する。

例えば、プリカット機構２０での帯状素材Ｍの送り速度が、駆動ローラー６０による送り速度よりも速い場合、図１２（Ａ）に示すように、可動ローラー３３は上昇する。そして、可動ローラー３３の上昇に追従してセンサドグ３２も上昇する。この場合、センサドグ３２を上限センサ３１ａが検出するので、プリカット機構２０の駆動及び／又は駆動ローラー６０の駆動を制御する。これらの制御は制御部１００により行われる。図１２（Ａ）に２つの矢印の大きさで示すが、相対的に駆動ローラー６０の送り速度をプリカット機構２０による送り速度よりも速くすることで、白抜き矢印で示すように可動ローラー３３が下降し、適正な位置に戻る。例えば、プリカット機構２０のカッティングローラー２１の駆動が停止するように制御すればよい。

一方、プリカット機構２０での帯状素材Ｍの送り速度が、駆動ローラー６０による送り速度よりも遅い場合、図１２（Ｂ）に示すように、可動ローラー３３は下降する。そして、可動ローラー３３の下降に追従してセンサドグ３２も下降する。この場合、センサドグ３２を下限センサ３１ｃが検出するので、プリカット機構２０の駆動及び／又は駆動ローラー６０の駆動を制御する。図１２（Ｂ）に２つの矢印の大きさで示すが、相対的に駆動ローラー６０の送り速度をプリカット機構２０による送り速度よりも遅くすることで、白抜き矢印で示すように可動ローラー３３が上昇し、適正な位置に戻る。例えば、プリカット機構２０のカッティングローラー２１の回転速度を速めるように制御すればよい。

また、図１３（Ａ）、（Ｂ）に示すように、何らかの異常によって可動ローラー３３が過度に上昇或いは下降した場合、センサドグ３２を共通センサ３１ｂが検出できなくなる。このように共通センサ３１ｂによる検出ができない場合、異常が生じたものとしてマウント装置１の駆動停止や、音や光或いは表示等で異常を報知するよう制御してもよい。

なお、上記のセンサはセンサドグ３２の位置を検出できるものであれば、赤外線センサや超音波センサ等、いずれを用いてもよい。センサドグ３２を用いた例について説明したが、直接可動ローラー３３の位置を検出する形態であってもよい。

帯状素材Ｍはテンション調整機構３０を通過した後、テンションローラー４１及びガイドローラー４２を通過する。テンションローラー４１は不図示のモーター等の駆動装置で回転駆動されている。テンションローラー４１は帯状素材Ｍが後述する貼合機構５０の剥離板５１近傍にて適度な張りが生じるよう、逆方向へバックテンションが加わるように回転している。

なお、駆動ローラー６０による帯状素材Ｍを順方向へ送る力は、テンションローラー４１による逆方向へバックテンションを加える力よりも大きくなるよう、制御部１００によってそれぞれのモーター等の駆動装置が制御されている。

テンションローラー４１及びガイドローラー４２を通過した帯状素材Ｍは、続いて貼合機構５０へと送られる。

貼合機構５０は、主として剥離板５１と貼付ローラー５２とで構成されている。貼合機構５０は剥離板５１にてベースシートＢＳから剥離した貼付シートＳを、貼付ローラー５２にてテーブル８０上に載置されているリングフレームＲＦと半導体ウエハＷに貼着する機構である。

テーブル８０は、略環状のリングフレームＲＦ及び略円形状の半導体ウエハＷが載置される台である。テーブル８０は、貼付ローラー５２の下方においてマウント装置１の内方−外方（図１において左右方向）へ移動可能に構成されている。

テーブル８０には、図１４に示すように、リングフレームＲＦの内側領域に半導体ウエハＷが配置されるよう、リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷがそれぞれ載置される。リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷは、それぞれテーブル８０上の所定位置に載置されるようになっている。例えば、テーブル８０上面に突出する位置決めピンやテーブル上面に設けられた窪み等により、それぞれ一定の位置に載置されるよう構成される。また、貼付シートＳを貼着させる際にずれたりしないよう、テーブル８０上面に吸着孔を設け、減圧ポンプによってリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷがテーブル８０の所定位置に保持されるように構成されていてもよい。

続いて、図１５、図１６を参照しつつ、貼り合わせの工程について説明する。まず、テーブル８０がマウント装置１から外方に出ている状態で、上記のようにテーブル８０上にリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷを載置する。

そして、図１５（Ａ）に示すように、テーブル８０はマウント装置１内方へと移動する。また、貼付シートＳａの先端部をベースシートＢＳから剥離し、貼付ローラー５２の下方へ達するまで剥離板５１から突出させる。帯状素材Ｍは剥離板５１にて急激に反転され、折り返しながら巻き取られるので、ベースシートＢＳから貼付シートＳａが剥離される。なお、貼付シートＳａがベースシートＢＳから正常に剥離したことを剥離検出センサ９０で検出する。

そして、図１５（Ｂ）に示すように、テーブル８０はリングフレームＲＦの端部が貼付ローラー５２の下方まで達し、停止する。

その後、図１５（Ｃ）に示すように、貼付ローラー５２が下降する。貼付ローラー５２の押圧により、貼付シートＳａの端部がリングフレームＲＦに貼着される。

続いて、図１６（Ａ）、（Ｂ）に示すように、貼付ローラー５２の押圧が維持された状態で、テーブル８０がマウント装置１の外方へ移動する。テーブル８０の移動に伴って、リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷも移動する。剥離板５１からの貼付シートＳａの送り出し、及び、貼付ローラー５２の押圧が維持された状態でテーブル８０が移動するため、貼付ローラー５２が回転しつつ、貼付シートＳａが順次リングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼着されていく。なお、貼付シートＳａの送り出しはテーブル８０の移動速度と同期をとって略同じ速度で送り出される。

そして、図１６（Ｃ）に示すように、貼付ローラー５２が貼付シートＳａの右端部付近まで移動したなら、貼付シートＳａの送り出しを停止させる。なお、この状態ではテーブル８０の移動（図中、左方向への移動）は継続している。

このように、テーブル８０の移動よりも、貼付シートＳａの送り出しを早期に停止させるとよい。帯状素材Ｍには貼付シートＳａ、Ｓｂが互いに接触して形成されているので、テーブル８０の移動停止と貼付シートＳａの送り出し停止を同時に行うと、貼付シートＳａに接触している貼付シートＳｂの端部が送り出されてしまい、貼付ローラー５２で押圧されるおそれがある。

なお、テーブル８０の移動停止よりも早期に貼付シートＳａの送り出しを停止させることは、制御部１００にて行われる。

なお、テーブル８０の移動停止よりも早期に貼付シートＳａの送り出しを停止しても、既に貼付シートＳａの大部分はリングフレームＲＦ及び半導体ウエハＷに貼着されているため、テーブル８０の移動に伴って、貼付シートＳａはベースシートＢＳから引き剥がされるように分離する。

そして、図１６（Ｄ）に示すように、テーブル８０が更に移動して、リングフレームＲＦの右端が貼付ローラー５２の下方に達したならば、テーブル８０の移動が停止する。そして、貼付ローラー５２が上昇し、貼付が完了する。

貼付シートＳが剥離された帯状素材Ｍは、ガイドローラー５４、６１、６２、６３を介して巻き取りローラー７０に巻き取られる。

図１７に、貼付シートＳの貼付が完了し、リングフレームＲＦに半導体ウエハＷが固定された状態を示す。

なお、上述した巻き出しローラー１１、カッティングローラー２１、テンションローラー４１、駆動ローラー６０及び巻き取りローラー７０の回転駆動、並びにテーブル８０の直線移動は、それぞれ不図示のモーター等の駆動装置にて駆動されるが、これらは制御部１００による制御で同期をとって行われる。

なお、上記のシート状刃物２２ａは、ローラー２５に着脱自在に取り付けられるよう構成されている。例えば、ローラー２５が磁石を含む素材から構成され、シート状刃物２２ａが鉄等の磁性体を含む素材から構成されており、ローラー２５とシート状刃物２２ａが磁力により着脱自在に接着される。

シート状刃物２２ａが着脱自在な構成であることによって、半導体ウエハＷの大きさやリングフレームＲＦの大きさが異なり、種々のサイズの貼付シートＳが必要になった場合でも、ローラー２５を交換することなく、ローラー２５に巻回されて取り付けられているシート状刃物２２ａを交換するだけで、容易に対応することが可能になる。

例えば、図１８に示すシート状刃物２２ｂは、図４に示したシート状刃物２２ａとシート２３の長さＬｘは同じであるが、シート状刃物２２ａに比べて、小径の略円弧状の刃２４が形成されている。即ち、シート状刃物２２ｂの刃２４の長さＬｘ２は、シート状刃物２２ａの刃２４の長さＬｘ１に比べて短い。このシート状刃物２２ｂを同じ径のローラー２５に巻回して設置して、上述のようにマウント装置１を駆動させることで、シート状刃物２２ａを用いた場合に比べ、小径形状の貼付シートＳを形成することができる。なお、シート２３のローラーの軸方向の長さＬｙは同じでも異なっていてもよい。

また、図１９に示すシート状刃物２２ｃについても、図４に示したシート状刃物２２ａとシート２３の長さＬｘは同じであるが、シート状刃物２２ａに比べて、大径の略円弧状の刃２４が形成されている。即ち、シート状刃物２２ｃの刃２４の長さＬｘ３は、シート状刃物２２ａの同方向の長さＬｘ１に比べて長い。このシート状刃物２２ｃをローラー２５に巻回して設置して、上述したようにマウント装置１を駆動すれば、シート状刃物２２ａを用いた場合に比べ、大径形状の貼付シートＳを形成することができる。

このように、シート２３のサイズが同じで刃２４のサイズが異なるシート状刃物を交換するだけで、ローラー２５を交換することなく、異なるサイズの貼付シートＳを形成することができる。このため、ユーザーが作業現場でマウント装置１を解体し、異なる径のローラー２５に交換するという煩雑で困難な作業を行う必要がない。

また、図１９に示したシート状刃物２２ｃのように、刃２４の一方の円弧の端部（ここでは、直線部２４ｃ及び直線部２４ｅの端部）がシート２３の端部と同位置になっていてもよい。

また、上記のシート状刃物２２ａ〜２２ｃでは、刃２４の直線部２４ｂ〜２４ｅを有しているが、直線部２４ｂ〜２４ｅを備えない形態であってもよい。

更には、図２０（Ａ）、（Ｂ）に示すシート状刃物２２ｄのように、スリップ領域に刃２４を有する形態であってもよい。この場合、スリップ領域に該当する箇所においては、シート２３のローラーの回転方向における端部まで直線部２４ｂ〜２４ｅが延長していればよい。シート状刃物２２ｄを用いた場合、上述したプリカット動作において、スリップ領域が帯状素材Ｍと接触する際、帯状素材Ｍの送りが停止していると、フィルムＦに既に施された直線状の切れ込みを直線部２４ｂ〜２４ｅがなぞるだけであり、フィルムＦに新たな切り込みが施されず、上記と同様に略円形の貼付シートＳを形成することができる。

また、帯状素材Ｍの送りの停止及び開始について、カッティングローラー２１を監視して回転変位を検出する変位センサの検知に基づいて制御部１００が制御する例について説明したが、カッティングローラー２１のスリップ領域が帯状素材Ｍと接する間、帯状素材Ｍを停止させ得る手法であればどのような手法が用いられていてもよい。

また、上記実施の形態では、貼付シートＳを用いて半導体ウエハＷをリングフレームＲＦに固定するマウント装置及びマウント方法について説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、液晶画面等に保護フィルムを貼付する際等にも用いることができる。即ち、上記実施形態における半導体ウエハＷ及び／又はリングフレームＲＦを種々のワークへ置き換えることで、種々のワークへの貼付シートの貼着に適用できるものである。

１ マウント装置
１０ 帯状素材支持機構
１１ 巻き出しローラー
１２ ガイドローラー
２０ プリカット機構
２１ カッティングローラー
２２ａ〜２２ｄ シート状刃物
２３ シート
２４、２４Ａ、２４Ｂ 刃
２４ａ〜２４ｅ 直線部
２５ ローラー
２６ カッター受けローラー
２７ ガイドローラー
３０ テンション調整機構
３１ 可動ローラー位置検出センサ
３１ａ 上限センサ
３１ｂ 共通センサ
３１ｃ 下限センサ
３２ センサドグ
３３ 可動ローラー
３４ ばね
４１ テンションローラー
４２ ガイドローラー
５０ 貼合機構
５１ 剥離板
５２ 貼付ローラー
５３，５４ ガイドローラー
６０ 駆動ローラー
６１，６２，６３ ガイドローラー
７０ 巻き取りローラー
８０ テーブル
９０ 剥離検出センサ
１００ 制御部
ＲＦ リングフレーム
Ｗ 半導体ウエハ
Ｍ 帯状素材
Ｆ フィルム
ＢＳ ベースシート
Ｓａ〜Ｓｇ 貼付シート

本発明は、上記事項に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、帯状素材の長手方向の無駄が生じず、且つ、ローラーを交換することなく、ローラーに巻き回すシート状刃物を交換することで種々の大きさの貼付シートを形成してワークに貼付可能なシートの貼付装置を提供することにある。

本発明に係るシートの貼付装置は、
円形状のワークが載置されるテーブルと、
ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する帯状素材支持機構と、
前記帯状素材を送る帯状素材運搬機構と、
ローラーにシート状刃物が巻回されたカッティングローラーを有し、前記カッティングローラーの回転により前記フィルムに閉ループの切り込みを入れて貼付シートを形成するプリカット機構と、
前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する貼合機構と、
前記帯状素材運搬機構の駆動を制御する制御部と、を備え、
前記シート状刃物が前記ローラーに着脱自在であり、
前記シート状刃物は、シートから２つの半円弧状の刃が立設しており、前記シート状刃物が前記ローラーに巻かれた際にそれぞれの前記半円弧状の刃の中央部が接するとともに、それぞれの前記半円弧状の刃の両端がそれぞれ前記ローラーの回転方向に沿った直線部を有しており、
前記プリカット機構では、前記制御部の制御により、前記帯状素材を送るとともに前記カッティングローラーが回転してそれぞれの前記半円弧状の刃の中央部から一方の前記半円弧状の刃の前記ローラーの回転方向に沿った直線部に渡って前記フィルムに閉ループの一部の切り込みを入れた後、前記帯状素材の送りを停止し、前記カッティングローラーが所定角度回転した後に前記帯状素材の送りを再開して他方の前記半円弧状の刃の前記ローラーの回転方向に沿った直線部からそれぞれの前記半円弧状の刃の中央部に渡って前記フィルムに閉ループの残りの切り込みを入れて貼付シートを形成し、
前記プリカット機構が連続して駆動して互いに接触した前記貼付シートを前記帯状素材の長手方向に連続して形成する、
ことを特徴とする。

Claims (4)

1. 円形状のワークが載置されるテーブルと、
   ベースシートの一方の面に貼付シート形成用のフィルムが貼着された帯状素材を支持する帯状素材支持機構と、
   前記帯状素材を送る帯状素材運搬機構と、
   ローラーにシート状刃物が巻回されたカッティングローラーを有し、前記カッティングローラーの回転により前記フィルムに閉ループの切り込みを入れて貼付シートを形成するプリカット機構と、
   前記貼付シートを前記ベースシートから剥離し、前記貼付シートを前記ワークに貼着する貼合機構と、
   前記帯状素材運搬機構の駆動を制御する制御部と、を備え、
   前記シート状刃物が前記ローラーに着脱自在であり、
   前記プリカット機構では、前記制御部の制御により、前記帯状素材を送るとともに前記カッティングローラーが回転して閉ループの一部の切り込みを入れた後、前記帯状素材の送りを停止し、前記カッティングローラーが所定角度回転した後に前記帯状素材の送りを再開して閉ループの残りの切り込みを入れて貼付シートを形成する、
   ことを特徴とする貼付装置。
2. 前記カッティングローラーの変位を検知するセンサを備え、
   前記センサの検知に基づいて前記制御部が前記帯状素材の移動の停止及び開始を制御する、
   ことを特徴とする請求項１に記載の貼付装置。
3. 前記シート状刃物が磁力によって前記ローラーに着脱自在である、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の貼付装置。
4. 前記シート状刃物は、前記ローラーの軸に平行な直線部を有し、前記直線部による切り込みで互いに直線状に線接触した前記貼付シートを形成する、
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の貼付装置。

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