JP2014110268A - 配線基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】ソルダーレジスト層の開口部内の引出配線に断線が発生しにくい配線基板を提供すること。
【解決手段】上面中央部に半導体素子Sが搭載される搭載部1aを有する絶縁基板1と、絶縁基板1上における搭載部1aの外周部に、半導体素子Sの外周辺に沿って並設された多数の半導体素子接続パッド5と、絶縁基板1上を半導体素子接続パッド5から搭載部1aの中央部側に向けて延在する引出配線6と、絶縁基板1の上面に被着されており、半導体素子接続パッド5を露出させるとともに内周辺3aiが引出配線6を横切る開口部3aを有するソルダーレジスト層3とを具備して成る配線基板10であって、ソルダーレジスト層3は、開口部3aよりも搭載部1aの中央部側に、引出配線6を横切る補助開口部3cが形成されている。
【選択図】図3
【解決手段】上面中央部に半導体素子Sが搭載される搭載部1aを有する絶縁基板1と、絶縁基板1上における搭載部1aの外周部に、半導体素子Sの外周辺に沿って並設された多数の半導体素子接続パッド5と、絶縁基板1上を半導体素子接続パッド5から搭載部1aの中央部側に向けて延在する引出配線6と、絶縁基板1の上面に被着されており、半導体素子接続パッド5を露出させるとともに内周辺3aiが引出配線6を横切る開口部3aを有するソルダーレジスト層3とを具備して成る配線基板10であって、ソルダーレジスト層3は、開口部3aよりも搭載部1aの中央部側に、引出配線6を横切る補助開口部3cが形成されている。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体素子を搭載するために用いられる配線基板に関するものである。
従来、下面外周部に電極端子がペリフェラル配置された半導体素子をフリップチップ接続により搭載する配線基板が知られている。このような従来の配線基板20の例を図4(a),(b)に示す。従来の配線基板20は、絶縁基板11と配線導体12とソルダーレジスト13とを有している。なお、図4(b)においては、絶縁基板11上面の配線導体12のうち、ソルダーレジスト層13で覆われている部分を破線で示している。
絶縁基板11は、例えばガラスクロスにエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた電気絶縁材料から成り、その上面中央部に半導体素子Sを搭載するための搭載部11aを有している。また、絶縁基板11の上面から下面にかけては多数のスルーホール14が形成されている。
配線導体12は、銅箔や銅めっき層から成り、絶縁基板11の上面の搭載部11aからスルーホール14内壁を介して絶縁基板11の下面に導出している。絶縁基板11の上面の配線導体12は、搭載部11aの外周部に多数の半導体素子接続パッド15を有している。これらの半導体素子接続パッド15は、半導体素子Sの外周辺に沿って2列の並びで配置されている。さらに、各半導体素子接続パッド15には引出配線16が接続されている。内側の列の半導体素子接続パッド15に接続された引出配線16は搭載部11aの中央部側に延びており、外側の列の半導体素子接続パッド15に接続された引出配線16は搭載部11aの外側に延びている。また、絶縁基板11の下面の配線導体12は、多数の外部接続パッド17を有している。これらの外部接続パッド17は絶縁基板11の下面に格子状の並び配置されている。そして、半導体素子接続パッド15と外部接続パッド17とは、対応するもの同士が引出配線16およびスルーホール14内の配線導体12を介して互いに電気的に接続されている。
ソルダーレジスト層13は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂から成り、絶縁基板11の上下面に被着されているとともにスルーホール14内に充填されている。ソルダーレジスト層13には、絶縁基板11の上面側において半導体素子接続パッド15およびこれに接続された引出配線16の一部を露出させる開口部13aが形成されている。開口部13aは、内外2列の半導体素子接続パッド15およびこれらに接続された引出配線16の一部を一括して露出させるように搭載部11aの外周部に沿った方形枠状をしている。また、ソルダーレジスト層13には、絶縁基板11の下面側において外部接続パッド17を露出させる開口部13bが形成されている。開口部13bは、各外部接続パッド17を個別に露出させる円形をしている。
そして、この従来の配線基板20によれば、図5に示すように、搭載部11a上に半導体素子Sを、その各電極端子Tと対応する半導体素子接続パッド15とが向かい合うようにして配置するとともに電極端子Tと半導体素子接続パッド15とを半田を介して接続し、しかる後、配線基板20と半導体素子Sとの間に球状シリカ等の無機絶縁物フィラーが分散された熱硬化性樹脂から成る封止樹脂Uを注入するとともに熱硬化させることにより、半導体素子Sが搭載部11a上に実装されることとなる。
しかしながら、近時、半導体素子Sは、その集積度が高くなるとともに外形サイズも10数mm角と大きなものが現れてきている。このように高集積化された半導体素子Sにおいては、電極端子Tの大きさも直径30μm以下と小さくなっている。そのため、電極端子Tが接続される半導体素子接続パッド15およびこれに接続される引出配線16の幅も30μm以下と細いものになってきている。そして、このような高集積化され、かつ外形サイズの大きな半導体素子Sを配線基板20に実装すると、図6に示すように、ソルダーレジスト層13の熱膨張係数と封止樹脂Uの熱膨張係数の差に起因して発生する熱応力によって、ソルダーレジスト層13の開口部13a内周辺とこれに接する封止樹脂Uとの間にクラックCが発生してしまうことがある。これは球状シリカ等の無機絶縁フィラーを多く含む封止樹脂Uの熱膨張係数がソルダーレジスト層13の熱膨張係数よりも小さくなっていることによる。そのため、封止樹脂Uを熱硬化させる温度から室温に下がる際にソルダーレジスト層13の方が、封止樹脂Uよりも大きく収縮しようとし、その応力がソルダーレジスト層13の開口部13a内周辺とこれに接する封止樹脂Uとの間に集中するためである。
ソルダーレジスト層13の開口部13a内周辺とこれに接する封止樹脂Uとの間にクラックCが発生した場合、半導体素子Sが作動時に発生する熱が配線基板20に繰り返し加えられると、そのクラックCが下方に進行してしまう。そして、このクラックCの下方に引出配線16が位置していると、クラックCが引出配線16にまで進行し、ついにはその引出配線16に断線をもたらせてしまう。この断線は、引出配線16の幅が30μm以下と細い場合に顕著に発生する。
本発明の課題は、ソルダーレジスト層の開口部内周辺とこれに接する封止樹脂との間に発生する熱応力をソルダーレジスト層の開口部内周辺が横切る引出配線上において有効に分散させることにより、引出配線に断線が発生しにくい配線基板を提供することにある。
本発明の配線基板は、上面中央部に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基板と、該絶縁基板上における前記搭載部の外周部に、前記半導体素子の外周辺に沿って並設された多数の半導体素子接続パッドと、前記絶縁基板上を前記半導体素子接続パッドから前記搭載部の中央部側に向けて延在する引出配線と、前記絶縁基板の上面に被着されており、前記半導体素子接続パッドを露出させるとともに内周辺が前記引出配線を横切る開口部を有するソルダーレジスト層とを具備して成る配線基板であって、前記ソルダーレジスト層は、前記開口部よりも前記搭載部の中央部側に、前記引出配線を横切る補助開口部が形成されていることを特徴とするものである。
本発明の配線基板によれば、ソルダーレジスト層は、半導体素子接続パッドから搭載部の中央部に向けて延在する引出配線を横切る開口部よりも搭載部の中央部側に、引出配線を横切る補助開口部が形成されていることから、ソルダーレジスト層の開口部内周辺とこれに接する封止樹脂との間に発生する熱応力を補助開口部により有効に低減させることができ、それにより、引出配線に断線が発生しにくい配線基板を提供することができる。
次に、本発明の配線基板について、図1〜図3を基にして説明する。図1(a),(b)に本発明の配線基板10の実施形態の一例を示す。本例の配線基板10は、主として絶縁基板1と配線導体2とソルダーレジスト層3とから構成されている。なお、図1(b)においては、絶縁基板1上面の配線導体2のうち、ソルダーレジスト層3で覆われている部分を破線で示している。
絶縁基板1は、例えばガラスクロス基材にエポキシ樹脂やビスマレイミドトリアジン樹脂等の熱硬化性樹脂を含浸させた厚みが30〜200μm程度の単層または多層の絶縁層を熱硬化させた樹脂系電気絶縁材料から成り、その上面中央部に半導体素子Sを搭載するための搭載部1aを有している。また、絶縁基板1には、その上面から下面にかけて直径が50〜300μm程度のスルーホール4が形成されている。
配線導体2は、銅箔や銅めっき層から成り、絶縁基板1の上面の搭載部1aからスルーホール4内壁を介して絶縁基板1の下面に導出している。配線導体2の厚みは、10〜20μm程度である。絶縁基板1の上面の配線導体2は、搭載部1aの外周部に多数の半導体素子接続パッド5を有している。各半導体素子接続パッド5の大きさは幅が10〜30μm程度、長さが20〜60μm程度である。これらの半導体素子接続パッド5は、半導体素子Sの外周辺に沿って2列の並びで配置されている。さらに、各半導体素子接続パッド5には引出配線6が接続されている。引出配線6の幅は半導体素子接続パッド5との接続部で10〜30μm程度である。内側の列の半導体素子接続パッド5に接続された引出配線6は搭載部1aの中央部側に延びており、外側の列の半導体素子接続パッド5に接続された引出配線6は搭載部1aの外側に延びている。また、絶縁基板1の下面に配線導体2は、多数の外部接続パッド7を有している。外部接続パッド7の直径は200〜500μm程度である。これらの外部接続パッド7は絶縁基板1の下面に格子状の並び配置されている。そして、半導体素子接続パッド5と外部接続パッド7とは、対応するもの同士が引出配線6およびスルーホール4内の配線導体2を介して互いに電気的に接続されている。
ソルダーレジスト層3は、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂から成り、絶縁基板1の上下面に被着されているとともにスルーホール4内に充填されている。ソルダーレジスト層3の厚みは絶縁基板1の上下面に被着された部分で20〜40μm程度である。ソルダーレジスト層3には、絶縁基板1の上面側において半導体素子接続パッド5およびこれに接続された引出配線6の一部を露出させる開口部3aが形成されている。開口部3aは、内外2列の半導体素子接続パッド5およびこれらに接続された引出配線6の一部を一括して露出させるように搭載部1aの外周部に沿った方形枠状をしている。なお、開口部3aから露出する引出配線6の幅は10〜30μm程度、長さは20〜60μm程度である。また、ソルダーレジスト層3には、絶縁基板1の下面側において外部接続パッド7を露出させる開口部3bが形成されている。開口部3bは、各外部接続パッド7を個別に露出させる円形をしている。
そして、この配線基板10によれば、図2に示すように、搭載部1a上に半導体素子Sを、各電極端子Tと対応する半導体素子接続パッド5とが向かい合うようにして配置するとともに電極端子Tと半導体素子接続パッド5とを半田を介して接続し、しかる後、配線基板10と半導体素子Sとの間に球状シリカ等の無機絶縁物フィラーが分散された熱硬化性樹脂から成る封止樹脂Uを注入するとともに熱硬化させることにより、半導体素子Sが搭載部1a上に実装されることとなる。
ところで本例の配線基板10においては、図1(a),(b)に示すように、ソルダーレジスト層3は、開口部3aよりも搭載部1aの中央部側に、引出配線6を横切る補助開口部3cが形成されている。補助開口部3cは、開口部3aの各内周辺3aiに沿って形成されており、その両端部が開口部3aと繋がっている。補助開口部3cの幅は20〜200μm程度であり、開口部3aの内周辺3aiよりも20〜200μm程度離間して形成されている。このような補助開口部3cが形成されていることにより、図3(a),(b)に示すように、搭載部1aに半導体素子Sを実装後、ソルダーレジスト層3の開口部3aの内周辺3aiとこれに接する封止樹脂Uとの間に発生する熱応力を、補助開口部3cにより分断して低減させることができる。したがって、それにより引出配線6に断線が発生しにくい配線基板10を提供することができる。
なお、内側の列の半導体素子接続パッド5から搭載部1aの中央部側に延びる引出配線6は、補助開口部3cでの幅W2を開口部3aでの幅W1よりも10μm以上広いものとしておくと、補助開口部3cにおいて引出配線6に加えられる熱応力Fが大きなものであったとしても、補助開口部3c内での引出配線6の断線を有効に防止することができる。したがって、内側の列の半導体素子接続パッド5から搭載部1aの中央部側に延びる引出配線6は、補助開口部3cでの幅W2を開口部3aでの幅W1よりも10μm以上広いものとしておくことが好ましい。
1 絶縁基板
1a 搭載部
2 配線導体
3 ソルダーレジスト層
3a ソルダーレジスト層の開口部
3c ソルダーレジスト層の補助開口部
3ai ソルダーレジスト層の開口部の内周辺
5 半導体素子接続パッド
S 半導体素子
1a 搭載部
2 配線導体
3 ソルダーレジスト層
3a ソルダーレジスト層の開口部
3c ソルダーレジスト層の補助開口部
3ai ソルダーレジスト層の開口部の内周辺
5 半導体素子接続パッド
S 半導体素子
Claims (2)
- 上面中央部に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基板と、該絶縁基板上における前記搭載部の外周部に、前記半導体素子の外周辺に沿って並設された多数の半導体素子接続パッドと、前記絶縁基板上を前記半導体素子接続パッドから前記搭載部の中央部側に向けて延在する引出配線と、前記絶縁基板の上面に被着されており、前記半導体素子接続パッドを露出させるとともに内周辺が前記引出配線を横切る開口部を有するソルダーレジスト層とを具備して成る配線基板であって、前記ソルダーレジスト層は、前記開口部よりも前記搭載部の中央部側に、前記引出配線を横切る補助開口部が形成されていることを特徴とする配線基板。
- 前記引出配線は、前記補助開口部での幅が前記開口部での幅よりも広くなっていることを特徴とする請求項1記載の配線基板。
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JP2012262690A JP2014110268A (ja) | 2012-11-30 | 2012-11-30 | 配線基板 |
Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US10985153B2 (en) | 2019-03-14 | 2021-04-20 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device |
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2012
- 2012-11-30 JP JP2012262690A patent/JP2014110268A/ja active Pending
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