JP2014104410A - アンモニア含有排水の処理装置およびアンモニア含有排水の処理方法 - Google Patents

アンモニア含有排水の処理装置およびアンモニア含有排水の処理方法 Download PDF

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Abstract

【課題】スケール分散剤やスライムコントロール剤等の薬品を使用しなくても、高濃度のアンモニア含有排水であっても効率よく処理することが可能なアンモニア含有排水の処理装置を提供する。
【解決手段】アンモニア含有排水をpH10以上でアンモニアストリッピング処理するアンモニアストリッピング処理装置12と、アンモニアストリッピング処理したアンモニアストリッピング処理水をpH10以上で1段目の逆浸透膜処理を行い、1次透過水と1次濃縮水とに分離する1次逆浸透膜処理装置14と、1次透過水をpH8.5以下で2段目の逆浸透膜処理を行い、2次透過水と2次濃縮水とに分離する2次逆浸透膜処理装置16と、2次濃縮水をアンモニアストリッピング処理装置12の前段側に循環する循環手段と、を備えるアンモニア含有排水の処理装置である。
【選択図】図1

Description

本発明は、アンモニアを含有するアンモニア含有排水の処理装置および処理方法に関し、特に高濃度にアンモニアを含有するアンモニア含有排水の処理装置および処理方法に関する。
アンモニアを含有するアンモニア含有排水の処理方法として、アンモニア性窒素をアンモニアガスとして蒸発させるアンモニアストリッピング処理と逆浸透膜処理とを組み合わせた方法が知られている。
例えば、特許文献1には、アンモニア含有排水を逆浸透膜処理して分離した濃縮水にスケール分散剤を添加した後、pH10以上でアンモニアストリッピング処理を行い、取り出したアンモニアガスを分解する方法において、逆浸透膜処理工程は、アンモニア含有排水を逆浸透膜処理して一次透過水と一次濃縮水とに分離する一次逆浸透膜処理工程と、一次透過水を逆浸透膜処理して二次透過水と二次濃縮水とに分離する二次逆浸透膜処理工程と、一次濃縮水を逆浸透膜処理して透過水と濃縮水とに分離する一次濃縮水逆浸透膜処理工程と、を含み、濃縮水をアンモニアストリッピング処理する一方、二次濃縮水と透過水とを一次逆浸透膜処理工程の前段に送るアンモニア含有排水の処理方法が記載されている。
しかし、特許文献1のような方法では、スケール分散剤の薬品コストがかかり、また、アンモニア含有排水中の水質変動等によって薬品添加量の最適化が困難であるという問題がある。
一方、アンモニア含有排水について、pH10以上でアンモニアストリッピング処理を行った後、逆浸透膜処理する方法がある。
この方法で高濃度のアンモニアを含有する高濃度アンモニア含有排水(例えば、アンモニア濃度が500mg/L以上)を処理する場合、アンモニアストリッピング処理でアンモニアを完全に除去することは難しく、アンモニアストリッピング処理水中に数10mg/L程度(例えば、20mg/L程度)のアンモニアが残留する場合がある。
アンモニアが残留しているアンモニアストリッピング処理水をpH7以下に調整してから逆浸透膜処理すれば、透過水はアンモニアやその他イオン成分、有機物等が排除された純度の高い水となり、純水製造装置や冷却水等の雑用水に再利用することが可能である。
しかし、逆浸透膜処理の濃縮水中にはアンモニアやその他イオン成分、有機物等が濃縮されるため、アンモニアの濃度を排水基準以下となるようにさらにアンモニアを除去するための排水処理が必要となる。
このアンモニアを除去するためのさらなる排水処理を避けるため、逆浸透膜処理の濃縮水をアンモニアストリッピング処理の前段側に循環させることでアンモニアを処理することが考えられるが、アンモニアとともにその他イオン成分や有機物等も逆浸透膜処理で濃縮循環されることになり、アンモニアストリッピング処理の蒸留塔や逆浸透膜において、イオン成分のスケール化や有機物によるスライム汚染が発生して処理性能が低下するという問題がある。
この問題に対して、特許文献1の方法と同様に系内にスケール分散剤を添加したり、スライムコントロール剤等を添加して、イオン成分のスケール化や有機物によるスライム汚染を抑制する方法があるが、やはりスケール分散等の薬品コストがかかり、また、アンモニア含有排水中の水質変動等によって薬品添加量の最適化が困難であることや、スケール分散剤やスライムコントロール剤に含まれる有機物の処理が新たに必要になるという問題がある。
特許第3667597号公報
本発明の目的は、スケール分散剤やスライムコントロール剤等の薬品を使用しなくても、高濃度のアンモニア含有排水であっても効率よく処理することが可能なアンモニア含有排水の処理装置およびアンモニア含有排水の処理方法を提供することにある。
本発明は、アンモニア含有排水をpH10以上でアンモニアストリッピング処理するアンモニアストリッピング処理手段と、前記アンモニアストリッピング処理したアンモニアストリッピング処理水をpH10以上で1段目の逆浸透膜処理を行い、1次透過水と1次濃縮水とに分離する1次逆浸透膜処理手段と、前記1次透過水をpH8.5以下で2段目の逆浸透膜処理を行い、2次透過水と2次濃縮水とに分離する2次逆浸透膜処理手段と、前記2次濃縮水を前記アンモニアストリッピング処理手段の前段側に循環する循環手段と、を備えるアンモニア含有排水の処理装置である。
また、前記アンモニア含有排水の処理装置において、前記アンモニア含有排水がさらに過酸化水素を含有し、前記アンモニアストリッピング処理手段の前段側に、前記アンモニア含有排水中の過酸化水素を分解する過酸化水素分解手段を備え、前記循環手段は、前記2次濃縮水を前記過酸化水素分解手段または前記過酸化水素分解手段の前段側に循環するものであることが好ましい。
また、前記アンモニア含有排水の処理装置において、前記過酸化水素分解手段が、カタラーゼを用いる酵素処理により過酸化水素を分解するものであることが好ましい。
また、本発明は、アンモニア含有排水をpH10以上でアンモニアストリッピング処理するアンモニアストリッピング処理工程と、前記アンモニアストリッピング処理したアンモニアストリッピング処理水をpH10以上で1段目の逆浸透膜処理を行い、1次透過水と1次濃縮水とに分離する1次逆浸透膜処理工程と、前記1次透過水をpH8.5以下で2段目の逆浸透膜処理を行い、2次透過水と2次濃縮水とに分離する2次逆浸透膜処理工程と、前記2次濃縮水を前記アンモニアストリッピング処理手段の前段側に循環する循環工程と、を含むアンモニア含有排水の処理方法である。
また、前記アンモニア含有排水の処理方法において、前記アンモニア含有排水がさらに過酸化水素を含有し、前記アンモニアストリッピング処理工程の前段側に、前記アンモニア含有排水中の過酸化水素を分解する過酸化水素分解工程を含み、前記循環工程において、前記2次濃縮水を前記過酸化水素分解工程または前記過酸化水素分解工程の前段側に循環することが好ましい。
また、前記アンモニア含有排水の処理方法において、前記過酸化水素分解工程において、カタラーゼを用いる酵素処理により過酸化水素を分解することが好ましい。
本発明では、アンモニア含有排水をpH10以上でアンモニアストリッピング処理した後、アンモニアストリッピング処理水をpH10以上で1段目の逆浸透膜処理を行い、1次透過水をpH8.5以下で2段目の逆浸透膜処理を行い、2次濃縮水をアンモニアストリッピング処理手段の前段側に循環することにより、スケール分散剤やスライムコントロール剤等の薬品を使用しなくても、高濃度のアンモニア含有排水であっても効率よく処理することができる。
本発明の実施形態に係るアンモニア含有排水処理装置の一例を示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係るアンモニア含有排水処理装置の他の例を示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係るアンモニア含有排水処理装置の他の例を示す概略構成図である。 本発明の実施形態に係るアンモニア含有排水処理装置の他の例を示す概略構成図である。 実施例1で用いたアンモニア含有排水処理装置を示す概略構成図である。 比較例1で用いたアンモニア含有排水処理装置を示す概略構成図である。 pHと、アンモニアの分率およびアンモニウムイオンの分率との関係を示す図である。
本発明の実施の形態について以下説明する。本実施形態は本発明を実施する一例であって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。
本発明の実施形態に係るアンモニア含有排水の処理装置の一例の概略を図1に示し、その構成について説明する。アンモニア含有排水処理装置1は、原水槽10と、アンモニアストリッピング処理手段としてのアンモニアストリッピング処理装置12と、1次逆浸透膜処理手段としての1次逆浸透膜処理装置14と、2次逆浸透膜処理手段としての2次逆浸透膜処理装置16と、を備える。
図1のアンモニア含有排水処理装置1において、原水槽10の入口には原水配管18が接続され、原水槽10の出口とアンモニアストリッピング処理装置12の入口とは原水配管20により接続され、アンモニアストリッピング処理装置12のアンモニアストリッピング処理水出口と1次逆浸透膜処理装置14の入口とはアンモニアストリッピング処理水配管22により接続され、1次逆浸透膜処理装置14の1次透過水出口と2次逆浸透膜処理装置16の入口とは1次透過水配管24により接続され、2次逆浸透膜処理装置16の2次透過水出口には処理水配管26が接続されている。アンモニアストリッピング処理装置12のアンモニアガス出口には、アンモニアガス配管30が接続され、1次逆浸透膜処理装置14の1次濃縮水出口には1次濃縮水配管32が接続され、2次逆浸透膜処理装置16の2次濃縮水出口と原水槽10とは循環手段としての2次濃縮水循環配管28が接続されている。
本実施形態に係るアンモニア含有排水処理方法およびアンモニア含有排水処理装置1の動作について説明する。
原水であるアンモニア含有排水(例えばアンモニア濃度が500mg/L以上の高濃度アンモニア含有排水)は、原水配管18を通して原水槽10に送液され、貯留される。原水槽10において、アンモニア含有排水にアルカリ剤が添加され、pH10以上に調整される(第1pH調整工程)。アンモニア含有排水のpHがすでにpH10以上である場合には、このpH調整を行わなくてよい。アンモニア含有排水のpHが10以上に調整されることにより、アンモニア含有排水中のアンモニアの大部分は遊離アンモニア(NH)となる。なお、アルカリ剤は、原水槽10において添加されてもよいし、原水配管20においてライン添加されてもよい。
pH10以上に調整されたアンモニア含有排水は、原水配管20を通してアンモニアストリッピング処理装置12に送液され、アンモニアストリッピング処理装置12においてpH10以上でアンモニアストリッピング処理される(アンモニアストリッピング処理工程)。
アンモニアストリッピング処理装置12は、例えば、蒸留塔の内部に多孔板や充填物等が設置されたものであり、被処理水であるアンモニア含有排水が蒸留塔の上部から流入し、蒸気が下部から吹き込まれ、被処理水と蒸気とが接触されることにより、アンモニア含有排水中の遊離アンモニアが蒸気側に追い出される。
追い出されたアンモニアガスは、アンモニアガス配管30を通してアンモニアガス分解処理装置に送られ、分解処理される(アンモニアガス分解処理工程)。このアンモニアガス分解処理としては、例えば、触媒を充填した触媒反応塔を通して無害な窒素に分解する方法、硫酸と反応させて硫酸アンモニウムにする方法等があり、アンモニア水として回収再利用することも可能である。
アンモニアストリッピング処理されたアンモニアストリッピング処理水は、アンモニアストリッピング処理水配管22を通して1次逆浸透膜処理装置14に送液される。アンモニアストリッピング処理水はアンモニアの大部分が除去されたことによってpHが低下しているため、アンモニアストリッピング処理水配管22においてアルカリ剤が添加され、pH10以上に調整される(第2pH調整工程)。アンモニアストリッピング処理水のpHが10以上に調整されることにより、アンモニアストリッピング処理水中に残存したアンモニアの大部分は遊離アンモニア(NH)となる。なお、アルカリ剤は、アンモニアストリッピング処理水配管22においてライン添加されてもよいし、アンモニアストリッピング処理装置12と1次逆浸透膜処理装置14との間に中継槽を設けて中継槽において添加されてもよい。また、中継槽と1次逆浸透膜処理装置14との間に後段の逆浸透膜を保護するために精密ろ過装置等のろ過装置を設けてもよい。
pH10以上に調整されたアンモニアストリッピング処理水は、1次逆浸透膜処理装置14においてpH10以上で1段目の逆浸透膜処理が行われ、1次透過水と1次濃縮水とに分離される(1次逆浸透膜処理工程)。
1次逆浸透膜処理工程では、被処理水であるアンモニアストリッピング処理水のpHが10以上になっているため、数10mg/L程度(例えば、20mg/L程度)のアンモニアが残存していたとしても、大部分は遊離アンモニアとなっているため、ほとんど濃縮されずに大部分は1次透過水中に残留する一方で、その他イオン成分や有機物等は1段目の逆浸透膜処理で良好に濃縮され、1次濃縮水中に含まれることになる。
この1段目の逆浸透膜処理で分離された1次濃縮水は、1次濃縮水配管32を通して排出される。この1次濃縮水は、排水処理装置に送られて排水処理されてもよい(排水処理工程)。排水処理により排水基準以下までに処理されるが、1次濃縮水にはアンモニアがほとんど含まれていないため、アンモニアを除去するアンモニア除去処理を行わなくてもよい。
また、1次逆浸透膜処理工程では、pH10以上で処理されることによって逆浸透膜上で生物が生息しにくい状況となっており、逆浸透膜処理におけるスライム発生を抑制することができる。
1段目の逆浸透膜処理で分離された1次透過水は、1次透過水配管24を通して2次逆浸透膜処理装置16に送液される。ここで、1次透過水配管24において酸が添加され、pH8.5以下に調整される(第3pH調整工程)。1次透過水のpHが8.5以下に調整されることにより、1次透過水中に含まれる遊離アンモニアの大部分はアンモニウムイオン(NH )となる。なお、酸は、1次透過水配管24においてライン添加されてもよいし、1次逆浸透膜処理装置14と2次逆浸透膜処理装置16との間に中継槽を設けて中継槽において添加されてもよい。
pH8.5以下に調整された1次透過水は、2次逆浸透膜処理装置16においてpH8.5以下で2段目の逆浸透膜処理が行われ、2次透過水と2次濃縮水とに分離される(2次逆浸透膜処理工程)。
2次逆浸透膜処理工程では、被処理水である1次透過水のpHが8.5以下になっているため、1次透過水に含まれる例えば数10mg/L程度(例えば、20mg/L程度)のアンモニアの大部分はアンモニウムイオンとなっているため、2段目の逆浸透膜処理で濃縮され、大部分は2次濃縮水中に含まれる一方で、2段目の逆浸透膜処理の2次透過水はアンモニアやその他イオン成分、有機物等が良好に排除された純度の高い水となり、処理水配管26を通して排出され、純水製造装置や冷却水等の雑用水に回収再利用することが可能となる。
また、2次逆浸透膜処理工程では、pH8.5以下で処理することによって逆浸透膜上で生物が生息しやすい状況となるが、栄養源となる有機物やスケール化の原因となるイオン成分等は1段目の逆浸透膜処理ですでに排除されているため、逆浸透膜処理におけるスライム発生やスケール化を抑制することができる。
一方、2段目の逆浸透膜処理で分離された2次濃縮水は、2次濃縮水循環配管28を通して原水槽10に送液、循環される(循環工程)。
2段目の逆浸透膜処理で分離された2次濃縮水には、例えば数100mg/L程度(例えば100〜200mg/L程度)のアンモニアが含まれることになり、この2段目の逆浸透膜処理で分離された2次濃縮水を前段の原水槽10に循環させてアンモニアストリッピング処理装置12においてアンモニアストリッピング処理が行われることにより、アンモニアを効率的に除去することが可能となる。2次濃縮水は、アンモニアストリッピング処理手段の前段側に循環させればよく、原水槽10に循環させてもよいし、原水配管20に循環させてもよい。
このように、アンモニアストリッピング処理と処理pHを異ならせた2段の逆浸透膜処理との組み合わせにおいて、スケール化やスライム汚染の原因物質となるイオン成分や有機物等は1段目の逆浸透膜処理で濃縮排除して、アンモニアは2段目の逆浸透膜処理で濃縮循環させることで、系内にスケール分散剤やスライムコントロール剤といった薬品を添加しなくてもイオン成分のスケール化や有機物によるスライム汚染が抑制され、高濃度のアンモニア含有排水であってもアンモニアを効率的に除去することが可能となる。
また、2段目の逆浸透膜処理で分離された2次透過水は、アンモニアやその他イオン成分、有機物等が良好に排除された純度の高い水となり、純水製造装置や冷却水等の雑用水に回収再利用することが可能となる。
従来の方法では、特に例えば500mg/L以上のアンモニアを含有する高濃度アンモニア含有排水に含まれるアンモニアをアンモニアストリッピング処理で完全に除去することは難しく、通常のアンモニアストリッピング処理を行った場合、アンモニアストリッピング処理水中に通常は数10mg/L程度のアンモニアが残留する。本実施形態に係るアンモニア含有排水処理方法およびアンモニア含有排水処理装置では、高濃度アンモニア含有排水の処理において、まずアルカリを添加し、蒸留塔等を用いたアンモニアストリッピング処理でアンモニアを処理するが、完全には除去しきれずにアンモニアストリッピング処理水にアンモニアが残留する。この残留アンモニアの処理として1段目の逆浸透膜処理ではpH10以上で処理して残留アンモニアの大部分は透過させて、スケール成分となるイオン類やスライム原因物質となる有機物等を排除する。2段目の逆浸透膜処理では1段目の1次透過水をpH8.5以下に調整してから処理することでアンモニアを濃縮させて原水に循環する。このように2段の逆浸透膜処理でイオン類、有機物は循環系から排除し、アンモニアは循環処理することで、アンモニアストリッピング処理の蒸留塔や逆浸透膜においてのスケール化、スライム発生を抑制しながら効率的にアンモニアを除去することができる。
アンモニアストリッピング処理におけるpHは、10以上であり、10.5以上であることが好ましく、10.5〜12の範囲がより好ましい。アンモニアストリッピング処理におけるpHが10未満であると、図7にアンモニアの解離定数より求めたpHと、アンモニアの分率およびアンモニウムイオンの分率との関係を示すように、遊離アンモニア(NH)の分率が低くなり、アンモニアの除去効率が低下する。アンモニアストリッピング処理におけるpHが12を超えると、アンモニアストリッピング処理での蒸留塔内部の多孔板や充填物の劣化の可能性があることや、アルカリ薬品のコストが高くなるといった問題が生じる場合がある。
アンモニアストリッピング処理は温度が高いほど効率的になるため、蒸気によって水温を80℃から100℃に上昇させることが好ましい。水温が80℃から100℃に上昇することでアンモニアストリッピング処理水が熱殺菌されて、後段の逆浸透膜におけるスライム発生が抑制される点でも効果的である。
1次逆浸透膜処理工程におけるpHは、10以上であり、遊離アンモニアの分率を高くするためには10.5以上であることが好ましく、11以上であることがより好ましい。濃縮水にアンモニアを多少残留させても排水処理として問題は少ないので、アルカリ添加量を削減するという観点からはpH10以上であればよい。また、pHの上限は12以下であることが好ましい。1次逆浸透膜処理工程におけるpHが10未満であると、図7に示すように遊離アンモニア(NH)の分率が低くなり、アンモニアが濃縮されて1次濃縮水中のアンモニアの含有量が増加する。1次逆浸透膜処理工程におけるpHが12を超えると、逆浸透膜が劣化する、アルカリ添加量が増加する、塩濃度が高くなり浸透圧が高くなることによって透過水量が減少する、脱塩性能が低下する等の問題が生じる場合がある。
2次逆浸透膜処理工程におけるpHは、8.5以下であり、8以下であることが好ましく、7以下であることがより好ましい。pHの下限は5以上であることが好ましい。2次逆浸透膜処理工程におけるpHが8.5を超えると、図7に示すようにアンモニウムイオン(NH )の分率が低くなり、アンモニアが透過して2次透過水中のアンモニアの含有量が増加する。2次逆浸透膜処理工程におけるpHが5未満であると、酸添加量が増加する、塩濃度が高くなり浸透圧が高くなることによって透過水量が減少する、脱塩性能が低下する等の問題が生じる場合がある。
1次逆浸透膜処理工程および2次逆浸透膜処理工程における温度は、例えば、30〜40℃程度とすればよい。
2次濃縮水はアンモニアストリッピング処理装置12の前段側に循環されればよく、原水槽10の代わりに、原水配管18に循環されてもよい。
本実施形態に係るアンモニア含有排水の処理装置およびアンモニア含有排水の処理方法は、アンモニア含有排水を処理対象とするが、アンモニア濃度が500mg/L以上、好ましくはアンモニア濃度が1,000mg/L以上の高濃度アンモニア含有排水の処理に好適に適用される。
アンモニア含有排水に含まれるその他イオン成分としては、スケール化の原因となるカルシウムイオンやマグネシウムイオン、硫酸イオン等が挙げられる。
アンモニア含有排水に含まれる有機物としては、イソプロピルアルコール、水酸化テトラメチルアンモニウム等が挙げられる。
pH調整に用いられるアルカリ剤としては、水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ水溶液等が挙げられ、酸としては、塩酸、硫酸等が挙げられる。
アンモニア含有排水にはアンモニアの他に過酸化水素が含まれる場合がある。過酸化水素が含まれるアンモニア含有排水の処理を行う場合の好適なアンモニア含有排水の処理装置の例の概略構成を図2、図3に示す。
図2のアンモニア含有排水処理装置2において、図1のアンモニア含有排水処理装置1の構成に加えて、原水槽10にカタラーゼ添加配管34が接続されている。
原水である過酸化水素が含まれるアンモニア含有排水(例えばアンモニア濃度が500mg/L以上、過酸化水素濃度が1000mg/L以上の高濃度アンモニア含有排水)は、原水配管18を通して原水槽10に送液され、貯留される。原水槽10において、アンモニア含有排水にはアルカリ剤が添加され、pH10以上に調整される(第1pH調整工程)。また、過酸化水素分解酵素であるカタラーゼがカタラーゼ添加配管34を通して添加され、過酸化水素が分解される(過酸化水素分解工程)。過酸化水素が分解され、pH10以上に調整されたアンモニア含有排水は原水配管20を通してアンモニアストリッピング処理装置12に送液され、図1に示すアンモニア含有排水処理装置1と同様にして、以降、アンモニアストリッピング処理工程、1次逆浸透膜処理工程、2次逆浸透膜処理工程、循環工程を経て処理される。
図2のアンモニア含有排水処理装置2では、原水槽10が過酸化水素分解手段として機能する。2次濃縮水は、過酸化水素分解手段である原水槽10に循環される。原水槽10とは別に原水槽10とアンモニアストリッピング処理装置12との間に酵素処理槽を設け、酵素処理槽においてカタラーゼがpH10以上に調整されたアンモニア含有排水に添加されてもよい。この場合、2次濃縮水は、過酸化水素分解手段である酵素処理槽の前段側である原水槽10に循環される。
ここで、アンモニアはカタラーゼの過酸化水素分解の阻害物質となる可能性があるが、2次濃縮水(アンモニア濃度は原水に含まれるアンモニア濃度よりも低い)により原水が希釈されることにより、原水中のアンモニア濃度が低下するため、原水槽10における過酸化水素分解の効率性がよくなるという効果が得られる。
図3のアンモニア含有排水処理装置3において、図1のアンモニア含有排水処理装置1の構成に加えて、原水槽10とアンモニアストリッピング処理装置12との間に活性炭処理装置36を備える。原水槽1の出口と活性炭処理装置36の入口は、原水配管38により接続され、活性炭処理装置36の出口とアンモニアストリッピング処理装置12の入口は、活性炭処理水配管40により接続されている。
原水である過酸化水素が含まれるアンモニア含有排水は、原水配管18を通して原水槽10に送液され、貯留される。原水槽10において、アンモニア含有排水にアルカリ剤が添加され、pH10以上に調整される(第1pH調整工程)。pH10以上に調整されたアンモニア含有排水は、原水配管38を通して活性炭処理装置36に送液され、活性炭処理装置36において活性炭処理されて過酸化水素が分解される(過酸化水素分解工程)。活性炭処理された活性炭処理水は、活性炭処理水配管40を通してアンモニアストリッピング処理装置12に送液され、図1に示すアンモニア含有排水処理装置1と同様にして、以降、アンモニアストリッピング処理工程、1次逆浸透膜処理工程、2次逆浸透膜処理工程、循環工程を経て処理される。
図3のアンモニア含有排水処理装置3では、活性炭処理装置36が過酸化水素分解手段として機能する。2次濃縮水は、過酸化水素分解手段である活性炭処理装置36の前段側である原水槽10に循環される。
ここで、活性炭による過酸化水素分解はアルカリ側で良好になるため、pH10以上に調整されたアンモニア含有排水を活性炭処理することにより、良好に過酸化水素分解が行われると考えられる。
過酸化水素の分解方法としては、カタラーゼ等の酵素を用いる酵素処理、活性炭を用いる活性炭処理、マンガン等の金属触媒を用いる金属触媒処理、重亜硫酸ナトリウム等の還元剤を用いる還元処理等が挙げられ、コストと残留成分等の点から酵素処理と活性炭処理が好ましい。
図2,3に示すような過酸化水素分解手段を備えるアンモニア含有排水の処理装置および過酸化水素分解工程を含むアンモニア含有排水の処理方法は、過酸化水素が含まれるアンモニア含有排水を処理対象とするが、アンモニア濃度が500mg/L以上で、かつ、過酸化水素が1,000mg/L以上、好ましくはアンモニア濃度が1,000mg/L以上で、かつ、過酸化水素が1,000mg/L以上の高濃度の過酸化水素が含まれる高濃度アンモニア含有排水の処理に好適に適用される。
本実施形態に係るアンモニア含有排水の処理装置の他の例の概略構成を図4に示す。図4のアンモニア含有排水処理装置4において、図1のアンモニア含有排水処理装置1の構成に加えて、原水槽10とアンモニアストリッピング処理装置12との間に熱交換装置42を備える。原水槽10の出口と熱交換装置42の原水入口は、原水配管44により接続され、熱交換装置42の原水出口とアンモニアストリッピング処理装置12の入口は、配管46により接続されている。アンモニアストリッピング処理装置12のアンモニアストリッピング処理水出口と熱交換装置42のアンモニアストリッピング処理水入口は、配管48により接続され、熱交換装置42のアンモニアストリッピング処理水出口と1次逆浸透膜処理装置14の入口は、配管50により接続されている。
原水であるアンモニア含有排水は、原水配管18を通して原水槽10に送液され、貯留される。原水槽10において、アンモニア含有排水にアルカリ剤が添加され、pH10以上に調整される(第1pH調整工程)。pH10以上に調整されたアンモニア含有排水は、原水配管44を通して熱交換装置42を経由し、配管46を通してアンモニアストリッピング処理装置12に送液され、ストリッピング処理装置12においてpH10以上でアンモニアストリッピング処理される(アンモニアストリッピング処理工程)。
アンモニアストリッピング処理されたアンモニアストリッピング処理水は、配管48を通して熱交換装置42を経由し、配管50を通して1次逆浸透膜処理装置14に送液される。アンモニアストリッピング処理水の水温は通常80℃から100℃程度になっているが、これを熱交換装置42に通水することで原水であるアンモニア含有排水と熱交換されて水温が30℃から40℃程度まで低下する。このようにして、熱エネルギを効率的に利用することができる。熱交換されたアンモニアストリッピング処理水は、図1に示すアンモニア含有排水処理装置1と同様にして、以降、1次逆浸透膜処理工程、2次逆浸透膜処理工程、循環工程を経て処理される。
本実施形態において、処理対象となるアンモニア含有排水は、アンモニアを含有するものであればよく特に制限はないが、例えば、半導体関連工場でのウエハー洗浄工程から排出される排水等が挙げられる。
以下、実施例および比較例を挙げ、本発明をより具体的に詳細に説明するが、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。
<実施例1>
図5に示すアンモニア含有排水処理装置5を用いて、1,100mg/Lのアンモニアを含む高濃度アンモニア含有排水を処理した。図5に示すアンモニア含有排水処理装置5は、図4のアンモニア含有排水処理装置4の構成に加えて、アンモニアストリッピング処理装置12と1次逆浸透膜処理装置14との間に中継槽52と精密ろ過装置54とを備える。熱交換装置42のアンモニアストリッピング処理水出口と中継槽52の入口は、配管50により接続され、中継槽52の出口と精密ろ過装置54の入口は、配管56により接続され、精密ろ過装置54の出口と1次逆浸透膜処理装置14の入口は、配管58により接続されている。精密ろ過装置54は、後段の逆浸透膜を保護するために設置した。
処理対象の高濃度アンモニア含有排水のpHは10.2であった。原水槽10において水酸化ナトリウム水溶液を添加して高濃度アンモニア含有排水のpHを10.5に調整した。アンモニアストリッピング処理装置12では、蒸気と接触させることによって水温を90℃まで加温して処理を行った。アンモニアストリッピング処理において、アンモニアストリッピング処理水のアンモニアの濃度は14mg/Lまで低減された。アンモニアストリッピング処理水は熱交換装置42で原水と熱交換され、水温は36℃まで低下した。アンモニアストリッピング処理において、アンモニアストリッピング処理水のpHは9.2まで低下したため、中継槽52において水酸化ナトリウム水溶液を添加してアンモニアストリッピング処理水のpHを10.0に調整した。精密ろ過装置54を用いた精密ろ過処理では、ろ過孔径が30μmの精密ろ過膜を用いてアンモニアストリッピング処理水中に含まれる粒子状物質を除去した。
1段目の逆浸透膜処理では、回収率85%で1次透過水を得た。1段目の逆浸透膜処理の被処理水(アンモニアストリッピング処理水)中には、アンモニアが14mg/L、カルシウムが9mg/L、硫酸イオンが16mg/L、TOCが1.1mg/L含まれていた。1段目の逆浸透膜処理の1次透過水中には、アンモニアは大部分の13mg/Lが残留していたが、スケール成分となるカルシウムと硫酸イオンは1mg/L以下、スライム汚染原因物質となるTOCは1mg/L以下になっていた。
1段目の逆浸透膜処理の1次透過水に、塩酸を添加して2段目の逆浸透膜処理における被処理水のpHを6.8に調整した。
2段目の逆浸透膜処理では、回収率90%で2次透過水を得た。2段目の逆浸透膜処理の被処理水(1次透過水)中には、アンモニアが13mg/L含まれていたが、2段目の逆浸透膜処理の2次透過水中には、アンモニアイオンは1.4mg/Lとなって大部分は除去されていた。2段目の逆浸透膜処理の2次透過水は、イオン類、有機物等が良好に除去された純度の高い水となっており、純水製造装置や冷却水等の雑用水に回収再利用することが可能となった。
一方、2段目の逆浸透膜処理の2次濃縮水中には、アンモニアイオンが115mg/L含まれていたが、スケール成分となるカルシウムイオンと硫酸イオンは1mg/L以下、スライム汚染原因物質となるTOCは1mg/L以下になっていた。実施例1における各工程での水質を表1に示す。
Figure 2014104410
この2段目の逆浸透膜処理の2次濃縮水を原水槽10に循環して35日間の長期運転を実施したところ、アンモニアストリッピング処理でのアンモニア除去性能はほとんど低下せず、1段目および2段目の逆浸透膜処理での通水差圧もほとんど上昇しなかった。
<比較例1>
図6に示すアンモニア含有排水処理装置6を用いて、1,100mg/Lのアンモニアを含む高濃度アンモニア含有排水を処理した。アンモニアストリッピング処理までは実施例1と同じ処理を行った。中継槽52で、塩酸を添加してアンモニアストリッピング処理水のpHを6.8に調整した。精密ろ過装置54を用いた精密ろ過処理では、ろ過孔径が30μmの精密ろ過膜を用いてアンモニアストリッピング処理水中に含まれる粒子状物質を除去した。
逆浸透膜処理装置60を用いた逆浸透膜処理では、回収率85%で透過水を得た。逆浸透膜処理の被処理水(アンモニアストリッピング処理水)中には、アンモニアイオンが15mg/L、カルシウムイオンが8mg/L、硫酸イオンが16mg/L、TOCが1.3mg/L含まれていた。逆浸透膜処理の透過水中には、アンモニアイオンは1.8mg/Lとなって、スケール成分となるカルシウムと硫酸イオンは1mg/L以下、スライム汚染原因物質となるTOCは1mg/L以下になっていた。逆浸透膜処理の透過水は、イオン類、有機物等が良好に排除された純度の高い水となっており、純水製造装置や冷却水等の雑用水に回収再利用することが可能となった。
一方、逆浸透膜処理の濃縮水中には、アンモニアイオンが88mg/L含まれていたが、スケール成分となるカルシウムイオンは50mg/L、硫酸イオンは102mg/L、スライム汚染原因物質となるTOCは5.1mg/L以下に濃縮されていた。比較例1における各工程での水質を表2に示す。
Figure 2014104410
この逆浸透膜処理の濃縮水を原水槽10に循環して33日間の長期運転を実施したところ、アンモニアストリッピング処理では徐々にアンモニア除去性能が低下し、逆浸透膜処理では通水差圧が徐々に上昇した。
以上のように、実施例1の処理では、アンモニアストリッピング処理とpHが異なる二段の逆浸透膜処理との組み合わせにおいて、スケール化やスライム汚染の原因物質となるイオン成分や有機物等は1段目の逆浸透膜処理で濃縮排除して、アンモニアは2段目の逆浸透膜処理で濃縮循環させることで、系内にスケール分散剤やスライムコントロール剤といった薬品を添加しなくてもイオン成分のスケール化や有機物によるスライム汚染を抑制してアンモニアを効率的に除去することが可能となった。
1,2,3,4,5,6 アンモニア含有排水処理装置、10 原水槽、12 アンモニアストリッピング処理装置、14 1次逆浸透膜処理装置、16 2次逆浸透膜処理装置、18,20,38,44 原水配管、22 アンモニアストリッピング処理水配管、24 1次透過水配管、26 処理水配管、28 2次濃縮水循環配管、30 アンモニアガス配管、32 1次濃縮水配管、34 カタラーゼ添加配管、36 活性炭処理装置、40 活性炭処理水配管、42 熱交換装置、46,48,50,56,58 配管、52 中継槽、54 精密ろ過装置、60 逆浸透膜処理装置。

Claims (6)

  1. アンモニア含有排水をpH10以上でアンモニアストリッピング処理するアンモニアストリッピング処理手段と、
    前記アンモニアストリッピング処理したアンモニアストリッピング処理水をpH10以上で1段目の逆浸透膜処理を行い、1次透過水と1次濃縮水とに分離する1次逆浸透膜処理手段と、
    前記1次透過水をpH8.5以下で2段目の逆浸透膜処理を行い、2次透過水と2次濃縮水とに分離する2次逆浸透膜処理手段と、
    前記2次濃縮水を前記アンモニアストリッピング処理手段の前段側に循環する循環手段と、
    を備えることを特徴とするアンモニア含有排水の処理装置。
  2. 請求項1に記載のアンモニア含有排水の処理装置であって、
    前記アンモニア含有排水がさらに過酸化水素を含有し、
    前記アンモニアストリッピング処理手段の前段側に、前記アンモニア含有排水中の過酸化水素を分解する過酸化水素分解手段を備え、
    前記循環手段は、前記2次濃縮水を前記過酸化水素分解手段または前記過酸化水素分解手段の前段側に循環するものであることを特徴とするアンモニア含有排水の処理装置。
  3. 請求項2に記載のアンモニア含有排水の処理装置であって、
    前記過酸化水素分解手段が、カタラーゼを用いる酵素処理により過酸化水素を分解するものであることを特徴とするアンモニア含有排水の処理装置。
  4. アンモニア含有排水をpH10以上でアンモニアストリッピング処理するアンモニアストリッピング処理工程と、
    前記アンモニアストリッピング処理したアンモニアストリッピング処理水をpH10以上で1段目の逆浸透膜処理を行い、1次透過水と1次濃縮水とに分離する1次逆浸透膜処理工程と、
    前記1次透過水をpH8.5以下で2段目の逆浸透膜処理を行い、2次透過水と2次濃縮水とに分離する2次逆浸透膜処理工程と、
    前記2次濃縮水を前記アンモニアストリッピング処理手段の前段側に循環する循環工程と、
    を含むことを特徴とするアンモニア含有排水の処理方法。
  5. 請求項4に記載のアンモニア含有排水の処理方法であって、
    前記アンモニア含有排水がさらに過酸化水素を含有し、
    前記アンモニアストリッピング処理工程の前段側に、前記アンモニア含有排水中の過酸化水素を分解する過酸化水素分解工程を含み、
    前記循環工程において、前記2次濃縮水を前記過酸化水素分解工程または前記過酸化水素分解工程の前段側に循環することを特徴とするアンモニア含有排水の処理方法。
  6. 請求項5に記載のアンモニア含有排水の処理方法であって、
    前記過酸化水素分解工程において、カタラーゼを用いる酵素処理により過酸化水素を分解することを特徴とするアンモニア含有排水の処理方法。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10752533B2 (en) 2015-10-30 2020-08-25 DDP Specialty Electronic Materials US, Inc. Membrane treatment of ammonia-containing waste water
JP6653626B2 (ja) * 2016-06-07 2020-02-26 オルガノ株式会社 水処理方法および装置、水処理装置の改造方法、並びに水処理装置改造用キット
JP7092530B2 (ja) * 2018-03-23 2022-06-28 月島環境エンジニアリング株式会社 酸性成分及びアンモニアを含有する廃水のアンモニアストリッピング処理装置及びその方法
JP6773164B2 (ja) * 2019-03-28 2020-10-21 栗田工業株式会社 水処理装置及び水処理方法
CN115417547A (zh) * 2022-09-01 2022-12-02 宁德邦普循环科技有限公司 一种前驱体合成废水淡化系统

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06170355A (ja) * 1992-12-03 1994-06-21 Kurita Water Ind Ltd 過酸化水素を含む半導体製造排水の処理方法
JPH10314735A (ja) * 1997-05-14 1998-12-02 Kurita Water Ind Ltd 純水製造方法
JPH11510432A (ja) * 1995-08-07 1999-09-14 ゼノン、エンバイロンメンタル、インコーポレーテッド 逆浸透を使用する高純度の水の製造
JP2000051871A (ja) * 1998-08-06 2000-02-22 Kurita Water Ind Ltd 過酸化水素とアンモニアとを含む排水の処理法
JP2002143850A (ja) * 2000-11-15 2002-05-21 Hitachi Zosen Corp 排水処理装置
JP2002192152A (ja) * 2000-12-25 2002-07-10 Nomura Micro Sci Co Ltd 水処理方法および水処理装置
JP3667597B2 (ja) * 2000-05-12 2005-07-06 三菱住友シリコン株式会社 半導体製造工程から排出されるアンモニア含有排水の処理方法
JP2011212585A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Kurita Water Ind Ltd 有機物含有排水の処理方法及び装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200838810A (en) * 2007-03-21 2008-10-01 Powerchip Semiconductor Corp System of wastewater disposal and method of the same
CN201485354U (zh) * 2009-08-27 2010-05-26 浙江华友钴业股份有限公司 一种处理氨氮废水的新型装置
TWI534096B (zh) * 2010-05-18 2016-05-21 Wastewater recovery and treatment system and its treatment method

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06170355A (ja) * 1992-12-03 1994-06-21 Kurita Water Ind Ltd 過酸化水素を含む半導体製造排水の処理方法
JPH11510432A (ja) * 1995-08-07 1999-09-14 ゼノン、エンバイロンメンタル、インコーポレーテッド 逆浸透を使用する高純度の水の製造
JPH10314735A (ja) * 1997-05-14 1998-12-02 Kurita Water Ind Ltd 純水製造方法
JP2000051871A (ja) * 1998-08-06 2000-02-22 Kurita Water Ind Ltd 過酸化水素とアンモニアとを含む排水の処理法
JP3667597B2 (ja) * 2000-05-12 2005-07-06 三菱住友シリコン株式会社 半導体製造工程から排出されるアンモニア含有排水の処理方法
JP2002143850A (ja) * 2000-11-15 2002-05-21 Hitachi Zosen Corp 排水処理装置
JP2002192152A (ja) * 2000-12-25 2002-07-10 Nomura Micro Sci Co Ltd 水処理方法および水処理装置
JP2011212585A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Kurita Water Ind Ltd 有機物含有排水の処理方法及び装置

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