JP2020146618A - 純水製造装置および純水の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
一方、半導体の線幅微細化に伴い、洗浄用として用いられる純水、超純水の要求水質が高まってきており、例えば、微量の不純物としてホウ素の低減が求められている。このため、ホウ素濃度を低減することを目的として、従来海水の淡水化用途で用いられるような高圧型逆浸透膜とイオン交換装置を組み合わせた方法が提案されている(特許文献1、特許文献2)。
また、RO装置の透過水の水質を向上させるため、複数段の低圧型RO装置を用い、1段目のRO装置の透過水を2段目以降のRO装置で処理し、得られた透過水をEDI装置に供給することが提案されている(特許文献3)。この場合、2段目以降のRO装置から排出される濃縮水中の不純物の濃度は、1段目のRO装置に供給される給水(被処理水)の不純物濃度と比較して低いため、2段目のRO装置からの濃縮水を被処理水に戻す(混合する)ことにより、被処理水を希釈しつつ、システム全体の水回収率を高めることが可能となる。また、同様の理由で、EDI装置から排出される濃縮水も被処理水に戻されることとなる。
さらに、水回収率を上げるために、1段目のRO装置の濃縮水を被処理水として第3のRO装置に通水し、得られた透過水を被処理水に戻すことも行われている。
すなわち、本発明は、被処理水が供給される第1の逆浸透膜装置と、前記第1の逆浸透膜装置からの透過水が供給される第2の逆浸透膜装置と、前記第2の逆浸透膜装置からの透過水が供給される電気再生式脱イオン装置と、前記第1の逆浸透膜装置からの濃縮水が供給されるブラインタンクと、前記ブラインタンクに接続する第3の逆浸透膜装置と、を備え、前記第2の逆浸透膜装置が高圧型逆浸透膜装置であって、前記ブラインタンクには、前記第2の逆浸透膜装置からの濃縮水および前記電気再生式脱イオン装置からの濃縮水からなる群より選択される少なくとも1種の濃縮水が供給され、前記第3の逆浸透膜装置からの透過水が、前記被処理水に供給される、純水製造装置である。
被処理水タンク10に供給された被処理水8は、低圧型〜超低圧型の第1の逆浸透膜装置14に供給され、その透過水15が高圧型の第2の逆浸透膜装置16に供給され、さらにその透過水17がEDI20に供給されて、最終的に処理水22が純水として製造される。低圧型〜超低圧型ROは、ホウ素や尿素の除去率が低いため、第1の逆浸透膜装置14の透過水にはホウ素や尿素が含まれる。一方、高圧型ROは低圧型〜超低圧型ROに比べホウ素や尿素の除去率が高いため、第2の逆浸透膜装置ではホウ素や尿素を効果的に除去される。第1の逆浸透膜装置14からの濃縮水19、第2の逆浸透膜装置16からの濃縮水21およびEDI20からの濃縮水24は、ブラインタンク12に供給される。そして、これらの濃縮水は、第3の逆浸透膜装置18に供給され、その透過水23が被処理水タンク10に回収されることとなる。ここで、第2の逆浸透膜装置16からの濃縮水21およびEDI20からの濃縮水24は、第1の逆浸透膜装置14からの濃縮水19に比べその不純物の濃度が低いため、ブラインタンク12において、第1の逆浸透膜装置14からの濃縮水19を希釈することができる。
平均操作圧=(運転圧力+濃縮水出口圧力)/2
有効圧力1MPaあたりの透過流束は、膜メーカーのカタログに記載の情報、例えば、透過水量、膜面積、評価時の回収率、NaCl濃度等から計算することができる。また、1つ又は複数の圧力容器に同一の透過流束である逆浸透膜が複数本装填されている場合、圧力容器の平均操作圧/2次側圧力、被処理水水質、透過水量、膜本数等の情報より、装填された膜の透過流束を計算することができる。
これら逆浸透膜装置のモジュール構成、ベッセル構成は、求められる透過水質、透過水量、水回収率、フットプリント等によって、適切なものを設計、選定することができる。
ここで用いられるpH調整剤としては、pHを調整する働きを有するものであれば特に制限はないが、例えば、塩酸、硫酸、硝酸等を用いることができる。
EDIを複数段とすることにより、より効率的に純水の製造が可能となる。このとき、2段目以降の電気再生式脱イオン装置の濃縮水の不純物濃度は、1段目のEDIの給水の不純物濃度よりも低いため、ブラインタンクに供給する必要はない。
実施例及び比較例で用いた被処理水としては、以下のものを使用した。
被処理水20m3/hに対して、ナトリウムが20ppm、カルシウムが20ppm、炭酸水素イオンが30ppmCaCO3、イオン状シリカが10ppm、ホウ素が50ppb、尿素が20ppbであり、約50h運転した。
第1の逆浸透膜装置:逆浸透膜(商品名:CPA5−LD、Hydranautics社製)、回収率80%、pH=8.0。
第2の逆浸透膜装置:逆浸透膜(商品名:SW30HRLE−440、ダウケミカル社製)、回収率90%、pH=8.5。
第3の逆浸透膜装置:逆浸透膜(商品名:SWC5−LD、Hydranautics社製)、回収率75%、pH=6。
電気再生式脱イオン装置:(商品名:EDI−XP、オルガノ社製)、回収率90%。
なお、運転電流値は5Aに設定した。
図7に示す純水製造装置を用いて運転を行い、被処理水タンクの水、および第2の逆浸透膜装置からの透過水について、ホウ素及び尿素の濃度を測定した。結果を表1に示す。
図1に示す本発明に係る第一の実施形態の純水製造装置を用いて運転を行い、被処理水タンクの水、および第2の逆浸透膜装置からの透過水について、ホウ素及び尿素の濃度を測定した。結果を表2に示す。
一方、実施例1においては、第2の逆浸透膜装置からの濃縮水およびEDIからの濃縮水をブラインタンクに供給しており、第3の逆浸透膜装置の透過水が被処理水タンクに供給される。これにより被処理水タンク内の不純物濃度の上昇が抑えられ、水質が向上した。
図1、4〜6に示した本発明の純水製造装置(実施例2〜5)及び図7に示した純水製造装置(比較例2)を用いて純水を製造し、最終的に得られた処理水22(純水)の水質を評価した。
その結果、実施例2〜5、比較例2のいずれにおいても、比抵抗は18MΩ・cmを超えていた。
また、ホウ素濃度は、実施例2〜5のいずれも50ppt未満であったのに対し、比較例2では50pptを超えていた。
尿素濃度は、実施例2〜5のいずれも10ppb未満であったのに対し、比較例2では12ppbを超えていた。
10 被処理水タンク
12 ブラインタンク
14 第1の逆浸透膜装置
15 第1の逆浸透膜装置からの透過水
16 第2の逆浸透膜装置
17 第2の逆浸透膜装置からの透過水
18 第3の逆浸透膜装置
19 第1の逆浸透膜装置からの濃縮水
20 電気再生式脱イオン装置(EDI)
21 第2の逆浸透膜装置からの濃縮水
22 処理水
23 第3の逆浸透膜装置からの透過水
24 電気再生式脱イオン装置からの濃縮水
26 ブロー
28 pH調整装置
30 脱炭酸装置
32 1段目のEDI
34 2段目のEDI
Claims (10)
- 被処理水が供給される第1の逆浸透膜装置と、
前記第1の逆浸透膜装置からの透過水が供給される第2の逆浸透膜装置と、
前記第2の逆浸透膜装置からの透過水が供給される電気再生式脱イオン装置と、
前記第1の逆浸透膜装置からの濃縮水が供給されるブラインタンクと、
前記ブラインタンクに接続する第3の逆浸透膜装置と、を備え、
前記第2の逆浸透膜装置が高圧型逆浸透膜装置であって、
前記ブラインタンクには、前記第2の逆浸透膜装置からの濃縮水および前記電気再生式脱イオン装置からの濃縮水からなる群より選択される少なくとも1種の濃縮水が供給され、
前記第3の逆浸透膜装置からの透過水が、前記被処理水に供給される、純水製造装置。 - 前記第3の逆浸透膜装置が高圧型逆浸透膜装置である、請求項1に記載の純水製造装置。
- 前記第3の逆浸透膜装置の上流にpH調整装置をさらに備える、請求項1または2に記載の純水製造装置。
- 前記第1の逆浸透膜装置の上流に脱炭酸装置を備え、被処理水および前記第3の逆浸透膜装置からの透過水が前記脱炭酸装置に供給される、請求項1〜3のいずれか1項に記載の純水製造装置。
- 前記電気再生式脱イオン装置が直列に接続された複数段の電気再生式脱イオン装置から構成され、前記第2の逆浸透膜装置に直接接続する1段目の電気再生式脱イオン装置からの濃縮水が前記ブラインタンクに供給され、2段目以降の電気再生式脱イオン装置からの濃縮水が、前記第2の逆浸透膜装置と前記1段目の電気再生式脱イオン装置の間に供給される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の純水製造装置。
- (a)被処理水を第1の逆浸透膜装置に供給するステップと、
(b)前記第1の逆浸透膜装置からの透過水を第2の逆浸透膜装置に供給するステップと、
(c)前記第2の逆浸透膜装置からの透過水を電気再生式脱イオン装置に供給するステップと、
(d)前記第1の逆浸透膜装置からの濃縮水をブラインタンクに供給するステップと、
(e)前記第2の逆浸透膜装置からの濃縮水および前記電気再生式脱イオン装置からの濃縮水からなる群より選択される少なくとも1種の濃縮水をブラインタンクに供給するステップと、
(f)前記ブラインタンクの濃縮水を第3の逆浸透膜装置に供給するステップと、
(g)前記第3の逆浸透膜装置からの透過水を被処理水に供給するステップと、
(h)前記電気再生式脱イオン装置からの処理水を純水として取り出すステップと、
を備え、前記第2の逆浸透膜装置が高圧型逆浸透膜装置である、純水の製造方法。 - 前記第2の逆浸透膜装置および前記第3の逆浸透膜装置の少なくとも一方が、高圧型逆浸透膜装置である、請求項6に記載の純水の製造方法。
- 前記第3の逆浸透膜装置の上流でpHを調整するステップをさらに備える、請求項6または7に記載の純水の製造方法。
- 前記第1の逆浸透膜装置の上流に備えられた脱炭酸装置に、被処理水および前記第3の逆浸透膜装置からの透過水を供給するステップをさらに備える、請求項6〜8のいずれか1項に記載の純水の製造方法。
- 前記電気再生式脱イオン装置が直列に接続された複数段の電気再生式脱イオン装置から構成され、前記第2の逆浸透膜装置に直接接続する1段目の電気再生式脱イオン装置からの濃縮水を前記ブラインタンクに供給し、2段目以降の電気再生式脱イオン装置からの濃縮水を、前記第2の逆浸透膜装置と前記1段目の電気再生式脱イオン装置の間に供給するステップをさらに備える、請求項6〜9のいずれか1項に記載の純水の製造方法。
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7044848B1 (ja) * | 2020-10-14 | 2022-03-30 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 液処理装置、純水製造システム及び液処理方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04150923A (ja) * | 1990-10-12 | 1992-05-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 低圧用逆浸透膜による高濃度溶液の濃縮方法及び装置 |
JP2004000919A (ja) * | 2002-04-05 | 2004-01-08 | Kurita Water Ind Ltd | 脱塩水製造装置 |
JP2004167423A (ja) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Kurita Water Ind Ltd | 純水製造装置及び純水製造方法 |
WO2015012054A1 (ja) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | 栗田工業株式会社 | ホウ素含有水の処理方法及び装置 |
JP2016150275A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-08-22 | 栗田工業株式会社 | 純水の製造方法及び純水の製造装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4351559B2 (ja) * | 2004-03-05 | 2009-10-28 | 株式会社神鋼環境ソリューション | 海水淡水化方法 |
WO2008059824A1 (fr) * | 2006-11-16 | 2008-05-22 | Kurita Water Industries Ltd. | Appareil de traitement d'eau et procédé de traitement d'eau |
JP2009028695A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Kurita Water Ind Ltd | 純水製造装置及び純水製造方法 |
WO2016033319A1 (en) * | 2014-08-27 | 2016-03-03 | Tangent Company Llc | Electrochemically regenerated water decationization method and apparatus |
CN205419944U (zh) * | 2015-11-24 | 2016-08-03 | 凯芙隆(厦门)环境科技有限公司 | 一种双渗透净水机及其的滤芯模组 |
CN207596652U (zh) * | 2017-11-17 | 2018-07-10 | 中煤西安设计工程有限责任公司 | 一种高矿化度矿井水近零排放综合资源化pdces处理系统 |
-
2019
- 2019-03-13 JP JP2019045327A patent/JP7200014B2/ja active Active
-
2020
- 2020-02-13 WO PCT/JP2020/005550 patent/WO2020184044A1/ja active Application Filing
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04150923A (ja) * | 1990-10-12 | 1992-05-25 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 低圧用逆浸透膜による高濃度溶液の濃縮方法及び装置 |
JP2004000919A (ja) * | 2002-04-05 | 2004-01-08 | Kurita Water Ind Ltd | 脱塩水製造装置 |
JP2004167423A (ja) * | 2002-11-21 | 2004-06-17 | Kurita Water Ind Ltd | 純水製造装置及び純水製造方法 |
WO2015012054A1 (ja) * | 2013-07-22 | 2015-01-29 | 栗田工業株式会社 | ホウ素含有水の処理方法及び装置 |
JP2016150275A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-08-22 | 栗田工業株式会社 | 純水の製造方法及び純水の製造装置 |
Also Published As
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