JP2014102879A - 試料ホルダーおよび電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料ホルダー100は、燃料極、固体高分子膜、および空気極を有する固体高分子形燃料電池1観察用の電子顕微鏡の試料ホルダーであって、固体高分子形燃料電池1を支持する支持部と、固体高分子形燃料電池1が収容されるガス雰囲気室20と、ガス雰囲気室20に酸素ガスを導くための酸素ガス供給管30aと、燃料極に水素ガスを導くための水素ガス供給管と、燃料極に接続される第1配線と、空気極に接続される第2配線と、固体高分子形燃料電池を加熱するための加熱部と、を含む。
【選択図】図1
Description
燃料極、固体高分子膜、および空気極を有する固体高分子形燃料電池観察用の電子顕微鏡の試料ホルダーであって、
前記固体高分子形燃料電池を支持する支持部と、
前記固体高分子形燃料電池が収容されるガス雰囲気室と、
前記ガス雰囲気室に酸素ガスを導くための酸素ガス供給管と、
前記燃料極に水素ガスを導くための水素ガス供給管と、
前記燃料極に接続される第1配線と、
前記空気極に接続される第2配線と、
前記固体高分子形燃料電池を加熱するための加熱部と、
を含む。
前記ガス雰囲気室の雰囲気と前記電子顕微鏡の試料室の雰囲気とを隔離し、かつ、電子線を透過させる隔膜を含んでいてもよい。
前記ガス雰囲気室から前記酸素ガスを排気するための酸素ガス排気管を含んでいてもよい。
前記水素ガス供給管から前記水素ガスを排気するための水素ガス排気管を含んでいてもよい。
前記酸素ガス供給管に供給される前記酸素ガスの量を調整するための酸素ガス導入流量調整バルブを含んでいてもよい。
前記水素ガス供給管に供給される前記水素ガスの量を調整するための水素ガス導入流量調整バルブを含んでいてもよい。
本発明に係る試料ホルダーを含む。
1.1. 試料ホルダーの構成
まず、第1実施形態に係る試料ホルダーの構成について、図面を参照しながら説明する。図1および図2は、第1実施形態に係る試料ホルダー100のガス雰囲気室20内の構成を模式的に示す断面図である。なお、図1は、試料ホルダー100を電子線EBの進行方向に対して直交する方向から見た図であり、図2は、試料ホルダー100を電子線EBの進行方向から見た図である。また、図2では、ガス雰囲気室20を規定する壁部22の図示を省略している。図1および図2では、試料ホルダー100のガス雰囲気室20が透過電子顕微鏡の試料室1010に位置している状態を図示している。
された水素を、プロトンと電子に分解する。プロトンは、固体高分子膜4へ移動し、電子は、外部回路(図示せず)を通って空気極6へ移動する。この電子の移動が電流にあたる。固体高分子膜4は、燃料極2で生成したプロトンを空気極6に移動させる。空気極6では、固体高分子膜4から来たプロトン、外部回路から来た電子、および供給された酸素が反応して水が生成する。
、水素ガス供給部120a(図4参照)から供給される水素ガスを、燃料極2に導く。水素ガス供給管40aは、燃料極2に接続される。図示の例では、燃料極2が水素ガス供給管40aに挿入され、燃料極2の一部が水素ガス供給管40a内で露出することによって、水素ガス供給管40aと燃料極2とが接続されている。水素ガス供給管40aの一方の端は、水素ガス排気管40bに接続され、他方の端は、水素ガス供給部120aに接続されている配管122a(図4参照)に接続されている。水素ガス供給管40aは、シャフト部80内およびガス雰囲気室20内に設けられている。図示の例では、水素ガス供給管40aの一部は、貫通孔72cを含む低熱伝導体70で構成されている。水素ガス供給管40aは、低熱伝導体70に固定されている。
線等を定電流電源に接続することで、熱を発生させる。温度センサーは、例えば、熱電対やサーミスタなどを電圧計等に接続することで構成される。
110bに接続されている。配管112bには、酸素ガス排気開閉バルブ114b、酸素ガス排気流量調整バルブ116b、および真空計118bが設けられている。
内の圧力を調整することができる。水素ガス導入流量調整バルブ126aは、水素ガス供給部120aと水素ガス導入開閉バルブ124aとの間に配置されている。
次に、第1実施形態に係る試料ホルダーの動作について、図1〜図4を参照しながら説明する。
の温度になるように加熱する。
2.1. 試料ホルダーの構成
次に、第2実施形態に係る試料ホルダーの構成について、図面を参照しながら説明する。図5および図6は、第2実施形態に係る試料ホルダー200のガス雰囲気室20内の構成を模式的に示す断面図である。なお、図5は、試料ホルダー200を電子線EBの進行
方に対して直交する方向から見た図であり、図6は、試料ホルダー200を電子線EBの進行方向から見た図である。また、図6では、ガス雰囲気室20を規定する壁部22の図示を省略している。図5および図6は、試料ホルダー200のガス雰囲気室20が透過電子顕微鏡の試料室1010に位置している状態を図示している。以下、試料ホルダー200において、上述した試料ホルダー100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第2実施形態に係る試料ホルダーの動作について、図5〜図8を参照しながら説明する。
次に、第3実施形態に係る電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図9は、第3実施形態に係る電子顕微鏡の構成を説明するための図である。第3実施形態に係る電子顕微鏡1000は、本願発明に係る試料ホルダーを含んで構成されている。ここでは、電子顕微鏡1000が、試料ホルダー100を含んで構成されている場合について説明する。
2は、電子線源1001で発生した電子線EBを試料1に照射するためのレンズである。照射レンズ1002は、複数の集束レンズ(図示せず)を含んで構成されている。
給部、120b…水素ガス排気部、122a,122b…配管、124a…水素ガス導入開閉バルブ、124b…水素ガス排気開閉バルブ、126a…水素ガス導入流量調整バルブ、126b…水素ガス排気流量調整バルブ、128a,128b…真空計、200…真空計、212,222…配管、230…酸素ガス通路管、240…水素ガス通路管、1000…電子顕微鏡、1001…電子線源、1002…照射レンズ、1004…対物レンズ、1006…投影レンズ、1008…撮像装置、1009…鏡筒、1010…試料室
Claims (7)
- 燃料極、固体高分子膜、および空気極を有する固体高分子形燃料電池観察用の電子顕微鏡の試料ホルダーであって、
前記固体高分子形燃料電池を支持する支持部と、
前記固体高分子形燃料電池が収容されるガス雰囲気室と、
前記ガス雰囲気室に酸素ガスを導くための酸素ガス供給管と、
前記燃料極に水素ガスを導くための水素ガス供給管と、
前記燃料極に接続される第1配線と、
前記空気極に接続される第2配線と、
前記固体高分子形燃料電池を加熱するための加熱部と、
を含む、試料ホルダー。 - 請求項1において、
前記ガス雰囲気室の雰囲気と前記電子顕微鏡の試料室の雰囲気とを隔離し、かつ、電子線を透過させる隔膜を含む、試料ホルダー。 - 請求項1または2において、
前記ガス雰囲気室から前記酸素ガスを排気するための酸素ガス排気管を含む、試料ホルダー。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記水素ガス供給管から前記水素ガスを排気するための水素ガス排気管を含む、試料ホルダー。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記酸素ガス供給管に供給される前記酸素ガスの量を調整するための酸素ガス導入流量調整バルブを含む、試料ホルダー。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記水素ガス供給管に供給される前記水素ガスの量を調整するための水素ガス導入流量調整バルブを含む、試料ホルダー。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の試料ホルダーを含む、電子顕微鏡。
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