JP2014099563A - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像装置の製造方法は、第1面および第2面を有し光電変換部が配置された半導体層と、前記半導体層の前記第1面の側に配置されたパッド電極と、を含む構造体を準備する工程と、マイクロレンズを含む有機膜を前記半導体層の前記第2面の側であって前記構造体の上に形成する工程と、無機膜を前記有機膜の上に形成する工程と、第1開口を有するレジストパターンを前記無機膜の上に形成する工程と、前記レジストパターンの前記第1開口を通して前記無機膜に第2開口を形成する工程と、前記無機膜の前記第2開口を通して前記構造体を処理して、前記構造体に、前記パッド電極を露出させる第3開口を形成する工程と、前記レジストパターンを除去する工程とを含む。
【選択図】図9
Description
Claims (11)
- 固体撮像装置の製造方法であって、
第1面および第2面を有し光電変換部が配置された半導体層と、前記半導体層の前記第1面の側に配置されたパッド電極と、を含む構造体を準備する工程と、
マイクロレンズを含む有機膜を前記半導体層の前記第2面の側であって前記構造体の上に形成する工程と、
無機膜を前記有機膜の上に形成する工程と、
第1開口を有するレジストパターンを前記無機膜の上に形成する工程と、
前記レジストパターンの前記第1開口を通して前記無機膜に第2開口を形成する工程と、
前記無機膜の前記第2開口を通して前記構造体を処理して、前記構造体に、前記パッド電極を露出させる第3開口を形成する工程と、
前記レジストパターンを除去する工程と、
を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第3開口を形成する工程では、前記無機膜の前記第2開口を通して前記構造体をエッチングすることによって前記第3開口を形成する、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記レジストパターンを除去する工程は、前記第3開口を形成する工程の後に実施される、
ことを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記レジストパターンを除去する工程は、前記第2開口を形成する工程の後であって前記第3開口を形成する工程の前に実施される、
ことを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記構造体を準備する工程では、前記構造体として、開口を有する層と、前記開口に充填された有機物とを含む構造体を準備し、
前記第3開口を形成する工程は、前記無機膜の前記第2開口を通して前記有機物を除去する工程を含み、
前記開口の中の前記有機物が除去されることによって前記第3開口が形成される、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記レジストパターンを除去する工程は、前記第3開口を形成する工程の後に実施される、
ことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記レジストパターンを除去する工程は、前記第2開口を形成する工程の後であって前記第3開口を形成する工程の前に実施される、
ことを特徴とする請求項5に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記無機膜は、反射防止膜として機能するように形成される、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記無機膜は、複数の膜を含む積層構造を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記第3開口の深さと幅との比が0.03以上である、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記構造体を準備する工程と前記有機膜を形成する工程との間に、カラーフィルタを形成する工程を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。
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