JP2014086765A - 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 - Google Patents

Abstract

【課題】従来のような溝部を有さずに、同等のＣＩ値を具備し、且つ効率良く製造することが可能な圧電振動片を提供すること。
【解決手段】隙間２２をあけて平行に並んで配設された第１〜第４振動腕部１０、１１、１２、１３と、第１振動腕部の先端部と第２振動腕部の先端部とを連結する第１連結部１４と、第３振動腕部の先端部と第４振動腕部の先端部とを連結する第２連結部１５と、第１振動腕部の基端部に接続された第１基部１６と、第４振動腕部の基端部に接続された第２基部１７と、第２、第３振動腕部の基端部にそれぞれ接続され、両者を連結する中間基部１８と、第１、第２振動腕部と、第３、第４振動腕部と振動させる励振電極３０、３１と、を備え、励振電極は、第１〜第４振動腕部の側面上にそれぞれ形成されると共に各振動腕部のそれぞれにおいて幅方向に対向し合う側面間で極性が異なるように形成されている圧電振動片１を提供する。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計に関するものである。

携帯電話や携帯情報端末機器等には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として、水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、その一つとして、いわゆる音叉型の圧電振動片を有する圧電振動子が知られている。

ここで、従来における音叉型の圧電振動片について間単に説明する。
図２０及び図２１に示すように、圧電振動片２００は、幅方向に並んで配置された一対の振動腕部２１０、２１１と、これら一対の振動腕部２１０、２１１の長さ方向に沿う基端部同士を連結する基部２１２と、を備えている。圧電振動片２００の外表面には電極膜２１３が形成され、この電極膜２１３に電圧が印加されることで、一対の振動腕部２１０、２１１を互いに接近又は離間する方向（幅方向）に所定の共振周波数で振動させることが可能とされる。

ところで、近年、パッケージが搭載される機器の小型化に伴い、圧電振動片２００のさらなる小型化が望まれている。しかし、圧電振動片２００の小型化にあたって、振動腕部２１０、２１１の幅を狭く形成すると、電極膜２１３の形成幅も狭くなるので、振動に寄与する電界を印加し難くなり、等価直列抵抗値（Ｃｒｙｓｔａｌ Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ：ＣＩ値）が上昇して出力信号の品質が悪化してしまう。従って、圧電振動片２００の小型化を図るためには、ＣＩ値の上昇を抑えつつ行う必要がある。

そこで、例えば特許文献１に示されるように、振動腕部２１０、２１１の両主面上にエッチング加工により溝部２１４を形成する構成が知られている。
この構成によれば、振動腕部２１０、２１１の側面と溝部２１４の内面とで、対となる電極膜２１３同士が対向するので、その対向方向に電界を効率良く作用させることができる。これにより、振動腕部２１０、２１１の幅を狭くしても、電界効率を高めることができ、ＣＩ値の上昇を抑えつつ圧電振動片の小型化を図ることが可能とされている。

特開２００２−２６１５５８号公報

ところで、振動腕部２１０、２１１に溝部２１４を形成するには、ウエハを圧電振動片２００の外形形状にエッチング加工した後、さらに、振動腕部２１０、２１１における溝部形成領域に対してエッチング加工により溝部２１４を形成する必要がある。
そのため、溝部形成に費やす工程が余計にかかり、製造工数の増加や、製造工程の複雑化に繋がり、製造効率が低下するという問題がある。

また、溝部２１４のエッチングは、圧電振動片２００を外形形成した後に行うので、溝部形成用のマスクを振動腕部２１０、２１１に対して精度良くアライメントさせる必要がある。この際、上記アライメント精度が悪く、溝部２１４が振動腕部２１０、２１１の幅方向にずれてしまった場合には、各振動腕部２１０、２１１を幅方向で二等分する軸線を中心とした両側で形状が異なり、重量バランスが不均衡になる。その結果、振動腕部２１０、２１１の振動バランスの不均衡を招き、ドライブレベル特性（圧電振動片２００に印加する電圧に対する共振周波数の挙動）の変化や、振動漏れによるＣＩ値の増加等に繋がる恐れがある。

更に、電極膜２１３は、溝部２１４の内面に位置する部分と、振動腕部２１０、２１１の側面に位置する部分と、が振動腕部２１０、２１１の主面上において、溝部２１４と振動腕部２１０、２１１の側面との間に位置する部分で分割されるようにパターニングされる必要がある（例えば、図２１に示すＦ部参照）。
そのため、上述したように振動腕部２１０、２１１に対して溝部２１４が幅方向にずれてしまうと、振動腕部２１０、２１１の主面上において、溝部２１４と振動腕部２１０、２１１の側面との間に位置する部分の電極膜２１３が除去されず、溝部２１４の内面側と、振動腕部２１０、２１１の側面側とで、分極が不十分になる恐れがあった。

本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、従来のような溝部を有さずに、同等のＣＩ値を具備し、且つ効率良く製造することが可能な圧電振動片を提供することである。
また、この圧電振動片を具備する、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計の提供することである。

本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）本発明に係る圧電振動片は、基端部から先端部に向かって一方向に延在すると共に、その延在する長さ方向及び厚み方向に直交する幅方向に、隙間をあけて平行に並んで配設された第１〜第４振動腕部と、前記第１〜第４振動腕部のうち、第１振動腕部の先端部と、該第１振動腕部に対して幅方向に隣り合う第２振動腕部の先端部と、を連結する第１連結部と、前記第１〜第４振動腕部のうち、前記第２振動腕部に対して幅方向に隣り合う第３振動腕部の先端部と、該第３振動腕部に対して幅方向に隣り合う第４振動腕部の先端部と、を連結する第２連結部と、前記第１振動腕部の基端部に接続された第１基部と、前記第４振動腕部の基端部に接続された第２基部と、前記第１基部及び前記第２基部の間に配設され、前記第２振動腕部の基端部及び前記第３振動腕部の基端部にそれぞれ接続され、両者を連結する中間基部と、電圧が印加されたときに、前記第１連結部を介して連結された第１振動腕部及び前記第２振動腕部と、前記第２連結部を介して連結された前記第３振動腕部及び前記第４振動腕部と、を前記幅方向に沿って振動させる励振電極と、を備え、前記励振電極は、前記第１〜第４振動腕部の側面上にそれぞれ形成されると共に、各振動腕部のそれぞれにおいて前記幅方向に対向し合う側面間で極性が異なるように形成されていることを特徴とする。

本発明に係る圧電振動片によれば、第１連結部を介して互いに連結された第１振動腕部及び第２振動腕部を、一方の振動腕として機能させ、第２連結部を介して互いに連結された第３振動腕部及び第４振動腕部を、他方の振動腕として機能させることができ、これら一方の振動腕及び他方の振動腕の基端側を、幅方向に離間して配設された第１基部、中間基部及び第２基部の３つの基部で片持ち支持する構成とされている。
そして、励振電極に電圧を印加することで、上述した一方の振動腕及び他方の振動腕を幅方向に沿って互いに接近・離間するように所定の周波数で振動させることができる。

特に、一方の振動腕として機能する第１振動腕部及び第２振動腕部の間には、隙間があいており、この隙間は第１基部と中間基部との間にも延びている。つまり、第１基部及び第１振動腕部と、第２振動腕部及び中間基部と、の間にはスリット状の隙間が形成されている。同様に、他方の振動腕として機能する第３振動腕部及び第４振動腕部の間にも隙間があいており、この隙間は第２基部と中間基部との間にも延びているので、第２基部及び第４振動腕部と、第３振動腕部及び中間基部と、の間にもスリット状の隙間が形成されている。
従って、上記した２つのスリット状の隙間によって、圧電振動片は平面視Ｍ字状とされ、上記スリット状の隙間に従来の溝部と同様の働きをさせることができる。

そして、上記スリット状の隙間を利用して、各振動腕部のそれぞれにおいて、幅方向に対向し合う側面間で極性が異なるように励振電極を形成しているので、幅方向に電界を効率良く作用させることができ、電界効率を高めてＣＩ値の上昇を効果的に抑制することができる。

このように、従来のような溝部を具備しなくてもＣＩ値の上昇を効果的に抑制でき、同等のＣＩ値を有する振動特性に優れた圧電振動片とすることができる。また、製造時、圧電振動片の外形形成後に、従来のように溝部を形成する工程が不要である。従って、効率良く製造することができるうえ、圧電振動片を高精度に形成することができ、例えば上記した一方の振動腕及び他方の振動腕の重量バランスのバラツキ等を抑制できる。この点においても、優れた振動特性を得ることができる。
更に、外形形成後、圧電振動片の全体に導電膜を形成した後、第１〜第４振動腕部の主面上に形成されている導電膜を除去するだけで側面上に励振電極を形成できるので、従来のような高精度なマスクのアライメント作業が不要となる。従って、露光時における分解能に余裕を持たせることができ、この点においても効率の良い製造を行うことができる。

更には、２つのスリット状の隙間によって、溝部を有する従来の一対の振動腕部の重量に比べて、第１〜第４振動腕部の重量を大幅に減少させることができるので、周波数を効果的に下げることが可能である。従って、第１〜第４振動腕部の長さを短くすることが可能になり、小型化を図り易い。

（２）上記本発明に係る圧電振動片において、前記第１基部、前記第２基部及び前記中間基部のうち少なくともいずれか１つの基部の主面上に形成され、前記励振電極に接続されたマウント電極を備えていることが好ましい。

この場合には、圧電振動片のマウントに伴って、マウント電極を介して励振電極に対して確実に電圧を印加することができ、作動信頼性を向上することができる。

（３）上記本発明に係る圧電振動片において、前記第１基部、前記第２基部及び前記中間基部は、実装面に対して各別にマウントされることが好ましい。

この場合には、幅方向に離間して配設された第１基部、中間基部及び第２基部の３つの基部を、実装面に対してそれぞれマウントさせるので、第１〜第４振動腕部の基端部を確実に固定でき、一方の振動腕として機能する第１振動腕部及び第２振動腕部と、他方の振動腕として機能する第３振動腕部及び第４振動腕部と、を安定して振動させることができる。従って、所望する周波数で安定して振動させることができ、より安定した振動特性を有する圧電振動片とすることができる。

（４）本発明に係る圧電振動子は、上記本発明に係る圧電振動片と、互いに接合されたベース部材とリッド部材とを有し、両部材の間に形成されたキャビティ内に前記圧電振動片を収容するパッケージと、を備えていることを特徴とする。

本発明に係る圧電振動子によれば、安定した振動特性を有する高品質で小型化可能な圧電振動片を備えているので、作動の信頼性に優れた高品質な圧電振動子とすることができる。

（５）本発明に係る発振器は、上記本発明に係る圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする。
（６）本発明に係る電子機器は、上記本発明に係る圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする。
（７）本発明に係る電波時計は、上記本発明に係る圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。

本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計によれば、上記圧電振動子を具備しているので、同様に作動の信頼性に優れた高品質な製品とすることができる。

本発明によれば、従来のような溝部を有さずに、同等のＣＩ値を具備し、且つ効率良く製造することが可能な圧電振動片を得ることができる。

本発明に係る圧電振動片の一実施形態を示す図であって、一方の主面側から見た平面図である。 図１に示す圧電振動片を他方の主面側から見た平面図である。 図１に示すＡ−Ａ線に沿った圧電振動片の断面図である。 図１に示す圧電振動片の製造方法を示すフローチャートである。 圧電振動片の製造方法を示す一工程図であって、ウエハの平面図である。 圧電振動片の変形例を示す平面図である。 圧電振動片の別の変形例を示す平面図である。 本発明に係る圧電振動子の一実施形態を示す外観斜視図である。 図８に示す圧電振動子の内部構成図であって、封口板を取り外した状態で圧電振動片を上方から見た図である。 図９に示すＢ−Ｂ線に沿った圧電振動子の断面図である。 図８に示す圧電振動子の分解斜視図である。 本発明に係る発振器の一実施形態を示す構成図である。 本発明に係る電子機器の一実施形態を示す構成図である。 本発明に係る電波時計の一実施形態を示す構成図である。 本発明に係る圧電振動片を一方の主面側から見た平面図である。 従来の溝付き圧電振動片を一方の主面側から見た平面図である。 図１５に示す圧電振動片及び図１６に示す圧電振動片について、共振周波数及びＣＩ値がその程度異なるか解析した結果を示す図である。 図１５に示す圧電振動片及び図１６に示す圧電振動片について、全長と共振周波数との関係を示す関係図である。 図１５に示す圧電振動片及び図１６に示す圧電振動片について、全長とＣＩ値との関係を示す関係図である。 従来の圧電振動片の平面図である。 図２０に示すＣ−Ｃ線に沿った断面図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照して説明する。
（圧電振動片の構成）
図１〜図３に示すように、本実施形態の圧電振動片１は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された振動片であって、平面視Ｍ字状に形成された圧電板２と、該圧電板２の外表面上に形成された電極膜３と、を備えている。

なお、本実施形態の圧電板２は、水晶のランバート原石を、水晶結晶軸として互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対して所定の角度でスライスしてウエハ４０（図５参照）とし、このウエハ４０に対してウェットエッチング等のエッチング加工を施すことで形成された基板である。そして、本実施形態の圧電板２では、水晶結晶軸のＺ軸が圧電板２の厚さ方向にほぼ一致し、Ｙ軸が圧電板２（一対の振動腕２０、２１）の長さ方向に一致し、Ｘ軸が圧電板２の幅方向（一対の振動腕２０、２１の配列方向）に一致している。

圧電板２は、基端部から先端部に向かって上記Ｙ軸方向に沿って延在すると共に、上記Ｘ軸方向に、間隔をあけて平行に並んで配設された第１振動腕部１０、第２振動腕部１１、第３振動腕部１２及び第４振動腕部１３と、第１振動腕部１０の先端部と第２振動腕部１１の先端部とを連結する第１連結部１４と、第３振動腕部１２の先端部と第４振動腕部１３の先端部とを連結する第２連結部１５と、第１振動腕部１０の基端部に接続された第１基部１６と、第４振動腕部１３の基端部に接続された第２基部１７と、第１基部１６及び第２基部１７の間に配設され、第２振動腕部１１の基端部及び第３振動腕部１２の基端部に接続され、両者を連結する中間基部１８と、を備えている。

上記した４つの振動腕部１０〜１３のうち、第１連結部１４を介して連結された第１振動腕部１０及び第２振動腕部１１は、一方の振動腕２０として機能する。この際、第１振動腕部１０及び第２振動腕部１１のそれぞれにおいてＸ軸方向に面する２つの側面のうち、互いに向かい合った面が内側面１０ａ、１１ａとされ、残りの面が外側面１０ｂ、１１ｂとされる。

また、４つの振動腕部１０〜１３のうち、第２連結部１５を介して連結された第３振動腕部１２及び第４振動腕部１３は、他方の振動腕２１として機能する。この際、第３振動腕部１２及び第４振動腕部１３のそれぞれにおいてＸ軸方向に面する２つの側面のうち、互いに向かい合った面が内側面１２ａ、１３ａとされ、残りの面が外側面１２ｂ、１３ｂとされる。

このように、本実施形態の圧電振動片１は、上記した一方の振動腕２０及び他方の振動腕２１の基端側を、Ｘ軸方向に離間して配設された第１基部１６、中間基部１８及び第２基部１７の３つの基部で片持ち支持する構成とされている。つまり、一方の振動腕２０及び他方の振動腕２１を具備する音叉型の振動片とされている。
そして、後述する第１及び第２励振電極３０、３１に電圧を印加することで、一方の振動腕２０及び他方の振動腕２１をＸ軸方向に沿って互いに接近・離間するように所定の周波数で振動させることが可能とされている。

特に、一方の振動腕２０として機能する第１振動腕部１０と第２振動腕部１１との間には、隙間２２があいており、この隙間２２は第１基部１６と中間基部１８との間にも延びている。つまり、第１基部１６及び第１振動腕部１０と、第２振動腕部１１及び中間基部１８と、の間にはスリット状の隙間２２が形成されている。
同様に、他方の振動腕２１として機能する第３振動腕部１２と第４振動腕部１３との間にも隙間２２があいており、この隙間２２も第２基部１７と中間基部１８との間に延びている。つまり、第２基部１７及び第４振動腕部１３と、第３振動腕部１２及び中間基部１８と、の間にはスリット状の隙間２２が形成されている。
従って、上述した２つのスリット状の隙間２２によって圧電振動片１は平面視Ｍ字状とされる。また、スリット状の隙間２２に従来の溝部と同様の働きをさせることができる。

上記電極膜３は、各振動腕部１０〜１３に形成されて、一方の振動腕２０及び他方の振動腕２１をＸ軸方向に振動させる第１励振電極３０及び第２励振電極３１と、これら第１励振電極３０及び第２励振電極３１にそれぞれに電気的に接続された第１マウント電極３２及び第２マウント電極３３と、を備えている。
なお、これら電極膜３は、例えば、クロム（Ｃｒ）と金（Ａｕ）の積層膜等により形成される。

第１及び第２励振電極３０、３１は、一方の振動腕２０及び他方の振動腕２１をＸ−Ｙ平面に沿って所定の共振周波数で逆位相に振動させる電極であり、各振動腕部１０〜１３のそれぞれに形成されると共に、各振動腕部１０〜１３のそれぞれにおいてＸ軸方向に対向し合う側面（例えば、内側面１０ａと外側面１０ｂの間）で極性が異なるように形成されている。

具体的に第１励振電極３０は、一方の振動腕２０側については、第１振動腕部１０の外側面１０ｂに形成されていると共に第１連結部１４の側面を回りこんで第２振動腕部１１の外側面１１ｂに形成され、他方の振動腕２１側については、第３振動腕部１２の内側面１２ａに形成されていると共に第２連結部１５の側面を回りこんで第４振動腕部１３の内側面１３ａに形成されている。

第２励振電極３１は、一方の振動腕２０側については、第１振動腕部１０の内側面１０ａに形成されていると共に第１連結部１４の側面を回りこんで第２振動腕部１１の内側１１ａに形成され、他方の振動腕２１側については、第３振動腕部１２の外側面１２ｂに形成されていると共に第２連結部１５の側面を回りこんで第４振動腕部１３の外側面１３ｂに形成されている。
これにより、第１励振電極３０及び第２励振電極３１は、各振動腕部１０〜１３のそれぞれにおいてＸ軸方向に対向し合う側面間で極性が異なるように形成されている。

また、第１マウント電極３２は、第１基部１６、中間基部１８及び第２基部１７の３つの基部のうち、第１基部１６及び中間基部１８の両主面上及び側面の一部に形成されている。
そして、第１基部１６に形成された第１マウント電極３２と、第１振動腕部１０の外側面１０ｂに形成された第１励振電極３０と、が電気的に接続されている。また、中間基部１８に形成された第１マウント電極３２と、第２振動腕部１１の外側面１１ｂに形成された第１励振電極３０と、が中間基部１８の他方の主面上に形成された第１接続電極３５を介して電気的に接続されている。更に、中間基部１８に形成された第１マウント電極３２と、第３振動腕部１２の内側面１２ａに形成された第１励振電極３０と、が電気的に接続されている。

これにより、第１振動腕部１０及び第２振動腕部１１の外側面１０ｂ、１１ｂに形成された第１励振電極３０、第３振動腕部１２及び第４振動腕部１３の内側面１２ａ、１３ａに形成された第１励振電極３０、及び第１基部１６及び中間基部１８に形成された第１マウント電極３２は、全て導通している。

また、第２マウント電極３３は、第１基部１６、中間基部１８及び第２基部１７の３つの基部のうち、第２基部１７の両主面上及び側面の一部に形成されている。
そして、第２基部１７に形成された第２マウント電極３３と、第４振動腕部１３の外側面１３ｂに形成された第２励振電極３１と、が電気的に接続されている。また、第３振動腕部１２の外側面１２ｂに形成された第２励振電極３１と、第２振動腕部１１の内側面１１ａに形成された第２励振電極３１とが、中間基部１８の一方の主面上に形成された第２接続電極３６を介して電気的に接続されている。

これにより、第３振動腕部１２及び第４振動腕部１３の外側面１２ｂ、１３ｂに形成された第２励振電極３１、第１振動腕部１０及び第２振動腕部１１の内側面１０ａ、１１ａに形成された第２励振電極３１、及び第２基部１７に形成された第２マウント電極３３は、全て導通している。

（圧電振動片の作用）
上記のように構成された圧電振動片１においては、第１マウント電極３２及び第２マウント電極３３間に所定の駆動電圧を印加する。これにより、第１励振電極３０及び第２励振電極３１間に電流を流すことができ、一方の振動腕２０と他方の振動腕２１とをＸ軸方向に沿って互いに接近・離間するように振動させることができる。（いわゆる、Ｘ−Ｙ屈曲振動モード）。
そして、この振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として利用することができる。

特に、スリット状の隙間２２を利用して、各振動腕部１０〜１３のそれぞれにおいて、Ｘ方向に対向し合う側面間で極性が異なるように第１励振電極３０及び第２励振電極３１を形成しているので、Ｘ方向に電界を効率良く作用させることができ、電界効率を高めてＣＩ値の上昇を効果的に抑制することができる。

（圧電振動片の製造方法）
次に、上述した圧電振動片１の製造方法について、図４に示すフローチャートを参照しながら説明する。
はじめに、図４及び図５に示すように、水晶のランバート原石を所定の角度でスライスして一定の厚さのウエハ４０とする（Ｓ１０）。このとき、Ｚ軸が圧電振動片１の厚さ方向にほぼ一致し、Ｙ軸が圧電振動片１（各振動腕部１０〜１３）の長さ方向に一致し、Ｘ軸が圧電振動片１の幅方向（各振動腕部１０〜１３の配列方向）に一致するように、ウエハ４０をスライスする。
そして、ウエハ４０をラッピングして粗加工した後、加工変質層をエッチングで取り除き、この後、ポリッシュ等の鏡面加工を行なって所定の厚さとする。

次いで、ウエハ４０に圧電板２の外形形状を形成する外形形状形成工程（Ｓ２０）を行う。具体的には、まずウエハ４０の両面にクロム（Ｃｒ）等からなる金属膜を形成し、この金属膜を各振動腕部１０〜１３、第１基部１６、中間基部１８及び第２基部１７の平面視Ｍ字状の外形形状に倣わせてパターニングすることにより外形パターン４１を形成する。この際、ウエハ４０に形成する複数の圧電振動片１の数だけ、一括してパターニングを行う。

次いで、パターニングされた外形パターン４１をマスクとして、ウエハ４０の両面からそれぞれエッチング加工を行う。これにより、外形パターン４１でマスクされていない領域が選択的に除去され、ウエハ４０に複数の圧電板２の外形形状を形成できる。なお、複数の圧電板２は、後に行う切断工程を行うまで、図示しない連結部を介してウエハ４０に連結された状態となっている。

次いで、複数の圧電板２上に電極膜３を形成する電極膜形成工程（Ｓ３０）を行う。まず複数の圧電板２の全面に、例えばスパッタリング等により導電膜（例えば、クロムと金との積層膜等）を成膜する。次いで、エッチング加工の際のマスクとなるフォトレジスト膜を、金属膜上にスプレーコート等により成膜した後、フォトリソ技術でパターニングする。

具体的には、各振動腕部１０〜１３の主面が開口すると共に、第１基部１６、中間基部１８及び第２基部１７のうち、第１マウント電極３２、第２マウント電極３３、第１接続電極３５及び第２接続電極３６の形成領域以外の領域が開口するように、フォトレジスト膜を露光によってパターニングする。そして、このパターニングされたフォトレジスト膜をマスクとして、上記導電膜をエッチング加工する。これにより、上述した電極膜３が一体的に形成される。

次に、ウエハ４０と各圧電板２とを連結している連結部を切断して、複数の圧電板２をウエハ４０から切り離して個片化する切断工程（Ｓ４０）を行う。その結果、１枚のウエハ４０から、図１〜図３に示す圧電振動片１を一度に複数製造することができる。

上述したように、本実施形態の圧電振動片１によれば、スリット状の隙間２２を利用して、各振動腕部１０〜１３のそれぞれにおいて、Ｘ方向に対向し合う側面間で極性が異なるように第１励振電極３０及び第２励振電極３１を形成しているので、従来のような溝部を具備しなくてもＣＩ値の上昇を効果的に抑制でき、溝部を形成した場合と同等のＣＩ値を有する振動特性に優れた圧電振動片１とすることができる。

また、製造時、圧電振動片１の外形を平面視Ｍ字状に形成するだけで済むので、外形形成後に、従来のように溝部を形成する工程が不要である。従って、効率良く製造することができるうえ、圧電振動片１を高精度に形成することができ、例えば一方の振動腕２０及び他方の振動腕２１の重量バランスのバラツキ等を抑制できる。この点においても、優れた振動特性を得ることができる。

更に、外形形成後、各振動腕部１０〜１３の主面上に形成されている導電膜を除去するだけで、側面上に第１励振電極３０及び第２励振電極３１を形成できるので、従来のような高精度なマスクのアライメント作業が不要となる。従って、露光時における分解能に余裕を持たせることができ、この点においても効率の良い製造を行うことができる。

更には、２つのスリット状の隙間２２によって、溝部を有する従来の一対の振動腕部の重量に比べて、各振動腕部１０〜１３の合計の重量を大幅に減少させることができるので、周波数を効果的に下げることが可能である。従って、各振動腕部１０〜１３の長さを短くすることが可能となり、小型化を図り易い。

また、従来の溝部を有する圧電振動片の場合には、微細な溝部をエッチングで形成する必要があるので、振動腕部の基端部側に位置する溝部の端部にエッチング残りが生じ易い。そのため、その部分に集中応力が作用したり、振動が阻害されて振動漏れやドライブレベルの低下等を引き起こしたりする恐れがある。
この点、本実施形態の圧電振動片１によれば、溝部が不要であるので、上記した問題が生じることがない。また、スリット状の隙間２２が形成されているので、各振動腕部１０〜１３の実質的な腕長さを延ばすことに繋がり、この点においても周波数を下げることができる。

（変形例）
なお、上記圧電振動片１において、第１基部１６及び中間基部１８に第１マウント電極３２を形成し、第２基部１７に第２マウント電極３３を形成したが、この場合に限定されるものではない。例えば、中間基部１８に第１マウント電極３２を形成しなくても良いし、第１マウント電極３２に代えて第２マウント電極３３を中間基部１８に形成しても構わない。
また、第１基部１６及び第２基部１７のいずれにも第１マウント電極３２及び第２マウント電極３３を形成せず、これら第１マウント電極３２及び第２マウント電極３３を中間基部１８にだけ形成しても構わない。

また、圧電振動片１の外形形状は、上記実施形態の形状に限定されるものではなく、適宜変更して構わない。
例えば、図６に示すように、各振動腕部１０〜１３の腕幅を基端部から先端部に向かうにしたがって漸次幅狭となるように形成（テーパー状に形成）しても構わない。このようにすることで、振動特性を低下させることなく、各振動腕部１０〜１３における基端部の剛性を高めることができるので、耐衝撃性を向上することができる。
なお、図６では電極膜３の図示は省略している。

また、図７に示すように、第１基部１６及び第２基部１７の両側に、Ｙ方向に沿って延在する一対のサイドアーム３７を一体的に形成した、いわゆるサイドアームタイプの圧電振動片１としても構わない。
この場合には、サイドアーム３７の先端部をマウント部３７ａとして機能させることができ、このマウント部３７ａを介して圧電振動片１を実装することが可能となる。特に、第１基部１６、中間基部１８及び第２基部１７の長さを効果的に短くできるので、さらなる小型化を図ることができる。
なお、図７では電極膜３の図示は省略している。

（圧電振動子）
次に、上述した圧電振動片１を具備する圧電振動子５０について説明する。なお、以下の説明では、上述した構成と共通する構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。また、図中では圧電振動片１の外形形状のみを示し、電極膜３等は上述した実施形態と同様の構成であるため、図示を省略する。
図８〜図１１に示すように、本実施形態の圧電振動子５０は、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ５１と、キャビティＣ内に収容された上述した圧電振動片１と、を備えたセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子とされている。

この圧電振動子５０は、概略直方体状に形成されており、本実施形態では平面視において圧電振動子５０の長手方向を長さ方向といい、短手方向を幅方向といい、これら長さ方向及び幅方向に対して直交する方向を厚さ方向という。

パッケージ５１は、パッケージ本体（ベース部材）５３と、このパッケージ本体５３に対して接合されるとともに、パッケージ本体５３との間にキャビティＣを形成する封口板（リッド部材）５４と、を備えている。

パッケージ本体５３は、互いに重ね合わされた状態で接合された第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６と、第２ベース基板５６上に接合されたシールリング５７と、を備えている。
第１ベース基板５５は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第２ベース基板５６は、第１ベース基板５５と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第１ベース基板５５上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。

第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部５８が、両基板５５、５６の厚さ方向の全体に亘って形成されている。これら第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６は、例えばウエハ状のセラミック基板を２枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、上述した切欠部５８となる。
また、第２ベース基板５６の上面は、圧電振動片１がマウントされる実装面５６ａとされている。

なお、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。

シールリング５７は、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第２ベース基板５６の実装面５６ａに接合されている。具体的には、シールリング５７は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面５６ａ上に接合、或いは、実装面５６ａ上に形成（例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタ等により）された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。

なお、シールリング５７の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバール、エリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すれば良い。特に、シールリング５７の材料としては、セラミック製とされている第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６に対して熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６として、熱膨張係数６．８×１０^-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング５７としては、熱膨張係数５．２×１０^-6／℃のコバールや、熱膨張係数４．５〜６．５×１０^-6／℃の４２−アロイを用いることが好ましい。

封口板５４は、シールリング５７上に重ねられた導電性基板であり、シールリング５７に対する接合によってパッケージ本体５３に対して気密に接合されている。そして、この封口板５４とシールリング５７と第２ベース基板５６の実装面５６ａとで画成された空間が、気密に封止された上述したキャビティＣとして機能する。
なお、封口板５４の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板５４とシールリング５７との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板５４の下面と、シールリング５７の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。

ところで、第２ベース基板５６の実装面５６ａには、圧電振動片１との接続電極である一対の電極パッド６１Ａ、６１Ｂが幅方向に間隔をあけて形成されているとともに、第１ベース基板５５の下面には、一対の外部電極６２Ａ、６２Ｂが長さ方向に間隔をあけて形成されている。
これら電極パッド６１Ａ、６１Ｂ及び外部電極６２Ａ、６２Ｂは、例えば蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、互いにそれぞれ導通している。

この点詳細に説明する。
第１ベース基板５５には一方の外部電極６２Ａに導通し、第１ベース基板５５を厚さ方向に貫通する一方の第１貫通電極６３Ａが形成されているとともに、第２ベース基板５６には一方の電極パッド６１Ａに導通し、第２ベース基板５６を厚さ方向に貫通する一方の第２貫通電極６４Ａが形成されている。そして、第１ベース基板５５と第２ベース基板５６との間には、一方の第１貫通電極６３Ａと一方の第２貫通電極６４Ａとを接続する一方の接続電極６５Ａが形成されている。これにより、一方の電極パッド６１Ａと一方の外部電極６２Ａとは、互いに導通している。

また、第１ベース基板５５には他方の外部電極６２Ｂに導通し、第１ベース基板５５を厚さ方向に貫通する他方の第１貫通電極６３Ｂが形成されているとともに、第２ベース基板５６には他方の電極パッド６１Ｂに導通し、第２ベース基板５６を厚さ方向に貫通する他方の第２貫通電極６４Ｂが形成されている。そして、第１ベース基板５５と第２ベース基板５６との間には、他方の第１貫通電極６３Ｂと他方の第２貫通電極６４Ｂとを接続する他方の接続電極６５Ｂが形成されている。これにより、他方の電極パッド６１Ｂと他方の外部電極６２Ｂとは、互いに導通している。
なお、他方の接続電極６５Ｂは、後述する凹部６６を回避するように、例えばシールリング５７の下方をシールリング５７に沿って延在するようにパターニングされている。

第２ベース基板５６の実装面５６ａには、各振動腕部１０〜１３の先端部に対向する部分に、落下等による衝撃の影響によってこれら各振動腕部１０〜１３が厚さ方向に変位（撓み変形）した際に、各振動腕部１０〜１３との接触を回避する凹部６６が形成されている。この凹部６６は、第２ベース基板５６を貫通する貫通孔とされているとともに、シールリング５７の内側において四隅が丸み帯びた平面視正方形状に形成されている。

そして、圧電振動片１は、図示しない金属バンプや導電性接着剤等を介して、第１マウント電極３２が一方の電極パッド６１Ａに接触し、且つ第２マウント電極３３が他方の電極パッド６１Ｂに接触するようにマウントされる。これにより、圧電振動片１は、第２ベース基板５６の実装面５６ａ上から浮いた状態で支持されると共に、一対の電極パッド６１Ａ、６１Ｂにそれぞれ電気的に接続された状態とされている。
特に、圧電振動片１における第１基部１６、中間基部１８及び第２基部１７は、実装面５６ａに対して各別にマウントされた状態とされている。

なお、本実施形態の場合、一方の電極パッド６１Ａを、第１基部１６及び中間基部１８に形成された第１マウント電極３２と導通させる必要があるため、他方の電極パッド６１Ｂよりもサイズが大きく形成されている。

このように構成された圧電振動子５０を作動させる場合には、外部電極６２Ａ、６２Ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、圧電振動片１の第１励振電極３０及び第２励振電極３１に電流を流すことができ、一方の振動腕２０と他方の振動腕２１とをＸ−Ｙ平面に沿って所定の周波数で振動させることができる。そして、この振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として圧電振動子５０を利用することができる。

本実施形態の圧電振動子５０によれば、安定した振動特性を有する高品質で小型化可能な圧電振動片１を備えているので、作動の信頼性に優れた高品質な圧電振動子５０とすることができる。
また、圧電振動片１における第１基部１６、中間基部１８及び第２基部１７の３つの基部を実装面５６ａに対してそれぞれマウントしているので、各振動腕部１０〜１３の基端部を確実に固定でき、一方の振動腕２０として機能する第１振動腕部１０及び第２振動腕部１１と、他方の振動腕２１として機能する第３振動腕部１２及び第４振動腕部１３と、を安定して振動させることができる。従って、安定した振動特性を得ることができる。

（発振器）
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図１２を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器１００は、図１２に示すように、圧電振動子５０を、集積回路１０１に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器１００は、コンデンサ等の電子部品１０２が実装された基板１０３を備えている。基板１０３には、発振器用の上述した集積回路１０１が実装されており、この集積回路１０１の近傍に、圧電振動子５０が実装されている。これら電子部品１０２、集積回路１０１及び圧電振動子５０は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。

このように構成された発振器１００において、圧電振動子５０に電圧を印加すると、この圧電振動子５０内の圧電振動片１が振動する。この振動は、圧電振動片１が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路１０１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路１０１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子５０が発振子として機能する。
また、集積回路１０１の構成を、例えば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。

上述したように、本実施形態の発振器１００によれば、優れた振動特性を有する高品質な圧電振動子５０を備えているので、信頼性に優れた高品質、かつ長期にわたって安定した高精度な周波数信号を得ることができる発振器１００を提供できる。

（電子機器）
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図１３を参照して説明する。なお電子機器として、上述した圧電振動子５０を有する携帯情報機器１１０を例にして説明する。
はじめに本実施形態の携帯情報機器１１０は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。

次に、本実施形態の携帯情報機器１１０の構成について説明する。この携帯情報機器１１０は、図１３に示すように、圧電振動子５０と、電力を供給するための電源部１１１とを備えている。電源部１１１は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部１１１には、各種制御を行う制御部１１２と、時刻等のカウントを行う計時部１１３と、外部との通信を行う通信部１１４と、各種情報を表示する表示部１１５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部１１６とが並列に接続されている。そして、電源部１１１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。

制御部１１２は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部１１２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、このＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、このＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。

計時部１１３は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子５０とを備えている。圧電振動子５０に電圧を印加すると圧電振動片１が振動し、この振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部１１２と信号の送受信が行われ、表示部１１５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。

通信部１１４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９、増幅部１２０、音声入出力部１２１、電話番号入力部１２２、着信音発生部１２３及び呼制御メモリ部１２４を備えている。
無線部１１７は、音声データ等の各種データを、アンテナ１２５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部１１８は、無線部１１７又は増幅部１２０から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部１２０は、音声処理部１１８又は音声入出力部１２１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２１は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。

また、着信音発生部１２３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部１１９は、着信時に限って、音声処理部１１８に接続されている増幅部１２０を着信音発生部１２３に切り替えることによって、着信音発生部１２３において生成された着信音が増幅部１２０を介して音声入出力部１２１に出力される。
なお、呼制御メモリ部１２４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１２２は、例えば、０から９の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。

電圧検出部１１６は、電源部１１１によって制御部１１２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部１１２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部１１４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度となる。電圧検出部１１６から電圧降下の通知を受けた制御部１１２は、無線部１１７、音声処理部１１８、切替部１１９及び着信音発生部１２３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部１１７の動作停止は、必須となる。更に、表示部１１５に、通信部１１４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。

即ち、電圧検出部１１６と制御部１１２とによって、通信部１１４の動作を禁止し、その旨を表示部１１５に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部１１５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしても良い。
なお、通信部１１４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部１２６を備えることで、通信部１１４の機能をより確実に停止することができる。

上述したように、本実施形態の携帯情報機器１１０によれば、優れた振動特性を有する高品質な圧電振動子５０を備えているので、信頼性に優れた高品質、かつ長期にわたって安定した高精度な時計情報を表示できる携帯情報機器１１０を提供できる。

（電波時計）
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図１４を参照して説明する。
本実施形態の電波時計１３０は、図１４に示すように、フィルタ部１３１に電気的に接続された圧電振動子５０を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。

以下、電波時計１３０の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ１３２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ１３３によって増幅され、複数の圧電振動子５０を有するフィルタ部１３１によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子５０は、上述した搬送周波数と同一の４０ｋＨｚ及び６０ｋＨｚの共振周波数を有する水晶振動子部１３８、１３９をそれぞれ備えている。

さらに、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路１３４により検波復調される。続いて、波形整形回路１３５を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ１３６でカウントされる。ＣＰＵ１３６では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ１３７に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、水晶振動子部１３８、１３９は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。

なお、上述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは７７．５ＫＨｚの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計１３０を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子５０を必要とする。

上述したように、本実施形態の電波時計１３０によれば、優れた振動特性を有する高品質な圧電振動子５０を備えているので、信頼性に優れた高品質、かつ、長期にわたって安定して高精度に時刻をカウントできる電波時計１３０を提供できる。

以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこれら実施形態に限られるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。

例えば、上述した実施形態では、セラミックパッケージタイプの圧電振動子５０を例に挙げたが、これに限らず、例えばガラスパッケージタイプの圧電振動子でも構わない。
また、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６の２枚の基板でベース基板を構成したが、１枚の基板でベース基板を構成し、実装面５６ａに凹部６６を形成しても構わない。但し、上述したように、第１ベース基板５５及び第２ベース基板５６の２枚基板構成とすることが好ましい。この場合には、第２ベース基板５６に貫通孔を形成した後、両ベース基板５５、５６を接合することで凹部６６を容易に形成できるので、凹部形成に費やす工程及び時間を低減できる。
また、シリンダパッケージタイプの圧電振動子や、シリンダパッケージタイプの圧電振動子をさらにモールド樹脂部で固めて表面実装型の圧電振動子としても構わない。

（実施例）
ここで、実施例として上記実施形態の圧電振動片と、比較例として従来の溝部を有する溝付きの圧電振動片と、で周波数及びＣＩ値を比較した解析（有限要素解析）についての実施例について説明する。

図１５に示すように、実施例としての圧電振動片１では、各振動腕部１０〜１３の基端部から第１連結部１４及び第２連結部１５までの全長をＬ１とし、スリット状の隙間２２のうち従来の溝部に相当する部分の長さをＬ２とした。

一方、図１６に示すように、比較例としての圧電振動片１５０では、一対の振動腕部１５１、１５２の全長をＬ１とし、溝部１５３の長さをＬ２とした。なお、この圧電振動片１５０では、第１励振電極１５４が、一方の振動腕部１５１の両側面上と、他方の振動腕部１５２の溝部１５３上とに主に形成され、第２励振電極１５５が、一方の振動腕部１５１の溝部１５３上と他方の振動腕部１５２の両側面上とに主に形成されている。

上記のように構成された圧電振動片１、１５０について解析を行い、それぞれ共振周波数及びＣＩ値がどの程度であるかを算出した結果を図１７〜図１９に示す。
この結果から明らかなように、全長Ｌ１が同じ１０００μｍの場合には、実施例における圧電振動片１の方が、比較例における圧電振動片１５０に比べて共振周波数及びＣＩ値が低いことが確認できた。

特に、比較例における圧電振動片１５０において、実施例における圧電振動片１の共振周波数（３２ｋＨｚ帯）と同等の共振周波数とする場合には、全長Ｌ１を１３８０μｍ程度にする必要がある。
つまり、実施例における圧電振動片１によれば、３２ｋＨｚ帯の共振周波数において、従来の比較例における圧電振動片１よりも全長を略３８％小さくできるうえ、ＣＩ値も略２７％改善することが確認できた。

Ｃ…キャビティ
１…圧電振動片
１０…第１振動腕部
１１…第２振動腕部
１２…第３振動腕部
１３…第４振動腕部
１４…第１連結部
１５…第２連結部
１６…第１基部
１７…第２基部
１８…第中間基部
２２…隙間
３０…第１励振電極（励振電極）
３１…第２励振電極（励振電極）
３２…第１マウント電極（マウント電極）
３３…第２マウント電極（マウント電極）
５０…圧電振動子
５１…パッケージ
５３…パッケージ本体（ベース部材）
５４…封口板（リッド部材）
５６ａ…実装面
１００…発振器
１０１…発振器の集積回路
１１０…携帯情報機器（電子機器）
１１３…電子機器の計時部
１３０…電波時計
１３１…電波時計のフィルタ部

Claims (7)

1. 基端部から先端部に向かって一方向に延在すると共に、その延在する長さ方向及び厚み方向に直交する幅方向に、隙間をあけて平行に並んで配設された第１〜第４振動腕部と、
   前記第１〜第４振動腕部のうち、第１振動腕部の先端部と、該第１振動腕部に対して幅方向に隣り合う第２振動腕部の先端部と、を連結する第１連結部と、
   前記第１〜第４振動腕部のうち、前記第２振動腕部に対して幅方向に隣り合う第３振動腕部の先端部と、該第３振動腕部に対して幅方向に隣り合う第４振動腕部の先端部と、を連結する第２連結部と、
   前記第１振動腕部の基端部に接続された第１基部と、
   前記第４振動腕部の基端部に接続された第２基部と、
   前記第１基部及び前記第２基部の間に配設され、前記第２振動腕部の基端部及び前記第３振動腕部の基端部にそれぞれ接続され、両者を連結する中間基部と、
   電圧が印加されたときに、前記第１連結部を介して連結された第１振動腕部及び前記第２振動腕部と、前記第２連結部を介して連結された前記第３振動腕部及び前記第４振動腕部と、を前記幅方向に沿って振動させる励振電極と、を備え、
   前記励振電極は、
   前記第１〜第４振動腕部の側面上にそれぞれ形成されると共に、各振動腕部のそれぞれにおいて前記幅方向に対向し合う側面間で極性が異なるように形成されていることを特徴とする圧電振動片。
2. 請求項１に記載の圧電振動片において、
   前記第１基部、前記第２基部及び前記中間基部のうち少なくともいずれか１つの基部の主面上に形成され、前記励振電極に接続されたマウント電極を備えていることを特徴とする圧電振動片。
3. 請求項１又は２に記載の圧電振動片において、
   前記第１基部、前記第２基部及び前記中間基部は、実装面に対して各別にマウントされることを特徴とする圧電振動片。
4. 請求項１記載の圧電振動片と、
   互いに接合されたベース部材とリッド部材とを有し、両部材の間に形成されたキャビティ内に前記圧電振動片を収容するパッケージと、を備えていることを特徴とする圧電振動子。
5. 請求項４記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
6. 請求項４記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
7. 請求項４記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。

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