JP2014082538A - 圧電振動片、および圧電振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】音叉型水晶振動片2には、一対の励振電極291,292と一対の引出電極293,294とが形成され、一対の引出電極293,294各々の先端部は、電極パッド32に接合するための接続電極495,496となる。接続電極495,496各々の上面には、バンプ6が形成され、バンプ6は、接続電極495,496側に向く第1面61と、電極パッド32との接合面となる第2面62とを有し、第1面61が第2面62より小さい。
【選択図】図2
Description
上記した音叉型水晶振動片2の第1励振電極291および第2励振電極292や引出電極293,294、接続電極295,296は、金属蒸着によって各第1脚部21および第2脚部22上にクロム(Cr)層を形成し、このクロム層上に金(Au)層を形成して構成される薄膜である。この薄膜は、真空蒸着法やスパッタリング法などの手法により基板全面に形成した後、フォトリソグラフィ技術によりメタルエッチングして所望の形状に形成することで、一体的に同時形成する。なお、第1励振電極291,第2励振電極292および引出電極293,294はクロム(Cr),金(Au)の順に形成してなるが、例えば、クロム(Cr),銀(Ag)の順や,クロム(Cr),金(Au),クロム(Cr)の順や,クロム(Cr),銀(Ag),クロム(Cr)の順などであってもよい。またクロム(Cr),金(Au),クロム(Cr),金(Au)等の複数の膜が積層されたものであってもよい。下地のクロム(Cr)は、ニッケル(Ni),チタン(Ti),クロム(Cr)とニッケル(Ni)との合金からなるニクロムなどであってもよい。
接合部23への接合部材7およびバンプ6の形成に関して、接合部23の各領域(接続電極295,296の上面)に図示しない接合部材7の形成部(接続電極295,296より面積の小さい窓部を有するマスク)をフォトリソグラフィ技術により所望の形状(本実施の形態では楕円形状の窓部)に形成して、接合部材7の形成部に接合部材7を電解メッキ法などの手法によりメッキ形成する。
接合部材7の各領域(接合部材7の上面)に図示しないバンプ6の形成部(接続電極295,296より面積の小さく、バンプ6より面積の大きい窓部を有するマスク)をフォトリソグラフィ技術により所望の形状(本実施の形態では円形状の窓部)に形成して、バンプ6の形成部にバンプ6を電解メッキ法などの手法によりメッキ形成する。その後、アニール処理を行ってもよい。
2 音叉型水晶振動片
21 第1脚部
211 先端部
22 第2脚部
221 先端部
23 接合部
231 短辺部
232 長辺部
233 先端部
234 折曲部
235 一主面
25 基部
251 一端面
252 他端面
253 隙間部
261 第1脚部および第2脚部の一主面
262 第1脚部および第2脚部の他主面
27 溝部
28 側面
291 第1励振電極
292 第2励振電極
293,294 引出電極
295,296 接続電極
3 ベース
30 堤部
31 段差部
32 電極パッド
33 端子電極
34 メタライズ層
4 水晶振動板
495,496 接続電極
5 窪み部
6,601,602 バンプ
61 第1面
62 第2面
63 側面
7 接合部材
H 封止部材
M3 調整用金属膜(周波数調整用錘)
Claims (7)
- 圧電振動片において、
一対の励振電極と、前記一対の励振電極からそれぞれ引き出された一対の引出電極と、が少なくとも形成され、
前記一対の引出電極各々の先端部は、外部電極に接合するための接続電極となり、
前記接続電極各々の上面には、バンプが少なくとも形成され、
前記バンプは、前記接続電極側に向く第1面と、外部電極との接合面となる第2面とを少なくとも有し、前記第1面が前記第2面より小さいことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記バンプは、接合部材を介して前記接続電極上に形成されたことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1または2に記載の圧電振動片において、
前記接続電極各々の上には、前記バンプが複数形成されたことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項3に記載の圧電振動片において、
前記接続電極各々の上に形成された複数の前記バンプのうち、前記基板の端に近い側に形成された前記バンプの前記第2面が、前記基板の端から遠い側に形成された前記バンプの前記第2面よりも大きいことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1乃至4のうちいずれか1つに記載の圧電振動片において、
前記バンプの外形は、前記第1面と、前記第2面と、前記第1面と前記第2面とを繋ぐ側面とから構成され、
前記側面は曲面形成されたことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1乃至5のうちいずれか1つに記載の圧電振動片において、
前記第2面が曲面形成されたことを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1乃至6のうちいずれか1つに記載の圧電振動片が設けられたことを特徴する圧電振動子。
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