JP2014076437A - 膜パターンの形成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】枠部に区画された膜形成部がマトリクス状に配置された膜パターンの形成方法において、隣接する膜形成部への液体の混入を抑制して膜パターンの品質を保持する。
【解決手段】基板２を載置するステージと、キャリッジに保持され液体を吐出する吐出ヘッドとを備え、キャリッジとステージとを相対的に走査させながら吐出ヘッドから基板２に液体を吐出させる液滴吐出装置を用いて、枠部としての隔壁４と、隔壁４によって区画される膜形成部としての着色膜５と、を含み、着色膜５が複数配置された膜パターンを備えたカラーフィルター１を形成する膜パターンの形成方法であって、着色膜５の平面視の外形を形成する主たる辺と走査方向との交差角度が鋭角または鈍角となるようにキャリッジを走査させながら描画を行なうことを特徴とする。
【選択図】図６

Description

本発明は、膜パターンの形成方法に関する。

液体としての機能液を液滴にして吐出するインクジェット法を用いて塗布し、塗布された機能液を固化して膜パターンを形成する方法が広く採用されている。そして、機能液には染料や顔料を含んで着色する機能を有する液状体や、金属粒子を含んで金属配線を形成する機能を有する液状体等の多種類の液状体が用いられている。

膜パターンの一例としてのカラーフィルターの製造においては、枠部によってマトリクス状に区画された膜形成部（着色部）を着色する機能液が塗布される。このとき、カラーフィルターが透過する光の色調の品質を良くするために、隣接する膜形成部どうしで色の異なる機能液の混色が起こらないようにする必要がある。

インクジェット法を用いて基板に機能液を塗布する液滴吐出装置が特許文献１に開示されている。液滴吐出装置は吐出ヘッド（機能吐出ヘッド）を備え、吐出ヘッドには液滴を吐出する複数のノズルが形成されている。吐出ヘッドには各ノズルと連通するキャビティとキャビティの体積を増減させる振動子が設置されている。そして、振動子がキャビティの体積を増減させることにより、キャビティに充填された液状体が液滴となってノズルから吐出される。

液滴吐出装置はワーク（基板）を載置したステージを移動させるワーク移動機構と、吐出ヘッドを移動させるヘッド移動機構とを備え、ワークと吐出ヘッドとを直交する方向にそれぞれ移動させる。そして、所定の走査方向に走査させた吐出ヘッドが機能液を塗布する場所と対向する場所に位置したときに、吐出ヘッドから液滴を吐出する。これにより、所定の位置に液滴を着弾させてワークに所定の膜パターンを形成していた。

特開２００８−９４０４４号公報

しかしながら、インクジェット法を用いた膜パターンの形成方法により例えばカラーフィルターを形成するとき、吐出ヘッドのノズル形成面が機能液で汚れてそれが固化したり、その他の異物が付着することなどにより、ノズルから吐出する機能液の液滴の着弾位置が所定の適正着弾位置からずれることがある。吐出ヘッドを走査方向に走査させながらワークに向けて液滴を吐出させて描画を行なう過程で、適正着弾位置からずれた液滴が吐出ヘッドの走査軌道上の枠部に着弾してしまうと、その液体が枠部を伝って隣接する着色部に混入し、カラーフィルターの着色部の色合いが不均一になったり、望まない色との混色が生じてカラーフィルターの表示品質を劣化させる虞があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る膜パターンの形成方法は、基板を載置する載置部と、液体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを保持するキャリッジと、を備え、前記キャリッジと前記載置部とを所定の走査方向に相対的に走査させながら前記吐出ヘッドから前記基板に前記液体を吐出させる液滴吐出装置を用いて膜形成部が複数配置された膜パターンを前記基板に形成する膜パターンの形成方法であって、前記膜形成部の平面視の外形を形成する主たる辺との交差角度が鋭角または鈍角となるように前記キャリッジを走査させながら描画を行なうことを特徴とする。

本適用例において、膜形成部の「主たる辺」とは、膜パターンを平面視したときに、膜形成部の外形を形成する辺のうち、比較的長い辺のことを指す。例えば、膜形成部の平面視した形状が方形であった場合には、対向する二対の二辺のうちの少なくとも長い方の二辺のことを指し、基板に対して吐出ヘッドを一方向および該一方向と交差する交差方向に走査させる場合は、対向する二対の二辺ともに「主たる辺」と呼ぶことができる。また、ここでいう「辺」は、直線的な線分のことであるとともに、曲線状のものも含む。
本適用例によれば、基板に膜パターンを形成するときに、膜形成部の主たる辺に対して直角または直角に近似な角度で交差しない走査方向に吐出ヘッドを走査させながら吐出ヘッドから液体を吐出させて描画を行なう。これにより、主たる辺に対して直角に交差する走査方向にて吐出ヘッドを走査させながら描画を行なう場合に比して、隣接する膜形成部の間の領域上を吐出ヘッドが通過する長さ（通過時間）を長くすることができ、吐出ヘッドの走査方向に沿う方向において、隣接する膜形成部どうしの間隙の長さを長くすることができる。
したがって、隣接する膜形成部の一方に吐出すべき液体の液滴が膜形成部の間に形成されている枠部に着弾してしまった場合に、その液体が他方の膜形成部に流れ込むのを抑えることができるので、例えば、隣接する膜形成部に異なる色の液体を吐出させて膜パターンを形成するときの混色不良の発生を抑えることができる。

［適用例２］上記適用例に記載の膜パターンの形成方法において、前記主たる辺と前記走査方向との交差角度が４５°またはそれに近似な角度であることが好ましい。

本適用例によれば、吐出ヘッドの走査方向において隣接する膜形成部の間の長さをより長く確保することができるので、例えば混色不良などの描画不良の抑制効果を顕著に奏するパターニング方法を提供することができる。

［適用例３］上記適用例に記載の膜パターンの形成方法において、前記載置部に対して前記基板を載置する角度により前記主たる辺と前記走査方向との交差角度を調整することを特徴とする。

本適用例によれば、膜形成部の平面視の形状ごとに、主たる辺と吐出ヘッドとの走査方向の交差する角度を調整すればよいので、本発明の効果を奏するパターン形成方法の汎用性を高くすることができる。

［適用例４］上記適用例に記載の膜パターンの形成方法において、前記膜形成部の外形が平行四辺形またはそれに近似な形状であることを特徴とする。

本適用例は、載置部に対する基板の載置方向が決まっていて、吐出ヘッドの走査方向に合わせて基板を載置する角度を調整できない場合、例えば、方形の基板の外形が吐出ヘッドの走査方向に対して平行または直角となるように載置するような場合に、膜形成部の形状を、方形でなく平行四辺形に近似な形状とするものである。
方形の基板を用いて、膜パターンとして例えばカラーフィルターを形成する場合、所定の色の膜形成部の外形は、通常、基板の外形と平行または直角な辺を有する方形であることが多く、膜形成部の外形の各辺は、基板の外形と平行または直角に配置される。
これに対して、本適用例によれば、膜形成部の外形が平行四辺形に近似な形状であるので、膜形成部の外形の主たる辺は、互いに平行で長さの等しい二組の対辺であり、二組の対角の大きさも互いに等しいことから、吐出ヘッドの走査方向と直角に交差しない角度にしてバランスよく配置することができる。
したがって、隣接する膜形成部の主たる辺の間の領域の上を吐出ヘッドが通過する長さ（通過時間）を長くすることができ、この結果、隣接する膜形成部に異なる色の液体を吐出させて膜パターンを形成するときの混色不良の発生を抑えることができる。

［適用例５］上記適用例に記載の膜パターンの形成方法において、前記膜形成部の形状が菱形またはそれに近似な形状であることを特徴とする。

本適用例によれば、膜形成部の外形の主たる辺が、互いに平行で長さの等しい二組の対辺であり、二組の対角の大きさも互いに等しい平行四辺形の特性に加えて、線対称な形状であることから、吐出ヘッドの走査方向と直角に交差しない角度にしてバランスよく配置することができる。
したがって、隣接する膜形成部の間の領域の上を吐出ヘッドが通過する長さ（通過時間）を長くして、隣接する膜形成部に異なる色の液体を吐出させて膜パターンを形成するときの混色不良の発生をより顕著に抑えることができる。

第１の実施形態に係る膜パターンを備えたカラーフィルターを示す模式平面図。 （ａ）は、図１のＤ部を拡大して示す模式平面図、（ｂ）は、図１のＡ−Ａ’線断面図。 第１の実施形態のカラーフィルターの製造方法に係る液滴吐出装置の構成を示すものであり、（ａ）は、液滴吐出装置の全体の構成を示す概略斜視図、（ｂ）は、吐出ヘッドの配置を示す模式平面図、（ｃ）は、吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図。 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。 基板に液滴を吐出してカラーフィルターを製造する製造工程を示すフローチャート。 カラーフィルターの一部（図２（ａ）と同じ部分）を拡大して示す模式平面図。 第２の実施形態に係るカラーフィルターの一部（図２（ａ）、図６と同じ部分）を拡大して示す模式平面図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。

（第１の実施形態）
本実施形態において膜パターンを形成する液滴吐出装置の例と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出して形成する膜パターンを備えたカラーフィルター、および、カラーフィルターを形成する方法の例とについて図面に沿って説明する。

（カラーフィルター）
最初に、カラーフィルター１について図１を用いて説明する。図１は、カラーフィルターの一実施形態を示す模式平面図である。また、図２（ａ）は、図１のカラーフィルターのＤ部を拡大して示す模式平面図、（ｂ）は、図１のＡ−Ａ’線に沿う模式断面図である。
カラーフィルター１は、液晶テレビ等の表示装置に用いられ、画像信号に応じた輝度分布をもつ白色光をカラーフィルター１に通過させることにより、カラー画像を形成する。図１に示すように、カラーフィルター１は基材としての基板２を備えている。この基板２は光透過性があり、張力に対して破れ難い強度があればよく、ガラス板、プラスチック板、プラスチックシート等を用いることができる。本実施形態においては、例えば、ガラス板を採用している。基板２の上面には膜パターンとしての着色素子３が縦横並んで配列して形成されている。そして、着色素子３は赤、青、緑色の着色素子３により構成され、各色の着色素子３が列毎に配列して配置されている。図１（ａ）において、上から赤色素子列３ａ、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃの順に着色素子３が配列して配置されている。そして、赤色素子列３ａ、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃが、図中の上から下へ、この順番を繰り返してストライプ状に配置されている。

着色素子３は格子状に形成された枠部としての隔壁（バンク）４を備えている。隔壁４は、図２（ｂ）に示すように、基板２上にスパッタリングや蒸着などの方法により形成された金属膜４ａと、その金属膜上に樹脂材料により形成された壁部４ｂとにより構成され、金属膜４ａにより隔壁４を光が透過しないようになっている。なお、隔壁４を、着色された樹脂材料によって形成した壁部４ｂにより形成する構成としてもよい。
隔壁４によって略矩形に区画された場所には、赤色着色膜５ａ、青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃ等の膜形成部としての着色膜５が形成されている。赤色素子列３ａの着色素子３には赤色着色膜５ａが形成され、青色素子列３ｂ、緑色素子列３ｃにはそれぞれ青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃが形成されている。これにより、カラーフィルター１には、膜形成部として赤色着色膜５ａ、青色着色膜５ｂ、緑色着色膜５ｃが、所定方向、および該所定方向と交差する交差方向に複数並んで形成されている。各着色膜５ａ〜５ｃは、各着色膜５ａ〜５ｃの形成材料となる機能性液体を液滴吐出法により光透過部に吐出して着弾させ、それを定着させることにより形成される。

（液滴吐出装置）
次に、基板２に液滴を吐出して着色膜５を形成する液滴吐出装置６について図３に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小な液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。

図３（ａ）は、カラーフィルター１の製造に係る液滴吐出装置６の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置６により液滴が吐出される。
図３（ａ）に示すように、液滴吐出装置６には直方体形状に形成された基台７を備えている。本実施形態では、この基台７の長手方向をＹ方向とし水平面上でＹ方向と直交する方向をＸ方向とする。そして、鉛直方向をＺ方向とする。液滴を吐出するときに吐出ヘッド２２と被吐出物とが相対移動する方向を主走査方向とする。そして、主走査方向と直交する方向を副走査方向とする。副走査方向は改行するときに吐出ヘッド２２と被吐出物とが相対移動する方向である。本実施形態ではＹ方向を主走査方向とし、Ｘ方向を副走査方向とする。

基台７の上面７ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール８がＹ方向全幅にわたり凸設されている。その基台７の上側には、一対の案内レール８に対応する図示しない直動機構を備えたステージ９が取付けられている。そのステージ９の直動機構にはリニアモーターやネジ式直動機構等の機構を用いることができる。本実施形態では、例えば、リニアモーターを採用している。そして、ステージ９はＹ方向に沿って所定の速度で往動または復動するようになっている。往動と復動を繰り返すことを走査移動と称す。さらに、基台７の上面７ａには案内レール８と平行に主走査位置検出装置１０が配置され、主走査位置検出装置１０によりステージ９の位置が検出される。

そのステージ９の上面には載置面１１が形成され、その載置面１１には図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。載置面１１上には基板２が設置され、基板２は基板チャック機構により載置面１１に固定されている。具体的には後述するが、基板２は、膜形成部としての各着色膜５の平面視で矩形の外形の主たる辺（本実施形態では四辺全辺）に対して、吐出ヘッド２２による描画方向（走査方向）が直角またはそれに近い角度で交差しないように角度を調整してステージ９の載置面１１に固定される。

基台７のＸ方向両側には一対の支持台１２が立設され、その一対の支持台１２にはＸ方向に延びる案内部材１３が架設されている。その案内部材１３の上側には吐出する機能液２６を供給可能に収容する収容タンク１４が設置されている。収容タンク１４には染料または顔料を含む機能液２６が収納されている。

案内部材１３の下側にはＸ方向に延びる案内レール１５がＸ方向全幅にわたって設置されている。案内レール１５に沿って移動可能に取り付けられるキャリッジ１６は略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１６は直動機構を備え、その直動機構は、例えば、ステージ９が備える直動機構と同様の機構を用いることができる。そして、キャリッジ１６が案内レール１５に沿って走査移動する。案内部材１３とキャリッジ１６との間には副走査位置検出装置１７が配置され、キャリッジ１６の位置が計測される。キャリッジ１６の下側にはヘッドユニット１８が設置され、このヘッドユニット１８のステージ９側には図示しない吐出ヘッド２２が凸設されている。

図３（ｂ）は、吐出ヘッド２２の配置を示す模式平面図である。図３（ｂ）に示すように、１つのヘッドユニット１８には、３個の吐出部としての吐出ヘッド２２がＹ方向において等間隔に配列して配置されている。３個の吐出ヘッド２２には赤色、青色、緑色の機能液２６が供給されている。そして、この各色の機能液２６を吐出する吐出ヘッド２２はそれぞれＸ方向に千鳥状に配列して配置されている。

そして、吐出ヘッド２２の表面にはノズルプレート２３が配置され、ノズルプレート２３にはノズル２４が複数形成されている。ノズル２４の数や配列は吐出するパターンと基板２の大きさに合わせて設定すればよい。本実施形態においては、例えば、１個のノズルプレート２３にはノズル２４の配列が１列形成され、各列には１５個のノズル２４が配置されている。

図３（ｃ）は、吐出ヘッド２２の構造を説明するための要部模式断面図である。図３（ｃ）に示すように、吐出ヘッド２２は、ノズルプレート２３を備え、ノズルプレート２３には、ノズル２４が形成されている。ノズルプレート２３の図中上側であって、ノズル２４と対向する位置には、ノズル２４と連通する圧力室としてのキャビティ２５が形成されている。そして、吐出ヘッド２２のキャビティ２５には、収容タンク１４に貯留されている液状体としての機能液２６が図示しない流路を介して供給される。

キャビティ２５の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ２５内の容積を拡大縮小する振動板２７と、上下方向に伸縮して振動板２７を振動させる駆動素子としての圧電素子２８が配設されている。そして、吐出ヘッド２２が圧電素子２８を制御駆動するための素子駆動信号を受けると、圧電素子２８が伸縮する。これにより、振動板２７がキャビティ２５内の容積を拡大縮小してキャビティ２５を加圧する。その結果、吐出ヘッド２２のノズル２４から、縮小した容積分の機能液２６が液滴２９として吐出される。

図４は、液滴吐出装置６の電気制御ブロック図である。図４に示すように、液滴吐出装置６は液滴吐出装置６の動作を制御する制御部としての制御装置４１を備えている。そして、制御装置４１はプロセッサーとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（中央演算処理装置）４２と、各種情報を記憶する記憶部としてのメモリー４３とを備えている。

主走査駆動装置４４、主走査位置検出装置１０、副走査駆動装置４５、副走査位置検出装置１７は、入出力インターフェイス４６及びデータバス４７を介してＣＰＵ４２に接続されている。さらに、吐出ヘッド２２を駆動するヘッド駆動回路４８、入力装置４９、表示装置５０も入出力インターフェイス４６及びデータバス４７を介してＣＰＵ４２に接続されている。

主走査駆動装置４４はステージ９の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４５はキャリッジ１６の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置１０がステージ９の位置を検出し、主走査駆動装置４４がステージ９を駆動することにより、ステージ９を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１７がキャリッジ１６の位置を検出し、副走査駆動装置４５がキャリッジ１６を駆動することにより、キャリッジ１６を所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。

入力装置４９は液滴２９を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板２に液滴２９を吐出する座標を図示しない外部装置から受信して入力する装置である。表示装置５０は加工条件や作業状況を表示する装置であり、操作者は表示装置５０に表示される情報を基に入力装置４９を用いて操作を行う。

メモリー４３は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリーや、ハードディスク、ＤＶＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には液滴吐出装置６における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板２上に吐出する吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域も設定される。

他にも、吐出ヘッド２２を駆動するときの駆動波形と吐出量の関係を示すデータである駆動電圧データ５３や吐出ヘッド２２を駆動する駆動波形データ５４等の吐出条件を複数記憶するための記憶領域が設定される。さらに、吐出する各場所における駆動電圧のデータである吐出計画データ５５を記憶するための記憶領域が設定される。さらに、ＣＰＵ４２のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種類の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ４２は、メモリー４３内に記憶されたプログラムソフト５１に従って基板２上の所定の位置に液滴２９を吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、吐出ヘッド２２から液滴２９を吐出して描画するための制御を行う描画制御部５６を有する。描画制御部５６を詳しく分割すれば、描画制御部５６はステージ９を主走査方向へ所定の速度で走査移動させるための制御を行う主走査制御部５７を有する。他にも、描画制御部５６は吐出ヘッド２２を副走査方向へ所定の副走査量で移動させるための制御を行う副走査制御部５８を有する。さらに、描画制御部５６は吐出ヘッド２２内に複数あるノズルのうち、どのノズルに対応する吐出ヘッド２２を作動させて液滴２９を吐出するかを制御する吐出制御部５９等といった各種の演算部や制御部を有する。

他にも、塗布領域に吐出する機能液２６の量と吐出特性からノズル２４から吐出する液滴２９の吐出量と吐出回数を設定する吐出条件設定部６１を有する。他にも液滴２９を吐出する各場所における圧電素子２８の駆動波形を設定する吐出計画設定部６２を有する。

（カラーフィルターの製造工程）
次に、上述した液滴吐出装置６を使って、吐出ヘッド２２から基板２に吐出してカラーフィルターを製造する工程について図面に沿って説明する。図５は、液滴吐出装置６を用いてカラーフィルターを製造する製造工程を示すフローチャートである。また、図６は、カラーフィルターの製造工程において、膜形成部としての各色の着色膜５の外形形状と吐出ヘッド２２による描画方向（走査方向）との関係を説明するものであり、カラーフィルターの一部（図２（ａ）と同じ部分）を拡大して示す模式平面図である。

まず、図５のステップＳ１において、オペレーターは、基板２をステージ９の載置面１１上に載置する。基板２には予め隔壁４が形成されている。隔壁４は、スパッタリングや蒸着などにより金属膜４ａを、フォトリソグラフィーなどの法を用いて壁部４ｂを、それぞれ形成することにより製造することができる。尚、隔壁４を液滴吐出装置６を用いて形成することもできる。
液滴吐出装置６は吸引式の基板チャック機構を駆動させることにより基板２を載置面１１に固定する。上述したように、基板２は、図６に示すように、膜形成部としての各着色膜５の平面視で矩形の外形の主たる辺に対して、吐出ヘッド２２による描画方向（主走査方向Ｙ）が直角またはそれに近い角度で交差しないように角度を調整してステージ９の載置面１１（図３（ａ）を参照）に固定する。具体的には、平面視で矩形状の各着色膜５の主たる辺（図中では長辺を用いて説明する）に対して、図中二点鎖線で示す吐出ヘッド２２の主走査方向（描画方向＝Ｙ方向）が交差する角度Ｒが４５°もしくはそれに近い角度となるように、ステージ９の載置面１１に基板２が角度を調整して載置される。
そして、基板２が載置されたステージ９を、主走査位置検出装置１０を用いて、基板２が吐出ヘッド２２のノズル面と対向し次のステップで着色膜５の形成（吐出）を行なえるポジションになるまで移動させ、給材は完了する。

次に、ステップＳ２において、描画制御部５６はステージ９とキャリッジ１６とを駆動させることにより液滴２９を吐出する場所と対向する場所に吐出ヘッド２２を移動させる。そして、吐出制御部５９は、予め設定された所定の吐出条件にてノズル２４から膜形成部である各色の着色膜５形成領域に所定の色の機能液２６の液滴２９を吐出して描画をおこない、カラーフィルター１を形成する。

この吐出工程において、本実施形態では、給材工程（ステップＳ１）でステージ９に基板２を載置する際に、膜形成部としての各着色膜５の平面視で矩形の外形の主たる辺に対して、吐出ヘッド２２による描画方向（走査方向）が４５°またはそれに近い角度で交差するように角度を調整してステージ９の載置面１１に基板２を固定している。これにより、図６に示すように、吐出ヘッド２２を主走査方向（描画方向＝Ｙ方向）に走査させながら基板２に液滴２９を吐出させて膜形成部としての各色の着色膜５を形成するときに、隣接する着色膜５どうしで枠部としての隔壁４を形成する着色膜５の平面視の外形の主たる辺に対して直角または直角に近似な角度で交差しない主走査方向に吐出ヘッド２２を走査させながら吐出ヘッド２２から液滴２９を吐出させて描画を行なう。すると、主たる辺に対して直角に交差する走査方向にて吐出ヘッド２２を走査させながら描画を行なう場合に枠部としての隔壁４の幅Ｇが吐出ヘッド２２の通過する長さであるのに対して、隔壁４の上を吐出ヘッド２２が通過する長さＬ（通過時間）を長くすることができる。即ち、吐出ヘッド２２の走査方向に沿う方向において、隣接する着色膜５どうしの間隙の長さを隔壁４の幅Ｇよりも長い長さＬに長くすることができる。これにより、隣接する着色膜５の一方に吐出すべき液体の液滴２９が隔壁４に着弾してしまった場合に、その液体が他方の着色膜５に流れ込むのを抑えることができるので、隣接する着色膜５の混色不良の発生を抑えることができる。
しかも、本実施形態では、各色の着色膜５の主たる辺に対して、吐出ヘッド２２の種走査方向を４５°に近い角度にて交差させるように、基板２をステージ９の載置面１１に載置しているので、隣接する着色膜５の間の隔壁４を吐出ヘッド２２が通過する長さＬをより長く確保することができるので、混色不良の抑制効果をより顕著に奏する。

ステップＳ３の描画の終了判断工程において、予定した総ての場所に液滴２９を吐出したことを確認するまでステップＳ６の描画工程が行われる。
ここで、次の描画を続けて実行する場合（ステップＳ３でＹＥＳ）、ステップＳ２の吐出工程に戻って次の描画を行なう。
また、ステップＳ３において、予定した総ての場所に液滴２９を吐出した場合（ステップＳ３でＮＯ）、ステップＳ４の除材工程に移行する。ステップＳ４では、オペレーターが基板チャック機構を解除して基板２を載置面１１から次工程（ステップＳ５）に移動する。
ステップＳ５では、描画工程Ｓ６で基板２に塗布された液体の固化を行なう。固化工程では、例えば、機能液２６が塗布された基板２を乾燥装置の内部の乾燥室内の載置台（図示せず）に配置し、乾燥室内に乾燥気体を供給する。次に、乾燥気体は基板２に塗布された機能液２６に沿って流動し、このとき、機能液２６に含まれる溶媒及び分散媒を乾燥気体に蒸発させて除去することにより、機能液２６を乾燥させる。そして、機能液２６が乾燥することにより、各色の着色膜が形成される。
以上、説明した工程を経て、基板２に液滴２９を吐出してカラーフィルター１を製造する製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、基板２に膜形成部としての複数の各色の着色膜５がマトリクス状に配置されたカラーフィルター１の製造工程において、隣接する着色膜５を区画する枠部としての隔壁４を吐出ヘッド２２が通過する長さ（時間）を長く確保することにより、混色不良を抑制することができる。
また、本実施形態によれば、ステージ９の載置面１１に対して基板２を載置する角度を調節することにより、膜形成部としての着色膜５の平面視した外形における主たる辺と吐出ヘッド２２の主走査方向との交差角度を４５°またはそれに近い角度に調整している。したがって、膜形成部（本実施形態では着色膜５）の平面視の外形の形状ごとに、その外形の主たる辺と吐出ヘッド２２の走査方向との交差角度を調整すればよいので、上記した本実施形態の効果を奏するパターン形成方法の汎用性を高くすることができる。

（第２の実施形態）
図７は、第２の実施形態に係るカラーフィルターの一部（図２（ａ）、図６と同じ部分）を拡大して示す模式平面図である。なお、上記第１の実施形態と同じ構成については同一符号を付して説明を省略する。

図７に示すように、第２の実施形態のカラーフィルター１０１は、基板２の着色素子３形成面において、枠部としての隔壁４により区画された膜形成部としての着色膜５が縦横ストライプ状に配置されて形成されている。着色素子３は赤、青、緑色の着色膜５により構成され、各色の着色膜５が列毎に配列して配置されている。各色の着色膜５は、平面視した外形が平行四辺形に近似な形状にて形成されている。本実施形態の着色膜５の平面視の外形は、対向する二対の対辺の長さが全て等しい菱形に近似な形状にて形成されている。
本実施形態のカラーフィルター１０１において、隣接する着色膜５の間で隔壁４を形成する辺（主たる辺）に対して、吐出ヘッド２２による描画方向（主走査方向Ｙ）が直角またはそれに近い角度で交差しないようになっている。具体的には、平面視で平行四辺形の各着色膜５の主たる辺に対して、図中二点鎖線で示す吐出ヘッド２２の主走査方向（描画方向＝Ｙ方向）が交差する角度Ｒが４５°もしくはそれに近い角度に設定されている。
第１の実施形態では、基板２の載置する角度を変えて、着色膜５の主たる辺と吐出ヘッド２２の主走査方向との交差角度を調整したのに対して、本実施形態では、載置面１１に対する基板２の載置方向が決まっていて、吐出ヘッド２２の走査方向（主走査方向）に合わせて基板２を載置する角度を調整できない場合にも対応可能な膜パターンの形成方法を提供するものである。

第２の実施形態のカラーフィルター１０１およびその形成方法によれば、膜形成部としての着色膜５の平面視の外形が矩形またはそれに近似な形状であって、それら着色膜５の各辺が、同じく平面視で矩形の基板２の外形と平行または直角である場合であり、且つ、基板２を載置する角度を吐出ヘッド２２の走査方向（主走査方向）に応じて自由に変更することができない場合であっても、本発明の効果を享受することができる。即ち、膜形成部としての着色膜５の平面視の外形が平行四辺形に近似な形状であるので、ステージ９上への基板２の載置角度を調整しなくても、各着色膜５の主たる辺に対して、吐出ヘッド２２の走査方向が直角またはそれに近い角度で交差しないようにすることができる。
また、着色膜５の外形が平行四辺形に近似な形状であることから、その外形の主たる辺は、互いに平行で長さの等しい二組の対辺であり、二組の対角の大きさも互いに等しいことから、吐出ヘッド２２の走査方向と直角に交差しない角度にしてバランスよく配置することができる。
しかも、本実施形態では、着色膜５の外形形状は、平行四辺形のうち、２対の対辺の全てが同じ長さであり、線対称な形状である菱形またはそれに近似な外形形状にて形成されているので、各辺が吐出ヘッド２２の走査方向と直角でなく鋭角な角度で交差するようにして、よりバランスよく配置することができる。
したがって、隣接する膜形成部としての各色着色素子の着色膜５の間に形成される枠部としての隔壁４の上を吐出ヘッド２２が通過する長さＬ（通過時間）を長くして、隣接する着色膜５間の混色不良の発生をより顕著に抑制することが可能なパターン形成方法を提供することができる。

＝＝＝その他の実施の形態＝＝＝
上記の実施形態は、主としてプリンターについて記載されているが、その中には、印刷装置、記録装置、液体の噴射装置、印刷方法、記録方法、液体の噴射方法、印刷システム、記録システム等の開示が含まれていることは言うまでもない。

また、一実施形態としてのプリンター等を説明したが、上記の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれることは言うまでもない。

また、上記実施の形態においては、液体の一例であるインクを噴射（吐出）する液滴吐出装置（インクジェットプリンター）６を用いて表示装置としてのカラーフィルター１を製造する方法について詳細に説明したが、これに限定されるものではなく、インク以外の他の液体を噴射（吐出）する液体噴射（吐出）装置に具体化することも可能である。例えば、有機ＥＬディスプレイ等の他の表示装置の製造に用いることも可能である。

また、上記実施の形態においては、液滴吐出装置６（インクジェットプリンター）の一例として、ノズルを備えたヘッドが媒体に対して所定方向に移動して該ノズルからインクを噴射するシリアルプリンターを挙げたが、これに限定されるものではなく、例えば、ノズルを備えた移動しないラインヘッドに対し前記所定方向に移動する媒体に該ノズルからインクを噴射するラインプリンターであってもよい。
また、上記実施の形態においては、隣接する膜形成領域の間には枠部としての隔壁が形成されている構成を説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、隣接する膜形成領域の間を予め撥液化処理を行って、撥液領域を形成する場合や、隔壁や撥液領域等の形成を行わずに基板上に膜パターンの形成を行う場合であっても同様の効果を有する。

１，１０１…膜パターンを備えたカラーフィルター、２…基板、３…膜パターンとしての着色素子、３ａ…赤色素子列、３ｂ…青色素子列、３ｃ…緑色素子列、４…枠部としての隔壁（バンク）、４ａ…金属膜、４ｂ…壁部、５…膜形成部としての着色膜、５ａ…赤色着色膜、５ｂ…青色着色膜、５ｃ…緑色着色膜、６…液滴吐出装置、７…基台、７ａ…上面、８…案内レール、９…ステージ、１０…主走査位置検出装置、１１…載置面、１２…支持台、１３…案内部材、１４…収容タンク、１５…案内レール、１６…キャリッジ、１７…副走査位置検出装置、１８…ヘッドユニット、２２…吐出ヘッド、２３…ノズルプレート、２４…ノズル、２５…キャビティ、２６…液体としての機能液、２７…振動板、２８…圧電素子、２９…液滴、４１…制御装置、４２…ＣＰＵ、４３…メモリー、４４…主走査駆動装置、４５…副走査駆動装置、４６…入出力インターフェイス、４７…データバス、４８…ヘッド駆動回路、４９…入力装置、５０…表示装置、５１…プログラムソフト、５２…吐出位置データ、５３…駆動電圧データ、５４…駆動波形データ、５５…吐出計画データ、５６…描画制御部、５７…主走査制御部、５８…副走査制御部、５９…吐出制御部、６１…吐出条件設定部、６２…吐出計画設定部。

Claims (5)

1. 基板を載置する載置部と、液体を吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを保持するキャリッジと、を備え、前記キャリッジと前記載置部とを所定の走査方向に相対的に走査させながら前記吐出ヘッドから前記基板に前記液体を吐出させる液滴吐出装置を用いて、
   膜形成部が複数配置された膜パターンを前記基板に形成する膜パターンの形成方法であって、
   前記膜形成部の平面視の外形を形成する主たる辺と前記走査方向との交差角度が鋭角または鈍角となるように前記キャリッジを走査させながら描画を行なうことを特徴とする膜パターンの形成方法。
2. 請求項１に記載の膜パターンの形成方法において、
   前記主たる辺と前記走査方向との交差角度が４５°またはそれに近似な角度であることを特徴とする膜パターンの形成方法。
3. 請求項１または２に記載の膜パターンの形成方法において、
   前記載置部に対して前記基板を載置する角度により前記主たる辺と前記走査方向との交差角度を調整することを特徴とする膜パターンの形成方法。
4. 請求項１または２に記載の膜パターンの形成方法において、
   前記膜形成部の外形が平行四辺形またはそれに近似な形状であることを特徴とする膜パターンの形成方法。
5. 請求項４に記載の膜パターンの形成方法において、
   前記膜形成部の形状が菱形またはそれに近似な形状であることを特徴とする膜パターンの形成方法。

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