JP2014062855A - ガス増幅を用いた放射線検出器の製造方法 - Google Patents
ガス増幅を用いた放射線検出器の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決方法】板状の樹脂製基板において、この樹脂製基板の主面上に、少なくともその一辺に沿うように、複数の第1のストリップ状電極を一定の間隔で形成する。次いで、樹脂製基板の主面上において、複数の第1のストリップ状電極を覆うようにしてドライフィルムレジストを形成した後露光現像して、ドライフィルムレジストの、樹脂製基板における複数のストリップ状電極上において、少なくとも一辺に沿うとともに少なくとも一辺と直交する方向に沿うようにして、複数の円柱状の貫通孔を形成する。次いで、複数の円柱状の貫通孔に対してめっき処理を施し、複数の円柱状の貫通孔内にそれぞれめっき材を充填する。
【選択図】図5
Description
板状の樹脂製基板を準備する工程と、
前記樹脂製基板の主面上において、前記樹脂製基板の少なくとも一辺に沿うように、複数の第1のストリップ状電極を一定の間隔で形成する工程と、
前記樹脂製基板の主面上において、前記複数の第1のストリップ状電極を覆うようにしてドライフィルムレジストを形成する工程と、
前記ドライフィルムレジストを露光現像して、前記ドライフィルムレジストの、前記樹脂製基板における前記複数のストリップ状電極上において、前記少なくとも一辺に沿うとともに前記少なくとも一辺と直交する方向に沿うようにして、前記ドライフィルムレジストを貫通して複数の円柱状の貫通孔を形成する工程と、
前記複数の円柱状の貫通孔に対してめっき処理を施し、前記複数の円柱状の貫通孔内にそれぞれめっき材を充填する工程と、
前記ドライフィルムレジストを剥離した後、前記樹脂製基板の前記複数のストリップ状電極上に残存する複数の前記めっき材を覆うようにして絶縁材を形成する工程と、
前記絶縁材上にドライフィルムレジストを形成した後に、露光現像し、前記複数のめっき材を中心とした複数の円形部分、及び前記少なくとも一辺と直交する方向に配列した前記複数の円形部分の、隣接して配列された円形部分同士を等間隔で分断するように画定されたストリップ状部分を覆い、残部を露出させたマスクを形成する工程と、
前記マスクを介してめっき処理を行い、前記絶縁材上に、それぞれが前記複数のめっき材を中心とした複数の開口部を有する複数の第2のストリップ状電極を形成する工程とを具え、
前記複数の第1のストリップ状電極からなるストリップ状陽極電極、前記複数の第2のストリップ状電極からなるストリップ状陰極電極、及び前記複数のめっき材からなるピクセル電極を含むガス増幅を利用した放射線検出器を製造することを特徴とする、ガス増幅を利用した放射線検出器の製造方法に関する。
12 ストリップ状電極
13 保護フィルム
14 ドライフィルムレジスト
14O 円柱状の貫通孔
15 めっき材
17 絶縁材
18 ドライフィルムレジストのマスク
20 ガス増幅を用いた放射線検出器
21 ストリップ状の陽極電極
22 絶縁層
23 ストリップ状の陰極電極
24 ピクセル電極
Claims (2)
- 板状の樹脂製基板を準備する工程と、
前記樹脂製基板の主面上において、前記樹脂製基板の少なくとも一辺に沿うように、複数の第1のストリップ状電極を一定の間隔で形成する工程と、
前記樹脂製基板の主面上において、前記複数の第1のストリップ状電極を覆うようにしてドライフィルムレジストを形成する工程と、
前記ドライフィルムレジストを露光現像して、前記ドライフィルムレジストの、前記樹脂製基板における前記複数のストリップ状電極上において、前記少なくとも一辺に沿うとともに前記少なくとも一辺と直交する方向に沿うようにして、前記ドライフィルムレジストを貫通して複数の円柱状の貫通孔を形成する工程と、
前記複数の円柱状の貫通孔に対してめっき処理を施し、前記複数の円柱状の貫通孔内にそれぞれめっき材を充填する工程と、
前記ドライフィルムレジストを剥離した後、前記樹脂製基板の前記複数のストリップ状電極上に残存する複数の前記めっき材を覆うようにして絶縁材を形成する工程と、
前記絶縁材上にドライフィルムレジストを形成した後に、露光現像し、前記複数のめっき材を中心とした複数の円形部分、及び前記少なくとも一辺と直交する方向に配列した前記複数の円形部分の、隣接して配列された円形部分同士を等間隔で分断するように画定されたストリップ状部分を覆い、残部を露出させたマスクを形成する工程と、
前記マスクを介してめっき処理を行い、前記絶縁材上に、それぞれが前記複数のめっき材を中心とした複数の開口部を有する複数の第2のストリップ状電極を形成する工程とを具え、
前記複数の第1のストリップ状電極からなるストリップ状陽極電極、前記複数の第2のストリップ状電極からなるストリップ状陰極電極、及び前記複数のめっき材からなるピクセル電極を含むガス増幅を利用した放射線検出器を製造することを特徴とする、ガス増幅を利用した放射線検出器の製造方法。 - 前記ピクセル電極を構成する前記めっき材の直径が20μm以下であることを特徴とする、請求項1に記載のガス増幅を利用した放射線検出器の製造方法。
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JP2002006047A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-09 | Japan Science & Technology Corp | ピクセル型電極によるガス増幅を用いた粒子線画像検出器 |
JP2012013483A (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-19 | Dainippon Printing Co Ltd | ガス増幅を用いた放射線検出器、及びその製造方法 |
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