JP2014059345A - 板バネの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】板バネのバネ定数のばらつきを低減し、カメラモジュールのレンズの駆動精度を高めることが可能な、カメラモジュールの駆動機構に用いられる板バネの製造方法を提供する。
【解決手段】まず、複数の板バネ材料４０を準備し、各板バネ材料４０の厚みを測定する。次に、各板バネ材料４０をその厚みに応じて複数のクラスに分類する。その後、予め各クラス別に準備されたエッチング用原版５０を用いて、当該クラスに分類された板バネ材料４０に対してエッチング加工を施すことにより、板バネ５、１１を形成する。
【選択図】図６

Description

本発明は、カメラモジュールの駆動機構に用いられる板バネの製造方法に関する。

携帯電話、スマートフォン、タブレット端末、ノートＰＣなど、カメラ付き小型電子機器などにおいて、オートフォーカスやズーム等を目的として、コイルに流れる電流と、ヨーク及びマグネットにより構成された磁気回路の磁界との相互作用によって、光軸方向にレンズユニットを変位させることができるカメラモジュールの駆動機構（ボイスコイルモーター（ＶＣＭ））が用いられている。

このようなカメラモジュールの駆動機構には、レンズユニットを保持しているホルダをレンズユニットの光軸方向に変位可能に支持するための板バネが使用されている。

特開２０１０−２１７４６７号公報

ところで近年、小型電子機器の薄型化が進んでいることにより、カメラモジュールも薄型化することが要求されている。また、カメラモジュールの高画素化が進んできており、オートフォーカス方式のカメラモジュールにおいても、用いられるＣＭＯＳセンサーの画素数が増えてきている。具体的には、３００万画素から５００万画素、さらには８００万画素以上のＣＭＯＳセンサーが用いられている。このように、ＣＭＯＳセンサーの高画素化が進んでいることに伴い、オートフォーカス動作時におけるカメラモジュールのレンズの駆動精度を高めることが要求されている。

また一般に、カメラモジュールの板バネは金属板から作製されるが、この板バネのバネ定数を一定にすることにより、レンズの駆動精度を高めることが可能になる。しかしながら、従来、板バネを構成する金属板の厚さにある程度のばらつきが生じている。このため、作製された板バネのバネ定数も金属板ごとにばらつくおそれがある。

本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、板バネのバネ定数のばらつきを低減し、カメラモジュールのレンズの駆動精度を高めることが可能な、板バネの製造方法を提供することを目的とする。

本発明は、カメラモジュールの駆動機構に用いられる板バネの製造方法において、複数の板バネ材料を準備する工程と、各板バネ材料の厚みを測定する工程と、各板バネ材料をその厚みに応じて複数のクラスに分類する工程と、予め各クラス別に準備されたエッチング用原版を用いて、当該クラスに分類された板バネ材料に対してエッチング加工を施すことにより、板バネを形成する工程とを備えたことを特徴とする板バネの製造方法である。

本発明は、板バネは、外枠部と、外枠部の内側に配置された内枠部と、内枠部と外枠部との間に設けられ、外枠部と内枠部とを板バネの法線方向へ伸縮させるスプリング部とを有し、板バネを形成する工程において、分類されたクラス毎に板バネのスプリング部の形状を異ならせるように、エッチング加工が施されることを特徴とする板バネの製造方法である。

本発明は、板バネを形成する工程において、分類されたクラス毎に板バネのスプリング部の幅を異ならせるように、エッチング加工が施されることを特徴とする板バネの製造方法である。

本発明は、複数のクラスのうち、板バネ材料の厚みが相対的に厚いクラスに対応する板バネのスプリング部は、板バネ材料の厚みが相対的に薄いクラスに対応する板バネのスプリング部より幅が狭いことを特徴とする板バネの製造方法である。

本発明は、板バネ材料は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅またはチタニウム銅を含むことを特徴とする板バネの製造方法である。

本発明によれば、複数の板バネ材料を、その厚みに応じて複数のクラスに分類し、その後、予め各クラス別に準備されたエッチング用原版を用いて、当該クラスに分類された板バネ材料に対してエッチング加工を施すことにより、板バネを形成する。このことにより、板バネを構成する板バネ材料の厚さにばらつきが生じている場合であっても、板バネのバネ定数のばらつきを低減することができる。

図１は、カメラモジュールの駆動機構を示す分解斜視図。 図２は、カメラモジュールを示す概略側面図。 図３は、カメラモジュールの駆動機構に組込まれる上部板バネを示す平面図。 図４は、カメラモジュールの駆動機構に組込まれる下部板バネを示す平面図。 図５（ａ）〜（ｃ）は、板バネの製造方法を示す概略断面図。 図６（ａ）〜（ｇ）は、板バネの製造方法を示す概略断面図。 図７（ａ）〜（ｂ）は、エッチング用原版を示す平面図。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。

（カメラモジュールの駆動機構の構成）
図１および図２に示すように、本発明によるカメラモジュールの駆動機構１は、カバー２とベース１３とからなる筐体２Ａと、光学系を構成する複数のレンズ２６からなるレンズユニット２６Ａと、筐体２Ａ内に配置されレンズユニット２６Ａを収納してレンズユニット２６Ａの光軸方向へ移動可能なホルダ９と、ホルダ９の外周に設けられたコイル８と、筐体２Ａのベース１３に設けられコイル８に磁界を提供するヨーク６及びマグネット片７とを備えている。

また筐体２Ａのカバー２と、ホルダ９の上部との間に上部板バネ５が介在され、筐体２Ａのベース１３とホルダ９の下部との間に下部板バネ１１が介在されている。

そして下部板バネ１１を介してコイル８に電流を流すことによりホルダ９に上方への力が作用し、レンズユニット２６Ａを上部板バネ５および下部板バネ１１の力に抗して全体として上方へ持上げることができる（図２参照）。

また、入力する電流量を調整することにより、ホルダ９を上方へ移動させる力を変化させ、上部板バネ５および下部板バネ１１の力とのバランスをとることで、ホルダ９の上下移動及びその位置調整を行うことができる。

なお、図２に示すように、筐体２Ａは、中間支持体２１を介して基体２０上方に固定され、中間支持体２１には赤外線カットガラス２２が支持され、基体２０上には撮像素子２５が配置されている。

このように筐体２Ａを有するカメラモジュールの駆動機構１と、赤外線カットガラス２２を支持する中間支持体２１と、撮像素子２５が配置された基体２０とによりカメラモジュール１Ａが構成されている。

なお、上記構成のうち、上部板バネ５は図３に示すように、筐体２Ａ側の外枠部５ａと、ホルダ９側の内枠部５ｂと、外枠部５ａと内枠部５ｂとの間に設けられたバネ性をもつスプリング部５ｃとを有している。また下部板バネ１１は図４に示すように、筐体２Ａ側の外枠部１１ａと、ホルダ９側の内枠部１１ｂと、外枠部１１ａと内枠部１１ｂとの間に設けられたバネ性をもつスプリング部１１ｃとを有している。

次にカメラモジュールの駆動機構１の各構成部分について、更に説明する。

上述のようにカバー２とベース１３とからなる筐体２Ａ内の空間には、レンズユニット２６Ａを保持しているホルダ９がレンズユニット２６Ａの光軸方向へ変位可能に収容されている。

ホルダ９の上下の各円筒縁部には、それぞれ上部板バネ５の内枠部５ｂと下部板バネ１１の内枠部１１ｂが取付けられており、上部板バネ５の外枠部５ａ（図３参照）は筐体２Ａのベース１３に固定されているヨーク６の上面に取付けられ、下部板バネ１１の外枠部１１ａ（図４参照）は筐体２Ａのベース１３に取付けられている。

上記ヨーク６には複数のマグネット片７が接着されており、カメラモジュールの駆動機構１の磁気回路を構成している。そしてこの磁気回路により形成された磁界内にコイル８が配置されている。このコイル８はホルダ９の外周に巻回されており、コイル８に電流を供給することによりホルダ９をレンズユニット２６Ａの光軸方向へ変位させることができる。なお、図２において、符号１２により示す部材は外部電源からコイル８へ電流を供給するためのフレキシブルプリント基板や金属端子等の導体であり、符号４により示す部材は上部板バネ５の上面に装着される調整板である。

このようなカメラモジュール１Ａは、携帯電話、スマートフォン、タブレット端末、ノートＰＣなど、カメラ付き小型電子機器等の電子機器端末に組み込まれて用いられる。

（板バネの構成）
次に図３および図４により、上部板バネ５および下部板バネ１１について更に述べる。

上部板バネ５および下部板バネ１１は、後述するようにそれぞれ銅合金製の板バネ材料４０（図５（ａ）〜（ｃ）および図６（ａ）〜（ｇ））を用いて作製されたものである。

上部板バネ５は図３に示すように四角形状の外枠部５ａと、ホルダ９側であって外枠部５ａの内側に配置されたリング状の内枠部５ｂと、外枠部５ａと内枠部５ｂとの間に設けられ、外枠部５ａと内枠部５ｂとを上部板バネ５の法線方向へ伸縮させるバネ性をもつスプリング部５ｃとを有している。

また外枠部５ａの４隅のうち３つに、それぞれ上部板バネ５を筐体２Ａのベース１３に固定されているヨーク６の上面に取付ける際の位置決め孔１７が設けられている。位置決め孔１７はヨーク６の上面側に設けられた位置決め突起（図示せず）に係合して、上部板バネ５をヨーク６の上面側に精度良く位置決めするものである。

さらに、外枠部５ａには、上部板バネ５を筐体２Ａに取付けるための接着部３０Ａが設けられている。この接着部３０Ａは外枠部５ａの４隅であって外枠部５ａと各スプリング部５ｃとの連結部近傍に設けられている。また、接着部３０Ａは、外枠部５ａの周方向に所定間隔をおいて複数（４個）設けられている。

一方、内枠部５ｂには、上部板バネ５をホルダ９に取付けるための接着部３０Ｂが設けられている。この接着部３０Ｂは内枠部５ｂの４隅であって内枠部５ｂと各スプリング部５ｃとの連結部近傍に設けられている。また、接着部３０Ｂは、内枠部５ｂの周方向に所定間隔をおいて複数（４個）設けられている。

次に下部板バネ１１について、図４により説明する。なお、図４に示す下部板バネ１１において、図３に示す上部板バネ５の構成と同一部分には同一符号を付して詳細な説明を省略する。

下部板バネ１１は、図４に示すように四角形状の外枠部１１ａと、ホルダ９側であって外枠部１１ａの内側に配置されたリング状内枠部１１ｂと、外枠部１１ａと内枠部１１ｂとの間に設けられ、外枠部１１ａと内枠部１１ｂとを下部板バネ１１の法線方向へ伸縮させるバネ性をもつスプリング部１１ｃとを有している。

このうち外枠部１１ａには、下部板バネ１１を筐体２Ａのベース１３に取付けるための接着部３０Ａが設けられている。この接着部３０Ａは外枠部１１ａの４隅であって外枠部１１ａとスプリング部１１ｃとの連結部近傍に設けられている。また、接着部３０Ａは、外枠部１１ａの周方向に所定間隔をおいて複数（４個）設けられている。

一方、内枠部１１ｂには、下部板バネ１１をホルダ９に取付けるための接着部３０Ｂが設けられている。この接着部３０Ｂは内枠部１１ｂのうちスプリング部１１ｃとの連結部近傍に設けられている。また、接着部３０Ｂは、内枠部１１ｂの周方向に所定間隔をおいて複数（４個）設けられている。

また、下部板バネ１１の外枠部１１ａには外部電源に接続される一対の接続端子１１ｅ、１１ｅが設けられている。この接続端子１１ｅ、１１ｅと外部のフレキシブルプリント基板（図２）とが例えば半田接合されることにより、接続端子１１ｅ、１１ｅと外部電源とが電気接続されるようになっている。

さらに内枠部１１ｂにはコイル８側に接続される一対の電気接続用の接続端子１１ｄ、１１ｄが設けられている。この接続端子１１ｄ、１１ｄとコイル８（図２）とが例えば半田接合されることにより、接続端子１１ｄ、１１ｄとコイル８とが電気接続されるようになっている。このようにして、外部電源から下部板バネ１１を介してコイル８側へ電流を流すことができる。

また、図４に示すように、外枠部１１ａは、互いに離間した一対の外枠部材１１ａ_１、１１ａ_２からなっており、これにより接続端子１１ｅ、１１ｅ同士が短絡しないようになっている。また、内枠部１１ｂは、互いに離間した一対の内枠部材１１ｂ_１、１１ｂ_２からなっており、これにより接続端子１１ｄ、１１ｄ同士が短絡しないようになっている。

次に上部板バネ５および下部板バネ１１の材料について述べる。上部板バネ５および下部板バネ１１は、いずれも銅合金等の金属からなる金属板をエッチング加工して作製される。このような銅合金としては、例えばベリリウム銅（Ｃｕ−Ｂｅ）、ニッケル錫銅（Ｃｕ−Ｎｉ−Ｓｎ）、チタニウム銅（Ｃｕ−Ｔｉ）などを挙げることができる。コイル８へ外部電源からの電流を流す導体の一部として使用する場合は、導電率のよい材料が好ましい。また、バネ特性の観点からは、硬度もしくは引張強度が重視されることもあり、コイル８へ外部電源からの電流を流す導体の一部として使用しない場合は、ステンレス合金（ＳＵＳ３０４、ＳＵＳ３１６、ＴＳ−４など）などの硬い金属板から上部板バネ５および下部板バネ１１を作製してもよい。

（板バネの製造方法）
次に図５（ａ）〜（ｃ）および図６（ａ）〜（ｆ）により、上部板バネ５および下部板バネ１１の製造方法について述べる。

上部板バネ５および下部板バネ１１は、それぞれ銅合金（ベリリウム銅、ニッケル錫銅、チタニウム銅など）等の金属を含む板バネ材料４０を加工することにより作製される。

具体的には、まず図５（ａ）に示すように、（未加工の）板バネ材料４０を準備する。

次に図５（ｂ）に示すように、板バネ材料４０を所定の圧延方向Ｄに沿って圧延する。この場合、板バネ材料４０は、一対のローラー４５、４５間に通され、所定の厚みとなるように圧延される。圧延方法としては、熱間圧延であってもよく、冷間圧延であっても良く、あるいはこの両者を実行しても良い。

続いて、このようにして圧延された板バネ材料４０は、ロール状に巻き取られ、その後例えばバッチ式の水素雰囲気ベル型焼鈍炉４６内で焼鈍される（図５（ｃ））。

なお、本実施の形態において、板バネ材料４０は、圧延された後に焼鈍されるが、これに限らず、焼鈍された後に圧延されても良い。

このようにして作製された多数の板バネ材料４０は、本来同一の厚みを有することが好ましいが、実際にはある程度のばらつきを有している。

次に、これら多数の板バネ材料４０の厚みｔをそれぞれ測定する（図６（ａ））。この場合、例えば図６（ａ）に示すように、測長器（ＨＥＩＤＥＮＨＡＩＮ社製ＣＴ６０Ｍ）等の厚み測定器４７を用いて板バネ材料４０の厚みｔを測定しても良い。

続いて、板バネ材料４０をその厚みｔに応じて複数のクラスに分類する。

例えば、クラスの数をＮとし、板バネ材料４０の厚みｔが基準値ｔ_０に対して±Δｔだけばらついている場合、以下のように厚みｔのばらつきの幅（２Δｔ）をＮ等分したＮ個のクラスを設定しても良い。この場合、例えば第１のクラスには、厚みｔがｔ_０−Δｔ〜ｔ_０−Δｔ＋（２Δｔ／Ｎ）となる板バネ材料４０が分類され、第ｎのクラスには、厚みｔがｔ_０−Δｔ＋（ｎ−１）・（２Δｔ／Ｎ）〜ｔ_０−Δｔ＋ｎ・（２Δｔ／Ｎ）となる板バネ材料４０が分類される。

なお、クラスの数Ｎとしては、例えば２〜１０程度とすることが好ましい。

次に、予め各クラス別に準備されたエッチング用原版５０を用いて、各クラスに分類された板バネ材料４０に対してそれぞれエッチング加工を施す（図６（ｂ）〜（ｇ））。

すなわち、まず図６（ｂ）に示すように、各クラスに分類された板バネ材料４０に対応するエッチング用原版５０を準備する。エッチング用原版５０としては、ガラスマスクやフィルムマスク等、公知のフォトマスクを用いることができる。

このエッチング用原版５０は、図８（ａ）（ｂ）に示すように、透光部５１と遮光部５２とを有している。このうち遮光部５２は、板バネ５、１１の外枠部５ａ、１１ａに対応する外枠対応部分５２ａと、内枠部５ｂ、１１ｂに対応する内枠対応部分５２ｂと、スプリング部５ｃ、１１ｃに対応するスプリング対応部分５２ｃとを有している。なお、図８（ａ）は上部板バネ５を作製するためのエッチング用原版５０を示し、図８（ｂ）は下部板バネ１１を作製するためのエッチング用原版５０を示している。また、図８（ａ）（ｂ）において、遮光部５２を灰色で示している。

本実施の形態において、各クラス別に準備された複数のエッチング用原版５０は、遮光部５２のスプリング対応部分５２ｃの幅ｗが互いに異なるように形成されている。このエッチング用原版５０を用いることにより、分類されたクラス毎に板バネ５、１１のスプリング部５ｃ、１１ｃの幅ｂ（図３および図４参照）を異ならせるように、エッチング加工が施される。

ところで一般に、板バネ５、１１のバネ定数Ｋは、次式で表すことができる。
Ｋ＝Ｐ／σ＝Ｅｂｔ^３／４ｌ^３
（Ｐ：荷重、σ：たわみ、Ｅ：縦弾性係数、ｌ：スプリング部の長さ、ｂ：スプリング部の幅、ｔ：スプリング部の厚み）

すなわち、バネ定数Ｋは、スプリング部５ｃ、１１ｃの厚みｔの３乗に比例し、スプリング部５ｃ、１１ｃの幅ｂに比例する。また、スプリング部５ｃ、１１ｃの幅ｂは、予め各クラス別に準備されたエッチング用原版５０のスプリング対応部分５２ｃの幅ｗに対応する値となる。

このため、複数のクラスのうち、板バネ材料４０の厚みが厚いクラスに対応するエッチング用原版５０のスプリング対応部分５２ｃの幅ｗを相対的に狭くし、板バネ材料４０の厚みが薄いクラスに対応するエッチング用原版５０のスプリング対応部分５２ｃの幅ｗを相対的に広くしておく。この結果、板バネ材料４０の厚みが厚いクラスに対応する板バネ５、１１のスプリング部５ｃ、１１ｃの幅ｂが相対的に狭くなり、板バネ材料４０の厚みが薄いクラスに対応する板バネ５、１１のスプリング部５ｃ、１１ｃの幅ｂが相対的に広くなる。このことにより、板バネ５、１１のバネ定数Ｋのばらつきを低減することが可能となる。具体的には、スプリング対応部分５２ｃの幅ｗが板バネ材料４０の厚みｔの３乗に略反比例するように設定しておくことにより、板バネ５、１１のバネ定数Ｋを安定化させることができる。

続いて、図６（ｃ）に示すように、板バネ材料４０の表面及び裏面上にカゼインレジスト（レジスト）４１を塗布し乾燥させる。

次に、分類されたクラスに対応する所定のエッチング用原版５０を、板バネ材料４０の表面及び裏面のレジスト４１上に載せ、超高圧水銀灯で所定時間露光する（図６（ｄ））。

次にレジスト４１を現像した後、ポストベークを施して、板バネ材料４０上に所定パターンをもつレジスト４１が形成される（図６（ｅ）参照）。

その後、レジスト４１が塗布された板バネ材料４０に対して塩化第二鉄水溶液のようなエッチング液を用いてエッチングを施し、板バネ材料４０が所定の平面形状をもつよう加工される（図６（ｆ）参照）。このようにして、板バネ材料４０に外枠部５ａ、１１ａ、内枠部５ｂ、１１ｂおよびスプリング部５ｃ、１１ｃが形成される。

次に、例えば水酸化ナトリウム溶液等のレジスト剥離液を用いて、板バネ材料４０からレジスト４１を剥離し、次いで板バネ材料４０を水洗及び乾燥させる（図６（ｇ）参照）。

その後、板バネ材料４０が断裁され、バネ形状に個片化され、このようにして板バネ材料４０から板バネ５、１１が得られる（図６（ｇ）参照）。この場合、板バネ５、１１のスプリング部５ｃ、１１ｃの幅ｂは、エッチング用原版５０のスプリング対応部分５２ｃの幅ｗに対応する値となる。一般にウエットエッチング加工により作製される部材は、エッチング用原版５０にデザインされた形状よりも僅かながら小さく作製される。これはエッチング加工の途中で、エッチング液が板バネ材料の上下面のみならず、側面にも回り込むからである。したがって、エッチング用原版５０のスプリング対応部分５２ｃの幅ｗは、このエッチング代（補正）を考慮に入れ、スプリング部５ｃ、１１ｃの幅ｂよりも所定の値（例えば２０μｍ〜３０μｍ）だけ太く設定することでバネ定数の制御を行う。このようにして、スプリング部５ｃ、１１ｃの幅ｂは、板バネ５、１１の厚みに応じて分類されたクラスに対応する所定の値となり、複数の板バネ５、１１間でそのバネ定数のばらつきを低減することができる。

このように本実施の形態によれば、複数の板バネ材料４０を、その厚みに応じて複数のクラスに分類し、その後、予め各クラス別に準備されたエッチング用原版５０を用いて、当該クラスに分類された板バネ材料４０に対してエッチング加工を施すことにより、板バネ５、１１を形成する。このことにより、板バネ材料４０の厚さにばらつきが生じている場合であっても、板バネ５、１１のバネ定数のばらつきを低減することができる。

なお、本実施の形態では、分類されたクラス毎にスプリング部５ｃ、１１ｃの幅を異ならせているが、これに限られるものではない。例えば、スプリング部５ｃ、１１ｃの長さ等、板バネ５、１１のバネ定数に影響する部分の形状を分類されたクラス毎に異ならせても良い。

（カメラモジュールの駆動機構の作用）
次にカメラモジュールの駆動機構の作用について図２により述べる。

まず下部板バネ１１を介してコイル８に電流を流す。このことにより電流とマグネット片７の磁界とで相互作用が起こり、ホルダ９に上方への力が作用し、レンズユニット２６Ａを上部板バネ５および下部板バネ１１の力に抗して全体として上方へ持上げることができる（図２参照）。

また、コイル８に流す電流量を調整することにより、ホルダ９を上方へ移動させる力を変化させ、上部板バネ５および下部板バネ１１の力とのバランスをとることで、ホルダ９の上下移動及びその位置調整を行うことができる。

この場合、上部板バネ５および下部板バネ１１の外枠部５ａ、１１ａのうちスプリング部５ｃ、１１ｃとの連結部近傍に接着部３０Ａを設け、内枠部５ｂ、１１ｂのうちスプリング部５ｃ、１１ｃとの連結部近傍に接着部３０Ｂを設けている。

このように上部板バネ５および下部板バネ１１のスプリング部５ｃ、１１ｃの両端部を筐体２Ａのベース１３に固定されるヨーク６、ベース１３およびホルダ９の各々に堅固に固定することにより、スプリング部５ｃ、１１ｃのバネ定数を更に安定化させることができる。

このことにより安定したバネ特性をもつカメラモジュールの駆動機構を得ることができる。

次に、本実施の形態における具体的実施例について説明する。

（実施例）
まず、圧延されたニッケル錫銅（１５％ニッケル、８％錫および７７％銅を含む）の板バネ材料４０を５０枚準備した。板バネ材料４０の厚みの規格値は０．０４０ｍｍであった。次に、これら５０枚の板バネ材料４０の厚みを測定した。この結果、板バネ材料４０の厚みは０．０４０ｍｍ±０．００２ｍｍのばらつきをもっていた。

次に、これら５０枚の板バネ材料４０を５つのクラスに分類した。具体的には、０．０３８０ｍｍ〜０．０３８７ｍｍ（第１のクラス）、０．０３８８ｍｍ〜０．０３９５ｍｍ（第２のクラス）、０．０３９６ｍｍ〜０．０４０４ｍｍ（第３のクラス）、０．０４０５ｍｍ〜０．０４１２ｍｍ（第４のクラス）、０．０４１３ｍｍ〜０．０４２０ｍｍ（第５のクラス）の５つのクラスに分類した。

次に、各クラス別に準備されたエッチング用原版５０を用いて、当該クラスに分類された板バネ材料４０に対してエッチング加工を施すことにより、板バネ（実施例）を形成した。なお、板バネの形状は図３に示す上部板バネ５と同一のものを用いた。このようにして作製された板バネ（実施例）のバネ定数は、３．５０ｇｆ／ｍｍ〜３．７５ｇｆ／ｍｍとなった。なおバネ定数は、板バネ５の外枠部５ａを固定した上で内枠部５ｂに力を加え、板バネ５の変位量が０．０８mm〜０．２４mmとなった時の測定値である。

（比較例）
実施例と同等の厚みのばらつき（０．０４０ｍｍ±０．００２ｍｍ）をもつ板バネ材料４０を５０枚準備し、この板バネ材料４０に対して単一のエッチング用原版５０（実施例１の第３のクラスで用いたものと同一のもの）を用いてエッチング加工を施すことにより、板バネ（比較例）を形成した。このようにして作製された板バネ（比較例）のバネ定数は、３．０１ｇｆ／ｍｍ〜４．２５ｇｆ／ｍｍとなった。

このように、実施例の板バネのバネ定数のばらつきを比較例の板バネのバネ定数のばらつきより小さくすることができた。

１ カメラモジュールの駆動機構
１Ａ カメラモジュール
２ カバー
２Ａ 筐体
４ 調整板
５ 上部板バネ
５ａ 外枠部
５ｂ 内枠部
５ｃ スプリング部
６ ヨーク
７ マグネット片
８ コイル
９ ホルダ
１１ 下部板バネ
１１ａ 外枠部
１１ｂ 内枠部
１１ｃ スプリング部
１１ｄ 接続端子
１１ｅ 接続端子
１２ 導体
１３ ベース
１７ 位置決め孔
２０ 基体
２１ 中間支持体
２２ 赤外線カットガラス
２５ 撮像素子
２６ レンズ
２６Ａ レンズユニット
３０Ａ、３０Ｂ 接着部
４０ 板バネ材料
５０ エッチング用原版

Claims (5)

1. カメラモジュールの駆動機構に用いられる板バネの製造方法において、
   複数の板バネ材料を準備する工程と、
   各板バネ材料の厚みを測定する工程と、
   各板バネ材料をその厚みに応じて複数のクラスに分類する工程と、
   予め各クラス別に準備されたエッチング用原版を用いて、当該クラスに分類された板バネ材料に対してエッチング加工を施すことにより、板バネを形成する工程とを備えたことを特徴とする板バネの製造方法。
2. 板バネは、外枠部と、外枠部の内側に配置された内枠部と、内枠部と外枠部との間に設けられ、外枠部と内枠部とを板バネの法線方向へ伸縮させるスプリング部とを有し、
   板バネを形成する工程において、分類されたクラス毎に板バネのスプリング部の形状を異ならせるように、エッチング加工が施されることを特徴とする請求項１記載の板バネの製造方法。
3. 板バネを形成する工程において、分類されたクラス毎に板バネのスプリング部の幅を異ならせるように、エッチング加工が施されることを特徴とする請求項２記載の板バネの製造方法。
4. 複数のクラスのうち、板バネ材料の厚みが相対的に厚いクラスに対応する板バネのスプリング部は、板バネ材料の厚みが相対的に薄いクラスに対応する板バネのスプリング部より幅が狭いことを特徴とする請求項３記載の板バネの製造方法。
5. 板バネ材料は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅またはチタニウム銅を含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項記載の板バネの製造方法。

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