WO2023153500A1 - ばね部材用金属箔、ばね部材用金属箔の製造方法、および、電子機器用ばね部材 - Google Patents

ばね部材用金属箔、ばね部材用金属箔の製造方法、および、電子機器用ばね部材 Download PDF

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WO2023153500A1
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WO
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difference value
thickness
subtracting
metal foil
spring member
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槙一 島村
昭彦 小林
弘康 相澤
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凸版印刷株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B21—MECHANICAL METAL-WORKING WITHOUT ESSENTIALLY REMOVING MATERIAL; PUNCHING METAL
    • B21B—ROLLING OF METAL
    • B21B1/00—Metal-rolling methods or mills for making semi-finished products of solid or profiled cross-section; Sequence of operations in milling trains; Layout of rolling-mill plant, e.g. grouping of stands; Succession of passes or of sectional pass alternations
    • B21B1/40—Metal-rolling methods or mills for making semi-finished products of solid or profiled cross-section; Sequence of operations in milling trains; Layout of rolling-mill plant, e.g. grouping of stands; Succession of passes or of sectional pass alternations for rolling foils which present special problems, e.g. because of thinness
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/02—Springs made of steel or other material having low internal friction; Wound, torsion, leaf, cup, ring or the like springs, the material of the spring not being relevant
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
    • F16F1/00—Springs
    • F16F1/02—Springs made of steel or other material having low internal friction; Wound, torsion, leaf, cup, ring or the like springs, the material of the spring not being relevant
    • F16F1/18—Leaf springs

Definitions

  • the present disclosure relates to a metal foil for spring members, a method for manufacturing the metal foil for spring members, and a spring member for electronic devices.
  • the camera module of electronic devices with cameras is equipped with a drive mechanism that enables autofocus and zoom.
  • a lens drive system and a sensor drive system are known.
  • the drive mechanism of the lens drive type comprises leaf springs that allow the position of the lens to be changed in the direction of the optical axis of the lens.
  • the drive mechanism of the sensor drive system has a leaf spring that enables changing the position of the image sensor in the optical axis direction of the lens (see, for example, Patent Documents 1 and 2).
  • JP 2014-059345 A Japanese Patent Application Laid-Open No. 2020-170170
  • leaf springs are required to satisfy a specific spring load or deflection within a limited volume.
  • leaf springs In order to meet the spring load and deflection requirements, leaf springs must be made from a hard metal.
  • the width and thickness of the leaf spring greatly contribute to the spring load and deflection.
  • a metal foil which is a raw material for leaf springs, is rolled to a predetermined thickness. Since the metal foil is made of a metal with high hardness, it is more difficult to make the thickness of the metal foil uniform by rolling than when it is made of a metal with a low hardness.
  • leaf springs are formed by wet etching of metal foil. Thickness variations in the metal foil cause variations in the amount of etching, which in turn causes variations in width in the thickness direction of the leaf spring. Variations in the width of the leaf spring in the thickness direction cause variations in the spring load and deflection of the leaf spring. Therefore, it is desired to suppress variations in the width of the leaf spring in the thickness direction.
  • One aspect of the metal foil for the spring member has a square shape with a side length of 300 mm, and includes a first region for forming the spring member.
  • the absolute value of the difference value obtained by subtracting the standard deviation of thickness in the width direction orthogonal to the rolling direction from the standard deviation of thickness in the rolling direction is 0.15 ⁇ m or less, and the rolling direction
  • the maximum value of the thickness in the width direction is the first maximum value
  • the maximum value of the thickness in the width direction is the second maximum value
  • the absolute value is 0.8 ⁇ m or less.
  • One aspect of a method for producing a metal foil for a spring member includes rolling a base material, preparing a plurality of rolled materials obtained by rolling the base material, and then removing the metal foil for a spring member from the plurality of rolled materials. and filtering.
  • the rolled material has a square shape with a side length of 300 mm, and the region for forming the spring member is the first region. In the first region, the maximum thickness in the rolling direction is the first maximum value, and the maximum thickness in the width direction orthogonal to the rolling direction is the second maximum value.
  • the standard deviation of the thickness in the width direction is subtracted from the standard deviation of the thickness in the rolling direction in the first region from the plurality of rolled materials.
  • the rolled material having an absolute value of a difference value of 0.15 ⁇ m or less and an absolute value of a difference value obtained by subtracting the second maximum value from the first maximum value of 0.8 ⁇ m or less for the spring member Sort out as metal foil.
  • One aspect of the electronic device spring member is an electronic device spring member using metal foil for a spring member.
  • the absolute value of the difference obtained by subtracting the standard deviation of the thickness in the width direction orthogonal to the rolling direction from the standard deviation of the thickness in the rolling direction of the metal foil for spring member is 0.15 ⁇ m or less.
  • the maximum thickness in the rolling direction is a first maximum value
  • the maximum thickness in the width direction is a second maximum value
  • the absolute value of the difference value obtained by subtracting the second maximum value is 0.8 ⁇ m or less.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the structure of a metal foil for spring members in one embodiment.
  • FIG. 2 is a plan view showing the structure of the electronic device spring member in the same embodiment.
  • FIG. 3 is a process chart for explaining the method of manufacturing the metal foil for spring members according to the embodiment.
  • FIG. 4 is a process chart for explaining the method of manufacturing the metal foil for spring members according to the embodiment.
  • FIG. 5 is a process chart for explaining the method of manufacturing the metal foil for spring members in the embodiment.
  • 6A to 6D are process diagrams for explaining a method of manufacturing the electronic device spring member shown in FIG. 7A to 7D are process diagrams for explaining a method of manufacturing the electronic device spring member shown in FIG.
  • FIG. 8A to 8D are process diagrams for explaining a method of manufacturing the electronic device spring member shown in FIG. 9A to 9D are process diagrams for explaining a method of manufacturing the electronic device spring member shown in FIG. 10A to 10D are process diagrams for explaining a method of manufacturing the electronic device spring member shown in FIG.
  • FIG. 11 is a plan view for explaining thickness measurement points in the metal foil for a spring member.
  • FIG. 12 is a table showing measurement results for the metal foils of Examples and Comparative Examples.
  • FIG. 13 is a graph showing the relationship between the first absolute value and the spring width difference value.
  • FIG. 14 is a graph showing the relationship between the fourth absolute value and the spring width difference value.
  • FIG. 15 is a graph showing the relationship between the second absolute value and the spring width difference value.
  • FIG. 16 is a graph showing the relationship between the third absolute value and the spring width difference value.
  • FIGS. 1 to 16 An embodiment of a metal foil for a spring member, a method for manufacturing the metal foil for a spring member, and a spring member for an electronic device will be described with reference to FIGS. 1 to 16 .
  • Metal foil for spring members A metal foil for a spring member will be described with reference to FIG.
  • the region for forming the spring member is the first region 10R1.
  • the first region 10R1 has a square shape with a side length of 300 mm.
  • the metal foil 10 is a rolled material made of a metal having a hardness high enough to achieve the spring load or deflection required for the spring member.
  • the metal foil 10 has a strip shape extending along the rolling direction DR.
  • the direction perpendicular to the rolling direction DR is the width direction DW.
  • the thickness T of the metal foil 10 is, for example, 150 ⁇ m or less, preferably 50 ⁇ m or more and 120 ⁇ m or less.
  • the thickness of the metal foil 10 is uniform such that the ratio of the difference between the maximum thickness T and the minimum thickness T of the metal foil 10 to the average thickness of the substrate is 3% or less. have.
  • the metal foil 10 satisfies Condition 1 below.
  • Condition 1 The absolute value of the difference value obtained by subtracting the standard deviation of the thickness in the width direction DW from the standard deviation of the thickness in the rolling direction DR is 0.15 ⁇ m or less, and the first maximum value to the second The absolute value of the difference value obtained by subtracting the maximum value is 0.8 ⁇ m or less.
  • the standard deviation of the thickness in the rolling direction DR is the first standard deviation
  • the standard deviation of the thickness in the width direction DW is the second standard deviation.
  • the absolute value of the difference value obtained by subtracting the second standard deviation from the first standard deviation is the first absolute value.
  • the first standard deviation is the standard deviation in thickness at each point on a straight line extending along the rolling direction DR.
  • the second standard deviation is the standard deviation of the thickness at each point on a straight line extending along the width direction DW.
  • the first maximum value is the maximum thickness in the rolling direction DR.
  • the second maximum value is the maximum thickness in the width direction DW.
  • the absolute value of the difference value obtained by subtracting the second maximum value from the first maximum value is the fourth absolute value.
  • the first absolute value is 0.15 ⁇ m or less and the fourth absolute value is 0.8 ⁇ m or less, variations in the thickness of the metal foil 10 can be suppressed. Therefore, in the spring member formed by wet etching the metal foil 10, variation in spring width in the thickness direction is suppressed.
  • the metal foil 10 has a front surface 10F and a back surface 10B opposite to the front surface 10F.
  • the thickness T of the metal foil 10 is the distance between the front surface 10F and the back surface 10B.
  • the maximum and minimum thickness values in the rolling direction DR are specified as follows. That is, a strip-shaped first measurement region R1R extending along the rolling direction DR is set in the first region 10R1.
  • the length of the first measurement region R1R in the width direction DW is, for example, 20 mm.
  • the largest value is the maximum value
  • the smallest value is the minimum value.
  • the maximum and minimum thickness values in the width direction DW are specified as follows. That is, a second measurement region R1W having a belt shape extending along the width direction DW is set in the first region 10R1.
  • the length of the second measurement region R1W in the rolling direction DR is, for example, 20 mm.
  • the largest value is the maximum value
  • the smallest value is the minimum value.
  • the variation in thickness in the rolling direction DR becomes smaller as the material for manufacturing the metal foil 10 is repeatedly rolled. Therefore, from the viewpoint of suppressing variations in the rolling direction DR, it is preferable to increase the number of times of rolling performed when manufacturing the metal foil 10 .
  • the metal foil 10 for the spring member needs to have a predetermined thickness or more from the viewpoint of achieving the spring load or deflection required for the spring member. Therefore, in manufacturing the metal foil 10 for the spring member, it is difficult to roll the metal foil 10 the number of times that can eliminate the variation in the thickness in the rolling direction DR.
  • the metal foil 10 since the thickness variation in the width direction DW is governed by the surface condition of the rolling rollers used for rolling, the variation tends to be suppressed regardless of the number of rollings. . Therefore, the metal foil 10 tends to have the second standard deviation less than or equal to the first standard deviation. In addition, the metal foil 10 tends to have a second maximum value that is less than or equal to the first maximum value.
  • the thinner the portion of the metal foil 10 the more A short time is required until the through holes are formed.
  • the through-holes formed in the metal foil 10 form a flow of the etchant between the front surface 10F and the back surface 10B of the metal foil 10, while the metal foil 10 flows in a direction perpendicular to the direction of penetration. contributes little to the progress of isotropic etching.
  • the first standard deviation and the first maximum value are used as indicators of the likelihood of isotropic etching in the rolling direction DR.
  • the second standard deviation and the second maximum value can be used as indicators of the likelihood of isotropic etching occurring in the width direction DW.
  • the first absolute value and the fourth absolute value can be used as indicators of the susceptibility of isotropic etching in the rolling direction DR to the width direction DW in which isotropic etching is less likely to occur.
  • the dispersion of the thickness T in the rolling direction DR is the first dispersion. That is, the first variance is the variance in the thickness T at each point on one straight line along the rolling direction DR.
  • the dispersion of the thickness T in the width direction DW is the second dispersion. That is, the second dispersion is the dispersion in the thickness T at each point on one straight line along the width direction DW.
  • the difference value between the maximum value and the minimum value of the thickness T in the rolling direction DR is the first difference value. That is, the thickness T at each point on one straight line along the rolling direction DR is the first thickness, and the difference value between the maximum value and the minimum value of the first thickness is the first difference value. is.
  • the difference value between the maximum value and the minimum value of the thickness T in the width direction DW is the second difference value. That is, the thickness at each point on one straight line along the width direction DW is the second thickness, and the difference value between the maximum value and the minimum value of the second thickness is the second difference value.
  • the metal foil 10 preferably satisfies at least one of conditions 2 to 5 below. That is, the metal foil 10 may satisfy only one of the conditions 2 to 5, or may satisfy two or more conditions selected from the conditions 2 to 5.
  • a difference value obtained by subtracting the second standard deviation from the first standard deviation is 0.15 ⁇ m or less.
  • a difference value obtained by subtracting the second standard deviation from the first standard deviation is the third difference value.
  • a difference value obtained by subtracting the second dispersion from the first dispersion is 0.15 ⁇ m 2 or less.
  • a difference value obtained by subtracting the second variance from the first variance is the fourth difference value.
  • the absolute value of the difference value obtained by subtracting the second difference value from the first difference value is 0.8 ⁇ m or less.
  • the absolute value of the difference value obtained by subtracting the second difference value from the first difference value is the third absolute value.
  • the metal foil 10 is made of a metal having a hardness high enough to achieve the spring load or deflection required for the spring member manufactured using the metal foil 10.
  • Metal foil 10 may be made of, for example, a stainless alloy or a copper alloy.
  • the stainless alloy may be, for example, a stainless alloy specified in JIS G 4313:2011 "Stainless steel strip for springs”.
  • the copper alloy may be, for example, a copper alloy specified in JIS H 3130:2018 "Beryllium copper, titanium copper, phosphor bronze, nickel-tin copper and nickel silver plates and strips for springs".
  • the metal foil 10 preferably contains one selected from the group consisting of stainless steel alloy, beryllium copper, nickel tin copper, phosphor bronze, Corson alloy, and titanium copper. As a result, the metal foil 10 can have high hardness, so that the durability of the spring member formed from the metal foil 10 can be enhanced.
  • FIG. 2 schematically shows the planar structure of the spring member viewed from a viewpoint facing the plane on which the spring member spreads.
  • the spring member 20 includes an outer frame portion 21, an inner frame portion 22, and a spring portion 23.
  • the spring member 20 is a leaf spring.
  • the external shape of the outer frame portion 21 has an octagonal shape
  • the external shape of the inner frame portion 22 has a circular shape.
  • the spring portion 23 has a broken line shape.
  • the outer shape of the outer frame portion 21 and the outer shape of the inner frame portion 22 are changed according to the shapes of other members provided in the drive mechanism of the camera module on which the spring member 20 is mounted, that is, members other than the spring member 20. you can
  • the inner frame portion 22 is positioned within the area defined by the outer frame portion 21 .
  • the spring portion 23 connects the inner frame portion 22 to the outer frame portion 21 .
  • a pair of spring members 20 are arranged to sandwich the lens in the optical axis direction of the lens.
  • a pair of spring members 20 are arranged so as to sandwich the imaging sensor in the optical axis direction of the lens.
  • the length in the direction orthogonal to the direction in which each side of the outer frame portion 21 extends is the width of the spring member 20 in the outer frame portion 21 in a plan view facing the plane on which the spring member 20 spreads. be.
  • the length of the inner frame portion 22 along the radial direction of the inner frame portion 22 is the width of the spring member 20 in the inner frame portion 22 in a plan view facing the plane on which the spring member 20 extends.
  • the line width of the folding line of the spring portion 23 in plan view is the width of the spring portion 23, that is, the spring width SW.
  • the electronic device on which the camera module having the spring member 20 is mounted may be, for example, a mobile phone terminal, a smart phone, a tablet terminal, a laptop personal computer, or the like.
  • the method for manufacturing metal foil 10 includes rolling a base material, preparing a plurality of rolled materials obtained by rolling the base material, and then selecting metal foil 10 from the plurality of rolled materials. By sorting the metal foil 10 , a rolled material that satisfies the condition 1 described above is selected as the metal foil 10 from a plurality of rolled materials. Moreover, the method for manufacturing the metal foil 10 may further include at least one of the conditions 2 to 5 described above in the conditions for sorting the metal foil 10 from a plurality of rolled materials. That is, the conditions for selecting the metal foil 10 may include only one of the conditions 2 to 5, or may include two or more conditions selected from the conditions 2 to 5.
  • FIG. 3 schematically shows a process of rolling a base material for forming the metal foil 10.
  • FIG. 4 schematically shows the process of annealing the rolled material.
  • a strip-shaped base material BM1 extending along the rolling direction DR is prepared.
  • the base material BM1 is directed toward a rolling device RE equipped with a pair of rolling rollers RL1 and RL2 so that the rolling direction DR of the base material BM1 and the conveying direction of conveying the base material BM1 are parallel. transport it.
  • the base material BM1 When the base material BM1 reaches between the pair of rolling rollers RL1 and RL2, the base material BM1 is rolled by the pair of rolling rollers RL1 and RL2. As a result, the thickness of the base material BM1 is reduced and the base material BM1 is stretched along the conveying direction, so that the rolled material BM2 can be obtained.
  • the rolled material BM2 is wound around a core C. As shown in FIG. Note that the rolled material BM2 may be handled in a state of being stretched into a belt shape without being wound around the core C. As shown in FIG.
  • the thickness of the rolled material BM2 is, for example, 150 ⁇ m or less, preferably 50 ⁇ m or more and 120 ⁇ m or less.
  • the rolled material BM2 formed by rolling the base material BM1 is annealed using the annealing apparatus AE in order to remove the residual stress accumulated inside the rolled material BM2.
  • the rolled material BM3 after annealing is obtained. Since the rolling material BM2 is annealed while the rolling material BM2 is pulled along the conveying direction, it is possible to obtain the rolling material BM3 having a reduced residual stress compared to the rolling material BM2 before annealing.
  • the material forming the base material BM1 includes any selected from the group consisting of stainless steel alloys, beryllium copper, nickel tin copper, phosphor bronze, Corson alloys, and titanium copper. good. Since these metals have a high hardness, in other words, they are less likely to stretch than metals with a lower hardness, i.e. softer metals, variations in the degree of rolling tend to occur within the base material BM1. In addition, variation in the degree of rolling tends to occur between the plurality of base materials BM1 as well. Therefore, the selection conditions for the metal foil 10 formed by rolling the base material BM1 include the condition 1 described above, which is highly effective.
  • FIG. 5 schematically shows the process of measuring the thickness of the metal foil 10 formed through the rolling process.
  • the thickness of the first region for forming the spring member 20 in each rolled material BM3 is measured using the measuring device ME. do.
  • the measuring device ME. do Thereby, at least the above-described first absolute value is calculated for the first region of each rolled material BM3.
  • the rolled materials BM3 that satisfy the condition 1 described above are selected as the metal foils 10, and the selected metal foils 10 are used for manufacturing the spring members 20.
  • FIG. 5 schematically shows the process of measuring the thickness of the metal foil 10 formed through the rolling process.
  • first dispersion, second dispersion, second absolute value, and third absolute value may be calculated for the first region of each rolled material BM3.
  • At least one of the conditions 2 to 5 described above may be added to the conditions for selecting the metal foil 10 from the rolled material BM3. That is, as the conditions for sorting the metal foil 10 from the rolled material BM3, only one of the conditions 2 to 5 may be added, or two or more selected from the conditions 2 to 5 may be added. .
  • a contact-type measuring device or a non-contact-type measuring device may be used as the measuring device ME.
  • a length gauge can be used for the contact-type measuring device.
  • a measuring device that includes an irradiation unit that emits X-rays and a detection unit that detects fluorescent X-rays can be used.
  • the irradiation section is used to irradiate the metal foil 10 with X-rays, and the fluorescent X-rays emitted from the metal foil 10 are detected by the detection section. Since the intensity of the fluorescent X-rays detected by the detection unit depends on the thickness of the metal foil 10, it is possible to grasp the thickness of the metal foil 10 from the intensity of the fluorescent X-rays.
  • the first standard deviation, the second standard deviation, the first variance, the second variance, the first difference value, and the second difference value can be changed by changing at least one of the following: be.
  • the pressing force between rolling rollers RL1 and RL2, the temperature of rolling rollers RL1 and RL2, and the number of rolling rollers RL1 and RL2 You can change the value. That is, only one of the rotational speed of rolling rollers RL1 and RL2, the pressing force between rolling rollers RL1 and RL2, the temperature of rolling rollers RL1 and RL2, and the number of rolling rollers RL1 and RL2 is changed. good too.
  • any two or more of the rotational speed of rolling rollers RL1 and RL2, the pressing force between rolling rollers RL1 and RL2, the temperature of rolling rollers RL1 and RL2, and the number of rolling rollers RL1 and RL2 are changed. may be
  • a method of manufacturing the spring member 20 will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 6, when manufacturing the spring member 20, first, a first resist layer PR1 is formed on the front surface 10F of the metal foil 10, and a second resist layer PR2 is formed on the rear surface 10B. In the example described with reference to FIGS. 6 to 10, the resist layers PR1 and PR2 are made of positive photoresist, but the resist layers PR1 and PR2 are made of negative photoresist. good too.
  • a first photomask PM1 is placed on the first resist layer PR1, and a second photomask PM2 is placed on the second resist layer PR2. Then, the first resist layer PR1 is exposed using the first photomask PM1, and the second resist layer PR2 is exposed using the second photomask PM2.
  • the exposed resist layers PR1 and PR2 are developed to form a first resist mask RM1 from the first resist layer PR1 and a second resist mask RM2 from the second resist layer PR2. Form.
  • the metal foil 10 is wet-etched using the resist masks RM1 and RM2. At this time, the metal foil 10 is etched from both the front surface 10F and the back surface 10B. As a result, a through-hole is formed in the metal foil 10 through the metal foil 10 along the thickness direction, and as a result, the outer frame portion 21, the inner frame portion 22 separated from the outer frame portion 21, and the inner frame portion A spring portion 23 connecting 22 to the outer frame portion 21 is formed.
  • the metal foil 10 satisfies Condition 1
  • the metal foil 10 satisfies the condition 1
  • the variation in the spring width in the thickness direction of the spring member 20 is within a predetermined range without changing the wet etching conditions according to the variation in the thickness of the metal foil 10. It is possible to obtain a spring member 20 suppressed to . Therefore, in the manufacture of the spring member 20, it is not necessary to change the wet etching conditions according to the thickness variations, so it is possible to eliminate errors in the combination of the thickness variations and the wet etching conditions. be.
  • the spring member 20 can be obtained by cutting out the spring member 20 from the metal foil 10 after etching.
  • Example 1 Examples and comparative examples will be described with reference to FIGS. 11 to 16 .
  • Example 1 First, a rolled material was formed by subjecting a base material made of titanium copper to a rolling process. Then, the rolled material was subjected to an annealing process. As a result, a metal foil of Example 1 having a designed thickness of 120 ⁇ m was obtained.
  • Example 1 when rolling the base material, while changing at least one of the rolling speed of the rolling rollers, the pressing force between the rolling rollers, the temperature of the rolling rollers, and the number of rolling rollers, it Metal foils of Examples 2 to 8 and Comparative Examples 1 to 3 were obtained in the same manner as in Example 1 except for the above.
  • a square metal foil 30 for measurement with a side length of 300 mm was cut out from the metal foil of each example and each comparative example.
  • the direction in which the first side of each metal foil 30 for measurement extends is parallel to the rolling direction DR of the metal foil, and the direction in which the second side of each metal foil 30 for measurement extends and the width direction DW of the metal foil
  • a metal foil 30 for measurement was cut out from each metal foil such that the .
  • a measurement area 30A having a square shape including the center of the metal foil 30 for measurement and a peripheral area 30B having a rectangular frame shape surrounding the measurement area 30A were set.
  • the width W3 of the peripheral region 30B was set to 10 mm.
  • a first measurement region R1R having a strip shape extending along the rolling direction DR and a second measurement region R1W having a strip shape extending along the width direction DW were set within the measurement region 30A.
  • the width W1 which is the length in the width direction DW in the first measurement region R1R
  • the width W2 which is the length in the rolling direction DR in the second measurement region R1W, was set to 20 mm.
  • the thickness of the metal foil was measured in all the regions obtained by dividing the first measurement region R1R into 14 equal parts in the rolling direction DR.
  • the thickness of the metal foil 30 for measurement was measured in all the regions obtained by dividing the second measurement region R1W into 14 equal parts in the width direction DW.
  • the thickness was measured at the point where the diagonal lines connecting the two opposing corners intersect. That is, the thickness was measured at each point located on the same straight line.
  • the thickness of each metal foil for measurement was measured at 14 points in the rolling direction DR and 14 points in the width direction DW. However, in the region where the first measurement region R1R and the second measurement region R1W intersect, the measurement point in the rolling direction DR and the measurement point in the width direction DW are the same point, so the total of the measurement metal foils is Thickness measurements were taken at 27 points. The measured value was then rounded to the second decimal place, thereby providing the thickness measurement for each region.
  • the first standard deviation, the second standard deviation, the first variance, and the second variance were calculated.
  • the 3rd difference value which is the difference value which subtracted the 2nd standard deviation from the 1st standard deviation
  • the 1st absolute value which is the absolute value of the 3rd difference value were calculated.
  • a fourth difference value which is a difference value obtained by subtracting the second dispersion from the first dispersion
  • a second absolute value which is the absolute value of the fourth difference value
  • a contact-type thickness measuring device (MH-15M manufactured by Nikon Corporation) was used to measure the thickness of the metal foil 30 for measurement.
  • the thickness measuring machine counter attached to the measuring instrument was turned on while the probe was in contact with the bottom plate, and the zero point was adjusted by this. Thereafter, the metal foil for measurement was placed between the probe and the bottom plate, and the thickness of each portion of the metal foil for measurement was measured by lowering the probe.
  • a resist mask having a plurality of openings corresponding to the shape of the spring member 20 is formed on the front and back surfaces of each metal foil 30 for measurement. and wet etched from both.
  • unit regions each corresponding to one spring member 20 and having a square shape of 20 mm square are arranged in a grid pattern so as to be laid out in both the rolling direction DR and the width direction DW. did. Therefore, in each resist mask, unit patterns corresponding to the shape of one spring member 20 are arranged in a grid pattern so as to be laid out in both the rolling direction DR and the width direction DW.
  • the opening width of the resist pattern corresponding to the gap between the line segments parallel to each other in the spring portion 23 is set to 100 ⁇ m. and the pitch of adjacent line segments was set to 200 ⁇ m.
  • the pitch between adjacent line segments refers to the distance between center lines set in each line segment in parallel and adjacent line segments in designing an etching pattern.
  • each resist mask in a plan view facing the surface of the metal foil 30 for measurement, the entirety of one unit pattern of the resist mask located on the surface of the metal foil 30 for measurement is the same as that of the metal foil 30 for measurement.
  • a plurality of unit patterns were formed on each resist mask so as to overlap the whole of one unit pattern on the resist mask located on the back surface.
  • etching patterns corresponding to the shape of the spring member 20 were formed on the metal foil 30 for measurement.
  • the design value of the spring width in plan view of the spring portion 23 was set to 30 ⁇ m.
  • the spring portion 23 of the spring member 20 present in each measurement metal foil 30 after etching was embedded using a synthetic resin. Then, by cutting the embedded spring portion 23 using a microtome, a cross section of the spring portion 23 on a plane perpendicular to the direction in which the line segment included in the spring portion extends was exposed.
  • the spring width was measured at the following positions. That is, in the spring portion 23, the spring width on the front surface of the metal foil 30 for measurement, the spring width on the back surface of the metal foil 30 for measurement, and the plane that divides the spring portion 23 into four equal parts in the thickness direction are:
  • the spring width was measured on three planes sandwiched between the front and back surfaces of the foil 30 . That is, when the depth on the surface of the metal foil 30 for measurement is set to 0 ⁇ m, the etching pattern shows the spring width at a depth of 0 ⁇ m, the spring width at a depth of approximately 30 ⁇ m, and the depth at a depth of approximately 60 ⁇ m.
  • Spring width, spring width at a depth of about 90 ⁇ m and spring width at a depth of about 120 ⁇ m were measured.
  • a digital microscope manufactured by Keyence Corporation, VHX-7000 was used, and the magnification of the objective lens in the digital microscope was set to 200 times.
  • the first standard value, the standard deviation of the spring width, the second standard value, the percentage of 3 ⁇ with respect to the average value of the spring width, and , the variance of the spring width was calculated.
  • the spring widths of all the springs included in the spring portion 23 were measured at the above five locations in the thickness direction. Then, the maximum value and the minimum value were specified for each spring, the difference value was calculated by subtracting the minimum value from the maximum value, and the average value of the spring width was calculated. Next, the average value of the maximum values was calculated from the specified maximum values for all the springs, and the average value was set as the maximum spring width value for the metal foil 30 for measurement. In addition, the average value of the minimum values was calculated from the specified minimum values for all springs, and the minimum value was set as the minimum value of the spring width of the metal foil 30 for measurement.
  • An average value of the difference values was calculated from the difference values calculated for all the springs, and the average value was set as the difference value of the metal foil 30 for measurement. Further, an average value was calculated for the average values calculated for all the springs, and the average value was set as the average value of the metal foil 30 for measurement.
  • the first standard value, the standard deviation of the spring width, the second standard value, and the percentage of 3 ⁇ with respect to the average value of the spring width was calculated.
  • the average value set for each metal foil 30 for measurement was used.
  • the first standard value is the percentage of the difference value of the spring width with respect to the design value of the spring width.
  • a difference value set for each metal foil 30 for measurement was used to calculate the first standard value.
  • the second standard value is the percentage of the standard deviation of the spring width with respect to the design value of the spring width.
  • the standard deviation of the spring width was calculated from the thickness measured at five locations for each spring.
  • the average value of the standard deviations was calculated from the standard deviations calculated for all the springs, and the average value was set as the standard deviation of the spring width of the metal foil 30 for measurement.
  • the standard deviation set for each metal foil 30 for measurement was used to calculate the second standard value.
  • the spring width dispersion was calculated from the thickness measured at five locations for each spring.
  • the average value of the variances was calculated from the variances calculated for all the springs, and the average value was set as the variance of the spring widths of the metal foil 30 for measurement.
  • Evaluation results for the thickness of the metal foil 30 for measurement and the spring width of the etching pattern will be described with reference to FIGS. 12 to 14 .
  • FIG. 12 shows the result of measuring the thickness of each metal foil 30 for measurement and the result of measuring the spring width of the etching pattern formed by wet etching each metal foil 30 for measurement.
  • the fourth absolute value is the absolute value of the difference obtained by subtracting the maximum thickness in the width direction DW from the maximum thickness in the rolling direction DR.
  • the first standard deviation is 0.313 ⁇ m in Example 1, 0.291 ⁇ m in Example 2, 0.389 ⁇ m in Example 3, and 0.261 ⁇ m in Example 4. was found to be In addition, the first standard deviation was 0.516 ⁇ m in Example 5, 0.421 ⁇ m in Example 6, 0.532 ⁇ m in Example 7, and 0.524 ⁇ m in Example 8. was taken. The first standard deviation was found to be 0.766 ⁇ m in Comparative Example 1, 0.571 ⁇ m in Comparative Example 2, and 0.498 ⁇ m in Comparative Example 3.
  • the second standard deviation was found to be 0.243 ⁇ m in Example 1, 0.303 ⁇ m in Example 2, 0.332 ⁇ m in Example 3, and 0.184 ⁇ m in Example 4. .
  • the second standard deviation was 0.447 ⁇ m in Example 5, 0.311 ⁇ m in Example 6, 0.420 ⁇ m in Example 7, and 0.412 ⁇ m in Example 8. was taken.
  • the second standard deviation was found to be 0.260 ⁇ m in Comparative Example 1, 0.218 ⁇ m in Comparative Example 2, and 0.307 ⁇ m in Comparative Example 3.
  • the third difference value is 0.069 ⁇ m in Example 1, ⁇ 0.012 ⁇ m in Example 2, 0.057 ⁇ m in Example 3, and 0.077 ⁇ m in Example 4. was accepted. Further, it was found that the third difference value was 0.068 ⁇ m in Example 5, 0.110 ⁇ m in Example 6, 0.112 ⁇ m in Example 7, and 0.111 ⁇ m in Example 8. was taken. Also, the third difference value was found to be 0.507 ⁇ m in Comparative Example 1, 0.353 ⁇ m in Comparative Example 2, and 0.191 ⁇ m in Comparative Example 3.
  • the first absolute value was 0.069 ⁇ m in Example 1, 0.012 ⁇ m in Example 2, 0.057 ⁇ m in Example 3, and 0.077 ⁇ m in Example 4. was taken. Also, the first absolute value was 0.068 ⁇ m in Example 5, 0.110 ⁇ m in Example 6, 0.112 ⁇ m in Example 7, and 0.111 ⁇ m in Example 8. was taken. Also, the first absolute value was found to be 0.507 ⁇ m in Comparative Example 1, 0.353 ⁇ m in Comparative Example 2, and 0.191 ⁇ m in Comparative Example 3.
  • the first absolute value is 0.15 ⁇ m or less, while in the metal foils 30 for measurement of Comparative Examples 1 to 3, the first absolute value is 0.15 ⁇ m or less. Absolute values were found to be greater than 0.15 ⁇ m. Specifically, in the metal foils 30 for measurement of Examples 1 to 8, the first absolute value is 0.012 ⁇ m or more and 0.112 ⁇ m or less, while the metal foils 30 for measurement of Comparative Examples 1 to 3 are , the first absolute value was found to be 0.191 ⁇ m or more and 0.507 ⁇ m or less. In addition, in the measurement metal foils 30 of Example 1, Examples 3 to 8, and the measurement metal foils 30 of Comparative Examples 1 to 3, the first standard deviation is larger than the second standard deviation. So, in Example 2, the first standard deviation was found to be smaller than the second standard deviation.
  • the first dispersion is 0.098 ⁇ m 2 in Example 1, 0.085 ⁇ m 2 in Example 2, 0.151 ⁇ m 2 in Example 3, and 0.068 ⁇ m 2 in Example 4. was recognized.
  • the first dispersion was found to be 0.266 ⁇ m 2 in Example 5, 0.177 ⁇ m 2 in Example 6, 0.283 ⁇ m 2 in Example 7, and 0.274 ⁇ m 2 in Example 8. Admitted.
  • the primary dispersion was found to be 0.587 ⁇ m 2 in Comparative Example 1, 0.326 ⁇ m 2 in Comparative Example 2, and 0.248 ⁇ m 2 in Comparative Example 3.
  • the second dispersion was found to be 0.059 ⁇ m 2 in Example 1, 0.092 ⁇ m 2 in Example 2, 0.110 ⁇ m 2 in Example 3, and 0.034 ⁇ m 2 in Example 4. Admitted.
  • the second dispersion was found to be 0.200 ⁇ m 2 in Example 5, 0.096 ⁇ m 2 in Example 6, 0.176 ⁇ m 2 in Example 7, and 0.170 ⁇ m 2 in Example 8. Admitted.
  • the secondary dispersion was found to be 0.067 ⁇ m 2 in Comparative Example 1, 0.048 ⁇ m 2 in Comparative Example 2, and 0.095 ⁇ m 2 in Comparative Example 3.
  • the fourth difference value is 0.039 ⁇ m 2 in Example 1, ⁇ 0.007 ⁇ m 2 in Example 2, 0.041 ⁇ m 2 in Example 3, and 0.034 ⁇ m in Example 4. 2 was found.
  • the fourth difference value is 0.066 ⁇ m 2 in Example 5, 0.081 ⁇ m 2 in Example 6, 0.107 ⁇ m 2 in Example 7, and 0.104 ⁇ m 2 in Example 8. was accepted. Further, it was found that the fourth difference value was 0.520 ⁇ m 2 in Comparative Example 1, 0.278 ⁇ m 2 in Comparative Example 2, and 0.154 ⁇ m 2 in Comparative Example 3.
  • the second absolute value is 0.039 ⁇ m 2 in Example 1, 0.007 ⁇ m 2 in Example 2, 0.041 ⁇ m 2 in Example 3, and 0.034 ⁇ m 2 in Example 4.
  • the second absolute value is 0.066 ⁇ m 2 in Example 5, 0.081 ⁇ m 2 in Example 6, 0.107 ⁇ m 2 in Example 7, and 0.104 ⁇ m 2 in Example 8. was accepted.
  • the second absolute value was found to be 0.520 ⁇ m 2 in Comparative Example 1, 0.278 ⁇ m 2 in Comparative Example 2, and 0.154 ⁇ m 2 in Comparative Example 3.
  • the second absolute value is 0.15 ⁇ m 2 or less, while in the metal foils 30 for measurement of Comparative Examples 1 to 3, the second absolute value is 0.15 ⁇ m 2 or less. 2 absolute value was found to be greater than 0.15 ⁇ m 2 . Specifically, in the measurement metal foils 30 of Examples 1 to 8, the second absolute value is 0.007 ⁇ m 2 or more and 0.107 ⁇ m 2 or less, while the measurement metal foils of Comparative Examples 1 to 3 It was found that the second absolute value at the foil 30 was 0.154 ⁇ m 2 or more and 0.520 ⁇ m 2 or less.
  • the third absolute value was 0.2 ⁇ m in Example 1, 0 ⁇ m in Example 2, 0.3 ⁇ m in Example 3, and 0.3 ⁇ m in Example 4. .
  • the third absolute value was 0.5 ⁇ m in Example 5, 0.4 ⁇ m in Example 6, 0.2 ⁇ m in Example 7, and 0.4 ⁇ m in Example 8. was taken.
  • the third absolute value was found to be 1.6 ⁇ m in Comparative Example 1, 1.2 ⁇ m in Comparative Example 2, and 0.9 ⁇ m in Comparative Example 3.
  • the fourth absolute value was found to be 0 ⁇ m in Example 1, 0 ⁇ m in Example 2, 0.4 ⁇ m in Example 3, and 0 ⁇ m in Example 4.
  • the fourth absolute value was found to be 0.8 ⁇ m in Example 5, 0.5 ⁇ m in Example 6, 0.4 ⁇ m in Example 7, and 0.6 ⁇ m in Example 8. .
  • the fourth absolute value was found to be 1.5 ⁇ m in Comparative Example 1, 1.1 ⁇ m in Comparative Example 2, and 0.9 ⁇ m in Comparative Example 3.
  • the difference in spring width is 8.4 ⁇ m in Example 1, 8.4 ⁇ m in Example 2, 8.2 ⁇ m in Example 3, and 7.0 ⁇ m in Example 4. Admitted. Further, the difference in spring width is 7.5 ⁇ m in Example 5, 9.1 ⁇ m in Example 6, 8.4 ⁇ m in Example 7, and 9.7 ⁇ m in Example 8. Admitted. Further, the difference in spring width was found to be 12.5 ⁇ m in Comparative Example 1, 13.7 ⁇ m in Comparative Example 2, and 14.3 ⁇ m in Comparative Example 3.
  • the first standard value is 27.9% in Example 1, 28.0% in Example 2, 27.4% in Example 3, and 23.1% in Example 4. One thing was recognized. In addition, the first standard value is 24.9% in Example 5, 30.3% in Example 6, 28.1% in Example 7, and 32.3% in Example 8. One thing was recognized. The first standard value was found to be 41.6% in Comparative Example 1, 45.6% in Comparative Example 2, and 47.5% in Comparative Example 3.
  • the standard deviation of the spring width was found to be 2.0 ⁇ m in Example 1, 1.7 ⁇ m in Example 2, 1.9 ⁇ m in Example 3, and 1.4 ⁇ m in Example 4. Ta. The standard deviation of the spring width was found to be 1.4 ⁇ m in Example 5, 1.9 ⁇ m in Example 6, 2.0 ⁇ m in Example 7, and 2.1 ⁇ m in Example 8. Ta. The standard deviation of the spring width was found to be 2.5 ⁇ m in Comparative Example 1, 2.6 ⁇ m in Comparative Example 2, and 2.6 ⁇ m in Comparative Example 3.
  • the second standard value is 6.6% in Example 1, 5.7% in Example 2, 6.3% in Example 3, and 4.7% in Example 4. was accepted.
  • the second standard value is 4.7% in Example 5, 6.3% in Example 6, 6.6% in Example 7, and 7.1% in Example 8. was accepted.
  • the second standard value was found to be 8.2% in Comparative Example 1, 8.5% in Comparative Example 2, and 8.5% in Comparative Example 3.
  • the percentage of 3 ⁇ to the average spring width was 17.8% in Example 1, 16.0% in Example 2, 18.3% in Example 3, and 13.5% in Example 4. 0% was found.
  • the percentage of 3 ⁇ to the average spring width was 13.0% in Example 5, 18.1% in Example 6, 18.3% in Example 7, and 18.3% in Example 8. was found to be 8%.
  • the percentage of 3 ⁇ to the average spring width was found to be 24.8% in Comparative Example 1, 26.4% in Comparative Example 2, and 22.0% in Comparative Example 3.
  • the spring width variance is 3.9 ⁇ m 2 in Example 1, 2.9 ⁇ m 2 in Example 2, 3.6 ⁇ m 2 in Example 3, and 2.0 ⁇ m 2 in Example 4 . was accepted.
  • the spring width variance is 2.0 ⁇ m 2 in Example 5, 3.6 ⁇ m 2 in Example 6, 4.0 ⁇ m 2 in Example 7, and 4.5 ⁇ m 2 in Example 8. was accepted.
  • the spring width variance was found to be 6.0 ⁇ m 2 in Comparative Example 1, 6.5 ⁇ m 2 in Comparative Example 2, and 6.6 ⁇ m 2 in Comparative Example 3.
  • the metal foils for spring members of Examples 1 to 8 compared to the metal foils for spring members of Comparative Examples 1 to 3, the first standard value, the standard deviation, the second standard value, and the average The 3 ⁇ percentage of the values and the variance were all found to be small. Therefore, according to the metal foils for spring members of Examples 1 to 8, the variation in spring width in the thickness direction is suppressed as compared with the metal foils for spring members of Comparative Examples 1 to 3. I can say.
  • FIG. 13 is a graph showing the relationship between the first absolute value and the spring width difference value.
  • the difference value in the spring width of the etching pattern is found to be within the range of 6.0 ⁇ m or more and 10.0 ⁇ m or less. Ta.
  • the differential value in the spring width of the etched pattern was found to exceed 12 ⁇ m. As described above, it was recognized that the variation in the spring width of the etching pattern was greatly different with the boundary of 0.15 ⁇ m for the first absolute value.
  • FIG. 14 is a graph showing the relationship between the fourth absolute value and the spring width difference value.
  • the difference value in the spring width of the etching pattern is found to be within the range of 6.0 ⁇ m or more and 10.0 ⁇ m or less. Ta.
  • the fourth absolute value was larger than 0.8 ⁇ m, the differential value in the spring width of the etched pattern was found to exceed 12 ⁇ m. As described above, it was recognized that the variation in the spring width of the etching pattern was greatly different with the boundary of 0.8 ⁇ m for the fourth absolute value.
  • FIG. 15 is a graph showing the relationship between the second absolute value and the spring width difference value.
  • the difference value in the spring width of the etching pattern is found to be within the range of 6.0 ⁇ m or more and 10.0 ⁇ m or less. was taken.
  • the second absolute value was greater than 0.15 ⁇ m 2
  • the differential value in the spring width of the etched pattern was found to exceed 12 ⁇ m. As described above, it was recognized that the variation in the spring width of the etching pattern was greatly different with the boundary of 0.15 ⁇ m 2 for the second absolute value.
  • FIG. 16 is a graph showing the relationship between the third absolute value and the spring width difference value.
  • the third absolute value is 0.8 ⁇ m or less
  • the difference value in the spring width of the etching pattern is found to be within the range of 6.0 ⁇ m or more and 10.0 ⁇ m or less. Ta.
  • the third absolute value was larger than 0.8 ⁇ m
  • the differential value in the spring width of the etched pattern was found to exceed 12 ⁇ m.
  • the metal foil for spring members As described above, according to one embodiment of the metal foil for spring members, the method for manufacturing the metal foil for spring members, and the spring member for electronic devices, the following effects can be obtained. (1) Since the metal foil 10 satisfies the condition 1, variations in the thickness of the metal foil 10 can be suppressed. Therefore, in the spring member 20 formed by wet etching the metal foil 10, variation in spring width in the thickness direction is suppressed.
  • the metal foil 10 can have high hardness, the durability of the spring member 20 formed from the metal foil 10 can be enhanced.

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Abstract

ばね部材用金属箔は、一辺の長さが３００ｍｍである正方形状を有し、ばね部材が形成されるための第１領域を備える。第１領域において、圧延方向における厚さの標準偏差から、圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下である。第１領域において、第１最大値から第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である。

Description

ばね部材用金属箔、ばね部材用金属箔の製造方法、および、電子機器用ばね部材
　本開示は、ばね部材用金属箔、ばね部材用金属箔の製造方法、および、電子機器用ばね部材に関する。
　タブレット端末やスマートフォンなどのカメラ付き電子機器が備えるカメラモジュールは、オートフォーカスやズームを可能とするための駆動機構を備えている。駆動機構の型式には、レンズ駆動方式と、センサー駆動方式とが知られている。レンズ駆動方式の駆動機構は、レンズの光軸方向におけるレンズの位置を変更することを可能にする板ばねを備えている。これに対して、センサー駆動方式の駆動機構は、レンズの光軸方向におけるイメージセンサーの位置を変更することを可能にする板ばねを備えている（例えば、特許文献１，２を参照）。
特開２０１４－０５９３４５号公報 特開２０２０－１７０１７０号公報
　ところで、板ばねには、限られた容積のなかで特定のばね荷重またはたわみを満たすことが求められる。ばね荷重およびたわみに対する要求を満たすためには、板ばねは硬度の高い金属から形成される必要がある。
　ばね荷重およびたわみには、板ばねが有する幅と厚さとが大きく寄与する。板ばねの原料である金属箔は、圧延によって所定の厚さまで薄くされる。金属箔は硬度の高い金属から形成されるから、硬度の低い金属から形成される場合に比べて、圧延によって金属箔の厚さを均一化することが難しい。
　一方、板ばねは、金属箔のウェットエッチングによって形成される。金属箔における厚さのばらつきはエッチング量のばらつきを生じさせ、これによって板ばね厚さ方向において幅におけるばらつきを生じさせる。板ばねの厚さ方向における幅のばらつきは、板ばねが有するばね荷重およびたわみのばらつきを生じさせるから、厚さ方向におけるばね幅のばらつきを抑えることが求められている。
　ばね部材用金属箔の一態様は、一辺の長さが３００ｍｍである正方形状を有し、前記ばね部材が形成されるための第１領域を備える。前記第１領域において、圧延方向における厚さの標準偏差から、前記圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、前記圧延方向における前記厚さの最大値が第１最大値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値が第２最大値であり、前記第１最大値から前記第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である。
　ばね部材用金属箔の製造方法の一態様は、母材を圧延することと、前記母材の圧延によって得られた圧延材を複数準備した後、前記複数の圧延材から前記ばね部材用金属箔を選別することと、を含む。前記圧延材において、一辺の長さが３００ｍｍである正方形状を有し、前記ばね部材が形成されるための領域が第１領域である。前記第１領域において、圧延方向における厚さの最大値が第１最大値であり、前記圧延方向に直交する幅方向における厚さの最大値が第２最大値である。前記ばね部材用金属箔を選別することでは、前記複数の圧延材から、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が０．１５μｍ以下であり、かつ、前記第１最大値から前記第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である前記圧延材を前記ばね部材用金属箔として選別する。
　電子機器用ばね部材の一態様は、ばね部材用金属箔を用いた電子機器用ばね部材である。前記ばね部材用金属箔の圧延方向における厚さの標準偏差から、前記圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下である。前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの最大値が第１最大値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値が第２最大値であり、前記第１最大値から前記第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である。
図１は、一実施形態におけるばね部材用金属箔の構造を示す斜視図である。 図２は、同実施形態における電子機器用ばね部材の構造を示す平面図である。 図３は、同実施形態におけるばね部材用金属箔の製造方法を説明するための工程図である。 図４は、同実施形態におけるばね部材用金属箔の製造方法を説明するための工程図である。 図５は、同実施形態におけるばね部材用金属箔の製造方法を説明するための工程図である。 図６は、図２が示す電子機器用ばね部材の製造方法を説明するための工程図である。 図７は、図２が示す電子機器用ばね部材の製造方法を説明するための工程図である。 図８は、図２が示す電子機器用ばね部材の製造方法を説明するための工程図である。 図９は、図２が示す電子機器用ばね部材の製造方法を説明するための工程図である。 図１０は、図２が示す電子機器用ばね部材の製造方法を説明するための工程図である。 図１１は、ばね部材用金属箔における厚さの測定箇所を説明するための平面図である。 図１２は、実施例および比較例の金属箔における測定結果を示す表である。 図１３は、第１絶対値とばね幅の差分値との関係を示すグラフである。 図１４は、第４絶対値とばね幅の差分値との関係を示すグラフである。 図１５は、第２絶対値とばね幅の差分値との関係を示すグラフである。 図１６は、第３絶対値とばね幅の差分値との関係を示すグラフである。
　図１から図１６を参照して、ばね部材用金属箔、ばね部材用金属箔の製造方法、および、電子機器用ばね部材における一実施形態を説明する。
　［ばね部材用金属箔］
　図１を参照して、ばね部材用金属箔を説明する。
　図１が示すばね部材用金属箔（以下、金属箔とも称する）１０において、ばね部材が形成されるための領域が第１領域１０Ｒ１である。第１領域１０Ｒ１は、一辺の長さが３００ｍｍである正方形状を有している。金属箔１０は、ばね部材に求められるばね荷重またはたわみを実現することが可能な程度に高い硬度を有した金属から形成された圧延材である。金属箔１０は、圧延方向ＤＲに沿って延びる帯状を有している。圧延方向ＤＲに直交する方向が、幅方向ＤＷである。金属箔１０が有する厚さＴは、例えば１５０μｍ以下であり、好ましくは５０μｍ以上１２０μｍ以下である。金属箔１０の厚さは、基材の厚さの平均値に対する、金属箔１０の厚さＴの最大値と厚さの最小値の差分値の比率が３％以下であるような均一性を有する。
　金属箔１０は、以下の条件１を満たす。
　（条件１）圧延方向ＤＲにおける厚さの標準偏差から、幅方向ＤＷにおける厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、かつ、第１最大値から第２最大値を減算した差分値の絶対値が０．８μｍ以下である。
　圧延方向ＤＲにおける厚さの標準偏差が第１標準偏差であり、幅方向ＤＷにおける厚さの標準偏差が第２標準偏差である。第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値の絶対値は、第１絶対値である。なお、第１標準偏差は、圧延方向ＤＲに沿って延びる直線上の各点での厚さにおける標準偏差である。また、第２標準偏差は、幅方向ＤＷに沿って延びる直線上の各点での厚さにおける標準偏差である。
　第１最大値は、圧延方向ＤＲにおける厚さの最大値である。第２最大値は、幅方向ＤＷにおける厚さの最大値である。なお、第１最大値から第２最大値を減算した差分値の絶対値は、第４絶対値である。
　第１絶対値が０．１５μｍ以下であり、かつ、第４絶対値が０．８μｍ以下であるから、金属箔１０における厚さのばらつきが抑えられる。そのため、金属箔１０のウェットエッチングによって形成されたばね部材において、厚さ方向におけるばね幅のばらつきが抑えられる。
　金属箔１０は、表面１０Ｆと、表面１０Ｆとは反対側の面である裏面１０Ｂとを備えている。金属箔１０の厚さＴは、表面１０Ｆと裏面１０Ｂとの間の距離である。圧延方向ＤＲにおける厚さの最大値および最小値は、以下のように特定される。すなわち、第１領域１０Ｒ１に対して、圧延方向ＤＲに沿って延びる帯状を有した第１測定領域Ｒ１Ｒが設定される。幅方向ＤＷにおける第１測定領域Ｒ１Ｒの長さは、例えば２０ｍｍである。第１測定領域Ｒ１Ｒに含まれる直線上おける複数の点のそれぞれにおいて測定された金属箔１０の厚さのうち、最も大きい値が最大値であり、最も小さい値が最小値である。
　幅方向ＤＷにおける厚さの最大値および最小値は、以下のように特定される。すなわち、第１領域１０Ｒ１に対して、幅方向ＤＷに沿って延びる帯状を有した第２測定領域Ｒ１Ｗが設定される。圧延方向ＤＲにおける第２測定領域Ｒ１Ｗの長さは、例えば２０ｍｍである。第２測定領域Ｒ１Ｗに含まれる直線上おける複数の点のそれぞれにおいて測定された金属箔１０の厚さのうち、最も大きい値が最大値であり、最も小さい値が最小値である。
　金属箔１０において、圧延方向ＤＲでの厚さのばらつきは、金属箔１０を製造するための材料に対して圧延が繰り返されるほど小さくなる。そのため、圧延方向ＤＲでのばらつきを抑える観点では、金属箔１０の製造時に行われる圧延の回数を増やすことが好ましい。しかしながら、ばね部材用の金属箔１０には、ばね部材に求められるばね荷重またはたわみを実現する観点において、所定以上の厚さを有する必要がある。そのため、ばね部材用の金属箔１０では、圧延方向ＤＲでの厚さのばらつきを解消することが可能な回数の圧延を金属箔１０の製造において行い難い。これに対して、金属箔１０において、幅方向ＤＷでの厚さのばらつきは、圧延に用いられる圧延ローラーの表面状態によって支配されるから、圧延の回数によらず、ばらつきが抑えられる傾向を有する。それゆえに、金属箔１０は、第２標準偏差が、第１標準偏差以下になりやすい傾向を有する。また、金属箔１０は、第２最大値が、第１最大値以下になりやすい傾向を有する。
　一方、金属箔１０の厚さ方向に沿って金属箔１０を貫通する貫通孔を形成するためのウェットエッチングが金属箔１０に行われた場合には、金属箔１０において厚さが薄い部分ほど、貫通孔が形成されるまでに要する時間が短い。そして、金属箔１０に形成された貫通孔は、金属箔１０の表面１０Ｆと裏面１０Ｂとの間におけるエッチング液の流れを形成する一方で、貫通する方向に対して垂直な方向への金属箔１０の等方的なエッチングの進行にはほとんど寄与しない。これに対して、金属箔１０において厚さが厚い部分ほど、貫通孔が形成されるまでに要する時間が長い。そのため、金属箔１０において厚さが厚い部分は、金属箔１０の等方的なエッチングの進行に大きく寄与する。
　それゆえに、金属箔１０の厚さにおいて、第１標準偏差および第１最大値を、圧延方向ＤＲにおいて等方的なエッチングの生じやすさの指標とすることが可能である。また、金属箔１０の厚さにおいて、第２標準偏差および第２最大値を、幅方向ＤＷにおいて等方的なエッチングの生じやすさの指標とすることが可能である。さらには、第１絶対値および第４絶対値を、等方的なエッチングの生じにくい幅方向ＤＷに対する、圧延方向ＤＲにおいて等方的なエッチングの生じやすさの指標とすることが可能である。
　この点、金属箔１０が上述した条件１を満たす場合には、幅方向ＤＷにおける等方的なエッチングの生じやすさを基準とした場合に、圧延方向ＤＲでの等方的なエッチングの生じやすさが過剰に大きくなることが抑えられる。そのため、金属箔１０のエッチングによって形成されるばね部材において、所望の形状が得られやすくなる。
　第１領域１０Ｒ１において、圧延方向ＤＲにおける厚さＴの分散が第１分散である。すなわち、第１分散は、圧延方向ＤＲに沿った１つの直線上の各点における厚さＴにおける分散である。第１領域１０Ｒ１において、幅方向ＤＷにおける厚さＴの分散が第２分散である。すなわち、第２分散は、幅方向ＤＷに沿った１つの直線上の各点における厚さＴにおける分散である。
　第１領域１０Ｒ１において、圧延方向ＤＲにおける厚さＴの最大値と最小値との差分値が第１差分値である。すなわち、圧延方向ＤＲに沿った１つの直線上の各点における厚さＴが第１の厚さであり、第１の厚さのうちの最大値と最小値との差分値が第１差分値である。第１領域１０Ｒ１において、幅方向ＤＷにおける厚さＴの最大値と最小値との差分値が第２差分値である。すなわち、幅方向ＤＷに沿った１つの直線上の各点における厚さが第２の厚さであり、第２の厚さのうちの最大値と最小値との差分値が第２差分値である。
　金属箔１０は、以下の条件２から条件５の少なくとも一方を満たすことが好ましい。すなわち、金属箔１０は、条件２から条件５のうちの１つのみを満たしてもよいし、条件２から条件５から選択される２つ以上を満たしてもよい。
　（条件２）第１分散から第２分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下である。
　第１分散から第２分散を減算した差分値の絶対値は、第２絶対値である。
　（条件３）第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下である。
　第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値が、第３差分値である。
　（条件４）第１分散から第２分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である。
　第１分散から第２分散を減算した差分値が、第４差分値である。
　（条件５）第１差分値から第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である。
　第１差分値から第２差分値を減算した差分値の絶対値は、第３絶対値である。
　金属箔１０が条件２から条件５を満たす場合も、条件１を満たす場合と同様に、幅方向ＤＷにおける等方的なエッチングの生じやすさを基準とした場合に、圧延方向ＤＲでの等方的なエッチングの生じやすさが過剰に大きくなることが抑えられる。そのため、金属箔１０のエッチングによって形成されるばね部材において、所望の形状が得られやすくなる。
　上述したように、金属箔１０は、金属箔１０を用いて製造されたばね部材に求められるばね荷重またはたわみを実現することが可能な程度に高い硬度を有した金属から形成されている。金属箔１０は、例えば、ステンレス合金または銅合金から形成されてよい。ステンレス合金は、例えば、ＪＩＳ　Ｇ　４３１３：２０１１「ばね用ステンレス鋼帯」に規定されるステンレス合金であってよい。銅合金は、例えば、ＪＩＳ　Ｈ　３１３０：２０１８「ばね用のベリリウム銅、チタン銅、りん青銅、ニッケル－すず銅及び洋白の板及び条」に規定される銅合金であってよい。
　金属箔１０は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含むことが好ましい。これにより、金属箔１０が高い硬度を有することが可能であるから、金属箔１０から形成されたばね部材の耐久性を高めることが可能である。
　［ばね部材］
　図２を参照して、ばね部材を説明する。図２は、ばね部材が広がる平面と対向する視点から見たばね部材の平面構造を模式的に示している。
　図２が示すように、ばね部材２０は、外枠部２１、内枠部２２、および、ばね部２３を備えている。ばね部材２０は、板ばねである。図２が示す例では、外枠部２１の外形は八角形状を有し、かつ、内枠部２２の外形は円形状を有している。ばね部２３は、折線状を有している。なお、外枠部２１の外形および内枠部２２の外形は、ばね部材２０が搭載されるカメラモジュールの駆動機構が備える他の部材、すなわちばね部材２０以外の部材が有する形状に応じて変更されてよい。内枠部２２は、外枠部２１が画定する領域内に位置している。ばね部２３は、外枠部２１に内枠部２２を接続している。
　レンズ駆動方式の駆動機構では、レンズの光軸方向において、一対のばね部材２０がレンズを挟むように配置される。光軸方向において、各外枠部２１に対するその外枠部２１に接続された内枠部２２の位置が変わることによって、レンズの光軸方向におけるレンズの位置が変わる。これにより、レンズ駆動方式の駆動機構によって、手振れを補正することが可能である。
　これに対して、センサー駆動方式の駆動機構では、レンズの光軸方向において、一対のばね部材２０が撮像センサーを挟むように配置される。光軸方向において、各外枠部２１に対するその外枠部２１に接続された内枠部２２の位置が変わることによって、レンズの光軸方向における撮像センサーの位置が変わる。これにより、センサー駆動方式の駆動機構によって、手振れを補正することが可能である。
　ばね部材２０において、ばね部材２０が広がる平面と対向する平面視において、外枠部２１が有する各辺が延びる方向と直交する方向での長さが、外枠部２１におけるばね部材２０の幅である。また、ばね部材２０が広がる平面と対向する平面視において、内枠部２２の径方向に沿う内枠部２２の長さが、内枠部２２におけるばね部材２０の幅である。また、ばね部材２０が広がる平面と対向する平面視において、ばね部２３における折線の平面視における線幅が、ばね部２３の幅、つまり、ばね幅ＳＷである。
　ばね部材２０を備えるカメラモジュールが搭載される電子機器は、例えば、携帯電話端末、スマートフォン、タブレット型端末、および、ノート型パーソナルコンピューターなどであってよい。
　［ばね部材用金属箔の製造方法］
　図３から図５を参照して、金属箔１０の製造方法を説明する。
　金属箔１０の製造方法は、母材を圧延することと、母材の圧延によって得られた圧延材を複数準備した後、複数の圧延材から金属箔１０を選別することとを含む。金属箔１０を選別することでは、複数の圧延材から、上述した条件１を満たす圧延材を金属箔１０として選別する。また、金属箔１０の製造方法は、複数の圧延材から金属箔１０を選別する際の条件に、上述した条件２から条件５のうちの少なくとも一方をさらに含んでよい。すなわち、金属箔１０を選別する際の条件は、条件２から条件５のうちの１つのみを含んでもよいし、条件２から条件５から選択される２つ以上を含んでもよい。
　以下、図面を参照して、金属箔１０の製造方法をより詳しく説明する。
　図３は、金属箔１０を形成するための母材を圧延する工程を模式的に示している。図４は、圧延材をアニールする工程を模式的に示している。
　図３が示すように、金属箔１０が製造される際には、まず、圧延方向ＤＲに沿って延びる帯状を有した母材ＢＭ１を準備する。次いで、母材ＢＭ１の圧延方向ＤＲと、母材ＢＭ１を搬送する搬送方向とが平行になるように、母材ＢＭ１を一対の圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２を備える圧延装置ＲＥに向けて搬送方向に沿って搬送する。
　母材ＢＭ１が一対の圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の間に到達すると、母材ＢＭ１が一対の圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２によって圧延される。これにより、母材ＢＭ１の厚さが低減され、かつ、母材ＢＭ１が搬送方向に沿って伸ばされることで、圧延材ＢＭ２を得ることができる。圧延材ＢＭ２はコアＣに巻き取られる。なお、圧延材ＢＭ２は、コアＣに巻き取られることなく、帯形状に伸ばされた状態で取り扱われてもよい。圧延材ＢＭ２の厚さは、例えば１５０μ以下であり、好ましくは、５０μｍ以上１２０μｍ以下である。
　図４が示すように、母材ＢＭ１の圧延によって形成された圧延材ＢＭ２の内部に蓄積された残留応力を取り除くために、アニール装置ＡＥを用いて圧延材ＢＭ２をアニールする。これにより、アニール後の圧延材ＢＭ３が得られる。圧延材ＢＭ２のアニールは、圧延材ＢＭ２を搬送方向に沿って引っ張りながら行うため、アニール前の圧延材ＢＭ２に比べて残留応力が低減された圧延材ＢＭ３を得ることができる。
　なお、母材ＢＭ１を形成する材料は、上述したように、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含んでよい。これらの金属は高い硬度を有するから、言い換えれば、より低い硬度を有する金属、すなわちより柔らかい金属に比べて延びにくいから、圧延される度合いにおけるばらつきが母材ＢＭ１内において生じやすい。また、複数の母材ＢＭ１間においても、圧延度合いにばらつきが生じやすい。そのため、母材ＢＭ１の圧延によって形成された金属箔１０の選別条件が、上述した条件１を含むことによる実効性が高い。
　図５は、圧延工程を経て形成された金属箔１０の厚さを測定する工程を模式的に示している。
　図５が示すように、圧延を経て得られた圧延材ＢＭ３を複数準備した後、各圧延材ＢＭ３においてばね部材２０を形成するための第１領域について、測定装置ＭＥを用いて厚さを測定する。これにより、各圧延材ＢＭ３の第１領域について、上述した第１絶対値を少なくとも算出する。そして、複数の圧延材ＢＭ３のうち、上述した条件１を満たす圧延材ＢＭ３を金属箔１０として選別し、選別された金属箔１０をばね部材２０の製造に用いる。
　なお、各圧延材ＢＭ３の第１領域について、上述した第１分散、第２分散、第２絶対値および、第３絶対値を算出してもよい。そして、圧延材ＢＭ３から金属箔１０を選別する条件に、上述した条件２から条件５の少なくとも一方を加えてもよい。すなわち、圧延材ＢＭ３から金属箔１０を選別する条件に、条件２から条件５のうちの１つのみを加えてもよいし、条件２から条件５から選択される２つ以上を加えてもよい。また、測定装置ＭＥには、接触式の測定装置を用いてもよいし、非接触式の測定装置を用いてもよい。
　接触式の測定装置には、例えば長さゲージを用いることができる。非接触式の測定装置には、例えば、Ｘ線を照射する照射部と、蛍光Ｘ線を検出する検出部とを備える測定装置を用いることができる。この測定装置を用いる場合には、まず、照射部を用いて金属箔１０にＸ線を照射し、これによって金属箔１０から放出される蛍光Ｘ線を検出部を用いて検出する。検出部によって検出された蛍光Ｘ線の強度は、金属箔１０の厚さに依存するから、蛍光Ｘ線の強度から、金属箔１０の厚さを把握することが可能である。
　なお、第１標準偏差、第２標準偏差、第１分散、第２分散、第１差分値、および、第２差分値を、以下の少なくとも１つを変更することによって、変更することが可能である。圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の回転速度、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の間での押圧力、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の温度、および、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の数量の少なくとも１つを変更することによって、上述した値を変更することができる。すなわち、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の回転速度、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の間での押圧力、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の温度、および、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の数量のうちの１つのみが変更されてもよい。あるいは、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の回転速度、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の間での押圧力、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の温度、および、圧延ローラーＲＬ１，ＲＬ２の数量のうちの任意の２つ以上が変更されてもよい。
　［ばね部材の製造方法］
　図６から図１０を参照して、ばね部材２０の製造方法を説明する。
　図６が示すように、ばね部材２０を製造する際には、まず、金属箔１０の表面１０Ｆに第１レジスト層ＰＲ１を形成し、かつ、裏面１０Ｂに第２レジスト層ＰＲ２を形成する。なお、図６から図１０を用いて説明する例では、各レジスト層ＰＲ１，ＰＲ２がポジ型のフォトレジストから形成されているが、各レジスト層ＰＲ１，ＰＲ２はネガ型のフォトレジストから形成されてもよい。
　次いで、図７が示すように、第１レジスト層ＰＲ１上に第１フォトマスクＰＭ１を配置し、かつ、第２レジスト層ＰＲ２上に第２フォトマスクＰＭ２を配置する。そして、第１レジスト層ＰＲ１を第１フォトマスクＰＭ１を用いて露光し、かつ、第２レジスト層ＰＲ２を第２フォトマスクＰＭ２を用いて露光する。
　図８が示すように、露光したレジスト層ＰＲ１，ＰＲ２を現像し、これによって、第１レジスト層ＰＲ１から第１レジストマスクＲＭ１を形成し、かつ、第２レジスト層ＰＲ２から第２レジストマスクＲＭ２を形成する。
　図９が示すように、レジストマスクＲＭ１，ＲＭ２を用いて金属箔１０をウェットエッチングする。この際に、金属箔１０を表面１０Ｆおよび裏面１０Ｂの両方からエッチングする。これにより、金属箔１０の厚さ方向に沿って貫通する貫通孔が金属箔１０に形成され、結果として、外枠部２１と、外枠部２１から離れた内枠部２２と、内枠部２２を外枠部２１に接続するばね部２３とが形成される。
　この際に、金属箔１０が条件１を満たすから、金属箔１０の厚さ方向において、所望の形状を有したばね部材２０が得られやすい。また、金属箔１０が条件１を満たすから、金属箔１０の厚さにおけるばらつきに応じてウェットエッチングの条件を変更せずとも、ばね部材２０の厚さ方向におけるばね幅のばらつきが所定の範囲内に抑えられたばね部材２０を得ることが可能である。そのため、ばね部材２０の製造において、厚さのばらつきに応じてウェットエッチングの条件を変更することが不要であるから、厚さのばらつきとウェットエッチングの条件との組み合わせにおける誤りを無くすことも可能である。
　図１０が示すように、レジストマスクＲＭ１，ＲＭ２をエッチング後の金属箔１０から取り除いた後、エッチング後の金属箔１０からばね部材２０を切り出すことによって、ばね部材２０を得ることができる。
　［実施例］
　図１１から図１６を参照して、実施例および比較例を説明する。
　［実施例１］
　まず、チタン銅を材料とする母材に圧延工程を施すことによって圧延材を形成した。次いで、圧延材にアニール工程を施した。これによって、厚さの設計値が１２０μｍである実施例１の金属箔を得た。
　［実施例２から実施例８、および、比較例１から比較例３］
　実施例１において、母材を圧延する際に、圧延ローラーの回転速度、圧延ローラーの間での押圧力、圧延ローラーの温度、および、圧延ローラーの数量の少なくとも１つを変更する一方で、それ以外は実施例１と同様とすることによって、実施例２から実施例８、および、比較例１から比較例３の金属箔を得た。
　［評価方法］
　［厚さの測定］
　図１１を参照して、金属箔１０における厚さの測定方法を説明する。
　図１１が示すように、各実施例および各比較例の金属箔から、一辺の長さが３００ｍｍである正方形状を有した測定用金属箔３０を切り出した。各測定用金属箔３０の第１の一辺が延びる方向と金属箔の圧延方向ＤＲとが平行であり、かつ、各測定用金属箔３０の第２の一辺が延びる方向と金属箔の幅方向ＤＷとが垂直であるように、各金属箔から測定用金属箔３０を切り出した。各測定用金属箔３０において、測定用金属箔３０の中央を含み、正方形状を有する測定領域３０Ａと、測定領域３０Ａを取り囲む矩形枠状を有した周辺領域３０Ｂとを設定した。この際に、周辺領域３０Ｂの幅Ｗ３を１０ｍｍに設定した。
　また、圧延方向ＤＲに沿って延びる帯状を有する第１測定領域Ｒ１Ｒと、幅方向ＤＷに沿って延びる帯状を有する第２測定領域Ｒ１Ｗとを測定領域３０Ａ内に設定した。この際に、第１測定領域Ｒ１Ｒにおける幅方向ＤＷの長さである幅Ｗ１を２０ｍｍに設定し、かつ、第２測定領域Ｒ１Ｗにおける圧延方向ＤＲの長さである幅Ｗ２を２０ｍｍに設定した。
　そして、第１測定領域Ｒ１Ｒを圧延方向ＤＲにおいて１４等分した領域の全てにおいて金属箔の厚さを測定した。また、第２測定領域Ｒ１Ｗを幅方向ＤＷにおいて１４等分した領域の全てにおいて測定用金属箔３０の厚さを測定した。
　各領域のうち、対向する２つの角部を結ぶ対角線同士が交わる点において厚さを測定した。すなわち、同一の直線上に位置する各点において厚さを測定した。測定用金属箔ごとに、圧延方向ＤＲにおける１４点、および、幅方向ＤＷにおける１４点において厚さを測定した。ただし、第１測定領域Ｒ１Ｒと第２測定領域Ｒ１Ｗとが交わる領域では、圧延方向ＤＲにおける測定点と幅方向ＤＷにおける測定点とが同一の点であるため、各測定用金属箔について、合計で２７点において厚さの測定を行った。そして、測定された値を小数第二位において四捨五入し、これによって、各領域での厚さの測定値とした。
　これら測定値から、第１標準偏差、第２標準偏差、第１分散、および、第２分散を算出した。また、第１標準偏差から第２標準偏差を減算した差分値である第３差分値と、第３差分値の絶対値である第１絶対値とを算出した。また、第１分散から第２分散を減算した差分値である第４差分値と、第４差分値の絶対値である第２絶対値とを算出した。また、第１差分値から第２差分値を減算した差分値の絶対値である第３絶対値と、圧延方向ＤＲにおける厚さの最大値から幅方向ＤＷにおける厚さの最大値を減算した差分値の絶対値である第４絶対値とを算出した。
　測定用金属箔３０における厚さの測定には、接触式の厚さ測定器（（株）Ｎｉｋｏｎ製、ＭＨ－１５Ｍ）を用いた。厚さを測定する際には、まず、測定子を底盤に接触させた状態で測定器に付属する板厚測定機カウンターの電源を入れ、これによってゼロ点合わせを行った。その後、測定子と底盤との間に測定用金属箔を設置し、次いで、測定子を降下させることによって測定用金属箔における各部の厚さを測定した。
　［エッチングパターンの評価］
　各測定用金属箔３０の表面と裏面とに対して、ばね部材２０の形状に対応した複数の開口を有するレジストマスクを形成し、２つのレジストマスクを用いて測定用金属箔３０を表面と裏面との両方からウェットエッチングした。なお、測定領域３０Ａに、１つのばね部材２０に対応し、かつ、２０ｍｍ四方の正方形状を有した単位領域を、圧延方向ＤＲと幅方向ＤＷとの両方において敷き詰められるように、格子状に配置した。そのため、各レジストマスクにも、１つのばね部材２０の形状に対応する単位パターンを、圧延方向ＤＲと幅方向ＤＷとの両方において敷き詰められるように、格子状に配置した。
　単位パターンでは、ばね部材２０のうち、折線状を有するばね部２３を形成する部分において、ばね部２３において互いに平行であり、かつ、隣り合う線分の間隙に対応するレジストパターンの開口幅を１００μｍに設定し、かつ、隣り合う線分のピッチを２００μｍに設定した。ここで、隣り合う線分のピッチとは、エッチングパターンの設計において、互いに平行であり、かつ、隣り合う線分において、各線分に設定される中央線間の距離を指す。
　なお、各レジストマスクには、測定用金属箔３０の表面と対向する平面視において、測定用金属箔３０の表面に位置するレジストマスクが有する１つの単位パターンの全体が、測定用金属箔３０の裏面に位置するレジストマスクにおける１つの単位パターンの全体に重なるように、各レジストマスクに複数の単位パターンを形成した。
　こうしたレジストマスクを用いて、測定用金属箔３０において、ばね部材２０の形状に対応するエッチングパターンを複数形成した。エッチングパターンにおいて、ばね部２３の平面視におけるばね幅の設計値を３０μｍに設定した。
　エッチング後の各測定用金属箔３０に存在するばね部材２０のばね部２３を合成樹脂を用いて包埋した。そして、ミクロトームを用いて包埋後のばね部２３を切断することによって、ばね部が含む線分が延びる方向に直交する平面でのばね部２３の断面を露出させた。
　ばね部２３の断面において、以下の位置におけるばね幅を測定した。すなわち、ばね部２３において、測定用金属箔３０の表面におけるばね幅、測定用金属箔３０の裏面におけるばね幅、および、ばね部２３を厚さ方向において４等分する平面のうち、測定用金属箔３０の表面と裏面とに挟まれる３つの平面でのばね幅を測定した。すなわち、測定用金属箔３０の表面における深さを０μｍに設定する場合に、エッチングパターンにおいて、深さが０μｍでのばね幅、深さが約３０μｍでのばね幅、深さが約６０μｍでのばね幅、深さが約９０μｍでのばね幅、および、深さが約１２０μｍでのばね幅を測定した。ばね部２３のばね幅を測定する際には、デジタルマイクロスコープ（（株）キーエンス製、ＶＨＸ‐７０００）を用い、かつ、デジタルマイクロスコープにおいて対物レンズの倍率を２００倍に設定した。
　また、各実施例および各比較例の測定用金属箔３０から得られたエッチングパターンについて、第１規格値、ばね幅の標準偏差、第２規格値、ばね幅の平均値に対する３σの百分率、および、ばね幅の分散を算出した。
　なお、測定用金属箔３０が含む各単位パターンについて、ばね部２３が含む全てのばねにおいて、厚さ方向における上述した５箇所でのばね幅を測定した。そして、ばね毎に最大値と最小値とを特定し、最大値から最小値を減算した差分値を算出し、かつ、ばね幅の平均値を算出した。次いで、全てのばねについて特定した最大値から最大値の平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０でのばね幅の最大値に設定した。また、全てのばねについて特定した最小値から最小値の平均値を算出し、当該最小値をその測定用金属箔３０でのばね幅の最小値に設定した。また、全てのばねについて算出した差分値から差分値の平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０の差分値に設定した。また、全てのばねについて算出した平均値について平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０の平均値に設定した。
　また、各実施例および各比較例の測定用金属箔３０から得られたエッチングパターンについて、第１規格値、ばね幅の標準偏差、第２規格値、および、ばね幅の平均値に対する３σの百分率を算出した。ばね幅の平均値に対する３σの百分率を算出する際には、各測定用金属箔３０に対して設定された平均値を用いた。なお、第１規格値は、ばね幅の設計値に対するばね幅の差分値の百分率である。第１規格値の算出には、各測定用金属箔３０に対して設定された差分値を用いた。また、第２規格値は、ばね幅の設計値に対するばね幅の標準偏差の百分率である。
　ばね幅の標準偏差を算出する際には、まず、ばね毎に測定した５箇所の厚さからばね幅の標準偏差を算出した。次いで、全てのばねについて算出した標準偏差から標準偏差の平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０でのばね幅の標準偏差に設定した。また、第２規格値の算出には、各測定用金属箔３０に対して設定された標準偏差を用いた。
　ばね幅の分散を算出する際には、まず、ばね毎に測定した５箇所の厚さからばね幅の分散を算出した。次いで、全てのばねについて算出した分散から分散の平均値を算出し、当該平均値をその測定用金属箔３０でのばね幅の分散に設定した。
　［評価結果］
　図１２から図１４を参照して、測定用金属箔３０の厚さ、および、エッチングパターンのばね幅における評価結果を説明する。
　図１２は、各測定用金属箔３０の厚さを測定した結果、および、各測定用金属箔３０をウェットエッチングすることによって形成したエッチングパターンのばね幅における測定の結果を示している。なお、図１２において、第４絶対値は、圧延方向ＤＲにおける厚さの最大値から幅方向ＤＷにおける厚さの最大値を減算した差分値の絶対値である。
　図１２が示すように、第１標準偏差は、実施例１において０．３１３μｍであり、実施例２において０．２９１μｍであり、実施例３において０．３８９μｍであり、実施例４において０．２６１μｍであることが認められた。また、第１標準偏差は、実施例５において０．５１６μｍであり、実施例６において０．４２１μｍであり、実施例７において０．５３２μｍであり、実施例８において０．５２４μｍであることが認められた。また、第１標準偏差は、比較例１において０．７６６μｍであり、比較例２において０．５７１μｍであり、比較例３において０．４９８μｍであることが認められた。
　第２標準偏差は、実施例１において０．２４３μｍであり、実施例２において０．３０３μｍであり、実施例３において０．３３２μｍであり、実施例４において０．１８４μｍであることが認められた。また、第２標準偏差は、実施例５において０．４４７μｍであり、実施例６において０．３１１μｍであり、実施例７において０．４２０μｍであり、実施例８において０．４１２μｍであることが認められた。第２標準偏差は、比較例１において０．２６０μｍであり、比較例２において０．２１８μｍであり、比較例３において０．３０７μｍであることが認められた。
　これにより、第３差分値が、実施例１において０．０６９μｍであり、実施例２において－０．０１２μｍであり、実施例３において０．０５７μｍであり、実施例４において０．０７７μｍであることが認められた。また、第３差分値が、実施例５において０．０６８μｍであり、実施例６において０．１１０μｍであり、実施例７において０．１１２μｍであり、実施例８において０．１１１μｍであることが認められた。また、第３差分値が、比較例１において０．５０７μｍであり、比較例２において０．３５３μｍであり、比較例３において０．１９１μｍであることが認められた。
　また、第１絶対値が、実施例１において０．０６９μｍであり、実施例２において０．０１２μｍであり、実施例３において０．０５７μｍであり、実施例４において０．０７７μｍであることが認められた。また、第１絶対値が、実施例５において０．０６８μｍであり、実施例６において０．１１０μｍであり、実施例７において０．１１２μｍであり、実施例８において０．１１１μｍであることが認められた。また、第１絶対値が、比較例１において０．５０７μｍであり、比較例２において０．３５３μｍであり、比較例３において０．１９１μｍであることが認められた。
　このように、実施例１から実施例８の測定用金属箔３０では、第１絶対値が０．１５μｍ以下である一方で、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０では、第１絶対値が０．１５μｍよりも大きいことが認められた。詳細には、実施例１から実施例８の測定用金属箔３０では、第１絶対値が０．０１２μｍ以上０．１１２μｍ以下である一方で、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０では、第１絶対値が０．１９１μｍ以上０．５０７μｍ以下であることが認められた。また、実施例１、実施例３から実施例８の測定用金属箔３０、および、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０では、第１標準偏差が第２標準偏差よりも大きい一方で、実施例２では、第１標準偏差が第２標準偏差よりも小さいことが認められた。
　また、第１分散は、実施例１において０．０９８μｍ２であり、実施例２において０．０８５μｍ２であり、実施例３において０．１５１μｍ２であり、実施例４において０．０６８μｍ２であることが認められた。第１分散は、実施例５において０．２６６μｍ２であり、実施例６において０．１７７μｍ２であり、実施例７において０．２８３μｍ２であり、実施例８において０．２７４μｍ２であることが認められた。第１分散は、比較例１において０．５８７μｍ２であり、比較例２において０．３２６μｍ２であり、比較例３において０．２４８μｍ２であることが認められた。
　第２分散は、実施例１において０．０５９μｍ２であり、実施例２において０．０９２μｍ２であり、実施例３において０．１１０μｍ２であり、実施例４において０．０３４μｍ２であることが認められた。第２分散は、実施例５において０．２００μｍ２であり、実施例６において０．０９６μｍ２であり、実施例７において０．１７６μｍ２であり、実施例８において０．１７０μｍ２であることが認められた。第２分散は、比較例１において０．０６７μｍ２であり、比較例２において０．０４８μｍ２であり、比較例３において０．０９５μｍ２であることが認められた。
　これにより、第４差分値が、実施例１において０．０３９μｍ２であり、実施例２において－０．００７μｍ２であり、実施例３において０．０４１μｍ２であり、実施例４において０．０３４μｍ２であることが認められた。第４差分値が、実施例５において０．０６６μｍ２であり、実施例６において０．０８１μｍ２であり、実施例７において０．１０７μｍ２であり、実施例８において０．１０４μｍ２であることが認められた。また、第４差分値が、比較例１において０．５２０μｍ２であり、比較例２において０．２７８μｍ２であり、比較例３において０．１５４μｍ２であることが認められた。
　また、第２絶対値は、実施例１において０．０３９μｍ２であり、実施例２において０．００７μｍ２であり、実施例３において０．０４１μｍ２であり、実施例４において０．０３４μｍ２であることが認められた。第２絶対値が、実施例５において０．０６６μｍ２であり、実施例６において０．０８１μｍ２であり、実施例７において０．１０７μｍ２であり、実施例８において０．１０４μｍ２であることが認められた。また、第２絶対値が、比較例１において０．５２０μｍ２であり、比較例２において０．２７８μｍ２であり、比較例３において０．１５４μｍ２であることが認められた。このように、実施例１から実施例８の測定用金属箔３０において、第２絶対値が０．１５μｍ２以下である一方で、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０において、第２絶対値が０．１５μｍ２よりも大きいことが認められた。詳細には、実施例１から実施例８の測定用金属箔３０では、第２絶対値が０．００７μｍ２以上０．１０７μｍ２以下である一方で、比較例１から比較例３の測定用金属箔３０での第２絶対値が０．１５４μｍ２以上０．５２０μｍ２以下であることが認められた。
　また、第３絶対値は、実施例１において０．２μｍであり、実施例２において０μｍであり、実施例３において０．３μｍであり、実施例４において０．３μｍであることが認められた。また、第３絶対値は、実施例５において０．５μｍであり、実施例６において０．４μｍであり、実施例７において０．２μｍであり、実施例８において０．４μｍであることが認められた。また、第３絶対値は、比較例１において１．６μｍであり、比較例２において１．２μｍであり、比較例３において０．９μｍであることが認められた。
　また、第４絶対値は、実施例１において０μｍであり、実施例２において０μｍであり、実施例３において０．４μｍであり、実施例４において０μｍであることが認められた。第４絶対値は、実施例５において０．８μｍであり、実施例６において０．５μｍであり、実施例７において０．４μｍであり、実施例８において０．６μｍであることが認められた。第４絶対値は、比較例１において１．５μｍであり、比較例２において１．１μｍであり、比較例３において０．９μｍであることが認められた。
　一方、ばね幅における差分値は、実施例１において８．４μｍであり、実施例２において８．４μｍであり、実施例３において８．２μｍであり、実施例４において７．０μｍであることが認められた。また、ばね幅における差分値は、実施例５において７．５μｍであり、実施例６において９．１μｍであり、実施例７において８．４μｍであり、実施例８において９．７μｍであることが認められた。また、ばね幅における差分値は、比較例１において１２．５μｍであり、比較例２において１３．７μｍであり、比較例３において１４．３μｍであることが認められた。
　また、第１規格値は、実施例１において２７．９％であり、実施例２において２８．０％であり、実施例３において２７．４％であり、実施例４において２３．１％であることが認められた。また、第１規格値は、実施例５において２４．９％であり、実施例６において３０．３％であり、実施例７において２８．１％であり、実施例８において３２．３％であることが認められた。第１規格値は、比較例１において４１．６％であり、比較例２において４５．６％であり、比較例３において４７．５％であることが認められた。
　ばね幅の標準偏差は、実施例１において２．０μｍであり、実施例２において１．７μｍであり、実施例３において１．９μｍであり、実施例４において１．４μｍであることが認められた。ばね幅の標準偏差は、実施例５において１．４μｍであり、実施例６において１．９μｍであり、実施例７において２．０μｍであり、実施例８において２．１μｍであることが認められた。ばね幅の標準偏差は、比較例１において２．５μｍであり、比較例２において２．６μｍであり、比較例３において２．６μｍであることが認められた。
　第２規格値は、実施例１において６．６％であり、実施例２において５．７％であり、実施例３において６．３％であり、実施例４において４．７％であることが認められた。第２規格値は、実施例５において４．７％であり、実施例６において６．３％であり、実施例７において６．６％であり、実施例８において７．１％であることが認められた。第２規格値は、比較例１において８．２％であり、比較例２において８．５％であり、比較例３において８．５％であることが認められた。
　ばね幅の平均値に対する３σの百分率は、実施例１において１７．８％であり、実施例２において１６．０％であり、実施例３において１８．３％であり、実施例４において１３．０％であることが認められた。ばね幅の平均値に対する３σの百分率は、実施例５において１３．０％であり、実施例６において１８．１％であり、実施例７において１８．３％であり、実施例８において１８．８％であることが認められた。ばね幅の平均値に対する３σの百分率は、比較例１において２４．８％であり、比較例２において２６．４％であり、比較例３において２２．０％であることが認められた。
　ばね幅の分散は、実施例１において３．９μｍ２であり、実施例２において２．９μｍ２であり、実施例３において３．６μｍ２であり、実施例４において２．０μｍ２であることが認められた。ばね幅の分散は、実施例５において２．０μｍ２であり、実施例６において３．６μｍ２であり、実施例７において４．０μｍ２であり、実施例８において４．５μｍ２であることが認められた。ばね幅の分散は、比較例１において６．０μｍ２であり、比較例２において６．５μｍ２であり、比較例３において６．６μｍ２であることが認められた。
　このように、実施例１から実施例８のばね部材用金属箔では、比較例１から比較例３のばね部材用金属箔に比べて、第１規格値、標準偏差、第２規格値、平均値に対する３σの百分率、および、分散の全てが小さいことが認められた。そのため、実施例１から実施例８のばね部材用金属箔によれば、比較例１から比較例３のばね部材用金属箔に比べて、厚さ方向におけるばね幅のばらつきが抑えられているといえる。
　図１３は、第１絶対値と、ばね幅の差分値と関係を示すグラフである。
　図１３が示すように、第１絶対値が０．１５μｍ以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第１絶対値が０．１５μｍよりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第１絶対値では、０．１５μｍを境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
　図１４は、第４絶対値と、ばね幅の差分値との関係を示すグラフである。
　図１４が示すように、第４絶対値が０．８μｍ以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第４絶対値が０．８μｍよりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第４絶対値では、０．８μｍを境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
　図１５は、第２絶対値と、ばね幅の差分値との関係を示すグラフである。
　図１５が示すように、第２絶対値が０．１５μｍ２以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第２絶対値が０．１５μｍ２よりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第２絶対値では、０．１５μｍ２を境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
　図１６は、第３絶対値と、ばね幅の差分値との関係を示すグラフである。
　図１６が示すように、第３絶対値が０．８μｍ以下である場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、６．０μｍ以上１０．０μｍ以下の範囲内に含まれることが認められた。これに対して、第３絶対値が０．８μｍよりも大きい場合には、エッチングパターンのばね幅における差分値が、１２μｍを超えることが認められた。このように、第３絶対値では、０．８μｍを境界としてエッチングパターンのばね幅におけるばらつきが大きく異なることが認められた。
　以上説明したように、ばね部材用金属箔、ばね部材用金属箔の製造方法、および、電子機器用ばね部材における一実施形態によれば、以下に記載の効果を得ることができる。
　（１）金属箔１０が条件１を満たすから、金属箔１０における厚さのばらつきが抑えられる。そのため、金属箔１０のウェットエッチングによって形成されたばね部材２０において、厚さ方向でのばね幅のばらつきが抑えられる。
　（２）金属箔１０が条件２から条件５の少なくとも１つを満たすから、金属箔１０における厚さのばらつきが抑えられる。そのため、金属箔１０のウェットエッチングによって形成されたばね部材２０の厚さ方向において幅のばらつきが抑えられる。
　（３）金属箔１０が高い硬度を有することが可能であるから、金属箔１０から形成されたばね部材２０の耐久性を高めることが可能である。

Claims (51)

  1. 　ばね部材を製造するためのばね部材用金属箔であって、
    　一辺の長さが３００ｍｍである正方形状を有し、前記ばね部材が形成されるための第１領域を備え、
    　前記第１領域において、
    　圧延方向における厚さの標準偏差から、前記圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値が第１最大値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値が第２最大値であり、前記第１最大値から前記第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　ばね部材用金属箔。
  2. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  3. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  4. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  5. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  6. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  7. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  8. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  9. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  10. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  11. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  12. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  13. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  14. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  15. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  16. 　前記第１領域において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項１に記載のばね部材用金属箔。
  17. 　前記ばね部材用金属箔は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含む
    　請求項１から１６のいずれか一項に記載のばね部材用金属箔。
  18. 　ばね部材を製造するためのばね部材用金属箔の製造方法であって、
    　母材を圧延することと、
    　前記母材の圧延によって得られた圧延材を複数準備した後、前記複数の圧延材から前記ばね部材用金属箔を選別することと、を含み、
    　前記圧延材において、一辺の長さが３００ｍｍである正方形状を有し、前記ばね部材が形成されるための領域が第１領域であり、
    　前記第１領域において、圧延方向における厚さの最大値が第１最大値であり、前記圧延方向に直交する幅方向における厚さの最大値が第２最大値であり、
    　前記ばね部材用金属箔を選別することでは、前記複数の圧延材から、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が０．１５μｍ以下であり、かつ、前記第１最大値から前記第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である前記圧延材を前記ばね部材用金属箔として選別する
    　ばね部材用金属箔の製造方法。
  19. 　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であることをさらに含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  20. 　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  21. 　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  22. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  23. 　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であること、および、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  24. 　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であること、および、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  25. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であること、および、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  26. 　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であること、および、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  27. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であること、および、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  28. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であること、および、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  29. 　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であること、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であること、および、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  30. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であること、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であること、および、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  31. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であること、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であること、および、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  32. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であること、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であること、および、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  33. 　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記ばね部材用金属箔を選別することは、
    　前記ばね部材用金属箔を選別する条件に、前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であること、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であること、
    　前記第１領域において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であること、および、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下であることを含む
    　請求項１８に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  34. 　前記ばね部材用金属箔は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含む
    　請求項１８から３３のいずれか一項に記載のばね部材用金属箔の製造方法。
  35. 　ばね部材用金属箔を用いた電子機器用ばね部材であって、
    　前記ばね部材用金属箔の圧延方向における厚さの標準偏差から、前記圧延方向に直交する幅方向における厚さの標準偏差を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの最大値が第１最大値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値が第２最大値であり、前記第１最大値から前記第２最大値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　電子機器用ばね部材。
  36. 　前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  37. 　前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  38. 　前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  39. 　前記ばね部材用金属箔において、前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  40. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  41. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  42. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  43. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  44. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  45. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  46. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  47. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  48. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ２以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  49. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  50. 　前記ばね部材用金属箔において、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値の絶対値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの前記標準偏差から、前記幅方向における前記厚さの前記標準偏差を減算した差分値が、０．１５μｍ以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの分散から、前記幅方向における前記厚さの分散を減算した差分値が、０．１５μｍ２以下であり、
    　前記圧延方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第１差分値であり、前記幅方向における前記厚さの最大値から最小値を減算した差分値が第２差分値であり、
    　前記第１差分値から前記第２差分値を減算した差分値の絶対値が、０．８μｍ以下である
    　請求項３５に記載の電子機器用ばね部材。
  51. 　前記ばね部材用金属箔は、ステンレス合金、ベリリウム銅、ニッケル錫銅、リン青銅、コルソン合金、および、チタン銅から構成される群から選択されるいずれかを含む
    　請求項３５から５０のいずれか一項に記載の電子機器用ばね部材。
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