JP2014053594A - スルーホールの電気めっき方法及び電気めっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スルーホールの内部に均一な厚さの金属膜を形成することでスルーホールの径を実質的に小さくする第1段めっき、順方向電流と逆方向電流を交互に繰返すPRパルス電流であって、順方向電流値を第1段めっきで金属析出に使用されるめっき電流の電流値よりも小さくしたPRパルス電流を使用して、スルーホールの内部に形成される金属膜でスルーホールの中央部を閉塞させる第2段めっき、及び第2段めっきに使用されるPRパルスの順方向電流値と同じかそれよりも金属析出に使用されるめっき電流の電流値を上げて、金属膜のスルーホール内への埋込みを完了させる第3段めっきを連続して行う。
【選択図】図20
Description
また、本発明は、スルーホールの直径が30μm〜100μmと比較的小さい場合も、パルス電流の条件を制御することで内部にボイドのない金属膜をスルーホールの内部に確実に埋込むことができるようにしたスルーホールの電気めっき方法及び電気めっき装置を提供することを目的とする。
このように、PRパルス電流を使用して第1段めっきを行うことで、金属析出速度が等しい直流電流を使用して第1段めっきを行った場合と比較して、スルーホールの開口部を含むスルーホールの内部、および基板フィールド部に、より均一な膜厚の金属膜を形成することができる。
これによって、第2段めっきで形成される金属膜の内部にボイドが発生することを防止できる。
本発明の好ましい一態様において、前記スルーホールの直径が30μm〜100μmの範囲内にある場合は、前記第2段めっきは、逆方向電流値の順方向電流値に対する比が15よりも大きく、50よりも小さいPRパルス電流を使用して行われる。
本発明の好ましい一態様において、前記第3段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すPRパルス電流であって、逆方向電流値の順方向電流値に対する比が15よりも大きく、50よりも小さいPRパルス電流を使用して行われる。
本発明の好ましい一態様において、前記第3段めっきに使用されるPRパルス電流の逆方向電流値は、前記第2段めっきで使用されるPRパルス電流の逆方向電流値よりも小さい。
11,12 保持部材
19,20 シールリング
50 電気めっき装置
51 めっき槽
52 不溶性アノード
53 めっき電源
58 アノードホルダ
59 制御部
62 攪拌パドル
76 アノードマスク
80 隔膜
100a スルーホール
106a,106b,106c 金属膜
Claims (12)
- スルーホールを有する基板をめっき液中に浸漬させ、
基板の表面と該表面と対向する位置にめっき液中に配置されるアノードとの間、及び基板の裏面と該裏面と対向する位置にめっき液中に配置されるアノードとの間にめっき電流を供給して、第1段めっき、第2段めっき、及び第3段めっきを連続して行うスルーホールの電気めっき方法であって、
前記第1段めっきは、スルーホールの内部に均一な厚さの金属膜を形成することでスルーホールの径を小さくするめっきであり、
前記第2段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すPRパルス電流であって、順方向電流値を前記第1段めっきで金属析出に使用されるめっき電流の電流値よりも小さくしたPRパルス電流を使用して、スルーホールの内部に形成される金属膜でスルーホールの中央部を閉塞させるめっきであり、
前記第3段めっきは、前記第2段めっきに使用されるPRパルスの順方向電流値と同じかそれよりもめっき電流の値を上げて、金属膜のスルーホール内への埋込みを完了させるめっきであることを特徴とするスルーホールの電気めっき方法。 - 前記第1段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すPRパルス電流を使用して行われることを特徴とする請求項1に記載のスルーホールの電気めっき方法。
- 前記第2段めっきに使用されるPRパルス電流の逆方向電流持続時間は、前記第1段めっきに使用されるPRパルス電流の逆方向電流持続時間よりも長いことを特徴とする請求項2に記載のスルーホールの電気めっき方法。
- 前記第3段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すPRパルス電流であって、順方向電流値が前記第2段めっきに使用されるPRパルス電流の順方向電流値と同じかそれよりも大きいPRパルス電流を使用して行われることを特徴とする請求項1に記載のスルーホールの電気めっき方法。
- 前記第2段めっきに使用されるPRパルス電流の順方向電流持続時間の逆方向電流持続時間に対する比は、75よりも大きく、120よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載のスルーホールの電気めっき方法。
- 前記第2段めっきに使用されるPRめっき電流の逆方向電流持続時間は、0.5msecより長く、10msecより短いことを特徴とする請求項1に記載のスルーホールの電気めっき方法。
- 前記スルーホールの直径が30μm〜100μmの範囲内にある場合は、前記第2段めっきは、逆方向電流値の順方向電流値に対する比が15よりも大きく、50よりも小さいPRパルス電流を使用して行われることを特徴とする請求項1に記載のスルーホールの電気めっき方法。
- 前記第3段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すPRパルス電流であって、逆方向電流値の順方向電流値に対する比が4よりも大きく、15よりも小さいPRパルス電流を使用して行われることを特徴とする請求項1に記載のスルーホールの電気めっき方法。
- 前記第3段めっきは、金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すPRパルス電流であって、逆方向電流値の順方向電流値に対する比が15よりも大きく、50よりも小さいPRパルス電流を使用して行われることを特徴とする請求項1に記載のスルーホールの電気めっき方法。
- 前記第3段めっきに使用されるPRパルス電流の逆方向電流値は、前記第2段めっきで使用されるPRパルス電流の逆方向電流値よりも小さいことを請求項9に記載のスルーホールの電気めっき方法。
- 基板の表面と該表面と対向する位置に配置されるアノードとの間、及び基板の裏面と該裏面と対向する位置に配置されるアノードとの間にパドルをそれぞれ配置し、前記パドルを1.3m/sec以上2.6m/sec以下の最大線速度で往復運動させてめっき液を攪拌することを特徴とする請求項1に記載にスルーホールの電気めっき方法。
- めっき液を内部に保持するめっき槽と、
スルーホールを有する基板を該基板の表裏両面を露出させて保持し前記めっき槽内のめっき液に浸漬させる基板ホルダと、
前記めっき液中に浸漬された前記基板の表裏両面にそれぞれ対向して配置される一対のアノードと、
めっき電流の流れる方向及び電流値を変更可能で、基板の表面と該表面に対向して配置される一方のアノード、及び基板の裏面と該裏面に対向して配置される他方のアノードと間にめっき電流を供給するめっき電源と、
前記めっき電源を制御する制御部を有し、
前記制御部は、
スルーホールの内部に均一な厚さの金属膜を形成することでスルーホールの径を実質的に小さくする第1段めっき、
金属析出に使用される順方向電流と金属溶解に使用される逆方向電流を交互に繰返すPRパルス電流であって、順方向電流値を前記第1段めっきで金属析出に使用されるめっき電流の電流値よりも小さくしたPRパルス電流を使用して、スルーホールの内部に形成される金属膜でスルーホールの中央部を閉塞させる第2段めっき、及び
前記第2段めっきに使用されるPRパルスの順方向電流値と同じかそれよりも金属析出に使用されるめっき電流の電流値を上げて、金属膜のスルーホール内への埋込みを完了させる第3段めっきを順次行うように前記めっき電源を制御することを特徴とするスルーホールの電気めっき装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015200029A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-11-12 | 株式会社荏原製作所 | めっき方法およびめっき装置 |
JP2016104905A (ja) * | 2014-10-13 | 2016-06-09 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | 貫通孔の充填 |
KR20170104757A (ko) * | 2016-03-08 | 2017-09-18 | 주식회사 아모센스 | 세라믹 기판의 비아홀 충진 방법 및 이를 이용하여 충진된 세라믹 기판의 비아홀 충진체 |
WO2018047908A1 (ja) * | 2016-09-08 | 2018-03-15 | 株式会社荏原製作所 | 基板ホルダ、めっき装置、基板ホルダの製造方法、及び基板を保持する方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI584881B (zh) * | 2014-08-01 | 2017-06-01 | 心誠鎂行動醫電股份有限公司 | 液體霧化電路及其裝置 |
JP6585434B2 (ja) * | 2014-10-06 | 2019-10-02 | 株式会社荏原製作所 | めっき方法 |
EP3029178A1 (en) * | 2014-12-05 | 2016-06-08 | ATOTECH Deutschland GmbH | Method and apparatus for electroplating a metal onto a substrate |
US10074594B2 (en) * | 2015-04-17 | 2018-09-11 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Semiconductor structure and manufacturing method thereof |
US10856424B2 (en) * | 2015-09-25 | 2020-12-01 | Intel Corporation | Electronic assembly that includes void free holes |
CN108793054B (zh) * | 2018-07-05 | 2023-11-07 | 南京工业职业技术学院 | 一种基于双向脉冲电源的微纳米电极制备装置及制备方法 |
CN111511105A (zh) * | 2019-01-31 | 2020-08-07 | 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 | 具有用额外镀覆结构和桥结构填充的通孔的部件承载件 |
KR20210088227A (ko) | 2020-01-06 | 2021-07-14 | 삼성전기주식회사 | 인쇄회로기판 |
CN113629006B (zh) * | 2021-07-26 | 2024-04-23 | 长江存储科技有限责任公司 | 形成铜结构的方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030010642A1 (en) * | 1999-10-15 | 2003-01-16 | Taylor E. Jennings | Sequential electrodeposition of metals using modulated electric fields for manufacture of circuit boards having features of different sizes |
JP2007180359A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Shinko Electric Ind Co Ltd | スルーホールの充填方法 |
JP2010018841A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Ebara Corp | 磁性体膜めっき装置及びめっき方法 |
JP2012136765A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Ebara Corp | 電気めっき方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002121699A (ja) * | 2000-05-25 | 2002-04-26 | Nippon Techno Kk | めっき浴の振動流動とパルス状めっき電流との組み合わせを用いた電気めっき方法 |
JP4248353B2 (ja) | 2003-09-19 | 2009-04-02 | 新光電気工業株式会社 | スルーホールの充填方法 |
DE102004045451B4 (de) | 2004-09-20 | 2007-05-03 | Atotech Deutschland Gmbh | Galvanisches Verfahren zum Füllen von Durchgangslöchern mit Metallen, insbesondere von Leiterplatten mit Kupfer |
KR100632552B1 (ko) | 2004-12-30 | 2006-10-11 | 삼성전기주식회사 | 내부 비아홀의 필 도금 구조 및 그 제조 방법 |
-
2013
- 2013-07-29 JP JP2013156314A patent/JP5980735B2/ja active Active
- 2013-08-06 TW TW102128085A patent/TWI580328B/zh active
- 2013-08-06 KR KR1020130092950A patent/KR101653438B1/ko active IP Right Grant
- 2013-08-06 US US13/959,811 patent/US9297088B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20030010642A1 (en) * | 1999-10-15 | 2003-01-16 | Taylor E. Jennings | Sequential electrodeposition of metals using modulated electric fields for manufacture of circuit boards having features of different sizes |
JP2007180359A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Shinko Electric Ind Co Ltd | スルーホールの充填方法 |
JP2010018841A (ja) * | 2008-07-10 | 2010-01-28 | Ebara Corp | 磁性体膜めっき装置及びめっき方法 |
JP2012136765A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Ebara Corp | 電気めっき方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015200029A (ja) * | 2014-01-17 | 2015-11-12 | 株式会社荏原製作所 | めっき方法およびめっき装置 |
JP2016104905A (ja) * | 2014-10-13 | 2016-06-09 | ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC | 貫通孔の充填 |
KR20170104757A (ko) * | 2016-03-08 | 2017-09-18 | 주식회사 아모센스 | 세라믹 기판의 비아홀 충진 방법 및 이를 이용하여 충진된 세라믹 기판의 비아홀 충진체 |
KR102504238B1 (ko) * | 2016-03-08 | 2023-03-02 | 주식회사 아모센스 | 세라믹 기판의 비아홀 충진 방법 |
WO2018047908A1 (ja) * | 2016-09-08 | 2018-03-15 | 株式会社荏原製作所 | 基板ホルダ、めっき装置、基板ホルダの製造方法、及び基板を保持する方法 |
US11384447B2 (en) | 2016-09-08 | 2022-07-12 | Ebara Corporation | Substrate holder, plating apparatus, method for manufacturing substrate holder, and method for holding substrate |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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