JP2014045037A - 金属膜の成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の金属膜の成膜方法は、成膜対象物をその表面にシリコン層を有するものとし、成膜対象物を処理室に配置して加熱し、この成膜対象物の昇温過程にて処理室内に還元ガスを導入してシリコン層表面に還元ガスの分子を吸着させる第1工程と、成膜対象物が所定温度に加熱されると、処理室内に還元ガスと金属前駆体とを導入し、シリコン層表面に金属核を形成し、金属核を成長させて金属膜とする第2工程とを含む。
【選択図】図3
Description
Claims (2)
- 成膜対象物をその表面にシリコン層を有するものとし、
成膜対象物を処理室に配置して加熱し、この成膜対象物の昇温過程にて処理室内に還元ガスを導入してシリコン層表面に還元ガスの分子を吸着させる第1工程と、
成膜対象物が所定温度に加熱されると、処理室内に還元ガスと金属前駆体とを導入し、シリコン層表面に金属核を形成し、この金属核を成長させて金属膜とする第2工程とを含むことを特徴とする金属膜の成膜方法。 - 前記第1工程の還元ガスとしてアンモニアガスを用い、第2工程の還元ガスとして、アンモニアと水素ガスとを用いることを特徴とする請求項1記載の金属膜の成膜方法。
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