JP2014040315A - 搬送装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】消費電力の増加を伴わずに、ワークと突出部との摩擦力を高め、ワークを安定して搬送する。
【解決手段】搬送装置は、複数の回転体と、ワークWを接触支持する複数の突出部110cを有し複数の回転体によって無端状に張架されワークを搬送するベルト110bと、を有し、ベルトが搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部110と、搬送部によって搬送されるワークと対向する対向面114aを有する対向部114bと、少なくとも縁の一部が対向部によって形成される開口部114cと、開口部から連通する連通路と、連通路内を減圧し、開口部を通じて突出部近傍の気体を吸引する減圧部116と、を備える。
【選択図】図2

Description

本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に関する。
従来、板ガラス等の薄板状のワークの搬送には、ワークを搬送する際の接触面積を抑制した空気浮上型の搬送装置が用いられる。例えば、搬送装置がローラコンベアの場合、ワークに空気を吹き付けて浮上させつつ、ワークの搬送方向に垂直な幅方向(以下、単に幅方向と称す)の両端をそれぞれ対向するローラに載せて、ローラを回転させることでワークを搬送する(例えば、特許文献1)。
このとき、ワークがローラから滑り落ちないように、空気を吸引する吸引ユニットが、ローラの対向方向の内側に間隔を空けて配される。吸引ユニットは、ワークの鉛直下方から吸引力を作用させることで、ワークとローラとの摩擦力を高めている。
また、ベルトコンベアの一種であって、ワークへの接触面積をより小さくするため、コンベアのベルトから突出するピン(突出部)を設け、ピンの先端部のみをワークに接触させて、ワークを支持および搬送する、所謂ピンアップコンベアが知られている。特に、ピンアップコンベアは、ワークとの接触面積を小さくできるものの、ワークとピンの先端部との摩擦力が弱くなる。そこで、特許文献1に記載の吸引ユニットを、ピンアップコンベアの対向方向の内側に設けることも想定される。
特開2008−260591号公報
ところで、ワークの厚みや材質によっては、ワークの自重が大きく、ワークの慣性力が大きくなる。そのため、上述したピンアップコンベアの場合、ワークを搬送する加減速時において、ワークが突出部から滑って、ベルトとの相対位置がずれてしまうおそれがある。
そこで、吸引ユニットの吸引力を高めれば、突出部とワークとの摩擦力を高めて、ワークの滑動を抑止できるが、単に、吸引ユニットを構成するファンなどの機器の出力を高めるだけでは、消費電力が不要に増加してしまう。
本発明の目的は、消費電力の増加を伴わずに、ワークと突出部との摩擦力を高め、ワークを安定して搬送することが可能な搬送装置を提供することである。
上記課題を解決するために、本発明の搬送装置は、複数の回転体と、ワークを接触支持する複数の突出部を有し複数の回転体によって無端状に張架されワークを搬送するベルトと、を有し、ベルトが搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、搬送部によって搬送されるワークと対向する対向面を有する対向部と、少なくとも縁の一部が対向部によって形成される開口部と、開口部から連通する連通路と、連通路内を減圧し、開口部を通じて突出部近傍の気体を吸引する減圧部と、を備えることを特徴とする。
対向面は、搬送部によって搬送されるワークと平行に形成されてもよい。
対向面は、複数の搬送部の対向方向の中心側が鉛直下方に撓むワークの想定される傾きに沿って水平方向に対し傾斜していてもよい。
対向面の水平方向に対する傾斜角を調整する角度調整部をさらに備えてもよい。
対向面の端部には、開口部から離れるほど、ワークからの距離が漸増する漸増部が形成されていてもよい。
ベルトの搬送方向に移動する搬送部位および搬送方向の逆方向に移動する非搬送部位のいずれも覆うカバー部をさらに備え、対向部は、カバー部の一部であって、減圧部は、連通路を形成するカバー部の内部を減圧してもよい。
ベルトのうち、少なくとも側面および鉛直下面を覆うカバー部をさらに備え、減圧部は、連通路としてカバー部の内部を減圧し、対向部は、カバー部の側壁から対向する側壁の対向方向の逆側に突出してもよい。
本発明によれば、消費電力の増加を伴わずに、ワークと突出部との摩擦力を高め、ワークを安定して搬送することができる。
搬送装置の構造を説明するための説明図である。 カバー部および減圧部の構造を説明するための説明図である。 ワークに対する吸引効果を説明するための説明図である。 変形例を説明するための説明図である。 他の変形例を説明するための説明図である。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。かかる実施形態に示す寸法、材料、その他具体的な数値等は、発明の理解を容易とするための例示にすぎず、特に断る場合を除き、本発明を限定するものではない。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能、構成を有する要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略し、また本発明に直接関係のない要素は図示を省略する。
本実施形態の搬送装置は、薄板状のワークを搬送するものであり、ここでは、ガラス板をワークとして搬送する搬送装置について説明する。
図1は、搬送装置100の構造を説明するための説明図である。特に、図1(a)は、搬送装置100の上面図を示し、図1(b)は、搬送装置100の正面図を示し、図1(c)は、搬送装置100の側面図を示す。ただし、図1においては、説明の便宜上、後述するカバー部114を破線で示し、搬送方向の長さを短く示している。
搬送装置100は、搬送部110と、浮上部112と、カバー部114と、減圧部116とを含んで構成される。
また、搬送部110は、回転体110aと、ベルト110bと、突出部110cと、を含んで構成される。
回転体110aは、中央に貫通孔を有する環状部材であって、搬送方向に複数(本実施形態では2つ)配置される。また、回転体110aは、水平かつ搬送方向に垂直な方向に対向して複数(本実施形態では2つ)配置され、シャフト110dの一端に固定されてシャフト110dと一体となって回転する。回転体110aの回転軸は、水平かつ搬送方向に垂直となる。
ベース102は、搬送装置100の土台である。支持脚104は、搬送方向の上流側と下流側にそれぞれ2本ずつ、ベース102に直立して固定されている。また、ベース102には、搬送方向の上流側にモータ等の駆動装置110eが配置されている。この駆動装置110eのシャフトには、軸継手110fを介してシャフト110gが連結され、シャフト110gに駆動装置110eの回転力が伝達される。
支持脚104の下部には貫通孔104aが設けられており、シャフト110gは、対向する貫通孔104aの両方に挿通され、貫通孔104aの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
また、シャフト110gには、プーリ110hが取り付けられており、プーリ110hは、シャフト110gと一体となって回転する。
そして、支持脚104の上部にも貫通孔104bが設けられている。シャフト110dは、この貫通孔104bの内周面に設けられたベアリングを介して回転自在に軸支される。
搬送方向の上流側に配された2本のシャフト110dのうち、回転体110aが固定された一端と反対側の他端には、プーリ110iが取り付けられている。ベルト110jは、鉛直上方に位置するプーリ110iと鉛直下方に位置するプーリ110hによって無端状に張架され、プーリ110hの回転力をプーリ110iに伝達する。
そして、プーリ110iの回転に伴い、シャフト110dと回転体110aが一体回転する。
回転体110aには、このような機構によって駆動装置110eの回転力が伝達される。ここでは、1つの駆動装置110eが回転体110aを回転させる構成を例に挙げたが、例えば、複数の駆動装置110eが同期して回転体110aを回転させるとしてもよい。また、ここでは、プーリ110h、110iが、回転体110aの対向方向の内側に配される構成を例に挙げたが、回転体110aの対向方向の外側に配されてもよい。
ベルト110bは、複数の回転体110aによって無端状に張架されて、回転体110aの回転に伴って、図1(c)に示す白抜き矢印Yの方向に回転する。図1(a)に示すように、ベルト110bは、搬送方向に平行に、複数(本実施形態では2つ)対向配置される。また、ベルト110bは、複数の突出部110cを有する。
突出部110cは、例えば樹脂等で構成され、ベルト110bの表面に搬送方向に沿って複数配されてワークを接触支持する。
搬送部110は、ベルト110bが図1(c)に示す白抜き矢印Yの方向へ回転することで、突出部110cに接触支持されたワークを図1(a)に示す白抜き矢印Xの方向に搬送する。
浮上部112は、例えば、圧縮空気を噴出する噴出装置等で構成され、搬送方向に平行に配置された複数の搬送部110間のベース102上に配された浮上台112aに載置されている。浮上部112は、長手方向を搬送方向に沿わせて、かつ、短手方向に複数(本実施形態では3つ)、並置されている。そして、浮上部112は、鉛直上方への気体の流れを生じさせ、ワークの一部を浮上させる。
具体的には、ワークを突出部110cで接触支持した状態で、浮上部112が気体(圧縮空気)を噴出して鉛直上方への気体の流れを生じさせると、浮上部112とワークの間の空気の圧力が高まる。ワークは、搬送中、この空気の圧力による鉛直上方への力と、ワークの自重に対する突出部110cからの反力で支持されることとなる。
このとき、浮上部112は、ワークを支持する空気の圧力として、圧縮空気の噴出方向の動圧ではなく、ワークの下方の空間が狭く四方に分散しようとする空気の動きが抑制された結果生じる静圧を利用するため、少ない出力でワークを支持可能となる。
図2は、カバー部114および減圧部116の構造を説明するための説明図であり、ワークWの搬送時における搬送装置100について、図1(b)中、右側の搬送部110、カバー部114、および、減圧部116を図1(b)と同じ向きから捉えた図を示す。ただし、理解を容易とするため、カバー部114と、減圧部116の筐体を断面図で示し、搬送部110を正面図で示す。
カバー部114は、2つの搬送部110それぞれに設けられ、ベルト110b全体を囲繞する覆いである。ここで、ベルト110b全体には、図1(b)に示すように、ベルト110bのうち、鉛直上側であって、搬送方向に移動する搬送部位Aと、鉛直下側であって、搬送方向の逆方向に移動する非搬送部位Bのいずれも含むものとする。
また、カバー部114のうち、鉛直上側の壁部は、搬送部110によって搬送されるワークWと対向する対向面114aを有する対向部114bとなる。すなわち、対向部114bは、カバー部114の一部であって、対向面114aは、カバー部114の鉛直上側の端面である。
開口部114cは、対向部114bの対向面114aに形成された孔であって、開口部114cの縁は対向部114bによって形成される。また、開口部114cは、カバー部114の内部と外部とを連通する。開口部114cは、対向部114bに、搬送方向の突出部110cの移動軌跡に沿って、カバー部114が突出部110cと干渉しないように設けられている。
突出部110cは、開口部114cから鉛直上方に突出し、その先端が開口部114cより鉛直上方に位置している。そのため、突出部110cは、ワークWに接触可能となっている。
減圧部116は、ファン、ブロア、ポンプなどで構成され、カバー部114の鉛直下側の端面である下端114dに、搬送方向に亘って複数配される。そして、減圧部116は、カバー部114の下端114dに設けられた排出孔114eから、カバー部114の内部の空気を吸引して、カバー部114の内部の圧力を減圧する。そして、減圧部116は、開口部114cを通じて突出部110c近傍の空気(気体)を吸引する。ここで、カバー部114は、開口部114cから減圧部116まで連通する連通路となる。
図3は、ワークWに対する吸引効果を説明するための説明図である。図3(a)には、本実施形態の搬送部110、カバー部114、および、減圧部116を図2と同様に図示し、図3(b)には、比較例としての搬送部1、カバー部2、および、減圧部3を図2と同様に図示する。
また、図3(c)には、図3(a)中、左右方向の位置を横軸、ワークWに作用する負圧の絶対値の大きさを縦軸とするグラフを示し、図3(d)には、図3(b)中、左右方向の位置を横軸、ワークWに作用する負圧の絶対値の大きさを縦軸とするグラフを示す。
図3(b)に示すように、比較例においては、カバー部2には鉛直上側ほど先細りとなる傾斜部2aが設けられており、この傾斜部2aの先端に開口部2bが形成されている。この場合、図3(d)に示すように、ワークWに作用する負圧の絶対値は、開口部2bの中心位置(図3(d)中、破線aで示す)において最大となり、開口部2bから左右方向に離隔すると、カバー部2の側壁2cの位置(図3(d)中、破線bおよび破線cで示す)に至るまでに急峻に低下してしまう。
一方、本実施形態の対向部114bは、図3(a)に示すように、対向面114aが、搬送部110によって搬送されるワークWと平行に形成される。具体的に、対向面114aは、例えば、搬送されるワークWに対する傾斜角が例えば5度以内、望ましくは1度以内となっている。そのため、図3(a)中、左右方向に亘って、ワークWとの距離が大凡等しい。そして、開口部114cから空気が吸引されると、対向部114bとワークWとの間の流路fに空気が流れる。
この空気の流れは、流路fに流入するときに流路断面積が狭められることから、流路fに流入することで流速が速くなり、その速い流速を維持したまま開口部114cに吸引される。
その結果、ベルヌーイの定理に従って、流路f全長に亘って、流路fに流入する前よりも空気の圧力が低下する。こうして、図3(c)に示すように、流路fを形成するワークWに対し、開口部114cの中心位置(図3(c)中、破線aで示す)を含め、流路fの全長に亘って(図3(c)中、破線bから破線cまでの範囲に亘って)負圧が作用することとなる。
ここで、ワークWに作用する負圧によって、ワークWを鉛直下方に吸引する力の大きさは、例えば、図3(c)、(d)に示す負圧の積分値で評価できる。図3(c)、(d)を比較すると、図3(c)に示す本実施形態の方が、負圧の絶対値が大きい区間が長いことから、ワークWに対する吸引力が大きい。
このように、本実施形態の搬送装置100は、減圧部116の出力を上げるなどして消費電力を増加させることなく、ワークWに作用する吸引力を上昇させる。その結果、ワークWと突出部110cとの摩擦力を高めて、ワークWを安定して搬送することが可能となる。
また、開口部114cから突出部110cが突出しており、ワークWに対し、突出部110cを中心に吸引力が均等に作用することから、バランスよくワークWを吸引することが可能となると共に、開口部114cと突出部110cが近接しているため、ワークWに作用する曲げモーメントを抑え、吸引力によるワークWの変形を小さくできる。
また、上述したように、搬送部110は、カバー部114で覆われており、減圧部116が搬送部110の周囲の空気を吸引している。そのため、搬送装置100は、例えば、フィルタを設けるなどして、排気中に含まれるゴミを除去すれば、カバー部114の内部にある搬送部110に付着したゴミや搬送部110の周囲に浮いた埃などのゴミのワークWへの付着を抑制することが可能となる。
図4は、変形例を説明するための説明図であり、図4(a)〜図4(d)は、それぞれ、変形例1〜4の対向部についての図2と同じ位置の正面図を示す。以下、図4を参照しながら、変形例1〜4について詳述する。
(変形例1)
上述した実施形態では、ワークWの撓みがほとんどない場合に適した搬送装置100について説明した。変形例1においては、ワークWの板厚が薄く、2つの搬送部110における対向方向の中心側が鉛直下方に撓むものとする。そして、図4(a)に示すカバー部214のうち、鉛直上側の壁部は、搬送部110によって搬送されるワークWと対向する対向面214aを有する対向部214bとなり、鉛直下方に空気が吸引される開口部214cと連続している。
このとき、対向部214b、および、対向面214aは、図4(a)に示すように、水平方向に対して傾斜している。具体的には、ワークWのうち、対向面214aに対向する部位の傾斜角について、例えば、予め、ワークWの撓み曲線から導いておいたり、実際にワークWを搬送部110に設置して測定しておいたりする。そして、対向部214b、および、対向面214aを、その傾斜角に合わせて傾斜させる。
このように、対向面214aを想定されるワークWの傾きに沿って傾斜させることで、板厚が薄く撓みやすいワークWを搬送する場合に、対向面214aの水平方向に対する傾斜方向に亘って、対向面214aとワークWの離隔距離が大凡一定に保たれる。
そのため、流路fに流入して高速化した空気は、流速が速いまま開口部214cに吸引され、ワークWに対する吸引力が上昇することから、板厚が薄く撓みやすいワークWの安定搬送が可能となる。
(変形例2)
変形例1では、対向面214aが水平方向に対して傾斜する構成について説明した。変形例2では、例えば、複数のロットごとにワークWの板厚や材質が変更され、ワークWの撓み角が変化する場合にも、対応することができる構成について説明する。
変形例2において、搬送装置は、上述した実施形態の搬送装置100の構成に加え、図4(b)に示すように、角度調整部320をさらに備える。角度調整部320は、本体320aと、本体320aに固定されたシャフト320bと、を含んで構成される。
また、本体320aは、カバー部114の外壁に固定され、搬送部110と減圧部116は、カバー部114に一部が固定されている。すなわち、本体320a、搬送部110、カバー部114、および、減圧部116は、シャフト320bを回転中心として、図4(b)中、両矢印で示すいずれの方向にも、一体的に傾斜可能となっている。
さらに、上述した実施形態で説明した搬送部110を構成する構成部は、ベース102や支持脚104に固定されず、カバー部114を介して角度調整部320に支持される。そして、傾斜する際、傾斜する軌道上に障害が配されないように、カバー部114は、例えば、地面などから離隔している。
そして、シャフト320bは、不図示のモータによって、図4(b)中、両矢印で示すいずれの方向にも回転し、任意の回転位置で、固定部材や係合部材などで固定される。
このように、角度調整部320は、対向面114aの水平方向に対する傾斜角を調整する。そのため、ワークWの撓み角が変化する場合であっても、角度調整部320によって傾斜角を調整することで、ワークWと対向面114aを平行に保つことができる。こうして、流路fに流入する空気の流速が高速で維持され、ワークWに対する吸引力が上昇してワークWの安定搬送が可能となる。
(変形例3)
上述した実施形態では、空気の流速を高めることによってワークWに対する吸引力を上昇させる構成について説明した。変形例3では、空気の流速をさらに高速化して、ワークWに対する吸引力を上昇させることができる構成について説明する。
図4(c)に示すように、変形例3において、カバー部314のうち、鉛直上側の壁部は、搬送部110によって搬送されるワークWと対向する対向面314aを有する対向部314bとなり、鉛直下方に空気が吸引される開口部314cと連続している。そして、対向面314aの端部には、漸増部314fが形成されている。
漸増部314fは、開口部314cから離れるほど、ワークWからの距離が漸増する部位であって、例えば、カバー部314の内側に曲率中心が位置する曲面となる、所謂R(フィレット)形状となっている。
そのため、対向面314aによって、流路fの入り口近傍において、渦流などの空気の流れの乱れが生じにくく、圧力損失が抑制されて、空気の流速が高められることから、ワークWに対する吸引力が上昇してワークWの安定搬送が可能となる。
(変形例4)
上述した実施形態では、対向部114bがカバー部114の鉛直上側の壁部で構成される場合について説明した。変形例4では、対向部414bの対向面414aの面積を拡大して、ワークWに対する吸引力を上昇させることができる構成について説明する。
図4(d)に示すように、変形例4では、対向部414bは、ベルト110bのうち、少なくとも側面および鉛直下面を覆うカバー部414の一部であって、カバー部414のうち、鉛直上側の端部において、カバー部414の側壁414gから水平方向に突出する、所謂フランジ形状となっている。
そして、対向部414bのうち、搬送部110によって搬送されるワークWに対して対向する側が対向面414aとなる。また、カバー部414の側壁414gの鉛直上側であって、対向部414bの中心側に鉛直下方に空気が吸引される開口部414cが形成されている。対向部414bは、開口部414cと連続している。
このように、対向部414bを、側壁414gから突出して形成することで、対向面414aの面積を拡大して、ワークWに対する吸引力を上昇させ、ワークWの安定搬送が可能となる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
上述した実施形態では、対向面114aが搬送部110によって搬送されるワークWと平行に形成されている場合について説明したが、図5(a)に示す対向面514aのように、ワークWと平行ではなくワークWに対して傾斜した平面であってもよい。この場合、例えば、水平方向に対する傾斜角が5度以内であるとよい。また、5(b)に示す対向面614aのように、開口部114cを中心とするテーパ形状であったりしてもよい。この場合、それぞれのテーパ面について、水平方向に対する傾斜角が5度以内であるとよい。ただし、上述した実施形態のように、対向面114aを、搬送部110によって搬送されるワークWと平行に形成することで、流路fの全長に亘って空気の流速を高速化でき、負圧の絶対値が大きい区間を長く維持することが可能となる。
また、上述した実施形態および変形例では、カバー部を備え、カバー部の対向部における対向面に開口部が形成される場合について説明したが、カバー部を設けずともよい。
例えば、図5(c)に示すように、搬送部110と支持脚104との間に吸引管714を設ける。吸引管714の鉛直上側の端部には、ワークWに対向する対向面714aを有する対向部714bが設けられ、この対向部714bによって開口部714cの縁の一部が形成される。そして、減圧部116が吸引管714の内部(連通路)を減圧し、開口部714cを通じて突出部110c近傍の気体を吸引する。
このように、カバー部を設けない構成であっても、上述した実施形態と同様、流路fを流れる空気の圧力が低下し、ワークWに作用する吸引力を上昇させ、ワークWと突出部110cとの摩擦力を高めて、ワークWを安定して搬送することが可能となる。
また、上述した変形例3では、漸増部314fがR(フィレット)形状となる場合について説明したが、漸増部は、開口部314cから離れるほど、ワークWからの距離が漸増すれば、テーパ形状であってもよいし、他の形状であってもよい。
また、上述した実施形態および変形例では、搬送装置が浮上部112を備える場合について説明したが、搬送装置は、浮上部112を備えず搬送部110のみでワークWを下方支持してもよい。特に、ワークWの剛性が低くワークWが撓んで支持が困難な場合、搬送部110が、水平かつ搬送方向に垂直な方向に3つ以上配され、ワークWの中央側を下方支持する構成であってもよい。
また、上述した変形例3にのみ、漸増部314fを設ける構成を挙げて説明したが、実施形態および変形例1、2、4についても、対向面の端部に漸増部314fを設けてもよい。
また、減圧部116は、真空装置やエゼクタなどの減圧装置で構成されてもよく、これらの減圧装置を、カバー部に近接して配する空間の確保が困難であれば、減圧装置に連通する配管の端部を、減圧部116の代わりに配置してもよい。
本発明は、比較的薄い板ガラス等を搬送する搬送装置に利用することができる。
W …ワーク
100 …搬送装置
110 …搬送部
110a …回転体
110b …ベルト
110c …突出部
114、214、314、414 …カバー部(連通路)
114a、214a、314a、414a、514a、614a、714a …対向面
114b、214b、314b、414b、714b …対向部
114c、214c、314c、414c、714c …開口部
116 …減圧部
314f …漸増部
320 …角度調整部
414g …側壁
714 …吸引管(連通路)

Claims (7)

  1. 複数の回転体と、ワークを接触支持する複数の突出部を有し該複数の回転体によって無端状に張架され前記ワークを搬送するベルトと、を有し、該ベルトが搬送方向に平行に対向配置された複数の搬送部と、
    前記搬送部によって搬送されるワークと対向する対向面を有する対向部と、
    少なくとも縁の一部が前記対向部によって形成される開口部と、
    前記開口部から連通する連通路と、
    前記連通路内を減圧し、前記開口部を通じて前記突出部近傍の気体を吸引する減圧部と、
    を備えることを特徴とする搬送装置。
  2. 前記対向面は、前記搬送部によって搬送されるワークと平行に形成されることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
  3. 前記対向面は、前記複数の搬送部の対向方向の中心側が鉛直下方に撓むワークの想定される傾きに沿って水平方向に対し傾斜していることを特徴とする請求項1または2に記載の搬送装置。
  4. 前記対向面の水平方向に対する傾斜角を調整する角度調整部をさらに備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の搬送装置。
  5. 前記対向面の端部には、前記開口部から離れるほど、前記ワークからの距離が漸増する漸増部が形成されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の搬送装置。
  6. 前記ベルトの搬送方向に移動する搬送部位および搬送方向の逆方向に移動する非搬送部位のいずれも覆うカバー部をさらに備え、
    前記対向部は、前記カバー部の一部であって、
    前記減圧部は、前記連通路を形成する前記カバー部の内部を減圧することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の搬送装置。
  7. 前記ベルトのうち、少なくとも側面および鉛直下面を覆うカバー部をさらに備え、
    前記減圧部は、前記連通路として前記カバー部の内部を減圧し、
    前記対向部は、前記カバー部の側壁から対向する該側壁の対向方向の逆側に突出することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の搬送装置。
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