JP2014038958A - 浸漬式の洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、洗浄液が供給されウェハWが挿入可能な複数の洗浄槽8a,8bを有するチャンバ5と、チャンバ5上に移動可能に取り付けられウェハWを把持した状態で、ウェハWをいずれかの洗浄槽8a,8bに浸漬させるウェハ把持搬送部6とを備えている。洗浄槽8aに浸漬させたウェハWを、洗浄槽8aから取り出した後に、他の洗浄槽8bに浸漬させることができる。
【選択図】図3
Description
本発明の一実施形態に係る洗浄装置であるウェハ洗浄機1は、図1に示すように、予め規格された大きさの筐体2内に収容されたミニマルファブ(minimal fabrication)構想に基づくミニマル洗浄装置である。ここで、このミニマルファブ構想とは、多品種少量という半導体製造市場に最適なもので、省資源・省エネルギ・省投資・高性能な多様なファブに対応でき、例えば特開2012−54414号公報に記載の生産をミニマル化させるミニマル生産システムを実現させるものである。
次いで、洗浄ユニット3は、筐体2内の前室2dの後側上部のウェハ処理室2f内に収容されている。そして、この洗浄ユニット3にて洗浄するウェハWは、所定の大きさ、例えば直径12.5mm(ハーフインチサイズ)の円形状の表面を有する円盤状に形成されている。そして、このウェハWには、予め所定のパターンが形成され洗浄前の状態とされている。なお、このウェハWとしては、フォトレジスト膜が除去されたベアシリコンウェハ等であっても用いることができる。さらに、洗浄ユニット3は、図2ないし図4に示すように、有底筒状のチャンバ5と、このチャンバ5上に昇降可能かつ回転可能に設置された把持部としてのウェハ把持搬送部6とを備えている。
チャンバ5は、矩形状の底面部5aの中心位置に断面台形状の設置台部5bが設けられており、この底面部5aの外周を覆うように壁面部5cが形成されている。この壁面部5cは、内面側が平面視円形状に形成され、外面側が平面視正方形状に形成されている。さらに、この壁面部5cの上方には、ウェハ把持搬送部6を昇降可能かつ回転可能に支持する略円筒状の嵌合凹部5dが設けられている。
ウェハ把持搬送部6は、円柱状の回転体である本体部6aと、この本体部6aの下面中心位置に同心状に下方に突出した円柱状の回転軸部6bと、この本体部6aの上側に同心状に設けられた略円筒状の嵌合筒部6cとを有している。そして、本体部6aは、回転軸部6bをチャンバ5の軸孔5eに上下動可能かつ回転可能に挿通させ、嵌合筒部6cをチャンバ5の嵌合凹部5dに上下動可能かつ回転可能に嵌合させてロータリジョイントされている。そして、この本体部6aは、チャンバ5の壁面部5cの中心に沿って上下方向に昇降可能、かつ周方向に回転可能とされている。
まず、洗浄が必要なウェハWが収容されたミニマルシャトルを、ウェハ洗浄機1の前室2dのドッキングポート2eに嵌合させて設置する。この状態で、ウェハ洗浄機1の所定位置に設けられているスタートスイッチ(図示せず)を押す。
次いで、図6(c)および図7(b)に示すように、チャックシリンダ6fにてチャックハンド6dの一対のチャック部6eが近づけられていき、これら一対のチャック部6eの各チャックピン6gの係止片部6hにて、ウェハ授受ステージ7上に設置されたウェハWが挟み込まれて把持されチャック状態とされる。
次いで、上下動シリンダ12にてウェハ把持搬送部6が上昇され、このウェハ把持搬送部6のチャックハンド6dにて把持しているウェハWが、PCM液が貯留されている洗浄槽8aの内槽部8c内から取り出される。この後、サーボモータ11にてウェハ把持搬送部6が回転移動され、このウェハ把持搬送部6のチャックハンド6dにて把持しているウェハWが、純水が供給されている洗浄槽8bの内槽部8c上に移動される。
この後、上下動シリンダ12にてウェハ把持搬送部6が上昇され、このウェハ把持搬送部6のチャックハンド6dにて把持されているウェハWが、純水が貯留されている洗浄槽8bの内槽部8c内から取り出される。
そして、このウェハWのスピンドライが完了した後に、昇降シリンダ7aにてウェハ授受ステージ7が上昇移動されるとともに、サーボモータ11にてウェハ把持搬送部6が回転移動され、図7(b)に示すように、このウェハ把持搬送部6のチャックハンド6dがウェハ授受ステージ7上に移動される。
上述のように、上記一実施形態のウェハ洗浄機1においては、チャンバ5のウェハ授受ステージ7上に設置させたウェハWを、ウェハ把持搬送部6のチャックハンド6dにて把持してチャックさせる。そして、この状態で、このウェハ把持搬送部6を適宜昇降移動および回転移動させることによって、このウェハWをウェハ授受ステージ7上から洗浄槽8a,8b上に移動でき、かつこれら各洗浄槽8a,8b内の洗浄液中に浸漬させて洗浄することができる。
なお、上記一実施形態においては、SPM液が供給された洗浄槽8aにウェハWを浸漬させて洗浄してから、純水が供給された洗浄槽8bにウェハWを浸漬させてリンスする2つの洗浄槽8a,8bが設けられた構成とした。しかしながら、本発明はこれに限定されることはなく、チャンバ5の設置面5f上に2つ以上の洗浄槽を設けても良く、これら洗浄槽にSPM液や純水以外の種々の洗浄液を用いることもできる。
2 筐体
2a 装置上部
2b 装置下部
2c 凹状部
2d 前室
2e ドッキングポート
2f ウェハ処理室
3 洗浄ユニット
3a 供給部
3b 排出部
4 搬送装置
4a 機体
4b 保持部
5 チャンバ
5a 底面部
5b 設置台部
5c 壁面部
5d 嵌合凹部
5e 軸孔
5f 設置面
5g ウェハ授受部
5h 収容凹部
6 ウェハ把持搬送部
6a 本体部
6b 回転軸部
6c 嵌合筒部
6d チャックハンド
6e チャック部
6f チャックシリンダ
6g チャックピン
6h 係止片部
7 ウェハ授受ステージ
7a 昇降シリンダ
7b ピン状部
7c 係止凸部
8a 洗浄槽
8b 洗浄槽
8c 内槽部
8d 外槽部
8e 越流凹部
8f 供給管部
8g 排出管部
8h 蓋部材
8i 挿通孔
8j Oリングパッキン
9 超音波振動子
11 サーボモータ
12 上下動シリンダ
W ウェハ
Claims (6)
- 洗浄液で被洗浄物を洗浄する洗浄装置であって、
洗浄液が供給され被洗浄物が挿入可能な複数の洗浄槽を有するチャンバと、
このチャンバ上に移動可能に取り付けられ前記被洗浄物を把持し、この被洗浄物を把持した状態で、この被洗浄物をいずれかの前記洗浄槽に浸漬させる把持部と、を備えた
ことを特徴とする洗浄装置。 - 請求項1記載の洗浄装置において、
前記複数の洗浄槽は、前記チャンバの中心から等しく、このチャンバの周方向に沿った位置にそれぞれ設けられ、
前記把持部は、前記チャンバの中心を回転中心として回転可能かつ昇降可能とされている
ことを特徴とする洗浄装置。 - 請求項1または2記載の洗浄装置において、
前記把持部は、上下方向に軸方向を沿わせて平行に取り付けられた一対のチャックピンを有する一対のチャック部を備え、これら一対のチャック部の間隔を変化させて前記被洗浄物の縁部間を挟んで把持する
ことを特徴とする洗浄装置。 - 請求項1ないし3いずれか一項に記載の洗浄装置において、
前記チャンバに設けられ前記被洗浄物が設置されるステージを備え、
前記把持部は、前記ステージに設置された前記被洗浄物を把持して前記洗浄槽に浸漬させる
ことを特徴とする洗浄装置。 - 前記4記載の洗浄装置において、
前記ステージは、前記チャンバの中心から前記洗浄槽までの距離に等しく、これら洗浄槽とともに前記チャンバの周方向に沿った位置に設けられている
ことを特徴とする洗浄装置。 - 請求項1ないし5いずれか一項に記載の洗浄装置において、
前記被洗浄物は、所定サイズの円盤状のウェハであり、
前記洗浄槽は、前記ウェハより若干大きな平面視円形状に形成されている
ことを特徴とする洗浄装置。
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