JP2014035216A - 光学式ロータリーエンコーダ及びその補正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スケール12には反射型の回折格子12−1が形成されている。受光部14は、受光量に応じた出力信号を出力する複数のフォトダイオードを備えている。受光信号整形器15は、レーザダイオード11より発せられた光の回折格子12−1での反射光を受光している複数のフォトダイオードの各々からの出力を合成して、当該反射光に含まれる所定周期の縞模様成分を表す信号を獲得する。センサ距離変動方向・距離推定器17は、スケール12と受光部14との間の距離の変動方向を検出する。この検出は、受光信号整形器15によって獲得された、回折格子12−1が複数のフォトダイオードの受光位置で生じさせる干渉縞よりも周期が短い縞模様成分を表す第一信号と、当該干渉縞よりも周期が長い縞模様成分を表す第二信号とに基づいて行われる。
【選択図】図1
Description
例えば、被検出部材が取り付けられる検出対象の回転速度・回転角を高精度で検出するという技術が知られている。この技術は、まず、モータの出力軸に取り付けられた円板状のコードホイールの周方向に90°間隔で配置された3つの回転センサが、それぞれコードホイールの回転速度に応じた信号を出力するようにする。このコードホイールは、出力軸に対し偏心すると1回転で1周期の誤差成分(1周期成分)が生じ、楕円状に変形すると1回転で2周期の誤差成分(2周期成分)が生じる。ここで、第1回転センサと第2回転センサとの出力を平均化して2周期成分を除去した補正信号と、第1回転センサと第3回転センサとの出力の差分により2周期成分を除去した補正信号とを、残留する1周期成分の位相及び振幅を合わせて減算若しくは加算する。この技術では、このようにして、被検出部材の1回転で1周期の誤差成分と1回転で2周期の誤差成分とを共に除去するようにしている。(例えば特許文献1参照)
図1において、エンコーダ10は、レーザダイオード11、スケール12、フォトダイオードアレイ13、受光部14、受光信号整形器15、内挿器16、センサ距離変動方向・距離推定器17、センサ位置制御器18、及び微動アクチュエータ19を備えている。
スケール12は回転体の一例であり、回折格子12−1が形成されている。回折格子12−1は、一定の間隔で各格子が配列されている反射型のものである。スケール12は円筒形であって円筒軸を回転軸とするものであり、回折格子12−1は、円筒形であるスケール12の側面に、回転軸に平行に各格子が配置されて形成されている。エンコーダ10は、回転軸を中心としてスケール12を回転させたときの回転角度情報を得るものである。なお、本実施例では、レーザダイオード11が発光するレーザ光の波長の1/4を単位とする格子バターンにより回折格子12−1を構成している。
フォトダイオードアレイ13として、図2に例示したものを用いる場合、受光信号整形器15は、下記の2つの式で表される信号の合成を行って、干渉縞の波形20についての、周期が1/4周期ずれている2つの信号の組(Ssin ,Scosine)を求める。
Ssin ={(A+B+C+D)-(E+F+G+H)}+{(I+J+K+L)-(M+N+O+P)}………[1]
Scosine={(C+D+E+F)-(G+H+I+J)}+{(K+L+M+N)-(O+P+A+B)}………[2]
Pos=tan-1(Ssin /Scosine) ………[3]
図3において、[A]及び[B]は、受光信号整形器15の出力を用いて描かれるリサージュ曲線の例を表している。これらのリサージュ曲線は、上記[1]式により合成された信号Ssin を横軸とし、上記[2]式により合成された信号Scosineを縦軸とすることによって描かれたものである。また、[C]及び[D]は、スケール12の実際の回転角度とエンコーダ10によるスケール12の回転角度の獲得結果とを対応付けたグラフの例である。これらのグラフにおいて、横軸はスケール12の実際の回転角度を表しており、縦軸はエンコーダ10によるスケール12の回転角度の獲得結果を表している。
まず図4について説明する。図4は、フォトダイオードアレイ13が受光する反射光に含まれる縞模様成分のピッチと当該縞模様成分を表している信号の検出レベルとの関係を表している。
Level =(Ssin 2+Scosine 2)1/2 ………[4]
なお、図5における一点鎖線の曲線は、標準の間隔のフォトダイオードアレイ13を用いた場合の干渉縞を表している信号の検出レベルを表しており、ピッチが1のときの縞模様成分、すなわち干渉縞を表している信号の検出レベルが最大となることを表している。
Ssin =(A+B+C+D)-(E+F+G+H)+(I+J+K+L)-(M+N+O+P)+(Q+R+S+T)-(U+V+W+X)
………[5]
Scosine=(C+D+E+F)-(G+H+I+J)+(K+L+M+N)-(O+P+Q+R)+(S+T+U+V)-(W+X+A+B)
………[6]
Ssin =(A+B)-(C+D)+(E+F)-(G+H)+(I+J)-(K+L)+(M+N)-(O+P)+
(Q+R)-(S+T)+(U+V)-(W+X)………[7]
Scosine=(B+C)-(D+E)+(F+G)-(H+I)+(J+K)-(L+M)+(N+O)-(P+Q)+
(R+S)-(T+U)+(V+W)-(X+A)………[8]
Ssin =(A+B+C+D+E+F)-(G+H+I+J+K+L)+(M+N+O+P+Q+R)-(S+T+U+V+W+X)
………[9]
Scosine=(D+E+F+G+H+I)-(J+K+L+M+N+O)+(P+Q+R+S+T+U)-(V+W+X+A+B+C)
………[10]
センサ位置制御器18は、スケール12と受光部14との間の距離の変動方向の検出結果に基づき、微動アクチュエータ19を制御して、その変動方向とは逆の方向に受光部14を移動させて、その距離の変動を抑制する。また、センサ位置制御器18は、検出されたスケール12と受光部14との間の距離が適正値となった場合には、微動アクチュエータ19を制御して、受光部14の移動を停止させる。このセンサ位置制御器18は、制御部の一例である。
エンコーダ10は、以上の構成要素を備えている。
図7の構成例においては、バッファ21と演算増幅器22−1a〜22−3bとにより受光信号整形器15が構成されている。また、二乗演算回路23−1a〜23−3bと、加算器24−1〜24−3と、平方根演算回路25−1〜25−3と、減算回路26とによりセンサ距離変動方向・距離推定器17が構成されている。
11 レーザダイオード
12 スケール
12−1 回折格子
13 フォトダイオードアレイ
13−1 フォトダイオード
14 受光部
15 受光信号整形器
16 内挿器
17 センサ距離変動方向・距離推定器
18 センサ位置制御器
19 微動アクチュエータ
20 波形
21 バッファ
22−1a、22−1b、22−2a、22−2b、
22−3a、22−3b 演算増幅器
23−1a、23−1b、23−2a、23−2b、
23−3a、23−3b 二乗演算回路
24−1、24−2、24−3 加算器
25−1、25−2、25−3 平方根演算回路
26 減算回路
Claims (5)
- 光を発する光源、
一定の間隔で格子が配列されている反射型の回折格子が形成されている回転体、
受光量に応じた出力信号を出力する複数の受光素子を備えている受光部、
前記光源より発せられた光の前記回折格子での反射光を受光している前記複数の受光素子の各々から出力される出力信号を合成して、該反射光に含まれる所定周期の縞模様成分を表す信号を獲得する合成部、及び
前記合成部によって獲得された、前記回折格子が前記複数の受光素子の受光位置で生じさせる干渉縞よりも周期が短い縞模様成分を表す第一信号と、前記合成部によって獲得された、該干渉縞よりも周期が長い縞模様成分を表す第二信号とに基づいて、前記回転体と前記受光部との間の距離の変動方向を検出する検出部、
を備えることを特徴とする光学式ロータリーエンコーダ。 - 前記受光部は、前記複数の受光素子を一定の間隔で一列に並べて形成されている受光素子アレイを備えており、
前記合成部は、nを前記所定周期に応じて値が選択される自然数とした場合に、前記複数の光学素子の各々の出力信号を前記受光素子アレイにおける前記複数の光学素子の列順に4n個ずつグループ分けし、各グループにおいての該列順の第1番目から第2n番目までの出力信号についての全グループでの合計から、各グループにおいての該列順の第2n+1番目から第4n番目までの出力信号についての全グループでの合計を減算した差分値を求めると共に、各グループにおいての該列順の第n+1番目から第3n番目までの出力信号についての全グループでの合計から、各グループにおいての該列順の第1番目から第n番目まで及び第3n+1番目から第4n番目までの出力信号についての全グループでの合計を減算した差分値を求め、得られた2つの差分値に基づいて前記所定周期の縞模様成分のレベルを表す信号を獲得することを特徴とする請求項1に記載の光学式ロータリーエンコーダ。 - 前記検出部は、前記nの値を第一の値としたときに前記合成部によって獲得された前記第一信号と、前記nの値を該第一の値よりも大きい第二の値としたときに前記合成部によって獲得された前記第二信号との差に基づいて前記変動方向を検出することを特徴とする請求項2に記載の光学式ロータリーエンコーダ。
- 前記検出部による検出結果に基づいて前記距離を変化させて前記距離の変動を抑制する制御部を更に備えることを特徴とする請求項1から3のうちのいずれか一項に記載の光学式ロータリーエンコーダ。
- 一定の間隔で格子が配列されている反射型の回折格子が形成されている回転体における該回折格子で光源より発せられた光が反射したときの反射光を受光している複数の受光素子の各々から出力される、受光量に応じた信号を合成して、該回折格子が該複数の受光素子の受光位置で生じさせる干渉縞よりも周期が短い縞模様成分を表す第一信号と、該干渉縞よりも周期が長い縞模様成分を表す第二信号とを獲得し、
前記第一信号と前記第二信号とに基づいて、前記回転体と前記複数の受光素子を備えている受光部との間の距離の変動方向を検出し、
前記変動方向の検出結果に基づいて前記距離を変化させて前記距離の変動を抑制する、
ことを特徴とする光学式ロータリーエンコーダの補正方法。
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