JP2014031866A

JP2014031866A - チューブ

Info

Publication number: JP2014031866A
Application number: JP2012174225A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Sunagawa; 武司砂川; Hiroshi Yasumoto; 浩保本
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-08-06
Filing date: 2012-08-06
Publication date: 2014-02-20
Also published as: TW201420935A; CN103574189A; KR20140019232A

Abstract

【課題】装置内に又は装置内のチューブを適正に接続する作業の円滑化を可能とするチューブを提供する。
【解決手段】流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字された流体の流動方向を示す方向記号と、チューブ上に印字されチューブを識別する識別記号と、を備え、方向記号と識別記号とはチューブの伸長方向に隣接して印字されるチューブとする。方向記号は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成される。また、方向記号と識別記号とは同一色を有する。
【選択図】図３

Description

本発明は流体が流れるチューブに関する。

産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。

より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。

また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。

更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。

このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。

そして、長さや太さが異なる複数のチューブを適正に接続するためには、チューブの種類を識別する必要がある。そこで、従来では、チューブ番号を示す数字等の識別情報が印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着してチューブの識別を可能にするとともに、流れる流体の向きが印字された短い筒状のマーカーをチューブの両端部に装着して装置内での流体の流れを確認できるようにしていた。

一方、このような流体を流すためのチューブは、通常リールに巻かれた状態で蓄積されており、リールから引き出したチューブを目的の長さに切断した後、手作業で両端部に方向記号や識別記号を示す短い筒状のマーカーを装着することが行われていた。

特開平１０−３２１５６２号公報特開昭５５−１１２７６１号公報

ところが従来技術のように流体の流動方向を示す方向記号やチューブの種別を示す識別記号が印字された筒状のマーカーをチューブの両端部に装着する方法では、作業者が誤ったマーカーをチューブに装着してしまうことや、チューブに装着したマーカーが外れてチューブの識別ができず、装置内にチューブを適正に接続する作業が滞るという問題が発生していた。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、装置内に又は装置内のチューブを適正に接続する作業の円滑化を可能とするチューブを提供することである。

請求項１に記載の発明によると、流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字された流体の流動方向を示す方向記号と、チューブ上に印字されチューブを識別する識別記号と、を備え、方向記号と識別記号とはチューブの伸長方向に隣接して印字されるチューブが提供される。

請求項２に記載の発明によると、方向記号は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成されることを特徴とする請求項１に記載のチューブが提供される。

請求項３に記載の発明によると、方向記号と識別記号とは同一色を有する、ことを特徴とする、請求項１に記載のチューブが提供される。

本発明によると、チューブには流体の流れる方向を示す方向記号と、チューブを識別するための識別記号が印字されているので、マーカーが外れてチューブの識別ができなくなることが防止される。

また、印字を自動で行えば、作業者によるマーカー装着ミスによってチューブの識別ができなくなることが防止される。従って、装置内へチューブを適正に接続させる作業の円滑化が可能となる。

請求項２に記載の発明によると、方向記号を２以上の直線または曲線の組み合わせから形成することで、使用するインク量を抑えることが可能となる。

請求項３に記載の発明によると、方向記号と識別記号で同一色が使用されるため、複数色のインク管理の手間が省けるとともにコスト削減が可能となる。

切削装置の外観斜視図である。ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。本発明のチューブの原理を説明する図である。本発明の他の実施形態のチューブの原理を説明する図である。本発明のチューブを切削装置の配管に利用した実施形態を示す図である。図５の実施形態の一部拡大図である。図５の実施形態の一部拡大図である。図５の実施形態の一部拡大図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。

図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。

ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。

ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。

仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。

チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。

アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。

アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。

切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。

２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。

次に図３を参照して、本発明のチューブの原理を説明する。チューブ１１は、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１上には矢印Ａで示す流体の流動方向を示す方向記号１３が印字されている。

方向記号１３は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成されることが好ましい。２以上とすることで、１とする場合にも、方向が視認しやすくなる。また、線で表示することにより、印字に使用するインクの量を抑えることが可能となる。

本実施形態では、２本の折れ線からなる略「く」字状の方向記号１３を、２箇所に配置することで、方向記号１３の尖端側に向かって流体が流動することを一目で視認できるようにしている。

このような実施形態によれば、例えば、長方形状の一端を尖らせ、他端を窪ませた形態の帯状の矢印記号の場合と比較すると、方向を示すという機能を確保しながらも、印字に使用するインクの量を効果的に抑えることが可能となる。

更に、方向記号１３の側方にはチューブ１１を識別可能とするための識別記号１５が印字されている。

この識別記号１５は、例えば、使用機種や、使用部位を表示するものである。例えば、本実施形態の「ＤＳＰ１」では、「Ｄ」は、切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＳＰ」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する配管系統に使用されることを示し、「１」は、スピンドル２６（図１参照）に関連する差込口のうち差込口１番に差し込まれることが示される。

加えて、方向記号１３と識別記号１５とは同一色を有することが好ましい。つまり、同一色のインクによって印字されることが好ましい。

これにより、複数色のインク管理の手間が省けるとともに、同一色のインクを大量購入することなどによるコスト削減が可能となる。

図４は、他の実施形態について示すものであり、方向記号１３Ａと、識別記号１５Ａを有する構成とするものである。この実施形態では、方向記号１３Ａについて、「←」を二箇所に印字した構成とし、識別記号１５について、「＊」の記号と「１２０」の数字を印字した構成としている。

この実施形態のように、方向記号１３Ａについては、２以上の直線（曲線でもよい）の組み合わせであって、流体が流れる方向を視認できるものであれば、特に限定されるものではない。同様に、識別記号１５Ａについては、記号、数字、英文字、漢字、平仮名、片仮名、図形など、各種のものを使用することができ、これらを組み合わせて構成することとしてもよい。

図５を参照すると、本発明のチューブの原理を使用した切削装置２の配管構成図が示されている。エア源４０からは高圧エアがチューブ３１を介してクリーンユニット４６に供給される。図６の拡大図に示すように、チューブ３１上には方向記号「＜＜」が印字され、方向記号の側方には識別記号「ＤＡＣ１」が印字されている。この識別記号「ＤＡＣ１」では、「Ｄ」は切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＡＣ」は、エア源４０（Ａ）とクリーンユニット４６（Ｃ）を接続することを示し、「１」は、エア源４０とクリーンユニット４６のそれぞれにおいて差込口１番に差し込まれることが示される。

クリーンユニット４６は複数枚のフィルタを有しており、エア源４０から供給された高圧エアを洗浄化する。クリーンユニット４６からはチューブ３３を介してチャックテーブル１８へ吸引リリース時の吹き上げ用エアが供給され、チューブ３５を介してエジェクタ等の負圧発生手段５２に高圧エアが供給され、チューブ３７を介してスピンドルユニット３０にエアベアリング用のエアが供給される。

クリーンユニット４６からは更に、チューブ３９を介して切削ブレード２８をカバーするホイールカバー３２にホイールカバー開閉用エアが供給され、チューブ４１を介してエアを供給してエアカーテン３４を形成し、チューブ４３を介して顕微鏡３８用の分岐継ぎ手５６にエアが供給される。図６に示すように、これらのチューブ３３〜４３には、エアの供給方向を矢印で示す方向記号と、方向記号の側方に印字された識別記号を有している。

負圧発生手段５２は、オリフィスを通過する高圧流体を利用して負圧を発生させるものであり、チューブ４５を介してチャックテーブル１８にチャックテーブルバキューム用負圧を供給し、チューブ４７を介してスピンナ洗浄装置２７にスピンナテーブルバキューム用負圧を供給する。

図７の拡大図に示すように、チューブ４５には負圧供給方向を示す矢印からなる方向記号「＜＜」が印字され、方向記号の側方には識別記号「ＤＮＣＴ２」が印字されている。ここで、「ＤＮＣＴ２」について、「Ｄ」は切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＮＣＴ」は、負圧発生手段５２（Ｎ）とチャックテーブル１８（ＣＴ）を接続することを示し、「２」は、負圧発生手段５２とチャックテーブル１８のそれぞれにおいて差込口２番に差し込まれることが示される。

同様に、チューブ４７には負圧供給方向を示す矢印からなる方向記号「＜＜」が印字され、方向記号の側方には識別記号「ＤＮＳＰＮ３」が印字されている。ここで、「ＤＮＳＰＮ３」について、「Ｄ」は切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＮＳＰＮ」は、負圧発生手段５２（Ｎ）とスピンナー２８（ＳＰＮ）を接続することを示し、「３」は、負圧発生手段５２とスピンナー２８のそれぞれにおいて差込口３番に差し込まれることが示される。

図８の拡大図に最も良く示されるように、分岐継ぎ手５６からはチューブ４９を介して顕微鏡３８にカバー開閉用エアが供給され、チューブ５１を介してマクロ顕微鏡用ブローエアが供給され、チューブ５３を介してミクロ顕微鏡用ブローエアが供給される。

チューブ４９は方向記号「＜＜」と方向記号の側方に印字された識別記号「ＤＢ１ＭＳ１」を有している。ここで、「ＤＢ１ＭＳ１」について、「Ｄ」は切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＢＭＳ」は、分岐継ぎ手５６（Ｂ１）と顕微鏡３８（ＭＳ）を接続することを示し、「１」は、分岐継ぎ手５６と顕微鏡３８のそれぞれにおいて差込口１番に差し込まれることが示される。

同様に、チューブ５１は方向記号「＜＜」と方向記号の側方に印字された識別記号「ＤＢ１ＭＳ２」を有している。ここで、「ＤＢ１ＭＳ２」について、「Ｄ」は切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＢＭＳ」は、分岐継ぎ手５６（Ｂ１）と顕微鏡３８（ＭＳ）を接続することを示し、「２」は、分岐継ぎ手５６と顕微鏡３８のそれぞれにおいて差込口２番に差し込まれることが示される。

同様に、チューブ５３は方向記号「＜＜」と方向記号の側方に印字された識別記号「ＤＢ１ＭＳ３」を有している。ここで、「ＤＢ１ＭＳ３」について、「Ｄ」は切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「ＢＭＳ」は、分岐継ぎ手５６（Ｂ１）と顕微鏡３８（ＭＳ）を接続することを示し、「３」は、分岐継ぎ手５６と顕微鏡３８のそれぞれにおいて差込口３番に差し込まれることが示される。

チャックテーブル１８からの排出エアはチューブ５５を介してダクト６０に排出され、スピンナ洗浄装置２７からの排出エアはチューブ５７を介してダクト６０に排出され、スピンドル３０からの排出エアはチューブ５９を介してダクト６０に排出される。

ホイールカバー３２からの排出エアはチューブ６１を介してダクト６０に排出され、エアカーテン３４からの排出エアはチューブ６３を介してダクト６０に排出され。顕微鏡３８からの排出エアはチューブ６５を介してダクト６０に排出される。

このように、切削装置２の各構成部品で使用されたエアは全てダクト６０に排出される。更に、エアを供給するチューブには例えば無色透明なチューブが使用され、識別記号にチューブ内を流動する流体種類が「Ａｉｒ」であることを示すＡを付記することとしてもよい。

冷却液源４２からは例えば市水等の冷却液がチューブ６７を介してクリーンユニット４８に供給される。クリーンユニット４８は複数枚のフィルタを含んでおり、これらのフィルタで冷却液を濾過する。

クリーンユニット４８からは、チューブ６９を介してスピンドル２６を回転可能に支持するスピンドルユニット３０に冷却液が供給される。スピンドルユニット３０から排出される冷却液は、チューブ７１を介してドレイン５８に排出される。チューブ６７，６９，７１は液体を供給するため、例えば水色に着色されている。更に、識別記号にチューブ内を流動する流体種類が液体「Ｌｉｑｕｉｄ」であることを示すＬを付記することとしてもよい。

切削・洗浄液源４４からはチューブ７３を介して例えば純水等の液体がクリーンユニット５０に供給される。クリーンユニット５０は複数枚のフィルタを含んでいる。クリーンユニット５０からは、チューブ７５を介してスピンナ洗浄装置２７に洗浄液が供給され、チューブ７７を介してホイールカバー用分岐継ぎ手５４に切削液が供給され、チューブ７９を介して供給された液体がウォーターカーテン３６を形成する。

図８の拡大図に最もよく示されるように、分岐継ぎ手５４からはチューブ８３を介してホイールカバー３２にシャワーノズル用切削液が供給され、チューブ８５を介してブレード冷却用切削液が供給され、チューブ８７を介してシャワー用切削液が供給される。

チューブ８３は方向記号「＜＜」と方向記号の側方に印字された識別記号「ＤＢ２ＨＣ１」を有している。ここで、「ＤＢ２ＨＣ１」について、「Ｄ」は切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「Ｂ２ＨＣ」は、分岐継ぎ手５４（Ｂ２）とホイールカバー３２（ＨＣ）を接続することを示し、「１」は、分岐継ぎ手５６とホイールカバー３２のそれぞれにおいて差込口１番に差し込まれることが示される。

同様に、チューブ８５は方向記号「＜＜」と方向記号の側方に印字された識別記号「ＤＢ２ＨＣ２」を有している。ここで、「ＤＢ２ＨＣ２」について、「Ｄ」は切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「Ｂ２ＨＣ」は、分岐継ぎ手５４（Ｂ２）とホイールカバー３２（ＨＣ）を接続することを示し、「２」は、分岐継ぎ手５６とホイールカバー３２のそれぞれにおいて差込口２番に差し込まれることが示される。

同様に、チューブ８７は方向記号「＜＜」と方向記号の側方に印字された識別記号「ＤＢ２ＨＣ３」を有している。ここで、「ＤＢ２ＨＣ３」について、「Ｄ」は切削装置（ダイサー）に使用されることを示し、「Ｂ２ＨＣ」は、分岐継ぎ手５４（Ｂ２）とホイールカバー３２（ＨＣ）を接続することを示し、「３」は、分岐継ぎ手５６とホイールカバー３２のそれぞれにおいて差込口３番に差し込まれることが示される。

スピンナ洗浄装置２７から排出される洗浄液はチューブ８１を介してドレイン５８に排出され、ホイールカバー３２から排出される切削液はチューブ８９を介してドレイン５８に排出され、ウォーターカーテン３６を形成した液体はチューブ９１を介してドレイン５８に排出される。

チューブ７３乃至チューブ９１は、冷却液、切削液等の液体を供給したり、使用済みの液体を排出するために使用されるため、エア供給用チューブと区別するために例えば水色に着色されている。更に、これらのチューブにはチューブ内を流動する流体種類が液体「Ｌｉｑｕｉｄ」であることを示すＬを付記することとしてもよい。

また、好ましい実施形態としては、エアを供給するチューブと液体を供給するチューブの色分けを行う。これにより、作業者によるチューブの接続ミスを防止できる。

以上のようにして本発明を実施することができる。即ち、図３の例に示すように、流体が流れるチューブ１１であって、チューブ１１上に印字された流体の流動方向を示す方向記号１３と、チューブ上に印字されチューブを識別する識別記号１５と、を備え、方向記号１３と該識別記号１５とは該チューブの伸長方向に隣接して印字されるチューブ１１とするものである。

これにより、従来のようにマーカーが外れてチューブの識別ができなくなることが防止される。また、印字を自動で行えば、作業者によるマーカー装着ミスによってチューブの識別ができなくなることが防止される。従って、装置内へチューブを適正に接続させる作業の円滑化が可能となる。

さらに、方向記号１３は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成される、ことが好ましい。

これにより、使用するインク量を抑えることが可能となる。

また、方向記号１３と識別記号１５とは同一色を有する、ことが好ましい。

これにより、複数色のインク管理の手間が省けるとともにコスト削減が可能となる。

また、特に、上記の実施形態では、チューブ１１の端部が接続される対象を識別するための情報を、識別記号１５に付する形態とした。例えば、図６の例では、識別記号「ＤＡＣ１」について、「ＡＣ」は、エア源４０（Ａ）とクリーンユニット４６（Ｃ）を接続することを示し、「１」は、エア源４０とクリーンユニット４６のそれぞれにおいて差込口１番に差し込まれることが示されることとした。

このような実施形態によれば、チューブ１１が接続される対象を識別記号１５から特定すること可能となる。このように、識別記号１５に基づいてチューブ１１が接続される対象を特定可能としてもよい。この場合、識別記号１５に含まれる有意な構成部位（「Ｄ」「Ａ」「Ｃ」「１」）の間に、スペースを入れるなどすることも考えられる。

なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。

１１チューブ
１３方向記号
１５識別記号

Claims

流体が流れるチューブであって、
該チューブ上に印字された該流体の流動方向を示す方向記号と、
該チューブ上に印字され該チューブを識別する識別記号と、を備え、
該方向記号と該識別記号とは該チューブの伸長方向に隣接して印字されるチューブ。
前記方向記号は２以上の直線、または、曲線の組み合わせから形成される、
ことを特徴とする請求項１に記載のチューブ。
前記方向記号と前記識別記号とは同一色を有する、
ことを特徴とする、請求項１に記載のチューブ。