JP2014031869A - チューブ - Google Patents

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Abstract

【課題】不適切な結束位置で複数のチューブが結束されてしまうと、チューブに撓みや張りが生じ、撓んだチューブが可動部に巻き込まれたり、張ったチューブが結束バンドや装置内部構造と擦れて損傷してしまう恐れがある。そこで、適切な結束位置で複数本のチューブを結束可能とするチューブを提供する。
【解決手段】流体が流れるチューブ11であって、チューブ11上に印字され他のチューブと共に結束される結束位置を表示する結束マークを備えたチューブ11とする。また、好ましくは、結束マーク13は、左右及び/または上下で非対称な形状をとり、結束マーク13は、チューブ11を他のチューブと共に結束する際にチューブ11の向きを識別可能とする。
【選択図】図3

Description

本発明は流体が流れるチューブに関する。
産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている(例えば、特許文献1、2参照。)。
より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。
更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。
このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数mm〜数十mm程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。
特開平10−321562号公報 特開昭55−112761号公報
上述のようなチューブは、所要箇所において結束バンドを用いた結束を行うことで、装置内において数多く張り巡らされた多量のチューブを整理するようにしている。
ところが、不適切な結束位置で複数のチューブが結束されてしまうと、チューブに撓みや張りが生じ、撓んだチューブが可動部に巻き込まれたり、張ったチューブが結束バンドや装置内部構造と擦れて損傷してしまう恐れがある。また、撓みや張りによって、流体の流れが阻害される恐れもある。
このような不具合は、使用されるチューブの本数が多ければ多いほどより顕著に発生するものであり、解決策が求められていた。
加えて、適切な位置での結束バンドによる結束や、チューブの引き回し方は作業者の習熟度によってもばらつきが生じることが懸念され、仮に、習熟度の低い作業者による作業では、不具合が発生する確率が高まることになる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、適切な結束位置で複数本のチューブを結束可能とするチューブを提供することである。
請求項1に記載の発明によると、流体が流れるチューブであって、チューブ上に印字され他のチューブと共に結束される結束位置を表示する結束マークを備えたチューブが提供される。
請求項2に記載の発明によると、結束マークは、左右及び/または上下で非対称な形状をとり、結束マークは、チューブを他のチューブと共に結束する際にチューブの向きを識別可能とする請求項1に記載のチューブが提供される。
本発明のチューブは、他のチューブとの結束位置を示す結束マークが印字されているため、作業者によらず適切な位置での結束が可能となる。
従って、適切でない結束位置でチューブを結束することによる配管の損傷が防止される。また、撓みや張りによって、流体の流れが阻害される不具合を防止できる。
また、好ましくは、結束マークが左右及び/または上下で非対称の形状をとることで、結束位置がチューブの伸長方向中央でない場合においても、結束位置におけるチューブの向き(左右(長さ方向の向き))が判別可能となる。
切削装置の外観斜視図である。 ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。 (A)は本発明のチューブの原理を説明する図である。(B)は複数本のチューブの結束について説明する図である。 (A)は結束マークの一例について示す図。(B)は結束マークの一例について示す図。(C)は結束マークの一例について示す図。(D)は結束マークの一例について示す図。 切削装置の配管に利用した実施形態を示す図である。 結束の具体例について示す図である。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1は配管に本発明のチューブを利用した切削装置2の外観斜視図を示している。切削装置2の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段4が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるCRT等の表示手段6が設けられている。
図2に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハW(以下、単に「ウェーハW」とも称する)の表面においては、第1のストリート(分割予定ライン)S1と第2のストリートS2とが直交して形成されており、第1のストリートS1と第2のストリートS2とによって区画されてLED等の多数のデバイスDがウェーハW上に形成されている。
ウェーハWは粘着テープであるダイシングテープTに貼着され、ダイシングテープTの外周縁部は環状フレームFに貼着されている。これにより、ウェーハWはダイシングテープTを介してフレームFに支持された状態となり、図1に示したウェーハカセット8中にウェーハが複数枚(例えば25枚)収容される。ウェーハカセット8は上下動可能なカセットエレベータ9上に載置される。
ウェーハカセット8の後方には、ウェーハカセット8から切削前のウェーハWを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット8に搬入する搬出入手段10が配設されている。ウェーハカセット8と搬出入手段10との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域12が設けられており、仮置き領域12には、ウェーハWを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段14が配設されている。
仮置き領域12の近傍には、ウェーハWと一体となったフレームFを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段16が配設されており、仮置き領域12に搬出されたウェーハWは、搬送手段16により吸着されてチャックテーブル18上に搬送され、このチャックテーブル18に吸引されるとともに、複数の固定手段(クランプ)19によりフレームFが固定されることでチャックテーブル18上に保持される。
チャックテーブル18は、回転可能且つX軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル18のX軸方向の移動経路の上方には、ウェーハWの切削すべきストリートを検出するアライメント手段20が配設されている。
アライメント手段20は、ウェーハWの表面を撮像する撮像手段22を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段22によって取得された画像は、表示手段6に表示される。
アライメント手段20の左側には、チャックテーブル18に保持されたウェーハWに対して切削加工を施す切削手段(切削ユニット)24が配設されている。切削手段24はアライメント手段20と一体的に構成されており、両者が連動してY軸方向及びZ軸方向に移動する。
切削手段24は、回転可能なスピンドル26の先端に切削ブレード28が装着されて構成され、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード28は撮像手段22のX軸方向の延長線上に位置している。
25は切削が終了したウェーハWを洗浄装置27まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置27では、ウェーハWを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハWを乾燥する。
次に本発明において特徴的な構成であるチューブの実施形態について説明する。図3(A),(B)に示すように、チューブ11は、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ11上には結束位置を表示する結束マーク13が印字されている。
図3(A)は、結束マーク13として、チューブ11の長さ方向と直交する方向を指す矢印15を用いた実施形態を示している。
そして、図3(B)に示すように、各チューブ11a,11b,11cについて、それぞれ結束マーク13a,13b,13cが印字されており、これら結束マーク13a,13b,13cの位置が一致する箇所が、複数本のチューブ11a,11b,11cが結束されるべき結束位置17とされる。
ここで、チューブ11aは、予め設計された長さにカットされ、カットされたチューブ11aの長さ方向の所定の位置に結束マーク13aが印字される。他のチューブ11b,11cについても同様である。
結束マーク13aが印字されるべきチューブ11aの長さ方向の位置は、例えば、実際の装置において各チューブを組み付けるとともに、実際に結束バンド25を用いて適正な状態となるように結束するとともに、その結束された位置を最適な結束位置17としてマーキングし、その後、チューブを取り外してマーキングされた結束位置17のチューブ端部からの距離を実測することによって取得することができる。
このほか、例えば、コンピュータを用いたシミュレーションによって加工装置のモデルに対してチューブを張り巡らすとともに、最適な結束位置をシミュレーションすることによって、結束位置を取得することとしてもよい。
なお、チューブは柔軟性を有し、装置内において張り巡らされることになるため、図3(B)に示すように、実際にチューブを組み付けた場合には、各チューブ11a,11b,11cにおいて、その各端部から結束マーク13a,13b,13cまでの距離L1,L2,L3は異なることになる。
以上のように、本実施形態では、図3(A)に示すように、流体が流れるチューブ11であって、チューブ11上に印字され他のチューブと共に結束される結束位置17を表示する結束マーク13を備えたチューブが構成される。
そして、図3(B)に示すように、結束マーク13a,13b,13cが印字された各チューブ11a,11b,11cを用いることで必要な配管接続が行われる。
まず、各チューブ11a,11b,11cの両端をそれぞれ所定の接続口21a,21a等に接続した状態とする。この状態で、結束マーク13a,13b,13cはおおよそ近傍の位置に配置されることになる。
そして、結束マーク13a,13b,13cの位置を一致させるように各チューブ11a,11b,11cをたぐり寄せるとともに、結束マーク13a,13b,13cを一致させた結束位置17において、結束バンド25を用いた結束がなされる。
このように結束位置17で結束バンド25にて結束されることで、適切な位置で複数本のチューブが結束されることになり、不適切な位置で結束されることによる配管の損傷が防止される。
また、適切な位置で結束されることにより、撓みや張りの発生に伴って流体の流れが阻害される不具合を防止できる。
さらに、図3(B)に示すように、結束マーク13aは、上下で非対称な形状をとり、結束マーク13aは、チューブ11aを他のチューブと共に結束する際にチューブ11aの向きを識別可能とすることが好ましい。
これにより、結束位置17がチューブ11aの伸長方向(長さ方向)中央でない場合においても、結束位置17におけるチューブの向き(図3(A)において左右方向(長さ方向))が判別可能となる。
具体的には、例えば、図3(B)においてチューブ11aを逆方向で接続してしまった場合には、チューブ11aの結束マーク13aのみ下向きとなるため、チューブ11aの接続の方向が誤りであることが確認できる。
このような場合には、チューブ11aの接続をやり直し、結束マーク13aで示される向きを、他の二本のチューブ11b,11cの結束マーク13b,13cとの関係と一致させることで、適切な結束位置17での結束を行うことが可能となる。
なお、正逆方向を判別するために、例えば、図3(B)において、矢印が上向きとなる場合が正方向であることが予め基準として定義されることが好ましい。このような基準により、図3(A)のように、例えば、1本のチューブ11みが用いられる場合であっても、接続の方向の確認が可能となり、また、図3(B)の例において、全てのチューブの方向を逆方向にしてしまうといった不具合を防止できる。
さらに、結束マーク13aについては、図3(A)の矢印のように、上下(チューブの長さ方向と直交する方向)で非対称な形状をとるほか、左右(チューブの長さ方向)で非対称な形状をとることとしてもよい。
例えば、図4(A)の逆T字状(左右線から上下線を立ち上げた形状)の結束マーク13Aでは、上下で非対称の形状とされる。図4(B)のL字状(上下線の下端から横線を伸ばした形状)の結束マーク13Bでは、左右で非対称の形状とされる。図4(C)の○×表示(○と×を上下に配置した形状)の結束マーク13Cでは、上下で非対称の形状とされる。図4(D)の文字「A」表示の結束マーク13Dでは、上下及び左右で非対称の形状とされる。
このように、結束マークとしては、多様な実施形態が採用され得るものである。
なお、結束位置17を指し示すことができるように、左右方向(チューブの長さ方向)において、特定の位置の指標となる基点が形成されることが好ましい。図4(A)の例では上端部が基点KAとなり、図4(B)の例では上端部が基点KBとなり、図4(C)の例では×の交点が基点KCとなり、図4(D)の例ではAの頂点が基点KDとなる。
次に、図5を参照して、本発明のチューブが使用され得る切削装置2の配管構成について説明する。エア源40からは高圧エアがチューブ31を介してクリーンユニット46に供給される。
クリーンユニット46は複数枚のフィルタを有しており、エア源40から供給された高圧エアを洗浄化する。クリーンユニット46からはチューブ33を介してチャックテーブル18へ吸引リリース時の吹き上げ用エアが供給され、チューブ35を介してエジェクタ等の負圧発生手段52に高圧エアが供給され、チューブ37を介してスピンドルユニット30にエアベアリング用のエアが供給される。
クリーンユニット46からは更に、チューブ39を介して切削ブレード28をカバーするホイールカバー32にホイールカバー開閉用エアが供給され、チューブ41を介してエアを供給してエアカーテン34を形成し、チューブ43を介して顕微鏡38用の分岐継ぎ手56にエアが供給される。
負圧発生手段52は、オリフィスを通過する高圧流体を利用して負圧を発生させるものであり、チューブ45を介してチャックテーブル18にチャックテーブルバキューム用負圧を供給し、チューブ47を介してスピンナ洗浄装置27にスピンナテーブルバキューム用負圧を供給する。
分岐継ぎ手56からはチューブ49を介して顕微鏡38にカバー開閉用エアが供給され、チューブ51を介してマクロ顕微鏡用ブローエアが供給され、チューブ53を介してミクロ顕微鏡用ブローエアが供給される。
チャックテーブル18からの排出エアはチューブ55を介してダクト60に排出され、スピンナ洗浄装置27からの排出エアはチューブ57を介してダクト60に排出され、スピンドル30からの排出エアはチューブ59を介してダクト60に排出される。
以上のように、切削装置2の各構成部品で使用されたエアは全てダクト60に排出される。なお、エアを供給するチューブには、例えば無色透明なチューブが使用される。
ホイールカバー32からの排出エアはチューブ61を介してダクト60に排出され、エアカーテン34からの排出エアはチューブ63を介してダクト60に排出され。顕微鏡38からの排出エアはチューブ65を介してダクト60に排出される。
冷却液源42からは例えば市水等の冷却液がチューブ67を介してクリーンユニット48に供給される。クリーンユニット48は複数枚のフィルタを含んでおり、これらのフィルタで冷却液を濾過する。
クリーンユニット48からは、チューブ69を介してスピンドル26を回転可能に支持するスピンドルユニット30に冷却液が供給される。スピンドルユニット30から排出される冷却液は、チューブ71を介してドレイン58に排出される。チューブ67,69,71は液体を供給するものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
切削・洗浄液源44からはチューブ73を介して例えば純水等の液体がクリーンユニット50に供給される。クリーンユニット50は複数枚のフィルタを含んでいる。クリーンユニット50からは、チューブ75を介してスピンナ洗浄装置27に洗浄液が供給され、チューブ77を介してホイールカバー用分岐継ぎ手54に切削液が供給され、チューブ79を介して供給された液体がウォーターカーテン36を形成する。
分岐継ぎ手54からはチューブ83を介してホイールカバー32にシャワーノズル用切削液が供給され、チューブ85を介してブレード冷却用切削液が供給され、チューブ87を介してシャワー用切削液が供給される。
スピンナ洗浄装置27から排出される洗浄液はチューブ81を介してドレイン58に排出され、ホイールカバー32から排出される切削液はチューブ89を介してドレイン58に排出され、ウォーターカーテン36を形成した液体はチューブ91を介してドレイン58に排出される。
チューブ73乃至チューブ91は、冷却液、切削液等の液体を供給したり、使用済みの液体を排出するために使用されるものであり、エアを供給するものと区別するために、例えば水色に着色されたものが使用されることが好ましい。
以上に説明したように、切削装置2の例では、数多くのチューブが使用されるものとなっており、これらを適切な位置で整理する必要が生じることになる。
図6は、一例としてクリーンユニット46に接続されるチューブについて結束バンド25を用いて装置の柱25に括り付けた例を示すものである。
この例においては、各チューブに表示された結束マーク13の位置を一致させることで適切な結束位置17において結束バンド25による結束が実現されることが示されている。
結束された装置の柱25と、クリーンユニット46との間の各チューブにおいても、無駄に撓むことや、長さ不足によって引っ張られることも無く、適切な状態で結束がされることとなっている。
そして、このような最適な状態の結束は、結束マーク13に基づいて結束を行うだけで容易に行えることから、作業者の習熟度によるばらつきを抑えることができる。このことから、チューブの引き回し作業について、習熟度の低い作業者によっても、適切にチューブの整理を行うことが可能となる。
なお、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。
11 チューブ
13 結束マーク
17 結束位置
25 結束バンド

Claims (2)

  1. 流体が流れるチューブであって、
    該チューブ上に印字され他のチューブと共に結束される結束位置を表示する結束マークを備えたチューブ。
  2. 前記結束マークは、左右及び/または上下で非対称な形状をとり、
    該結束マークは、前記チューブを他のチューブと共に結束する際に該チューブの向きを識別可能とする、
    ことを特徴とする請求項1に記載のチューブ。

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