JP6080439B2 - チューブ - Google Patents

Description

本発明は流体が流れるチューブに関する。

産業機械や製造装置には水やエアといった各種の流体を用いるものが多い。例えば、半導体デバイスの製造工程において、半導体ウェーハを研削して薄化するグラインダと呼ばれる研削装置や、薄化された半導体ウェーハをチップ状に分割するダイサーと呼ばれる切削装置においては、装置の所要箇所にエアや加工液、吸引力等を伝達する配管が張り巡らされることが知られている（例えば、特許文献１、２参照。）。

より具体的には、切削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを切削する切削ブレードを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、切削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。

また、研削装置は、少なくとも半導体ウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された半導体ウェーハを研削する研削ホイールを含むエアベアリング式のスピンドルユニットと、研削された半導体ウェーハを洗浄する洗浄装置とを備えている。

更に、これらの切削装置や研削装置では、チャックテーブルに半導体ウェーハを吸引するための負圧を発生させるエア吸引源や、エアベアリングに高圧エアを供給するエア供給源、洗浄装置に洗浄液を供給する洗浄液供給源等を備えるとともに、流体の吸引源や供給源からそれぞれの作用箇所へ流体を導くための配管が設けられている。

このような切削装置や研削装置における各種流体の配管としては、直径数ｍｍ〜数十ｍｍ程度の柔軟性を有するチューブが一般的に用いられており、適切な長さに切断されたチューブが装置内の適所に接続されている。

そして、このような流体を流すためのチューブは、通常リールに巻かれた状態で蓄積されており、リールから引き出したチューブを目的の長さに切断して使用することが行われている。

特開平１０−３２１５６２号公報 特開昭５５−１１２７６１号公報

上述した切削装置や研削装置などの各種加工装置には、液体、気体など各種の流体を個別に流動させるために、複数本のチューブが張り巡らされることとなる。そして、各チューブが絡まないようにする目的や、整頓の目的ために、複数のチューブを所定の結束位置で結束したり、例えば加工装置の骨組み等の所定位置に固定することが必要になる。

ここで、所定の長さに切断したチューブについて加工装置内において引き回す、つまりはチューブを取り付けて張り巡らした状態にする際に、所定の結束位置での結束や、所定位置での固定が確実に行われる場合には、チューブの長さが不足する、或いは、余剰するといった不具合が生じることはない。

しかしながら、作業者が例えば所定の結束位置から離れた位置で結束を行った場合には、チューブが巡る経路（チューブの軌跡）が変更することになるため、チューブの長さが不足する、或いは、余剰するといった不具合が生じる可能性がある。

この不具合は、作業者の作業ばらつきによって発生の度合いもばらつくものであり、そもそも、リールから引き出して切断した際のチューブの長さについても作業者によって若干のばらつきが存在することが想定される。

このことから、従来は、余裕を持ってチューブを所定の長さよりも長く引き出して切断し、長めのチューブを引き回した後、余剰部分をカットすることとしていた。

ところが、余剰部分は廃棄することになるため非常に非経済的であり、また、廃棄のためのコスト発生や自然環境保護への配慮にも欠けることになる。特に、１台の加工装置に数十〜数百ものチューブを使用する加工装置にとっては、廃棄されるチューブも大量となり、大きな問題となる。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、チューブの余剰分の発生をなくし、廃棄分を削減可能とする経済的なチューブを提供することである。

請求項１に記載の発明によると、装置に配設されるチューブであって、チューブ上に表示され装置の所定位置で引き回し経路の制御のために固定部材で固定されるべき位置を示す固定位置表示を備え、該固定位置表示は、該固定位置表示が固定されるべき位置を示すものであることを示す文字と、該チューブの長さ方向に直交する直線と、固定先情報と、を含むことを特徴とするチューブが提供される。

本発明によると、装置において固定すべき位置を示す固定位置表示が表示されているため、作業者によって過剰に引き回しが多くなり過剰にチューブを使用することが防止される。

従って、余剰分として廃棄するチューブが削減可能となって経済的であり、また、廃棄のためのコスト発生を防ぐことや、自然環境保護への配慮も実現できることになる。

さらに、固定位置表示が表示されているため、チューブを組み付ける作業者にとって作業し易い構成が実現できる。

切削装置の外観斜視図である。 ダイシングテープを介して環状フレームで支持された半導体ウェーハの斜視図である。 本発明のチューブの原理を説明する図である。 固定位置表示の他の実施形態について示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は配管に本発明のチューブを利用した切削装置２の外観斜視図を示している。切削装置２の前面側には、オペレータが加工条件等の装置に対する指示を入力するための操作手段４が設けられている。装置上部には、オペレータに対する案内画面や後述する撮像手段によって撮像された画像が表示されるＣＲＴ等の表示手段６が設けられている。

図２に示すように、ダイシング対象の発光デバイスウェーハＷ（以下、単に「ウェーハＷ」とも称する）の表面においては、第１のストリート（分割予定ライン）Ｓ１と第２のストリートＳ２とが直交して形成されており、第１のストリートＳ１と第２のストリートＳ２とによって区画されてＬＥＤ等の多数のデバイスＤがウェーハＷ上に形成されている。

ウェーハＷは粘着テープであるダイシングテープＴに貼着され、ダイシングテープＴの外周縁部は環状フレームＦに貼着されている。これにより、ウェーハＷはダイシングテープＴを介してフレームＦに支持された状態となり、図１に示したウェーハカセット８中にウェーハが複数枚（例えば２５枚）収容される。ウェーハカセット８は上下動可能なカセットエレベータ９上に載置される。

ウェーハカセット８の後方には、ウェーハカセット８から切削前のウェーハＷを搬出するとともに、切削後のウェーハをウェーハカセット８に搬入する搬出入手段１０が配設されている。ウェーハカセット８と搬出入手段１０との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域１２が設けられており、仮置き領域１２には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段１４が配設されている。

仮置き領域１２の近傍には、ウェーハＷと一体となったフレームＦを吸着して搬送する旋回アームを有する搬送手段１６が配設されており、仮置き領域１２に搬出されたウェーハＷは、搬送手段１６により吸着されてチャックテーブル１８上に搬送され、このチャックテーブル１８に吸引されるとともに、複数の固定手段（クランプ）１９によりフレームＦが固定されることでチャックテーブル１８上に保持される。

チャックテーブル１８は、回転可能且つＸ軸方向に往復動可能に構成されており、チャックテーブル１８のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの切削すべきストリートを検出するアライメント手段２０が配設されている。

アライメント手段２０は、ウェーハＷの表面を撮像する撮像手段２２を備えており、撮像により取得した画像に基づき、パターンマッチング等の処理によって切削すべきストリートを検出することができる。撮像手段２２によって取得された画像は、表示手段６に表示される。

アライメント手段２０の左側には、チャックテーブル１８に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す切削手段（切削ユニット）２４が配設されている。切削手段２４はアライメント手段２０と一体的に構成されており、両者が連動してＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する。

切削手段２４は、回転可能なスピンドル２６の先端に切削ブレード２８が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード２８は撮像手段２２のＸ軸方向の延長線上に位置している。

２５は切削が終了したウェーハＷを洗浄装置２７まで搬送する搬送手段であり、洗浄装置２７では、ウェーハＷを洗浄するとともにエアノズルからエアを噴出させてウェーハＷを乾燥する。

次に図３を参照して、本発明のチューブの原理を説明する。チューブ１１は、例えば、柔軟性を呈する樹脂から形成されており、チューブ１１上にはチューブ１１を固定する位置を表示するための固定位置表示１３が印字されている。

固定位置表示１３は直線、破線、鎖線、数字、英文字、漢字、片仮名、平仮名、図形等で構成することができ、これらを組み合わせてなるものであってもよい。

本実施形態の固定位置表示１３は、チューブ１１の長さ方向に直交する直線１３ａと、直線１３ａの近傍に配置される「固」の文字１３ｂと、を有して構成される。

固定位置表示１３の直線１３ａを目安に、結束バンド５２を用いて装置フレーム２３に対しチューブ１１を括り付けることによって、チューブ１１の所定の箇所（固定位置表示１３の箇所）が、所定の結束位置（装置フレーム２３）において結束される。

加えて、固定位置表示１３の「固」の文字１３ｂによって、作業者は、直線１３ａが固定位置を示すものであることを認識することができる。このように、文字１３ｂについては観念を想起させるものが使用されることが好ましい。

以上のように、装置内部に配設されるチューブ１１であって、チューブ１１上に表示され装置内部の所定位置において結束バンド５２（固定部材）で固定されるべき位置を示す固定位置表示１３を備えた構成とする。

これにより、チューブ１１を装置内部に引き回す作業を行う際に、作業者は、固定位置表示１３を確認するとともに、当該固定位置表示１３の箇所において所定の位置にチューブ１１を固定（又は結束）することができる。

そして、このように所定の位置において固定（又は結束）されたチューブ１１については、予め設計された理想的な引き回しが実現されることになる。このため、引き回した際に長さが足りなくなるといった状況も発生しないこととなり、余分に長いチューブ１１を準備する必要も無くなる。

加えて、余剰分として廃棄するチューブが削減可能となって経済的であり、また、廃棄のためのコスト発生を防ぐことや、自然環境保護への配慮も実現される。

なお、固定位置表示１３の直線１３ａと文字１３ｂの両方を同一の色で印字することで、印字コスト削減を図ることが可能となる。また、直線１３ａと文字１３ｂの両方を印字するほか、いずれか一方を印字することとしてもよい。固定位置表示１３は、インクジェット方式などによって印字することで表示されることとするほか、チューブ１１に所定のレーザービームを照射することによって表示されることとしてもよい。

また、固定位置表示１３が印字されるべきチューブ１１の長さ方向の位置は、例えば、実際の装置において各チューブを組み付けるとともに、実際に結束バンド５２を用いて適正な状態となるように結束するとともに、その結束された位置を最適な固定位置としてマーキングし、その後、チューブを取り外してマーキングされた固定位置のチューブ端部からの距離を実測することによって取得することができる。

このほか、例えば、コンピュータを用いたシミュレーションによって加工装置のモデルに対してチューブを張り巡らすとともに、最適な結束位置をシミュレーションすることによって、固定位置を取得することとしてもよい。

図４は、他の実施形態として固定先情報１３ｃを含む固定位置表示１３Ａを印字する例について示すものである。固定先情報１３ｃは、固定位置表示１３Ａが配置される箇所において、チューブ１１Ａが固定されるべき対象を示すものである。

具体的には、例えば、「Ａ３」の表記では装置右置の垂直フレーム１５の下側から３番目の位置に固定することを表し、「Ａ４」の表記では装置右置の垂直フレーム１５の下側から４番目の位置に固定することを表している。

また、固定位置表示１３Ａでは、固定先情報１３ｃに加え、複数の小円マークからなる小円マーク列１３ｄを有している。この小円マーク列１３ｄによって、固定先情報１３ｃのみの場合と比較して、固定位置表示１３Ａの位置をより容易に見つけることが可能となる。

なお、上記の実施形態において、チューブ１１の色については、特に限定されるものではないが、固定位置表示を視認しやすくするために、固定位置表示の色とコントラストの強い色が採用されることが好ましい。

また、固定位置表示を視認しやすくするため、固定位置表示が配置される箇所についてのみチューブ１１の色が所定の色に設定される、つまり、例えば、固定位置表示の印字部分についてのみ固定位置表示の色とコントラストの強い色による領域を形成することとしてもよい。

また、上述した実施形態では、本発明のチューブを切削装置の配管に適用した例について説明したが、本発明のチューブの使用はこれに限定されるものではなく、例えば研削装置、研磨装置等の他の加工装置の配管にも同様に適用である。

１１ チューブ
１３ 固定位置表示
１３ａ 直線
１３ｂ 文字
５２ 結束バンド

Claims (1)

1. 装置に配設されるチューブであって、
   該チューブ上に表示され該装置の所定位置で引き回し経路の制御のために固定部材で固定されるべき位置を示す固定位置表示を備え、
   該固定位置表示は、該固定位置表示が固定されるべき位置を示すものであることを示す文字と、該チューブの長さ方向に直交する直線と、固定先情報と、を含むことを特徴とするチューブ。

Images