JP2009117584A - ウェーハ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ処理装置(10)が、ウェーハ(30)に対して所定の処理を行う複数の処理ユニット(A〜N)を具備し、複数の処理ユニットのそれぞれは隣接する処理ユニットに着脱可能に連結されていて共通の搬送経路(15)を形成しており、さらに、搬送経路上を摺動する摺動体(20)を具備し、摺動体は、ウェーハを吸着する吸着テーブル(21)を少なくとも含んでいる。さらに、搬送経路が循環経路を形成しており、少なくとも二つの摺動体を搬送経路に循環させられるようにしてもよい。さらに、搬送経路の少なくとも一部においては、ウェーハに対して同一の処理を行う少なくとも二つの処理ユニットが並列に配置されるようにしてもよい。
【選択図】図1
Description
すなわち2番目の発明においては、摺動体の摺動時に開閉弁を閉鎖することにより、ウェーハが吸着テーブルから脱落するのを防止できる。摺動体が他の処理ユニットに到着した後で開閉弁を開放し、それにより、真空源からの吸着作用を再び受けられる。
すなわち3番目の発明においては、比較的重量のある回転駆動体、例えば駆動モータを摺動体と一緒に摺動させる必要性を排除できる。
すなわち4番目の発明においては、液体受容部が吸着テーブルを囲むように配置されているので、液体供給手段から供給された液体が吸着テーブル以外の摺動体の部分に飛散するのを防止できる。
すなわち5番目の発明においては、搬送経路を構成する一つの処理ユニットにおいてウェーハをウェーハ処理装置に取入れると共に、他の処理ユニットにおいてウェーハをウェーハ処理装置から排出するようにする。この場合には、摺動体が搬送経路を逆走する必要がないので、複数の摺動体を搬送経路に循環させられる。
すなわち6番目の発明においては、処理時間が比較的長い処理ユニットを並列に配置することにより、ウェーハ処理装置全体における処理時間を短縮できる。
図1は本発明に基づくウェーハ処理装置の略図である。図1に示されるウェーハ処理装置10は、複数の処理ユニットA〜I、J1〜M1、J2〜M2、Nを含んでいる。これら処理ユニットは、ホストコンピュータとしての制御部11により制御される。また、処理ユニットJ1〜M1と処理ユニットJ2〜M2とはそれぞれ互いに同一である。さらに、図1においては、制御部11により制御される二つの摺動体20が、複数の処理ユニットにより形成される搬送経路15に沿って同一方向に摺動している。
11 制御部
12 表示手段
15 搬送経路
15’ 分岐経路
16 上面
17 スリット
18 レール
20 摺動体
21 吸着テーブル
23 エアベアリング
24 ロータリジョイント
25 液体受容部
26 ハウジング
28 電機子
29 上方電磁クラッチ
30 ウェーハ
31 表面保護フィルム
36 洗浄水源
37 洗浄液供給手段
38 駆動モータ
39 下方電磁クラッチ
41 廃液管路
42 開閉弁
43 吸着テーブル用管路
44 開閉弁
49、59 マルチコネクタ
51 管路
53 真空源用管路
55 廃液タンク
56 真空源
A〜N 処理ユニット
Claims (6)
- ウェーハに対して所定の処理を行う複数の処理ユニットを具備し、該複数の処理ユニットのそれぞれは隣接する処理ユニットに着脱可能に連結されていて共通の搬送経路を形成しており、
さらに、前記搬送経路上を摺動する摺動体を具備し、
該摺動体は、前記ウェーハを吸着する吸着テーブルを少なくとも含んでいる、ウェーハ処理装置。 - 前記複数の処理ユニットのそれぞれは前記ウェーハを前記吸着テーブルに吸着するのに使用される真空源から延びる真空源用通路を含んでおり、
前記摺動体は、前記吸着テーブルおよび前記真空源用通路を接続する吸着テーブル用通路と、該吸着テーブル用通路に備えられた開閉弁とを含んでいる、請求項1に記載のウェーハ処理装置。 - 前記複数の処理ユニットのうちの少なくとも一つは、前記吸着テーブルを回転させる回転駆動体を含んでおり、
前記摺動体は、前記回転駆動体と前記吸着テーブルとを連結するクラッチをさらに含む、請求項1または2に記載のウェーハ処理装置。 - 前記複数の処理ユニットのうちの少なくとも一つは、前記ウェーハに対して液体を供給する液体供給手段を含んでおり、
前記摺動体は、前記吸着テーブル周りに配置されていて前記液体供給手段から供給された前記液体を受容する液体受容部を含む、請求項1から3のいずれか一項に記載のウェーハ処理装置。 - 前記搬送経路が循環経路を形成しており、少なくとも二つの前記摺動体を前記搬送経路に循環させられるようにした請求項1から4のいずれか一項に記載のウェーハ処理装置。
- 前記搬送経路の少なくとも一部においては、前記ウェーハに対して同一の処理を行う少なくとも二つの処理ユニットが並列に配置されている請求項1から5のいずれか一項に記載のウェーハ処理装置。
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