JP2014031589A - 蒸着方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この目的を達成するため本発明の温度制御ユニット32は、温度制御された液体または固体の熱媒体が供給される伝熱ブロック34と、この伝熱ブロック34の基材23との対向面側に保持された伝熱ローラー36とを備え、この伝熱ローラー36は、降下移動して基材23の裏面に当接し、基材23の移送に連動してこの移送方向と交差する軸を中心に回転するとともに、基材23からの力で上昇移動が可能であって、伝熱ローラー36および伝熱ブロック34は、基材23と熱媒体との間で熱を伝播し、基材23の温度を制御するものものとした。これにより本発明は、基材23の温度制御を高精度に行い、蒸着する微粒子の粒径を所望の大きさにコントロールすることができる。
【選択図】図5
Description
以下、本実施例では、電極箔を製造する為の蒸着装置について説明する。この電極箔は、たとえば図1に示す固体電解コンデンサ9の陽極として用いられる。
本実施例と実施例1との主な違いは、図9、図10に示すように温度制御ユニット32を分割した点である。温度制御ユニット32以外の構成は図3に示す実施例1の蒸着装置21と同様である。
10 コンデンサ素子
11 陽極電極部
12 陰極電極部
13 陽極端子
14 陰極端子
15 外装体
16 電極箔
17 誘電膜
18 絶縁部材
19 固体電解質層
20 陰極層
21 蒸着装置
22 真空槽
23 基材
24 巻き出しロール
25 巻き取りロール
26 容器
27 供給管
28 粗膜層
29 偏向ロール
30 偏向ロール
31 シャッター
32 温度制御ユニット
33 配管
34 伝熱ブロック
35 保持部
36 伝熱ローラー
37 溝
38 小ローラー
39 導入口
40 導出口
41A 小ユニット
41B 小ユニット
42 熱源
43A 小ユニット
43B 小ユニット
43C 小ユニット
Claims (5)
- 真空槽内で基材を所定方向に移送させながら、この基材の表面に微粒子を蒸着させる蒸着方法であって、
前記基材の裏面と温度制御された液体または固体の熱媒体との間で伝熱部材を介して熱を伝播させることにより熱交換して前記基材の温度を制御し、
前記伝熱部材は、自重または弾性体の反力により降下移動することで前記基材の裏面に当接し、前記基材の裏面の起伏に合わせて前記基材からの力で上昇移動が可能である、ことを特徴とする蒸着方法。 - 請求項1記載の蒸着方法において、前記伝熱部材が複数個に分割されており、分割された伝熱部材は各々独立して上下揺動または熱の伝播が可能であることを特徴とする蒸着方法。
- 請求項1記載の蒸着方法において、前記伝熱部材が前記基材の移送方向に複数個に分割されており、分割された伝熱部材は各々独立して上下揺動または熱の伝播が可能であることを特徴とする蒸着方法。
- 請求項1記載の蒸着方法において、前記伝熱部材が前記基材の移送方向と直交する方向に複数個に分割されており、分割された伝熱部材は各々独立して上下揺動または熱の伝播が可能であることを特徴とする蒸着方法。
- 請求項1記載の蒸着方法において、前記伝熱部材が前記基材の移送方向と移送方向と直交する方向との二方向ともに複数個に分割されており、分割された伝熱部材は各々独立して上下揺動または熱の伝播が可能であることを特徴とする蒸着方法。
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