JP5413172B2 - 蒸着装置 - Google Patents
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Description
以下、本実施例では、電極箔を製造する為の蒸着装置について説明する。この電極箔は、たとえば図1に示す固体電解コンデンサ9の陽極として用いられる。
本実施例と実施例1との主な違いは、図9、図10に示すように温度制御ユニット32を分割した点である。温度制御ユニット32以外の構成は図3に示す実施例1の蒸着装置21と同様である。
10 コンデンサ素子
11 陽極電極部
12 陰極電極部
13 陽極端子
14 陰極端子
15 外装体
16 電極箔
17 誘電膜
18 絶縁部材
19 固体電解質層
20 陰極層
21 蒸着装置
22 真空槽
23 基材
24 巻き出しロール
25 巻き取りロール
26 容器
27 供給管
28 粗膜層
29 偏向ロール
30 偏向ロール
31 シャッター
32 温度制御ユニット
33 配管
34 伝熱ブロック
35 保持部
36 伝熱ローラー
37 溝
38 小ローラー
39 導入口
40 導出口
41A 小ユニット
41B 小ユニット
42 熱源
43A 小ユニット
43B 小ユニット
43C 小ユニット
Claims (11)
- 真空槽内で基材を所定方向に移送させながら、この基材の表面に微粒子を蒸着させる蒸着装置であって、
この蒸着装置は、
前記基材の表面側に配置され、前記微粒子の原材料が供給される容器と、
この容器と前記基材を介して対向する側に配置された温度制御ユニットとを備え、
この温度制御ユニットは、
温度制御された液体または固体の熱媒体が供給される伝熱ブロックと、
この伝熱ブロックの前記基材との対向面側に保持された伝熱ローラーとを備え、
この伝熱ローラーは、
降下移動して前記基材の裏面に当接し、前記基材の移送に連動してこの移送方向と交差する軸を中心に回転するとともに、前記基材からの力で上昇移動が可能であって、
前記基材と前記熱媒体との間を、前記伝熱ローラーおよび前記伝熱ブロックを介して熱が伝播することにより、前記基材の温度が制御される蒸着装置。 - 真空槽内で基材を所定方向に移送させながら、この基材の表面に微粒子を蒸着させる蒸着装置であって、
この蒸着装置は、
前記基材の表面側に配置され、前記微粒子の原材料が供給される容器と、
この容器と前記基材を介して対向する側に配置された温度制御ユニットとを備え、
この温度制御ユニットは、
温度制御された液体または固体の熱媒体が供給される伝熱ブロックと、
この伝熱ブロックの前記基材との対向面側に設けられた保持部と、
この保持部で保持された伝熱ローラーとを備え、
この伝熱ローラーは、
降下移動して前記基材の裏面に当接し、前記基材の移送に連動してこの移送方向と交差する軸を中心に回転するとともに、前記基材からの力で上昇移動が可能であって、
前記基材と前記熱媒体との間を、前記伝熱ローラー、前記保持部、および前記伝熱ブロックを介して熱が伝播することにより、前記基材の温度が制御される蒸着装置。 - 真空槽内で基材を所定方向に移送させながら、この基材の表面に微粒子を蒸着させる蒸着装置であって、
この蒸着装置は、
前記基材の表面側に配置され、前記微粒子の原材料が供給される容器と、
この容器と前記基材を介して対向する側に配置された温度制御ユニットとを備え、
この温度制御ユニットは、
所定温度に発熱可能な熱源が設けられた伝熱ブロックと、
この伝熱ブロックの前記基材との対向面側に保持された伝熱ローラーとを備え、
この伝熱ローラーは、
降下移動して前記基材の裏面に当接し、前記基材の移送に連動してこの移送方向と交差する軸を中心に回転するとともに、前記基材からの力で上昇移動が可能であって、
前記熱源からの熱が、前記伝熱ブロック、前記伝熱ローラーへと順次伝播することにより、前記基材の温度が制御される蒸着装置。 - 真空槽内で基材を所定方向に移送させながら、この基材の表面に微粒子を蒸着させる蒸着装置であって、
この蒸着装置は、
前記基材の表面側に配置され、前記微粒子の原材料が供給される容器と、
この容器と前記基材を介して対向する側に配置された温度制御ユニットとを備え、
この温度制御ユニットは、
所定温度に発熱可能な熱源が設けられた伝熱ブロックと、
この伝熱ブロックの前記基材との対向面側に設けられた保持部と、
この保持部で保持された伝熱ローラーとを備え、
この伝熱ローラーは、
降下移動して前記基材の裏面に当接し、前記基材の移送に連動してこの移送方向と交差する軸を中心に回転するとともに、前記基材からの力で上昇移動が可能であって、
前記熱源からの熱が、前記伝熱ブロック、前記保持部、前記伝熱ローラーへと順次伝播することにより、前記基材の温度が制御される蒸着装置。 - 前記伝熱ローラーは、
自重により降下移動して前記基材の裏面に当接する、請求項1から4のいずれか一つに記載の蒸着装置。 - 前記伝熱ローラーの総質量は、
前記基材の幅あたりの張力の二分の一以下である、請求項1から4のいずれか一つに記載の蒸着装置。 - 前記伝熱ローラーは、
回転中心となる前記軸方向の長さが前記基材の幅よりも短く、この基材より外方にはみ出さないように配設された、請求項1から4のいずれか一つに記載の蒸着装置。 - 前記伝熱ローラーは、前記基材の移送方向に複数個並んでいる、請求項1から4のいずれか一つに記載の蒸着装置。
- 前記伝熱ローラーは、回転中心となる前記軸方向において、複数個に分割されている、請求項1から4のいずれか一つに記載の蒸着装置。
- 前記伝熱ローラーは、前記基材の移送方向に複数個並んでいるとともに、
少なくとも一つの前記伝熱ローラーは、その回転中心となる軸方向において、複数個に分割されている、請求項1から4のいずれか一つに記載の蒸着装置。 - 前記温度制御ユニットは、それぞれ少なくとも一つの伝熱ローラーを有するように、複数個に分割されている、請求項8から10のいずれか一つに記載の蒸着装置。
Priority Applications (1)
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JP2009284694A JP5413172B2 (ja) | 2009-12-16 | 2009-12-16 | 蒸着装置 |
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JP2009284694A JP5413172B2 (ja) | 2009-12-16 | 2009-12-16 | 蒸着装置 |
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JP2013230934A Division JP5786142B2 (ja) | 2013-11-07 | 2013-11-07 | 蒸着方法 |
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JP2011127154A JP2011127154A (ja) | 2011-06-30 |
JP5413172B2 true JP5413172B2 (ja) | 2014-02-12 |
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2009
- 2009-12-16 JP JP2009284694A patent/JP5413172B2/ja not_active Expired - Fee Related
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