JP2014030110A - リコンフィギャラブル集積回路装置およびその書き込み方法 - Google Patents

リコンフィギャラブル集積回路装置およびその書き込み方法 Download PDF

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Abstract

【課題】高速書き込みが可能であるとともに消費電流が少なくかつ占有面積が小さく、何回でも書き込みが可能なメモリを有するリコンフィギャラブル集積回路装置およびその書き込み方法を提供する。
【解決手段】本実施形態のリコンフィギャラブル集積回路装置は、第1乃至第3配線と、ゲートが前記第1配線に接続され、ソースおよびドレインの一方が前記第2配線に接続され、ソースおよびドレインの他方が前記第3配線に接続された第1不揮発性メモリトランジスタと、前記第3配線に接続されたゲートを有するスイッチ回路と、前記第1不揮発性メモリトランジスタに情報を書き込む書き込み電圧、前記第1不揮発性メモリトランジスタから情報を消去する消去電圧、および前記第1不揮発性メモリトランジスタをオンさせる選択電圧のいずれかを選択して前記第1配線に印加する第1電源回路と、前記第3配線に記憶するためのビットデータを前記第2配線に供給するデータ供給回路と、を備えている。
【選択図】図25

Description

本発明の実施形態は、リコンフィギャラブル集積回路装置およびその書き込み方法に関する。
FPGA(Field Programmable Gate Array)は任意の論理機能を実現することができるIC(Integrated Circuit)である。一般的なFPGAは、基本的な論理情報を実現するロジックブロック(LB(Logic Block))と、各LBを任意に接続するスイッチブロック(SB(Switch Block))を含む基本タイルが配置されたものである。これらのブロックは複数のプログラム可能なメモリを備え、そのメモリに書き込むことでFPGAは書きまれた情報に基づいた論理機能を実現する。これらのメモリには、例えば揮発性のSRAM(Static Random Access Memory)が用いられる。
SRAMを構成するSRAMセルはインバータのスイッチング速度とほぼ同等の速度で書き込みされ、電源を与え続けているかぎり格納されたデータを保持する。SRAMセルは、例えば6個のトランジスタで構成されており、占有面積が大きい。また、電源を与え続けなければならないため消費電力が大きい。
この電力が大きいという課題を解決する一つの手法として、様々な不揮発性メモリ、例えばフラッシュメモリを使用したFPGAが知られている。しかし、フラッシュメモリはSRAMに比べ一般的に書き込みまたは消去に長い時間を必要とする。このため、高速にメモリを書き込みまたは消去しなければならない状況、例えば出荷前のロジック動作テストなどの際には多くの時間コストがかかってしまう。
また、占有面積が大きいという課題を解決する一つの手法として、DRAM(Dynamic Random Access Memory)を用いたFPGAが知られている。DRAMへの書き込みはトランジスタの動作速度と同等であり、DRAMはトランジスタ1個とキャパシタ1個で構成されるため、面積も小さい。
しかしながら、DRAMはトランジスタのリーク電流などによりデータが失われるため、頻繁なリフレッシュ作業が必要となる。ロジック動作テストなど短時間で書き込みまたは消去を終えなければならない状況では有利であるが、ユーザーが使用する際はメモリの書き換えはそれほど必要ではないため、通常の動作状態ではリフレッシュが不必要なメモリが必要とされる。これに対し、始めはDRAMとして使用し、その後、DRAMを構成するトランジスタのゲート破壊を起こして不揮発性とする手法も考案されている。この手法は破壊的手法であるため、不揮発性FPGAにする際には一度しか書き込みを行うことができない。
以上のように、一般的なSRAMを使用する場合は高速書き込み可能だが、ユーザーが通常使用する際は消費電力が問題になる。DRAMを用いて占有面積の削減とともに、最終的には破壊的手法によって不揮発性化することも可能だが、書き込みは1度しかできない。
米国特許第7,129,749号明細書
本実施形態は、高速書き込みが可能であるとともに消費電流が少なくかつ占有面積が小さく、何回でも書き込みが可能なメモリを有するリコンフィギャラブル集積回路装置およびその書き込み方法を提供する。
本実施形態によるリコンフィギャラブル集積回路装置は、第1乃至第3配線と、ゲートが前記第1配線に接続され、ソースおよびドレインの一方が前記第2配線に接続され、ソースおよびドレインの他方が前記第3配線に接続された第1不揮発性メモリトランジスタと、前記第3配線に接続されたゲートを有するスイッチ回路と、前記第1不揮発性メモリトランジスタに情報を書き込む書き込み電圧、前記第1不揮発性メモリトランジスタから情報を消去する消去電圧、および前記第1不揮発性メモリトランジスタをオンさせる選択電圧のいずれかを選択して前記第1配線に印加する第1電源回路と、前記第3配線に記憶するためのビットデータを前記第2配線に供給するデータ供給回路と、を備えたことを特徴とする。
図1は、一実施形態によるFPGAを示す図。 図2(a)、2(b)は第1および第2実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図3は、メモリトランジスタの書き込みおよび消去特性を説明する図。 図4(a)、4(b)は第3および第4実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図5は、メモリの書き込み方法を説明する図。 図6(a)、6(b)は第5および第6実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図7(a)、7(b)は第7および第8実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図8(a)、8(b)は第9および第10実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図9(a)、9(b)は、CHEを用いた書き込み方法を説明する図。 図10は、メモリトランジスタのドレイン電流のソース−ドレイン電圧依存性を示す図。 図11(a)、11(b)は第11および第12実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図12(a)、12(b)は第13および第14実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図13(a)、13(b)は第15および第16実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図14は、追加回路を設けた場合と設けない場合におけるノードQの電位の時間依存性を示す図。 図15(a)、15(b)は第17および第18実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図16(a)、16(b)は第19および第20実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図17(a)、17(b)は第21および第22実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図18(a)、18(b)は第23および第24実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図19(a)、19(b)は第25および第26実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図20(a)、20(b)は追加回路として用いたメモリトランジスタの書き込みおよび消去を説明する図。 図21(a)、21(b)は第27および第28実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図。 図22(a)、22(b)は、メモリの書き込み方法の第1例を説明する図。 図23(a)、23(b)は、メモリの書き込み方法の第2例を説明する図。 図24(a)、24(b)は、メモリの書き込み方法の第3例を説明する図。 図25、一実施形態によるFPGAの第1具体例を示すブロック図。 図26は、一実施形態によるFPGAの第2具体例を示すブロック図。 図27は、一実施形態によるFPGAの第3具体例を示すブロック図。 図28は、一実施形態によるFPGAの第4具体例を示すブロック図。 図29は、第4具体例に用いられるROMの一例を示す回路図。 一実施形態によるFPGAの第5具体例を示すブロック図。 一実施形態によるFPGAの第6具体例を示すブロック図。 一実施形態によるFPGAの第7具体例を示すブロック図。 一実施形態によるFPGAの第8具体例を示すブロック図。 一実施形態によるFPGAの第9具体例を示すブロック図。
以下に、図を参照しながら実施形態について詳細に説明する。
一実施形態によるリコンフィギャラブル集積回路装置(以下、集積回路装置ともいう)について図1(a)乃至図34を参照して説明する。この一実施形態の集積回路装置は、FPGAであり、その概要を図1(a)乃至1(d)に示す。図1(a)に一実施形態のFPGA100を示す。このFPGA100は、アレイ状に配置された複数の基本タイル102と、これらの基本タイル102のアレイの周囲に配置された入出力部I/Oを備えている。各基本タイル102は、ロジックブロック(以下、LBともいう)104と、スイッチブロック(以下、SBともいう)106とを備えている。ロジックブロック104は図1(b)または図1(c)に示すように、マルチプレクサ110またはマルチプレクサ112を有し、論理機能を実現する。図1(b)に示すマルチプレクサ110は、2つの入力信号IN1、IN2に基づいて、複数のメモリの出力信号のうちの少なくとも1つを選択して出力信号とする。図1(c)に示すマルチプレクサ112は2つのメモリからの信号に基づいて、複数の入力信号IN1、IN2、・・・のうちから少なくとも1つを選択して出力信号とする。スイッチブロック106は、図1(d)に示すように、メモリに格納された情報に基づいてオン/オフする複数のスイッチ114a、114bを有し、これらのスイッチによって配線の接続の組み合わせを変える機能を有している。このように、ロジックブロック104およびスイッチブロック106には情報が格納されるメモリが設けられている。これらのメモリに格納される情報を書き換えることで、FPGA全体で任意の論理を実現する。メモリに格納される情報は、入出力部I/Oを介して外部から入力される。
一実施形態のFPGAに用いられるメモリの第1および第2実施例を図2(a)、2(b)に示す。図2(a)に示す第1実施例のメモリは、少なくとも1個のメモリセル10を有し、各メモリセル10は、不揮発性メモリトランジスタ(以下、メモリトランジスタともいう)12と、スイッチ回路20とを備えている。第1実施例においては、スイッチ回路20はnチャネルMOSトランジスタであってパストランジスタとも呼ばれる。メモリトランジスタ12は、フラッシュメモリトランジスタである。フラッシュメモリトランジスタは、半導体層に離間して設けられたソースおよびドレインと、ソース/ドレイン間のチャネルとなる半導体層上に設けられた第1絶縁膜と、第1絶縁膜上に設けられた電荷蓄積膜と、電荷蓄積膜上に設けられた第2絶縁膜と、第2絶縁膜上に設けられた制御ゲートとを備えている。フラッシュメモリトランジスタ12は、電荷蓄積膜としてフローティングゲートを用いたFG(Floating Gate)型トランジスタでもよいし、絶縁性の窒化シリコン膜を電荷蓄積膜として用いたMONOS(Metal-Oxide-Nitride-Oxide-Semiconductor)型トランジスタでもよい。なお、ゲート電極がポリシリコンである場合はSONOS(Silicon-Oxide-Nitride-Oxide-Silicon)型メモリトランジスタと呼ばれることもあるが、今回はこれも含めてMONOS型メモリトランジスタと呼ぶ。MONOS型トランジスタを用いた場合のほうが、パストランジスタ等のスイッチ回路とのプロセスの相性がよく、メモリとロジック回路とをより近接して混載することが可能であり、チップ面積を小さく抑えることが可能である。メモリトランジスタ12は、ソース/ドレインの一方がビット線BLに接続され、ソース/ドレインの他方がノード(配線)Qに接続され、ゲートがワード線WLに接続される。ノードQは、パストランジスタ20のゲートに接続される。
図2(b)に示す第2実施例のメモリは、少なくとも1個のメモリセル10Aを有し、各メモリセル10Aは、図2(a)に示す第1実施例のメモリセル10において、スイッチ回路20をインバータ22に置き換えた構成を有している。インバータ22は、pチャネルMOSトランジスタ22aおよびnチャネルMOSトランジスタ22bを備えている。このインバータ22のゲート、すなわちpチャネルMOSトランジスタ22aのゲートおよびnチャネルMOSトランジスタ22bのゲートがノードQに接続される。
第1および第2実施例のいずれも、パストランジスタ20もしくはインバータ22のゲートにノードQを介してメモリトランジスタ12のソース/ドレインの他方が接続されている。
メモリトランジスタ12においては、書き込みは電荷蓄積膜に電荷を蓄積させることにより行い、消去は電荷蓄積膜から電荷を引く抜くことにより行う。いずれにしても電荷蓄積膜内の電荷量に応じてメモリトランジスタの閾値電圧が変化する。メモリトランジスタ12におけるドレイン電流のゲート電圧依存性を図3に示す。
一般的に、書き込みまたは消去には数百ns〜数μsの時間を要する。全てのメモリセルが消去状態のときは、選択するメモリセルが接続されているワード線WLに、後述の書き込み電圧よりも低くメモリセルをオン状態にする電圧である選択電圧Vselectを印加し、ビット線BLの電位をHighレベルまたはLowレベルにし、その後、ワード線WLにオフ電圧(非選択電圧)Voffを印加することで、メモリトランジスタ12に接続されたスイッチ回路20、22のゲート容量に電荷を蓄積することができる(以下、DRAM動作ともいう)。ここで、スイッチ回路20、22のゲート容量とは、スイッチ回路20、22のゲートと、このゲートに接続されるメモリトランジスタ12のソース/ドレインの他方との間におけるノードQ(配線)の寄生容量を意味する。なお、非選択のメモリセルについてはワード線にオフ信号Voffを印加し、メモリトランジスタ12をオフの状態にしておく。電荷の蓄積はメモリトランジスタ12の動作スピード(psオーダー)程度の高速に終えることができる。蓄積された電荷がリーク成分によって失われるまで、その電荷による電位によって接続されたパストランジスタ20やインバータ22は動作することができる。
このゲート容量は、容量を追加することにより電荷を多く蓄積することができれば、その分長い時間電位を保つことができる。そこで、容量を追加した第3および第4実施例によるメモリのメモリセルを図4(a)、4(b)に示す。図4(a)に示すメモリセル10Bは、図2(a)に示すメモリセル10のゲート容量に追加回路、例えばキャパシタ14を設けた構成であり、図4(b)に示すメモリセル10Cは、図2(b)に示すメモリセル10Aのゲート容量にキャパシタ14を設けた構成である。
次に、上記第1乃至第4実施例によるメモリのメモリトランジスタ12へのデータの書き込み方法について図5を参照して説明する。図5では、上記実施例のメモリのメモリセルがマトリクス状に配列され、各メモリセルについてはメモリトランジスタ12を表示し、スイッチ回路は図示していない。
各メモリトランジスタ12はFN(Fowler-Nordheim)トンネル電流による電荷の注入または引き抜きにより書き込みまたは消去を行う。書き込みを行うとするメモリセルに接続されたワード線WL1に書き込み電圧(例えば、20V)を印加し、ビット線BL1に書き込み電圧(例えば0V)を与えることで書き込みを行う。そのとき、非選択のメモリセルのビット線BL2には8Vの書き込み防止電圧与える。これにより、書き込みを行うメモリセルとワード線WL1を共有している非選択のメモリセルにはゲート−ドレイン間に12V程度しか電圧が印加されず、FNトンネル電流による書き込みが起きない。
メモリセルから情報を消去するときにはメモリセルが形成されている半導体層に電圧(基板バイアス)を印加するための電極(基板電極)に0Vもしくは正電圧(0V以上の電圧)を与えた状態において選択されたワード線に負の消去電圧を印加することで行う。消去電圧は例えば−20Vである。このとき、同じ選択されたワード線に接続されたメモリセルは一括で消去される。メモリ動作時は全てのビット線にHighレベルを、全てのワード線に選択電圧Vselectを印加することにより、消去状態のメモリセルはメモリトランジスタ12がオンしているのでスイッチ回路(例えば、パストランジスタ20)のゲートにHighレベルが印加され、書き込み状態のメモリセルはメモリトランジスタがオフしているのでスイッチ回路のゲートには電圧が印加されない(図3参照)。
図2(a)、2(b)、図4(a)、4(b)に示す第1乃至第4実施例では、メモリ動作時に書き込み状態のメモリセル(Lowレベルがスイッチ回路のゲートに与えられるメモリセル)に接続されたスイッチ回路のゲートはフローティング状態になってしまう。フローティングになってしまうと、リーク電流などによって流れ込んだ電荷により電位が上がってしまう。
この問題は、図6(a)、6(b)に示す第5または第6実施例のメモリを用意し、相補的な書き込みを行うことにより解決することができる。図6(a)に示す第5実施例のメモリは、ソース/ドレインの一方がビット線BL1に接続され、ゲートがワード線WL1に接続されたメモリトランジスタ12aと、ソース/ドレインの一方がビット線BL2に接続され、ゲートがワード線WL2に接続されたメモリトランジスタ12bと、ゲートがメモリトランジスタ12aのソース/ドレインの他方およびメモリトランジスタ12bのソース/ドレインの他方に接続されたパストランジスタ20と、を備えている。すなわち、第5実施例のメモリにおいては、第1実施例のメモリにおいて、異なるメモリセルのパストランジスタ20が共有された構成となっている。図6(b)に示す第6実施例のメモリは、図6(a)に示す第5実施例において、パストランジスタ20をインバータ22に置き換えた構成となっている。すなわち、第6実施例のメモリは、第2実施例のメモリにおいて、異なるメモリセルのインバータ22が共有された構成となっている。
次に、これらの第5または第6実施例におけるメモリトランジスタ12a、12bに対する相補的な書き込みの効果について説明する。具体的には、ワード線WL1およびワード線WL2に選択電圧Vselectを印加し、ビット線BL1に例えばHighレベルを、ビット線BL2に例えばLowレベルの電圧を印加する。このとき、メモリトランジスタ12aが書き込み状態、メモリトランジスタ12bが消去状態であれば、スイッチ回路20、22のゲートにはHighレベルが印加される。逆にメモリトランジスタ12aが消去状態、メモリトランジスタ12bが書き込み状態であればスイッチ回路20、22のゲートにLowレベルが印加される。このように、相補的な書き込みを行うことにより、スイッチ回路20、22のゲートがフローティング状態になるのを防止することができ、リーク電流などによって流れ込んだ電荷により電位が上がってしまうことを防止することができる。
これらの図6(a)、6(b)に示す第5および第6実施例も、図2(a)、2(b)および図4(a)、4(b)に示す第1乃至第4実施例のように、全メモリセルを消去状態にしてDRAM動作が可能である。具体的には全メモリセルを消去状態にし、ワード線WL1に電圧Vselect、ワード線WL2に電圧Voffを印加し、ビット線BL1にHighレベルもしくはLowレベルの電圧を印加し、その後ワード線WL1にも電圧Voffを印加することで、電荷を蓄積する。もしくはワード線WL1およびワード線WL2に共に電圧Vselectを印加し、ビット線BL1およびビット線BL2に共にHighレベルもしくはLowレベルの電圧を印加し、その後ワード線WL1およびワード線WL2に電圧Voffを印加することで電荷を蓄積する。
また、図6(a)、6(b)に示す第5および第6実施例のメモリにおいて、図4(a)、4(b)に示す第3および第4実施例と同様に、追加回路、例えばキャパシタ14を設けることにより、ゲート容量にキャパシタ14の容量を追加するように構成してもよい。これを図7(a)、7(b)に示す。図7(a)、7(b)は、第7および第8実施例のメモリを示す回路図である。このように、キャパシタ14を設けることによりゲート容量を大きくし、電荷をより長い時間保持することができる。
上記第1乃至第8実施例のメモリにおけるメモリトランジスタ12、12a、12bへの書き込みはすべてFNトンネル電流による電荷の注入もしくは引き抜きを想定している。しかしながら、FNトンネル電流による書き込み方法では、図5に示すように非選択のメモリセルのメモリトランジスタ12、12a、12bのゲートに8Vの電圧が印加されてしまう。これにより、メモリトランジスタ12、12a、12bに接続するパストランジスタもしくはインバータは8Vに耐えうる厚さのゲート酸化膜を有するか、もしくは破壊されないような電圧を基板やソースまたはドレインに印加するなどの施策が必要となる。
これに対し、CHE(Channel hot electron)を利用した書き込みではビット線にあまり高い電圧をかけなくても良いため、メモリトランジスタに接続されるパストランジスタもしくはインバータの負担が軽減される。CHEはきわめて高いエネルギー有している電子で、トランジスタのドレイン電圧がある値よりも大きくなってチャネルがドレイン端でピンチオフを起こしたときに発生する。ソース/ドレイン間の電位差によって発生したCHEをゲート電圧によって電荷蓄積膜に引き込むことによってメモリセルへの書き込みを実現する。CHEを用いた書き込み方式の場合、FN電流を用いた書き込み方式に比べて個々の端子に印加する電圧の値が小さいという利点がある。
しかし、一方のメモリトランジスタに選択的な書き込みを実現するためにアクセストランジスタを設けことによりチップ面積が増加してしまう問題がある。書き込みのワード線の電圧は例えば10Vであり、書き込みのビット線の電圧は例えば4Vである。
このCHEを用いた書き込み方式に適したメモリについて図8(a)、8(b)を参照して説明する。図8(a)、8(b)はそれぞれ、第9および第10実施例によるメモリのメモリセルを示す回路図である。図8(a)に示す第9実施例に係るメモリセル10Dは、ソース/ドレインの一方がビット線BL1に接続され、ソース/ドレインの他方がノードQに接続され、ゲートがワード線WLに接続されたメモリトランジスタ12aと、ソース/ドレインの一方がビット線BL2に接続され、ソース/ドレインの他方がノードQに接続され、ゲートがワード線WLに接続されたメモリトランジスタ12bと、ゲートがノードQに接続されたパストランジスタ20と、を備えている。すなわち、メモリトランジスタ12a、12bのソース/ドレインの他方と、パストランジスタ20のゲートが共通のノードQに接続されている。図8(b)に示す第10実施例に係るメモリセル10Eは、図8(a)に示す第9実施例に係るメモリセル10Dにおいて、パストランジスタ20をインバータ22に置き換えた構成となっている。
次に、第9および第10実施例によるメモリにおけるCHEを用いた書き込み方法について、図9(a)、9(b)を参照して説明する。
ワード線WLに第1書き込み電圧(10V)を印加すると、両方のメモリトランジスタ12a、12bがオン状態になる。ここで、FN電流は20V程度の電圧が必要なため、この書き込み電圧では両方のメモリトランジスタ12a、12bに書き込みは生じない。この状態でビット線BL2に第2書き込み電圧(4V)を印加すると、メモリトランジスタ12aとメモリトランジスタ12bでソースに対するゲート電位差(以下、ドライブ電圧とする)に差が生じる。すなわち、メモリトランジスタ12aではドライブ電圧が10 Vであるのに対し、メモリトランジスタ12bではドライブ電圧が6Vになる(図9(a)、9(b))。一般に、トランジスタのチャネル抵抗はドライブ電圧が大きいほど小さくなる。このため、メモリトランジスタ12bよりもメモリトランジスタ12aのほうが低抵抗となる。ここでメモリトランジスタ12aのチャネル抵抗をR1、メモリトランジスタ12bのチャネル抵抗をR2とし、ビット線BL1、BL2に印加する電圧、すなわち第1および第2電源の電圧をそれぞれVBL1、VBL2とし、ノードQの電位をVQとすると、VQは以下の式で表される。
VQ=(R1/(R1+R2))×(VBL2−VBL1)
ここで、R1<R2であるから、VQは(VBL2−VBL1)/2よりも小さくなる。すなわち、ノードQの電位VQはビット線BL2の電圧VBL2よりもビット線BL1の電圧VBL1に近い電位となり、メモリトランジスタ12aのソース−ドレイン電圧よりもメモリトランジスタ12bのソース−ドレイン電圧のほうが大きくなる。
前述のようにCHEはトランジスタのチャネルがドレイン端でピンチオフするときに発生する。しかし、ソース−ドレイン電圧を大きくしていくとある電圧(以下、Vdsatと記す)に達したところでピンチオフが生じ、いったんピンチオフが生じるとトランジスタのドレイン電流は飽和する。この様子を様々なドライブ電圧Vdriveに対する特性を図10に示す。図10はドライブ電圧Vdriveをパラメータとした場合における、ドレイン電流のソース−ドレイン電圧依存性を示す特性図である。図10においては、ドライブ電圧Vdriveとして5種類の電圧V1、V2、V3、V4、V5を用いた。これらの電圧は、V1<V2<V3<V4<V5を満たす。点線はチャネルがピンチオフする点を表したものであり、一般にドライブ電圧が大きいほど、ドレイン電流が飽和する電圧Vdsatは大きくなる。
第9または第10実施例において、メモリトランジスタ12bのドライブ電圧よりもメモリトランジスタ12aのドライブ電圧のほうが大きいため、ピンチオフに必要なソース−ドレイン電圧もメモリトランジスタ12aのほうがメモリトランジスタ12bの場合よりも大きい。しかし、前述したようにメモリトランジスタ12aのソース−ドレイン電圧はメモリトランジスタ12bのソース−ドレイン電圧よりも小さい。このため、ピンチオフに必要なソース−ドレイン電圧がメモリトランジスタ12aでは得られず、CHEによる書き込みは生じない。しかし、メモリトランジスタ12bにおいては相対的にドライブ電圧が小さく、ソース−ドレイン電圧が大きいため、チャネルのピンチオフが生じ、CHEによるメモリの書き込みが生じて選択的に書き込みを行うことができる。
メモリセルから情報を消去するときには基板電極に0Vもしくは正電圧(0V以上の電圧)を与えた状態でワード線WLに負の消去電圧を印加することで行う。消去電圧は例えば−20Vである。このとき、同じワード線に接続されたメモリセルは一括で消去される。
図8(a)、8(b)に示す第9および第10実施例においては、第1乃至第8実施例と同様に、DRAM動作をすることができる。具体的には、全メモリセルを消去状態にし、ワード線に選択電圧Vselectを印加し、ビット線BL1およびビット線BL2に共にHighレベルもしくはLowレベルの電圧を印加し、その後ワード線をオフ電圧Voffにすることで電荷を蓄積する。非選択のメモリセルにはオフ電圧(非選択電圧)Voffを印加しておく。
第3実施例、第4実施例、第7実施例、第8実施例のように、第9または第10実施例のメモリセルのノードQに一端が接続される、追加回路、例えばキャパシタ14を設けることにより、ゲート容量を大きくしてもよい。これを図11(a)、11(b)に示す。図11(a)、11(b)は、第11および第12実施例のメモリを示す回路図である。このように、キャパシタ14を設けることによりゲート容量を大きくし、電荷をより長い時間保持することができる。
また、図12(a)、12(b)に示す第13および第14実施例のように、キャパシタ14の他端が電源VP1に接続されていてもよい。
DRAM動作時に電荷保持時間を長くする方法の例を図13(a)、13(b)に示す。図13(a)、13(b)は第15および第16実施例に係るメモリセルを示す図である。第15および第16実施例は、図12(a)、12(b)に示す第13および第14実施例において、キャパシタ14の代わりに追加回路としてトランジスタ15を設けた構成となっている。トランジスタ15は、ゲートがノードQに接続され、ソースおよびドレインが電源VP1に接続された構成となっている。なお、図13(a)、13(b)において矢印はゲートリークを示す。
この構成により、ノードQの容量を増加させるとともに、リーク電流によってノードQの電位がHighレベルとなる保持時間を長くする。第15および第16実施例のように、追加回路を設けた場合と、設けない場合におけるノードQの電位の時間経過をシミュレーションにより求め、その結果を図14に示す。このシミュレーションでは、ノードQの初期電位が1.8Vと、0Vである場合についてそれぞれ計算した。図14からわかるように、ノードQの電位は、Highレベル(初期電位が1.8V)の保持時間は長くなっている。しかし、Lowレベル(初期電位が0V)をDRAM的に保持したいときはリーク電流によってノードQの電位が上昇することが分かる。しかしながら、ノードQの電位が、ノードQに接続されるパストランジスタ20の閾値電圧やインバータ22の反転電圧までであれば上昇しても、メモリセルの動作には影響無いと考えられる。特にインバータ22、例えば1Vの電源で動作するインバータでは、Lowレベルは〜0.2V以下、Highレベルは〜0.8V以上必要である。よって、例えば図11のような通常の構成では、Lowレベルは0Vに固定され、Highレベルのときだけ、すぐに電位が低下するが、Lowレベルが0.2V程度まで上昇する代わりHighレベルの電位がより保持されるというこの回路構成の方が、より長い時間の動作を可能にすると考えられる。
第15および第16実施例の応用として、図15(a)、15(b)に第17および第18実施例によるメモリのメモリセルを示す。第17および第18実施例においては、トランジスタ15のソースおよびドレインの一方を電源VP1に接続し、ソースおよびドレインの他方を電源VP2に接続した構成となっている。なお、図15(a)、15(b)において矢印はゲートリークを示す。電源VP1および電源VP2にHighレベルの電位を与えることで、図13(a)、13(b)に示す第15および第16実施例と同様の効果がある。ここで、例えば電源VP1にHighレベルを、電源VP2にLowレベルを印加し、その電流量を計測することでノードQの電位を予想することができる。これにより、メモリ動作時には、きちんとメモリトランジスタ12a、12bに書き込みが起きているかを確認することができる。
図13(a)、13(b)に示す第15、第16実施例および図15(a)、15(b)に示す第17、第18実施例はゲートリークを利用したメモリである。これらの実施例において、例えばノードQに接続されているパストランジスタ20やインバータ22のゲートリークが多いか、またはメモリトランジスタ12a、12bのオフリークが大きい場合には、ゲートリークでは足りないと考えられる。そこで、図16(a)、16(b)に示す第19、第20実施例のように、追加回路として、ダイオード接続されたトランジスタ16の逆方向リークを利用することも考えられる。ダイオードのアノードをノードQに、カソードを電源VP1に接続する。追加回路としては、ダイオード接続されたトランジスタを用いなくとも、図17(a)、17(b)に示す第21、第22実施例のように、ダイオード17を用いても良い。
また、トランジスタのオフリーク(抵抗)を利用することも考えられる。これを図18(a)、18(b)の第23、第24実施例に示す。これらの第23、第24実施例においては、追加回路であるトランジスタ18のゲートに接続された電源VP2としてトランジスタ18がオフする電圧を印加し、電源VP1にHighレベルの電圧を印加する。
また、この追加回路のトランジスタとしては、図19(a)、19(b)に示す第25、第26実施例のように、メモリトランジスタ19であっても良い。これらの第23および第24実施例において、DRAM動作時には電源VP2にメモリトランジスタ19がオフする電圧を印加し、電源VP1にHighレベルの電圧を印加することで、図18(a)、18(b)に示す第23、第24実施例と同じ動作をする。
さらに、第25および第26実施例において、メモリ動作時にはメモリトランジスタ19の書き込みまたは消去でも動作することできる。これについて図20(a)、20(b)を参照して説明する。ゲート電圧に対するメモリトランジスタ19のドレイン電流の傾きは書き込みまたは消去後に変わらないと仮定する。オン電流Ion(例えば10μA/μm)付近の傾きをL(V/decade)とする。この傾きはドレイン電流が1桁増加するのに必要なゲート電圧である。消去時の閾地電圧をE(V)とする。メモリトランジスタ12aの閾値がE+2L(V)になるように書き込み、メモリトランジスタ12bの閾値は十分高くなるように書き込む。メモリトランジスタ19を消去状態にするか、または閾値電圧がE+4L(V)以上になるように書き込む。その後、ワード線WLおよび電源VP2に読み出し電圧2L(V)を印加することで読み出しを行う。このとき例えば、メモリトランジスタ19が消去状態にあり、ビット線BL1にHighレベル、電源VP1にLowレベルの電圧を印加し、ワード線WLおよび電源VP2に2L(V)印加すると、ノードQにはLowレベルの電位が出力される。メモリトランジスタ19が書き込み状態のときは、逆にノードQにはHighレベルの電位が出力される。なお、この方法では2つのメモリトランジスタ12a、19の抵抗比が大きくないためリーク電流が増加する。よって、リーク電流よりもメモリトランジスタ12a、19の劣化を抑えたい状況などにおいて有効である。また、上記ではメモリトランジスタ12aとメモリトランジスタ19について示したが、メモリトランジスタ12aの代わりにメモリトランジスタ12bを同様に使用しても良い。
また、追加回路としては、図18(a)、18(b)に示すトランジスタ18でなくともよく、図21(a)、21(b)に示す第27、第28実施例のように、抵抗25であっても良い。
次に、メモリのDRAM動作について図22(a)、22(b)を参照して説明する。図22(a)はメモリセルアレイを示し、図22(b)は、ワード線WL1〜WL5およびビット線BLに印加される電圧の波形図を示す。なお、図22(a)においては、各メモリセルのスイッチ回路(パストランジスタまたはインバータ)は図示していない。
メモリセルは全て消去状態とする。ワード線WL1に接続されているメモリに電荷を蓄積するときは、ワード線1に選択電圧Vselectを印加し、ビット線にデータを印加する。このとき、ワード線WL1に接続され選択電圧Vselectが印加されているメモリセルのビット線BL1乃至BL8にデータを全て印加する。その後、ワード線WL1をオフ電圧Voffにする。ワード線WL1がオフ電圧Voffになってからワード線WL2への選択電圧Vselectの印加とビット線BL1乃至BL8にデータの印加を開始する。重要なことは、ワード線(例えばワード線WL1)に選択電圧Vselectが印加されている間にビット線のデータを確定させ、その状態で上記ワード線WL1をオフ電圧Voffにすることであり、それによりデータをDRAM的に保持することができる。ここで、ワード線WL1に選択電圧Vselectが印加されている間にビット線のデータを確定させることは、ワード線WL1に印加されている電圧が立ち下がらないうちに、ビット線に印加される電圧が立ち上がることを意味する。
よって、図23(a)、23(b)に示すように、ビット線のデータの印加時間内にワード線をVoff→Vselect→Voffとしても良い。また、図24(a)、24(b)に示すように、同じ信号波形を用いてワード線とビット線に印加する電圧を遅延させて動作させてもDRAM動作は可能である。また、ワード線の印加する順番はランダムでも良い。
一実施形態によるFPGAの第1具体例を図25に示す。この第1具体例のFPGAは、DRAM動作とその後のメモリ動作を行う。第1具体例のFPGAは、FPGAコア150と、ロウデコーダ160と、アドレスコントローラ162と、電源回路166と、複数のマルチプレクサ170と、カラムデコーダ180と、電源回路184と、DRAMコントローラ190と、を備えている。FPGAコア150は、図1で説明した基本タイル102を複数個含み、このため、図1で説明したロジックブロックLBおよびスイッチブロックSBを有している。
ロウデコーダ160は、アドレスコントローラ162から送られてくるアドレス信号に基づいて、FPGAコア150に含まれるメモリのワード線を選択し、選択したワード線に動作モードに応じた電圧を印加する。この電圧は電源回路166から供給される。例えば、DRAM動作時には、選択したワード線に選択電圧Vselectを印加し、非選択のワード線に非選択電圧Voff(例えば、0V)を印加する。また、書き込み動作時には選択されたワード線には書き込み電圧(例えば、20V)を印加し、消去時には消去電圧(−20V)を印加する。
カラムデコーダはアドレスコントローラ162から送られてくるアドレス信号に基づいて、FPGAコア150に含まれるメモリのビット線を選択し、選択したビット線に動作モードに応じた電圧を印加する。この電圧は電源回路184から供給される。例えば、書き込み時には、書き込み電圧(例えば、0V)を印加し、非選択のビット線には非選択電圧(例えば、8V)を印加する。
また、この第1具体例においては、DRAM動作時はマルチプレクサ170によってカラムデコーダ180ではなくDRAMコントローラ190からの信号が選択される。このDRAMコントローラ190はDRAM動作用のビットデータを制御する。
一実施形態によるFPGAの第2具体例を図26に示す。この第2具体例のFPGAにおいては、第1具体例のFPGAにおいて、アドレスコントローラ162とDRAMコントローラ190の間に遅延素子200を設けた構成となっている。この構成を用いたことにより、図24(b)に示す動作ができる上、入力信号をそのまま使用できるので、DRAMコントローラ190の回路構成を単純にすることができる。
一実施形態によるFPGAの第3具体例を図27に示す。この第3具体例のFPGAは、第1具体例のFPGAにおいて、DRAMコントローラ190に供給するビットデータを格納するROMまたはレジスタからなる内部メモリ210を設けた構成となっている。この構成を用いたことにより、DRAM動作では高速にビットデータを入力することができる。また、ワード線を共有するメモリには同時にビットデータを渡さなければならないため、外部からピンを使ってデータを入力するにはビットデータ分のピンが必要となり、現実的ではない。一方で、メモリトランジスタは一度に書き込みまたは消去を行えばデータが消える心配が無いため、外部ピンを使用してシリアルにデータを転送することができる。このように、DRAM動作のための内部メモリ210やコントローラ162、190とメモリ書き込み用のカラムデコーダ180を併せ持つことにより、DRAM動作とメモリ動作が行うことできる。なお、内部メモリ210としては、ROM(Read Only Memory)またはレジスタが用いられる。また、ROM内のデータは圧縮されていてもよく、その場合はDRAMコントローラ190において解凍されてデータが供給される。
一実施形態によるFPGAの第4具体例を図28に示す。この第4具体例のFPGAは、第1具体例のFPGAにおいて、DRAMコントローラ190の代わりにROM220およびセレクタ230を設けた構成となっている。この第4具体例に用いられるROM220の一例を図29に示す。このROM220は、アレイ状に配列されたトランジスタ222のソースおよびドレインの一端が接地電位に接続されているか否かによってデータ「0」または「1」を意味する。セレクタ230は予めpMOSトランジスタ224を動作させて出力線をプリチャージしておく。その後、セレクタ230によって選択線を選択し、選択されたトランジスタ222が接地電位に接続されていれば出力線から電荷が抜け、Highレベルが出力される。選択されたトランジスタ222が接地電位に接続されていなければ、電位は保持されLowレベルが出力される。ROM220は予めデータが決まっているときにしか使用できないが、1ビットを1トランジスタで表現できるため小さな面積で作製することができるメリットがある。例えばロジック動作のテストは予めテストするパターンが決まっているため、ROMとして面積を小さくして内部で保持することにメリットがある。なお、ROM220は複数に分かれていても良い。また、例えばロジック動作のテストでは、ブロックが周期的に並んでいるリコンフィギャラブル集積回路装置では同一ワードラインの複数のメモリで同じデータを必要とするときもある。よって、1つのROM220から複数のメモリにデータを転送しても良い。
一実施形態によるFPGAの第5具体例を図30に示す。この第5具体例のFPGAは、第1具体例のFPGAにおいて、DRAMコントローラ190と、マルチプレクサ170との間に、ROM220と、レジスタ240とを設けた構成となっている。このような構成としたことにより、安定してビットデータを印加することができる。なお、ROM220、レジスタ240、およびマルチプレクサ170を含むブッロク250は、複数に分かれていても良い。
一実施形態によるFPGAの第6具体例を図31に示す。図30に示す第5具体例のFPGAは、ROM220からのデータは、各レジスタに送られていた。この第6具体例のFPGAは、第5具体例のFPGAにおいて、ブロック250をブロック252に置き換えた構成となっている。このブロック252は、レジスタ240がシフトレジスタであって、ROM220からのデータがシフトレジスタ240の入力段に送られ、シフトレジスタ240によりデータを保持する。これにより、ROM220から一度に読み出すデータ量を減らすことができる。シフトレジスタを何段で構成するかはシフトレジスタの転送速度とDRAM動作時の電荷の保持時間に依存する。前述と同様に、ROM220、レジスタ240、およびマルチプレクサ170を含むブロック252は複数に分かれてあっても良い。
これまで示した各具体例においては、ロウデコーダ、カラムデコーダの位置や個数は限定されない。例えば、図32に示す第7具体例のようにFPGAコア150の上下に2つのカラムデコーダ180A、180Bを配置し、左右に2つのロウデコーダ160A、160Bを配置するようにしても良い。この第7具体例においては、第1具体例に示した電源回路166および電源回路184を含んでいるが、図示していない。
また、図33に示す第8具体例のように、FPGAコアを2つのFPGAコア150A、150Bに分割して配置しても良い。この第8具体例においては、第1具体例に示した電源回路166および電源回路184を含んでいるが、図示していない。
また、図34に示す第9具体例のように、4つに分割されたFPGAコア150A、150B、150C、150Dに対して、FPGA150AとFPGA150Bとの間にロウデコーダ160Aを設けるとともに、FPGA150CとFPGA150Dとの間にロウデコーダ160Bを設け、更にFPGA150AとFPGA150Cとの間にカラムデコーダ180Aを設けるとともに、FPGA150BとFPGA150Dとの間にカラムデコーダ180Bを設けてもよい。この第9具体例においては、第1具体例に示した電源回路166および電源回路184を含んでいるが、図示していない。
このように第7乃至第9具体例のような構成とすることにより、1つのデコーダが充放電する配線が短くなるため、さらに高速に電圧を印加することができる。
以上説明したように、実施形態によれば、高速書き込みが可能であるとともに消費電流が少なくかつ占有面積が小さく、何回でも書き込みが可能なメモリを有するリコンフィギャラブル集積回路装置およびその書き込み方法を提供することができる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これらの実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これらの実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。
10〜10E メモリセル
12 メモリトランジスタ
12a、12b メモリトランジスタ
20 パストランジスタ(スイッチ回路)
22 インバータ(スイッチ回路)
22a pチャネルMOSトランジスタ
22b nチャネルMOSトランジスタ
100 FPGA
102 基本タイル
104 ロジックブロック
106 スイッチブロック
110 マルチプレクサ

Claims (13)

  1. 第1乃至第3配線と、
    ゲートが前記第1配線に接続され、ソースおよびドレインの一方が前記第2配線に接続され、ソースおよびドレインの他方が前記第3配線に接続された第1不揮発性メモリトランジスタと、
    前記第3配線に接続されたゲートを有するスイッチ回路と、
    前記第1不揮発性メモリトランジスタに情報を書き込む書き込み電圧、前記第1不揮発性メモリトランジスタから情報を消去する消去電圧、および前記第1不揮発性メモリトランジスタをオンさせる選択電圧のいずれかを選択して前記第1配線に印加する第1電源回路と、
    前記第3配線に記憶するためのビットデータを前記第2配線に供給するデータ供給回路と、
    を備えたことを特徴とするリコンフィギャラブル集積回路装置。
  2. 前記データ供給回路は、前記ビットデータを格納するレジスタおよびメモリのいずれかを備えたことを特徴とする請求項1記載のリコンフィギャラブル集積回路装置。
  3. 前記データ供給回路は、前記ビットデータを格納するメモリと、前記メモリに格納されたデータを展開し、前記第2配線に送出するレジスタと、を備えたことを特徴とする請求項1記載のリコンフィギャラブル集積回路装置。
  4. 第4および第5配線と、
    ゲートが前記第4配線に接続され、ソースおよびドレインの一方が前記第5配線に接続され、ソースおよびドレインの他方が前記第3配線に接続された第2不揮発性メモリトランジスタと、
    を備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のリコンフィギャラブル集積回路装置。
  5. 第4配線と、
    ゲートが前記第1配線に接続され、ソースおよびドレインの一方が前記第4配線に接続され、ソースおよびドレインの他方が前記第3配線に接続された第2不揮発性メモリトランジスタと、
    を備えたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のリコンフィギャラブル集積回路装置。
  6. 前記第3配線に接続された容量を更に備えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のリコンフィギャラブル集積回路装置。
  7. 前記第3配線に、ソース、ドレインおよびゲートのうちの少なくとも一つが接続されたトランジスタを更に備えたことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のリコンフィギャラブル集積回路装置。
  8. 前記スイッチ回路は、前記第3配線に接続されたゲートを有するパストランジスタを備えたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のリコンフィギャラブル集積回路装置。
  9. 前記スイッチ回路はインバータを有し、前記インバータは、
    ゲートが前記第3配線に接続され、ソースが第1電源に接続されたpチャネルトランジスタと、
    ゲートが前記第3配線に接続され、ソースが第2電源に接続され、ドレインが前記pチャネルトランジスタのドレインに接続されたnチャネルトランジスタと、
    を備えたことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載のリコンフィギャラブル集積回路装置。
  10. 前記第2配線に、前記第1不揮発性メモリトランジスタに前記情報を書き込む書き込み電圧および前記第1不揮発性メモリトランジスタに前記情報の書き込みを防止する書き込み防止電圧のいずれかを選択して供給する第2電源回路を、更に備えたことを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載のリコンフィギャラブル集積回路装置。
  11. 複数の第1配線と、前記複数の第1配線と交差する複数の第2配線と、前記複数の第1配線と前記複数の第2配線の交差領域に設けられた複数のメモリセルであって、各メモリセルは、ゲートが対応する前記第1配線に接続され、ソースおよびドレインの一方が対応する前記第2配線に接続された第1不揮発性メモリトランジスタと、前記第1不揮発性メモリトランジスタのソースおよびドレインの他方が接続された第3配線と、前記第3配線に接続されたゲートを有するスイッチ回路と、を備えた、複数のメモリセルと、を備えたリコンフィギャラブル集積回路装置の書き込み方法であって、
    前記複数の第1配線から一つの第1配線を選択し、この選択された第1配線に接続されたメモリセルの前記第1不揮発性メモリトランジスタをオンさせる選択電圧を前記第1配線に印加するステップと、
    前記選択された第1配線に接続されたメモリセルの前記第3配線に記憶するためのビットデータを前記複数の第2配線に供給するステップであって、前記ビットデータの供給は前記選択電圧の印加されている間に行い、前記選択電圧の印加が終了する前に前記データの供給が終了しないようにビットデータを供給するステップと、
    を備えたことを特徴とする書き込み方法。
  12. 前記複数のメモリセルのうちの一つのメモリのそれぞれに対して、一つのメモリセルが対応し、
    前記一つのメモリセル内の前記第1不揮発性メモリトランジスタが接続された第1配線および第2配線のそれぞれと、前記対応するメモリセル内の前記第1不揮発性メモリトランジスタが接続された第1配線および第2配線は異なり、
    前記一つのメモリセルと前記対応するメモリセルは、前記第3配線および前記スイッチ回路を共有することを特徴とする請求項11記載の書き込み方法。
  13. 前記複数のメモリセルのうちの一つのメモリのそれぞれに対して、一つのメモリセルが対応し、
    前記一つのメモリセル内の前記第1不揮発性メモリトランジスタが接続された第1配線と前記対応するメモリセル内の前記第1不揮発性メモリトランジスタが接続された第1配線は同一であるとともに前記一つのメモリセル内の前記第1不揮発性メモリトランジスタが接続された第2配線と前記対応するメモリセル内の前記第1不揮発性メモリトランジスタが接続された第2配線は異なり、
    前記一つのメモリセルと前記対応するメモリセルは、前記第3配線および前記スイッチ回路を共有することを特徴とする請求項11記載の書き込み方法。
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