JP2014026702A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】連続する書き込み動作間の消費電流及び書き込みマージンの低下を抑制しつつ、メイン入出力線対を高速に電源電位にプリチャージする半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置は、信号入出力線対と、信号入出力線対の間に接続され、複数の第1のトランジスタを含む第1のプリチャージ回路と、信号入出力線対の間に接続され、複数の第2のトランジスタを含む第2のプリチャージ回路と、を備える。さらに、複数の第2のトランジスタのそれぞれは、第1のトランジスタのそれぞれよりも電流駆動能力が低い。
【選択図】図1
【解決手段】半導体装置は、信号入出力線対と、信号入出力線対の間に接続され、複数の第1のトランジスタを含む第1のプリチャージ回路と、信号入出力線対の間に接続され、複数の第2のトランジスタを含む第2のプリチャージ回路と、を備える。さらに、複数の第2のトランジスタのそれぞれは、第1のトランジスタのそれぞれよりも電流駆動能力が低い。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置に関する。特に、メイン入出力線をプリチャージするプリチャージ回路を備える半導体装置に関する。
DRAM(Dynamic Random Access Memory)等の半導体装置において、メイン入出力線を所定の電圧にプリチャージするプリチャージ回路が用いられる。
特許文献1において、メイン入出力線(グローバルデータライン)を1/2コア電位又は1/2電源電位にプリチャージする半導体メモリが開示されている。特許文献1が開示する半導体メモリは、バーストライト動作が繰り返される場合に、メイン入出力線のプリチャージ電位が、1/2コア電位又は1/2電源電位よりも上昇又は低下することを抑制するために、グローバルデータライン間に、2つのプリチャージ部を備える。
なお、上記先行技術文献の開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。以下の分析は、本発明者らによってなされたものである。
近年、データアンプ回路及びライトアンプ回路の省面積化及び低消費電力化を実現するために、種々のプリチャージ回路及びその制御が検討されている。例えば、読み出し動作時には、メイン入出力線を電源電位にプリチャージする一方で、連続する書き込み動作(バーストライト)間は、メイン入出力線を1/2電源電位に保持し、連続する一連の書き込み動作の終了時にメイン入出力線を電源電位にプリチャージする半導体装置(半導体メモリ)が検討されている。より具体的には、連続する書き込み動作の間は、互いに相補の関係にあるメイン入出力線対を互いに導通(イコライズ)するのみで、メイン入出力線対をプリチャージ電源(電源電位)に接続しない。一方、一連の書き込み動作の終了時には、メイン入出力線対の間を互いに導通させると共に、メイン入出力線対をプリチャージ電源にも接続する。
このような半導体装置では、連続する書き込み動作間のメイン入出力線対は、フローティング状態にある。そのため、例えば、メイン入出力線対に接続された素子等に電流リークが存在する場合、その後の書き込み動作時における書き込みマージンが不足する恐れがある。特に、ライトアンプ回路のハイレベル書き込み時の能力を、ロウレベル書き込み時の能力よりも低くしている場合に、メイン入出力線の電位が1/2電源電位よりも低下すると、次の書き込み動作時に、ライトアンプ回路の能力不足が原因となってハイレベルを書き込むことができない恐れがある。
なお、特許文献1は、読み出し動作時及び書き込み動作時のいずれにおいてもグローバルデータライン(メイン入出力線)を1/2電源電位にプリチャージする半導体メモリを開示するのみである。即ち、特許文献1が開示する半導体メモリは、プリチャージ回路の電源として、1/2電源電位を用いる構成であるため、特許文献1に記載の構成では、連続する一連の書き込み動作が終了したときにグローバルデータラインを電源電位にプリチャージすることができない。
本発明の第1の視点によれば、信号入出力線対と、前記信号入出力線対の間に接続され、複数の第1のトランジスタを含む第1のプリチャージ回路と、前記信号入出力線対の間に接続され、複数の第2のトランジスタを含む第2のプリチャージ回路と、を備え、前記複数の第2のトランジスタのそれぞれは、前記第1のトランジスタのそれぞれよりも電流駆動能力が低い半導体装置が提供される。
本発明の第2の視点によれば、第1及び第2の信号入出力線と、第1の主電極が前記第1の信号入出力線に接続され、第2の主電極が所定電位を供給する電源線に接続された第1の第1導電型トランジスタと、第3の主電極が前記第2の信号入出力線に接続され、第4の主電極が前記電源線に接続された第2の第1導電型トランジスタと、を含んで構成される第1のプリチャージ回路と、第5の主電極が前記電源線に接続され、第6の主電極が前記第1の信号入出力線に接続された第1の第2導電型トランジスタと、第7の主電極が前記電源線に接続され、第8の主電極が前記第2の信号入出力線に接続された第2の第2導電型トランジスタと、を含んで構成される第2のプリチャージ回路と、前記第1及び第2の第1導電型トランジスタの制御電極に第1の制御信号を、前記第1及び第2の第2導電型トランジスタの制御電極に第2の制御信号を、それぞれ供給する制御回路と、を備え、前記第1及び第2の第1導電型トランジスタのそれぞれのチャネル幅は、前記第1及び第2の第2導電型トランジスタのそれぞれのチャネル幅よりも長く、前記制御回路は、データのライト動作が連続する場合には、連続するライト動作間、前記第1の制御信号を非活性化すると共に、前記第2の制御信号を活性化する半導体装置が提供される。
本発明の各視点によれば、連続する書き込み動作間の消費電流及び書き込みマージンの低下を抑制しつつ、メイン入出力線対を高速に電源電位にプリチャージする半導体装置が、提供される。
以下に具体的な実施の形態について、図面を参照してさらに詳しく説明する。
[第1の実施形態]
第1の実施形態について、図面を用いてより詳細に説明する。
第1の実施形態について、図面を用いてより詳細に説明する。
図2は、本実施形態に係る半導体装置1の全体構成の一例を示す図である。
半導体装置1は、制御ロジック10と、ロウデコーダ&タイミング信号発生回路20と、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30と、メモリセルアレイ40と、センスアンプ50と、アンプ&バッファ部60と、データ入出力部70と、を含んで構成されている。
制御ロジック10は、外部から供給されるコマンドを受け取り、各種の内部信号を生成する。具体的には、制御ロジック10は、外部からアクティブコマンドが供給されると内部アクティブコマンド信号IACT及びカラム系内部アクティブ信号CRACTBを生成する。
さらに、制御ロジック10は、外部からリードコマンドが供給されると内部リードコマンド信号IRDを、外部からライトコマンドが供給されると内部ライトコマンド信号IWRTを、それぞれ生成する。内部アクティブコマンド信号IACTはロウデコーダ&タイミング信号発生回路20に出力される。カラム系内部アクティブ信号CRACTB、内部リードコマンド信号IRD及び内部ライトコマンド信号IWRTは、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30に出力される。
内部アクティブコマンド信号IACTは、外部からプリチャージコマンドが供給されるまで活性レベルのハイレベルを保持する。カラム系内部アクティブ信号CRACTBは、アクティブコマンドに応じて活性レベルのロウレベルに遷移し、プリチャージコマンドの供給に応じて非活性レベルのハイレベルに遷移する。
ロウデコーダ&タイミング信号発生回路20は、内部アクティブコマンド信号IACTに応じて、アドレス信号ADDをロウアドレスとして受け取る。ロウデコーダ&タイミング信号発生回路20は、内部アクティブコマンド信号IACTとロウアドレスとに応じて、各種ロウ系の制御信号を出力する。具体的には、ワード線選択信号WLSをメモリセルアレイ40に出力し、スイッチ制御信号S1〜Sk(但し、kは1以上の整数)をセンスアンプ50に出力する。
カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、カラム系内部アクティブ信号CRACTBに応じて活性化する。カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、内部リードコマンド信号IRDが供給された場合に、内部リードコマンド信号IRDに応じてアドレス信号ADDをカラムアドレスとして受け取る。さらに、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、内部リードコマンド信号IRDとカラムアドレスとに応じて、各種カラム系の制御信号を出力する。具体的には、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBと、ライトイネーブル信号CWAEと、バーストライトステータス信号CWBUSTと、リードイネーブル信号REと、メインアンプ接続信号TGBと、メインアンプイコライズ信号MAEQBと、をアンプ&バッファ部60に出力する。
カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、内部リードコマンド信号IRDに応じて、リードイネーブル信号RE及びメインアンプ接続信号TGBを活性レベルのハイレベルとする。また、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、内部リードコマンド信号IRDに応じて、メインアンプイコライズ信号MAEQBを、所定の期間、活性レベルのロウレベルから非活性レベルのハイレベルとする。
さらに、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、内部リードコマンド信号IRDに応じて、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBを活性レベルのロウレベルとする。メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBは、リード動作の終了時にメイン入出力線対のイコライズの実行を、アンプ&バッファ部60に指示する信号である。バーストライトステータス信号CWBUST及びライトイネーブル信号CWAEは、共に非活性レベル(ロウレベル)のまま維持される。
カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、内部ライトコマンド信号IWRTに応じてアドレス信号ADDをカラムアドレスとして受け取る。カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、内部ライトコマンド信号IWRT及びカラムアドレスに応じて、ライトイネーブル信号CWAEを出力する。
バーストライトステータス信号CWBUSTは、バーストライト動作の実施を示す信号である。具体的には、カラム系内部アクティブ信号CRACTBが活性化した後、最初に供給された内部ライトコマンド信号IWRTに応じて活性化され、一度活性化された後は、カラム系内部アクティブ信号CRACTBが非活性化される、又は、リードコマンドが供給されるまで、活性レベルのハイレベルを維持する信号である。一方、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOB、リードイネーブル信号RE、メインアンプ接続信号TGB及びメインアンプイコライズ信号MAEQBは、内部ライトコマンド信号IWRTに応じては論理レベルが変更になることはない。
メモリセルアレイ40には、複数のワード線WLと複数のビット線BLと、それぞれのワード線WLとビット線BLとの交点に設けられた複数のメモリセルMCが含まれている。また、センスアンプ50には、複数のセンスアンプ部が含まれている。なお、図2には、一本のワード線WL、一本のビット線BL及び1個のメモリセルMCに限り図示しているが、実際には、これらのワード線WL等は複数存在する。
アンプ&バッファ部60には、複数のプリチャージ&イコライズ回路PEと、複数のメインアンプMAと、複数のライトバッファ回路WBと、メイン入出力線イコライズ信号生成回路MIOEQSCが含まれている。これらの回路のついての詳細は後述する。
データ入出力部70は、外部からライトコマンドが供給された場合、つまり、ライト動作時には、データ端子DQに供給されたライトデータを、リードライトバスRWBUSを介してアンプ&バッファ部60に供給する。外部からリードコマンドが供給された場合、つまり、リード動作時には、アンプ&バッファ部60からリードライトバスRWBUSを介して供給されるリードデータをデータ端子DQに供給する。
次に、メモリセルアレイ40及びセンスアンプ50と、アンプ&バッファ部60との接続について説明する。
図3は、メモリセルアレイ40及びセンスアンプ50と、アンプ&バッファ部60との接続の一例を示す図である。
メモリセルアレイ40は、複数のサブアレイSARYを含む。センスアンプ50は、複数のセンスアンプ部SAAを含む。
それぞれのセンスアンプ部SAAは、ローカル入出力線対(LIOT、LIOB)を介して、入出力スイッチIOSWに接続されている。また、それぞれの入出力スイッチIOSWは、ローカル入出力線対(LIOT、LIOB)とメイン入出力線対(MIOT、MIOB)との間に接続され、スイッチ制御信号S1〜Skに応じて、ローカル入出力線対(LIOT、LIOB)とメイン入出力線対(MIOT、MIOB)との接続を切り替える。
ここで、図3のX方向に一列に並べられた複数のサブアレイSARYは、アクティブコマンドにより同時に活性化される。これらX方向に一列に並べられたサブアレイを、まとめてメモリマットと呼ぶこともある。図3には、k個のメモリマットを有する例を記載している。これらk個のメモリマットには、スイッチ制御信号S1〜Skが供給される。k個のメモリマットのうち、いずれのメモリマットを活性化させるかは、ロウアドレスの一部により指定される。
図3には、複数のメイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)〜(MIOTn、MIOBn)と、複数のローカル入出力線対(LIOT0、LIOB0)〜(LIOTn、LIOB0)と、が記載されている(nは正の整数、以下同じ)。複数のメイン入出力線対(MIOT、MIOB)は、それぞれ入出力スイッチIOSWを介して、複数のローカル入出力線対(LIOT、MIOB)に接続される。
上述のしたとおり、アンプ&バッファ部60には、複数のプリチャージ&イコライズ回路PEと、複数のメインアンプMAと、複数のライトバッファ回路WBが含まれている。また、プリチャージ&イコライズ回路PE、メインアンプMA、ライトバッファ回路WBで1組のアンプ&バッファ回路MAWBを構成する。図3には、アンプ&バッファ回路MAWB0〜MAWBnを記載している。
それぞれのメイン入出力線対(MIOT、MIOB)には、プリチャージ&イコライズ回路PE、ライトバッファ回路WB及びメインアンプMAが接続されている。さらに、アンプ&バッファ部60には、メイン入出力線イコライズ信号生成回路MIOEQSCが含まれている。
図4は、メイン入出力線イコライズ信号生成回路MIOEQSCの構成の一例を示す図である。メイン入出力線イコライズ信号生成回路MIOEQSCは、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBと、ライトイネーブル信号CWAEと、バーストライトステータス信号CWBUSTと、を受け付け、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2B及びMEQ3を生成する。
メイン入出力線イコライズ信号生成回路MIOEQSCは、否定論理和回路NOR01と、インバータ回路INV01と、否定論理積回路NAND01と、を含んで構成されている。
メイン入出力線イコライズ信号生成回路MIOEQSCは、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBが活性レベル(ロウレベル)及びライトイネーブル信号CWAEが非活性レベル(ロウレベル)の際に、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3を活性レベルのハイレベルとする。一方、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBが非活性レベル(ハイレベル)又はライトイネーブル信号CWAEが活性レベル(ハイレベル)の際に、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3を非活性レベルのロウレベルとする。
メイン入出力線イコライズ信号生成回路MIOEQSCは、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3又はバーストライトステータス信号CWBUSTを反転した信号のいずれか一方がハイレベルの際に、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bを非活性レベルのハイレベルとする。一方、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3及びバーストライトステータス信号CWBUSTを反転した信号が共にハイレベルの際に、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bを活性レベルのロウレベルとする。メイン入出力線イコライズ信号MEQ2B及びMEQ3は共に、プリチャージ&イコライズ回路PEに供給される。
続いて、アンプ&バッファ回路MAWB0を例にとり、その内部構成及び動作を説明する。なお、他のアンプ&バッファ回路MAWBの構成及び動作については、アンプ&バッファ回路MAWB0と同様のため、説明を省略する。
プリチャージ&イコライズ回路PE0は、メイン入出力線イコライズ信号生成回路MIOEQSCが生成するメイン入出力線イコライズ信号MEQ2B及びMEQ3に応じて、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)を短絡すると共に、電位VIOに接続することで、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)の電位を実質的に電位VIOと同じにする。なお、電位VIOは、アンプ&バッファ部60が動作する際の電源電圧に等しい。
ライトバッファ回路WB0は、ライトイネーブル信号CWAEに応じて、リードライトバスRWBUS0から供給されるライトデータに応じた論理レベルにメイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)を駆動する。
メインアンプMA0は、メインアンプ接続信号TGBに応じて、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)と接続される。具体的には、メインアンプMA0は、ライト動作時に、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)から切り離され、リード動作時に、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)と接続される。さらに、リードイネーブル信号REに応じて、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)から供給されるリードデータに応じた論理レベルにリードライトバスRWBUS0を駆動する。
続いて、アンプ&バッファ回路MAWB0に含まれる各回路について説明する。
図1は、アンプ&バッファ回路MAWB0の回路構成の一例を示す図である。メインアンプMA0は、2つのトランスファーゲートTGT0及びTGB0と、メインアンプ回路MAC0と、メインアンプイコライズ回路MAEQ0と、を含んで構成されている。
トランスファーゲートTG0T及びTG0Bは、メインアンプ接続信号TGBが活性レベルのロウレベルをとると、導通状態となり、メインアンプ回路MAC0の2つの入力ノードMAT0及びMAB0を、それぞれ、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)に接続する。なお、メインアンプ接続信号TGBは、インバータ回路INV02により論理反転されて、トランスファーゲートTG0T及びTG0Bの一端に供給される。
メインアンプ回路MAC0は、3つのNチャネル型MOSトランジスタN01〜N03と、2つのPチャネル型MOSトランジスタP01及びP02と、から構成されている。メインアンプ回路MAC0は、リードイネーブル信号REが活性レベルのハイレベルをとると、自身の2つの入力ノードMAT0及びMAB0の電位差を増幅し、入力ノードMAT0と共通の出力ノードを介して、増幅された電位差に応じて、リードライトバスRWBUS0を駆動する。メインアンプ回路MAC0の出力ノードとリードライトバスRWBUS0は、2つのインバータ回路INV03及びINV04を介して接続される。
なお、本実施形態に係る半導体装置1では、インバータ回路INV03がリードライトバスRWBUS0を駆動する能力を、データ入出力部70のデータ入力回路がリードライトバスRWBUS0を駆動する能力よりも低くすることで、ライトデータが壊れることを防止している。このように、インバータ回路INV03とデータ入力回路との駆動能力のバランスを考慮することに代えて、リードライトバスRWBUS0のアンプ&バッファ部60側の一部をライトバッファ回路WB0に接続されるライトバスWBUS0とメインアンプ回路MAC0に接続されるリードバスRBUS0とに分岐し、分岐部に中継回路を配置してライト動作時にはライトバスWBUS0とリードライトバスRWBUS0とを選択的に接続し、一方、リード動作時には、リードバスRBUS0をリードライトバスRWBUS0に選択的に接続することで、ライトデータが壊れることを防止する構成とすることもできる。
メインアンプイコライズ回路MAEQ0は、3つのPチャネル型MOSトランジスタP03〜P05から構成されている。メインアンプイコライズ回路MAEQ0は、メインアンプイコライズ信号MAEQBが活性レベルのロウレベルをとると、メインアンプ回路MAC0の2つの入力ノードMAT0及びMAB0を短絡すると共に、電位VIOに接続し、メインアンプ回路MAC0の2つの入力ノードMAT0及びMAB0を実質的に電位VIOに等しくする。
ライトバッファ回路WB0は、2つのNチャネル型MOSトランジスタN04及びN05と、2つのPチャネル型MOSトランジスタP06及びP07と、2つの否定論理積回路NAND02及びNAND03と、2つのインバータ回路INV05及びINV06から構成されている。なお、否定論理積回路NAND02の入力の一端には、リードライトバスRWBUS0を論理反転した信号が入力される。
上述のとおり、ライトバッファ回路WB0は、ライトイネーブル信号CWAEに応じて、リードライトバスRWBUS0から供給されるライトデータに応じた論理レベルにメイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)を駆動する。なお、ライトバッファ回路WB0に含まれるPチャネル型MOSトランジスタの電流駆動能力は、Nチャネル型MOSトランジスタの電流駆動能力よりも低く設定されている。このことにより、ライトバッファ回路WB0の省面積化を実現する。そのため、ライトバッファ回路WB0は、ロウレベルの書き込みよりも、ハイレベル書き込みの方が、能力が弱く、よりマージンが必要な構成にある。ただし、本実施形態に係る半導体装置1に使用するライトバッファ回路は、このような構成に限定されるものではない。
プリチャージ&イコライズ回路PE0は、第1のプリチャージ回路PREC01と、第2のプリチャージ回路PREC02と、イコライズ回路EQCと、インバータ回路INV07と、を含んで構成される。
第1のプリチャージ回路PREC01は、Pチャネル型MOSトランジスタP08及びP09を含んで構成される。第2のプリチャージ回路PREC02は、Nチャネル型MOSトランジスタN06及びN07を含んで構成される。イコライズ回路EQCは、トランスファーゲートを含んで構成される。イコライズ回路EQCは、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3が活性レベルのハイレベルをとると、導通状態となり、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)を短絡する。なお、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3は、インバータ回路INV07により論理反転されて、イコライズ回路EQCに含まれるトランスファーゲートの一端に供給される。
第2のプリチャージ回路PREC02は、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3に応じて、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)をプリチャージする。第1のプリチャージ回路PREC01は、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bに応じて、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)をプリチャージする。
第1のプリチャージ回路PREC01の活性化時の電流駆動能力は、第2のプリチャージ回路PREC02の活性時の電流駆動能力よりも大きくなるように設定される。
第1のプリチャージ回路PREC01は、複数のPチャネル型MOSトランジスタにより構成されているため、第1のプリチャージ回路PREC01が活性化されるとメイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)を電位VIOと実質的に等しい電位にする(電位VIOにプリチャージする)。
一方、第2のプリチャージ回路PREC02は、複数のNチャネル型MOSトランジスタにより構成されているため、第2のプリチャージ回路PREC02が活性化されても、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)を電位VIOにまで上昇させることはできない。第2のプリチャージ回路PREC02は、電位VIO(メイン入出力線イコライズ信号MEQ3のハイレベル)−Vnth(Nチャネル型MOSトランジスタN06及びN07の閾値電圧)の電位までメイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)を上昇させるに留まる。
バーストライト動作時における各ライト動作間では、イコライズ回路EQCと第2のプリチャージ回路PREC02とが活性化され、第1のプリチャージ回路PREC01は、非活性となるように、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2B及びMEQ3は制御される。第2のプリチャージ回路PREC02を活性化することで、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)が第2のプリチャージ回路PREC02を介して電位VIOに接続される。そのため、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)に接続するローカル入出力線対(LIOT0、LIOB0)等に電流リークが発生し、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)の電位が低下するような場合であっても、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)は第2のプリチャージ回路PREC02を通じて電位VIOに接続されているため、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)の電位を1/2電位VIOよりは高い電位に保つことができる。
その結果、本実施形態に係る半導体装置1のライトバッファ回路WB0のように、ハイレベル書き込みの能力がロウレベル書き込みの能力よりも低く設定されていたとしても、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)の電位を1/2電位VIOよりも高い電位に維持できるので、次の書き込み動作時のマージンが低下することはない。
さらに、第2のプリチャージ回路PREC02に含まれるNチャネル型MOSトランジスタの電流駆動能力は、第1のプリチャージ回路PREC01に含まれるPチャネル型MOSトランジスタよりも低く設定されているため、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)の電位が急激に上昇することはなく、1/2電位VIOの近辺に留まる。
また、バーストライト動作の終了時には、第2のプリチャージ回路PREC02に加えて、第1のプリチャージ回路PREC01を活性化するようにメイン入出力線イコライズ信号MEQ2B及びMEQ3は制御される。その結果、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)を電位VIOに高速にプリチャージすることができる。
ここで、プリチャージ&イコライズ回路PE0を構成する各トランジスタのチャネル幅(Wサイズ)について説明する。なお、プリチャージ&イコライズ回路PE0を構成する各トランジスタのチャネル長(Lサイズ)は、いずれも実質的に同一とする。
第2のプリチャージ回路PREC02を構成するNチャネル型MOSトランジスタのチャネル幅は、設計基準で許容される最小のチャネル幅であることが好ましい。一方、第1のプリチャージ回路PREC01を構成するPチャネル型MOSトランジスタのチャネル幅は、少なくとも設計基準で許容される最小のチャネル幅よりも長く(Wサイズが大きく)、メイン入出力線対(MIOT0、MIOB0)のイコライズに必要なスピードやプリチャージ電位の許容範囲に応じて、決定されることが好ましい。より具体的には、半導体装置1の設計時に行われるシミュレーション結果を考慮し、第1のプリチャージ回路PREC01を構成するPチャネル型MOSトランジスタのチャネル幅を適宜調整することが好ましい。
以上の関係を踏まえると、プリチャージ&イコライズ回路PE0を構成する各トランジスタのチャネル幅を以下のようにすることができる。Nチャネル型MOSトランジスタN01及びN02のチャネル幅は、0.6μmとする。Pチャネル型MOSトランジスタP01及びP02のチャネル幅は、12μmとする。プリチャージ&イコライズ回路PE0を構成するトランスファーゲートのNチャネル型MOSトランジスタのチャネル幅は8μm、Pチャネル型MOSトランジスタのチャネル幅は16μmとする。
但し、このような数値はあくまで一例であり、本実施形態に係る半導体装置1では、第1のプリチャージ回路PREC01及び第2のプリチャージ回路PREC02の活性化時の電流駆動能力の値が上述の関係を満たしていれば、それぞれのプリチャージ回路に含まれるトランジスタのチャネル幅はどのような大きさであってもよい。
次に、半導体装置1の動作について説明する。
図5は、半導体装置1の動作の概略の一例を示す波形図である。
図5において、外部からアクティブコマンドACTが供給されると、制御ロジック10が内部アクティブコマンド信号IACTを非活性レベルのロウレベルから活性レベルのハイレベルに遷移させ、内部アクティブコマンド信号IACTを活性レベルのハイレベルに維持する。
その後、ロウデコーダ&タイミング信号発生回路20が、アクティブコマンドACTと共に供給されたロウアドレスにより指定されたワード線WLを活性レベル(選択レベル)のハイレベルに遷移させる(ワード線選択信号WLSを活性レベルのハイレベルとする)。また、アクティブコマンドACTの供給に伴って、制御ロジック10は、カラム系内部アクティブ信号CRACTBを非活性レベルのハイレベルから活性レベルのロウレベルに遷移させる。
外部からライトコマンドWRT1が供給されると、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、バーストライトステータス信号CWBUSTを非活性レベルのロウレベルから活性レベルのハイレベルに遷移させる。なお、ライトコマンドWRT1に続いて、ライトコマンドWRT2が供給されても、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、バーストライトステータス信号CWBUSTをハイレベルに維持する。
外部からリードコマンドRD1及びRD2が供給された場合には、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBを非活性レベルであるハイレベルに遷移させ、リード動作終了時に、活性レベルであるロウレベルに遷移させる。その結果、リードコマンドRD1及びRD2に応じたリード動作の終了後に、毎回、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)のイコライズが実施される。つまり、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBがロウレベルに遷移することで、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3は活性レベルのハイレベルに遷移する。同時に、バーストライトステータス信号CWBUSTはリードコマンドRD1に応じて非活性レベルのロウレベルに遷移するため、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bも活性レベルのロウレベルに遷移する。即ち、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2B及びMEQ3が共に活性化し、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)のイコライズが実施される。
その後、外部からプリチャージコマンドPREが供給されると、制御ロジック10が内部アクティブコマンド信号IACTを活性レベルのハイレベルから非活性レベルのロウレベルに遷移させる。内部アクティブコマンド信号IACTがハイレベルからロウレベルに遷移することに応じて、ロウデコーダ&タイミング信号発生回路20が、活性レベル(選択レベル)のハイレベルになっていたワード線WLを非活性レベルのロウレベルに遷移させる。また、プリチャージコマンドPREの供給に応じて、制御ロジック10は、カラム系内部アクティブ信号CRACTBを非活性レベルのハイレベルに遷移させる。
次に、ライト動作の詳細について説明する。
図6は、ライトコマンドが連続して供給された場合の波形の一例を示す図である。
図6において、外部からライトコマンドWRT1、WRT2及びWRT3が、時間tCCDのインターバルで連続して供給されている。
図6では、外部からアクティブコマンドACTが供給され、ロウアドレスにより複数のメモリマットのうち特定のメモリマットが指定され、さらに指定されたメモリマットの中のロウアドレスにより指定されたワード線WLが選択的に活性化され、選択されたワード線WLに対応する入出力スイッチIOSWが導通状態となった後の動作波形を示す。
外部からライトコマンドWRT1が供給されると、制御ロジック10は、所定の遅延時間経過後、内部ライトコマンド信号IWRTを発生する。ライトコマンドWRT1の発行からCWL(CASライトレイテンシ)経過後に、外部からライトデータWRITE DATA1が供給される。
ライトデータWRITE DATA1は、データ入出力部70を介してリードライトバスRWBUS0に転送される。
制御ロジック10で発生された内部ライトコマンド信号IWRTに応じて、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30がライトイネーブル信号CWAEとバーストライトステータス信号CWBUSTを活性レベルのハイレベルとする(時刻T01)。
カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30で活性化されたライトイネーブル信号CWAEに応じて、アンプ&バッファ回路MAWBに含まれるライトバッファ回路WBが活性化され、リードライトバスRWBUS0上のライトデータWRITE DATA1の論理レベルに応じてメイン入出力線対(MIOT、MIOB)及びローカル入出力線対(LIOT、LIOB)が駆動される。ライトデータWRITE DATA1の論理レベルに応じて駆動されたローカル入出力線対(LIOT、LIOB)は、センスアンプ部SAA、ビット線BLを介してメモリセルMCに接続され、所定のメモリセルMCにライトデータWRITE DATA1が書き込まれる。
一方、ライトイネーブル信号CWAEの活性化に応じて、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3は非活性レベルのロウレベルに遷移する(時刻T01)。さらに、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3がロウレベルに遷移することで、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bも非活性レベルのハイレベルに遷移する。従って、ライト動作中(時刻T01〜T02)は、第1のプリチャージ回路PREC01、第2のプリチャージ回路PREC02及びイコライズ回路EQCは、いずれも非活性状態である。
その後、ライト動作が終了すると、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、ライトイネーブル信号CWAEを非活性レベルのロウレベルに遷移させる(時刻T02)。ライトイネーブル信号CWAEを非活性レベルがロウレベルに遷移することに応じて、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3は活性レベルのハイレベルに遷移する。一方、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bは非活性レベルのハイレベルを維持する。
その結果、第2のプリチャージ回路PREC02及びイコライズ回路EQCは共に活性化するが、第1のプリチャージ回路PREC01は非活性状態を維持する。
ライトコマンドWRT2及びWRT3についても、上記と同様の動作を実施する。しかし、カラムアドレスが更新されるため、異なるメモリセルMCにライトデータが書き込まれることになる。なお、ライトコマンドWRT3に応じた書き込みにおいて、ライトデータWRITE DATA3は、ライトデータWRITE DATA1及びWRITE DATA2から反転している(時刻T03〜T04)。
ライトコマンドWRT3の発行からtCCD経過後に、次のライトコマンドWRTが供給されない(図6では、ノンオペレーションコマンドが供給)ため、制御ロジック10は、内部ライトコマンド信号IWRTを生成しない。さらに、プリチャージコマンドPREが外部から供給されることに応じて、制御ロジック10は、カラム系内部アクティブ信号CRACTBを非活性レベルのハイレベルに遷移させる(時刻T05)。
バーストライトステータス信号CWBUSTは、ライトコマンドWRT1に対応した内部ライトコマンド信号IWRTの発生に応じて活性化している。バーストライトステータス信号CWBUSTは、一度活性化されているので、ライトコマンドWRT2及びWRT3が、tCCDのインターバルで、連続して入力されても、その論理レベルを変更することはない(活性レベルを維持する)。しかし、プリチャージコマンドPREが外部から供給され、カラム系内部アクティブ信号CRACTBが非活性レベルのハイレベルに遷移したことに応じて、バーストライトステータス信号CWBUSTは非活性レベルのロウレベルに遷移する(時刻T05)。
時刻T05において、バーストライトステータス信号CWBUSTが非活性レベルのロウレベルに遷移するので、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bは、非活性レベルのハイレベルから活性レベルのロウレベルに遷移する。つまり、ライトコマンドWRT3に応じたライト動作終了後には、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)は、第1のプリチャージ回路PREC01及び第2のプリチャージ回路PREC02によるイコライズが実施される。
次に、半導体装置1のリード動作の詳細について説明する。
図7は、リードコマンドが連続して供給された場合の波形の一例を示す図である。
図7においては、外部からリードコマンドRD1、RD2及びRD3が、時間tCCDのインターバルで連続して供給されている。
図7では、外部からアクティブコマンドACTが供給され、ロウアドレスにより複数のメモリマットのうち特定のメモリマットが指定され、さらに指定されたメモリマットの中のロウアドレスにより指定されたワード線WLが選択的に活性化され、選択されたワード線WLに対応する入出力スイッチIOSWが導通状態となった後の動作波形を示す。
外部からリードコマンドRD1が供給されると、制御ロジック10が内部リードコマンド信号IRDを発生する。制御ロジック10は、バーストライトステータス信号CWBUSTは非活性レベルのロウレベルを維持する。
制御ロジック10で発生された内部リードコマンド信号IRDに応じて、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30が、メインアンプ接続信号TGBを発生させると共に、メインアンプイコライズ信号MAEQBを活性レベルのロウレベルから非活性レベルのハイレベルへ遷移させる(時刻T11)。同時に、カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30は、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBを活性レベルのロウレベルから非活性レベルのハイレベルに遷移させる。
メインアンプ接続信号TGBがロウレベルに遷移することに応じて、メインアンプMAは、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)に接続される。また、メインアンプイコライズ信号MAEQBは非活性レベルのハイレベルであるので、イコライズ動作は行わない。メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBは非活性レベルのハイレベルであるため、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3は非活性レベルのロウレベルとなる。メイン入出力線イコライズ信号MEQ3がロウレベルであるため、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bも非活性レベルのハイレベルとなる。従って、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2B及びMEQ3が共に非活性レベルであるため、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)のイコライズは実施されない。
カラムデコーダ&タイミング信号発生回路30で発生されたリードイネーブル信号REに応じて、メインアンプMAは、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)の電位差を増幅する。メイン入出力線対(MIOT、MIOB)の電位差は、リードデータに応じた論理レベルとしてリードライトバスRWBUS0を駆動する(時刻T12)。
その後、リードコマンドRD1の発行からCL(CASリードレイテンシ)経過後に、データ入出力部70を介して、データ端子DQからリードデータRD DATA1が出力される。また、リード動作が終了することに応じて、メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBが非活性レベルのハイレベルから活性レベルのロウレベルに遷移する(時刻T12)。
メイン入出力線イコライズ指示信号CFIOBが活性レベルのロウレベルに遷移することで、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3は活性レベルのハイレベルに遷移する。メイン入出力線イコライズ信号MEQ3がハイレベルに遷移することに応じて、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bも活性レベルのロウレベルに遷移する。従って、第1のプリチャージ回路PREC01及び第2のプリチャージ回路PREC02により、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)のイコライズが実施される。さらに、メインアンプイコライズ信号MAEQBが活性レベルのロウレベルに遷移することに応じて、メインアンプMAはイコライズを実施する(時刻T13)。リードコマンドRD2及びRD3についても、上記と同様の動作を実施する。
このように、リード動作時には、ライト動作時とは異なり各リードコマンドに応じたリード動作の終了のたびに、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)及びメインアンプMAのイコライズを実施する。
次に、ライト動作後にリード動作を行う場合の詳細について説明する。
図8は、ライトコマンドの供給後、リードコマンドが供給された場合の波形の一例を示す図である。
図8では、外部からライトコマンドWRT1〜WRT3が供給された後、リードコマンドRD1が供給されている。図8において、ライトコマンドWRT1〜WRT3が連続して供給された際の動作は、図6を用いて説明した動作と相違する点はないので、その説明を省略する。
図8では、ライトコマンドWRT3を供給してからtCCD経過後に、リードコマンドRD1が供給されている。制御ロジック10は、このリードコマンドRD1の供給を受けて、バーストライトステータス信号CWBUSTを活性レベルのハイレベルから非活性レベルのロウレベルに遷移させる(時刻T23)。その結果、メイン入出力線イコライズ信号MEQ2Bは、活性レベルのロウレベルに遷移する。
一方、メイン入出力線イコライズ信号MEQ3は、ライトイネーブル信号CWAEが非活性レベルのロウレベルに遷移することに応じて、活性レベルのハイレベルに遷移する(時刻T22)。即ち、ライトコマンドWRT3に応じたライト動作終了後には、第1のプリチャージ回路PREC01及び第2のプリチャージ回路PREC02により、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)のイコライズが実施される。
リードコマンドRD1によって、制御ロジック10は内部リードコマンド信号IRDを発生する(時刻T21)。内部リードコマンド信号IRDを発生した後のリード動作については、図7を用いて説明した動作と相違する点はないので、さらなる説明は省略する。
以上のように、ライトデータを連続して書き込むバーストライト時には、第1のプリチャージ回路PREC01を非活性状態とし、第2のプリチャージ回路PREC02を活性状態とすることで、消費電流を抑制しつつ連続する書き込み動作間での書き込みマージンの低下を抑制する。また、連続する一連の書き込み動作の終了時には、第1のプリチャージ回路PREC01も活性状態とすることで、メイン入出力線対(MIOT、MIOB)を高速に電位VIOにプリチャージすることができる。
なお、引用した上記の特許文献等の各開示は、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素(各請求項の各要素、各実施形態ないし実施例の各要素、各図面の各要素等を含む)の多様な組み合わせ、ないし、選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。なお、Pチャネル型MOSトランジスタは、第1導電型のトランジスタ、Nチャネル型MOSトランジスタは、第2導電型のトランジスタの代表例である。
1 半導体装置
10 制御ロジック
20 ロウデコーダ&タイミング信号発生回路
30 カラムデコーダ&タイミング信号発生回路
40 メモリセルアレイ
50 センスアンプ
60 アンプ&バッファ部
70 データ入出力部
EQC イコライズ回路
INV01〜INV07 インバータ回路
IOSW 入出力スイッチ
MA、MA0〜MAn メインアンプ
MAC0 メインアンプ回路
MAEQ0 メインアンプイコライズ回路
MAWB、MAWB0〜MAWBn アンプ&バッファ回路
MC メモリセル
PE、PE0〜PEn プリチャージ&イコライズ回路
MIOEQSC メイン入出力線イコライズ信号生成回路
N01〜N07 Nチャネル型MOSトランジスタ
NAND01〜NAND03 否定論理積回路
NOR01 否定論理和回路
P01〜P09 Pチャネル型MOSトランジスタ
PREC01 第1のプリチャージ回路
PREC02 第2のプリチャージ回路
SAA センスアンプ部
SARY サブアレイ
TG0T、TG0B トランスファーゲート
WB、WB0〜WBn ライトバッファ回路
10 制御ロジック
20 ロウデコーダ&タイミング信号発生回路
30 カラムデコーダ&タイミング信号発生回路
40 メモリセルアレイ
50 センスアンプ
60 アンプ&バッファ部
70 データ入出力部
EQC イコライズ回路
INV01〜INV07 インバータ回路
IOSW 入出力スイッチ
MA、MA0〜MAn メインアンプ
MAC0 メインアンプ回路
MAEQ0 メインアンプイコライズ回路
MAWB、MAWB0〜MAWBn アンプ&バッファ回路
MC メモリセル
PE、PE0〜PEn プリチャージ&イコライズ回路
MIOEQSC メイン入出力線イコライズ信号生成回路
N01〜N07 Nチャネル型MOSトランジスタ
NAND01〜NAND03 否定論理積回路
NOR01 否定論理和回路
P01〜P09 Pチャネル型MOSトランジスタ
PREC01 第1のプリチャージ回路
PREC02 第2のプリチャージ回路
SAA センスアンプ部
SARY サブアレイ
TG0T、TG0B トランスファーゲート
WB、WB0〜WBn ライトバッファ回路
Claims (9)
- 信号入出力線対と、
前記信号入出力線対の間に接続され、複数の第1のトランジスタを含む第1のプリチャージ回路と、
前記信号入出力線対の間に接続され、複数の第2のトランジスタを含む第2のプリチャージ回路と、を備え、
前記複数の第2のトランジスタのそれぞれは、前記第1のトランジスタのそれぞれよりも電流駆動能力が低いことを特徴とする半導体装置。 - 前記信号入出力線対の間に接続され、前記信号入出力線対の間を短絡するイコライズ回路を備える請求項1の半導体装置。
- データのライト動作が連続する場合には、連続するライト動作間、前記第1のプリチャージ回路を非活性化すると共に、前記第2のプリチャージ回路及び前記イコライズ回路を活性化する制御回路を備える請求項2の半導体装置。
- 前記制御回路は、連続するライト動作の終了後、前記第1のプリチャージ回路、前記第2のプリチャージ回路及び前記イコライズ回路を活性化する請求項3の半導体装置。
- 前記制御回路は、リード動作の終了後、前記第1のプリチャージ回路、前記第2のプリチャージ回路及び前記イコライズ回路を活性化する請求項3又は4の半導体装置。
- 第1及び第2の信号入出力線と、
第1の主電極が前記第1の信号入出力線に接続され、第2の主電極が所定電位を供給する電源線に接続された第1の第1導電型トランジスタと、
第3の主電極が前記第2の信号入出力線に接続され、第4の主電極が前記電源線に接続された第2の第1導電型トランジスタと、を含んで構成される第1のプリチャージ回路と、
第5の主電極が前記電源線に接続され、第6の主電極が前記第1の信号入出力線に接続された第1の第2導電型トランジスタと、
第7の主電極が前記電源線に接続され、第8の主電極が前記第2の信号入出力線に接続された第2の第2導電型トランジスタと、を含んで構成される第2のプリチャージ回路と、
前記第1及び第2の第1導電型トランジスタの制御電極に第1の制御信号を、前記第1及び第2の第2導電型トランジスタの制御電極に第2の制御信号を、それぞれ供給する制御回路と、
を備え、
前記第1及び第2の第1導電型トランジスタのそれぞれのチャネル幅は、前記第1及び第2の第2導電型トランジスタのそれぞれのチャネル幅よりも長く、
前記制御回路は、データのライト動作が連続する場合には、連続するライト動作間、前記第1の制御信号を非活性化すると共に、前記第2の制御信号を活性化することを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の制御信号に応じて、前記第1の信号入出力線と前記第2の信号入出力線を短絡するトランスファーゲートを含んで構成されるイコライズ回路を備える請求項6の半導体装置。
- 前記制御回路は、連続するライト動作の終了後、前記第1及び第2の制御信号を活性化する請求項6又は7の半導体装置。
- 前記制御回路は、リード動作の終了後、前記第1及び第2の制御信号を活性化する請求項6乃至8のいずれか一項に記載の半導体装置。
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