JP2014017453A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体装置100は、基板110上に設けられたシート部材120、及びそのシート部材120上に設けられた半導体素子130を含み、半導体素子130は、ワイヤ140で基板110に電気的に接続される。シート部材120は、貫通孔121aが設けられた金属シート121、及びその貫通孔121aに充填された接着剤122を有し、基板110と半導体素子130は、接着剤122で接着される。基板110と半導体素子130の間に、金属シート121を含むシート部材120を介在させることで、ワイヤ140の接続不良、接続強度不足を抑える。
【選択図】図1
Description
また、ワイヤボンディングに関し、ボンディング時に超音波を印加する方式(超音波ボンディング)を採用する技術が知られている。
図1に示す半導体装置100は、基板110、シート部材120、及び半導体素子(半導体チップ)130を有している。
図2(A)に示すように、流動性のダイス付け材200を用いる場合には、そのダイス付け材200が、基板110上の半導体素子130の搭載領域から流出してしまうことが起こり得る。流出したダイス付け材200が、基板110のボンディングリード111まで達し、それを汚染してしまうと、ボンディングリード111へのワイヤ140の接続が行えなくなる場合がある。
図3には、半導体素子130がテープ材のダイス付け材210を介して基板110上に搭載された半導体装置を例示している。
しかし、この例のように、ダイス付け材210にテープ材を用いている場合には、そのテープ材の弾性率が比較的低いため、ボンディングパッド131にワイヤ140を接続する際、印加する超音波がテープ材に吸収され、減衰してしまうことが起こり得る。ダイス付け材210として用いるテープ材の弾性率は、ワイヤ140の熱圧着時の温度、例えば170℃程度では、高いものでも数十MPa〜数Pa程度である。そのため、上記のような超音波の吸収、減衰が起こることがある。このような超音波の減衰が起こると、ワイヤ140(ボール141)とボンディングパッド131との接続不良(ボール141の剥がれ)、接続強度不足が発生する場合がある。
続いて、シート部材120の形成方法の一例、及びシート部材120を含む半導体装置100の形成方法の一例について、説明する。
まず、図4(A)に示すような1枚の金属シート121bを準備する。この金属シート121bには、所定厚さの金属箔、金属板を用いる。金属シート121bの材料は、Cu、W、Ti、Ni、Fe、Cr、ステンレス鋼等である。
図8はウェハの配置工程の説明図である。尚、図8(A),(B)はウェハの配置工程の平面模式図である。
上記のようにして切り取られた基体330a(ウェハ330、金属シート121、接着剤122及びベースフィルム310)から、図9に示すように、ベースフィルム310を剥離する。ベースフィルム310には、この段階で金属シート121及び接着剤122からの剥離が可能な構成を有するものが予め使用される。
ベースフィルム310の剥離後、図10に示すように、ベースフィルム310が剥離された基体330b(ウェハ330、金属シート121及び接着剤122)をダイシングフィルム340に貼付する。基体330bは、その金属シート121及び接着剤122の側をダイシングフィルム340の側に向けて、貼付される。
図11は半導体素子の搭載工程の説明図である。尚、図11(A)は半導体素子の搭載工程の斜視模式図、図11(B)は半導体素子の搭載工程の断面模式図である。
基板110上にシート部材120を介して搭載された半導体素子130は、図12に示すように、そのボンディングパッド131がワイヤ140によって基板110のボンディングリード111に電気的に接続される。
図13は封止工程及びバンプ搭載工程の説明図である。尚、図13は封止工程及びバンプ搭載工程の断面模式図である。
金属シート121の貫通孔121aは、図14(A)に示すように、その一端側の開口径を、他端側の開口径、両端間の中間部の開口径よりも大きくした形状としてもよい。図14(A)のような貫通孔121aは、例えば、上端から下端まで同径(又は同等径)の貫通孔121aを形成した後、その一端側のエッジ部をR加工或いは面取り加工(拡径加工)することで、形成することができる。
まず、第1実施例について説明する。
図15は第1実施例に係る半導体装置の構成例を示す図である。尚、図15は第1実施例に係る半導体装置の一例の断面模式図である。
図16は第1実施例に係る金属シートの形成工程の説明図である。尚、図16は第1実施例に係る金属シートの形成工程の断面模式図である。
上記のようにベースフィルム310上に貼付され、貫通孔121aに接着剤122が充填された金属シート121Aの上に、図17に示すように、ウェハ330が配置される。
個片化された半導体素子130並びに金属シート121A及び接着剤122は、ダイシングフィルム340から剥離され、図18に示すように、基板110上に搭載される。
図19は第1実施例に係る半導体装置の別の構成例を示す図である。尚、図19は第1実施例に係る半導体装置の別例の断面模式図である。
図20は第2実施例に係る半導体装置の構成例を示す図である。尚、図20は第2実施例に係る半導体装置の一例の断面模式図である。
半導体装置100Bの形成過程で、金属シート121B及びその貫通孔121aに充填された接着剤122が設けられているウェハを、接着剤122の箇所を通るようにダイシングを行った場合には、接着剤122の切断屑122aが発生する可能性がある。発生した切断屑122aが、半導体素子130のボンディングパッド131に付着した場合には、そのボンディングパッド131へのワイヤ140の接続が行えなくなることが起こり得る。
図22は第2実施例に係る金属シートの形成工程の説明図である。尚、図22(A)は第2実施例に係る金属シートの形成工程の断面模式図、図22(B)は第2の実施例に係る金属シートの形成工程の平面模式図である。
ここでは、貫通孔121aの形成位置を、図22(B)に示すように、後に配置されるウェハ330(図23)の位置331(点線)、及びダイシングラインの位置332(鎖線)に基づいて設定する。この例では、貫通孔121aがダイシングラインの位置332には存在せず、ダイシングラインの位置332には金属シート121bが存在するように、選択的に貫通孔121aを形成する。
図23(A)のようにベースフィルム310上に貼付され、貫通孔121a、マーク121d及び接着剤122を含んだ金属シート121Bの上に、図23(B)に示すように、ウェハ330が配置される。
個片化された半導体素子130並びに金属シート121B及び接着剤122は、ダイシングフィルム340から剥離され、図24に示すように、基板110上に搭載される。尚、この例では、接着剤122は側端面に露出する金属シート121Bの内側に配置されている。
図25は第3実施例に係る半導体装置の構成例を示す図である。尚、図25は第3実施例に係る半導体装置の一例の断面模式図である。
上記のような粗化層121eを有する金属シート121Cの形成では、まず、1枚の金属シート121bを準備し、その所定の位置に貫通孔121aを形成する。そして、貫通孔121aを形成した金属シート121bの表面(この例では上面及び下面並びに貫通孔121aの内壁)に対し、表面粗化処理を施す。
(付記1) 基板と、
前記基板上に設けられたシート部材と、
前記シート部材上に設けられ、前記基板にワイヤで電気的に接続された半導体素子と
を含み、
前記シート部材は、
貫通孔が設けられた金属シートと、
前記貫通孔に充填され、前記基板と前記半導体素子とを接着する接着剤と
を有することを特徴とする半導体装置。
(付記3) 前記半導体素子は、前記シート部材との間に第1金属層を有し、前記基板は、前記シート部材との間に第2金属層を有することを特徴とする付記1又は2に記載の半導体装置。
(付記5) 前記半導体素子と前記ワイヤの接続部が、前記シート部材の前記金属シートの上方に配置されることを特徴とする付記1乃至4のいずれかに記載の半導体装置。
(付記7) 前記シート部材は、前記貫通孔の一端の開口径が、前記一端と他端との間の部位における内径よりも大きいことを特徴とする付記1乃至6のいずれかに記載の半導体装置。
前記シート部材上に、半導体素子が形成されたウェハを接着する工程と、
前記ウェハ及び前記シート部材を切断し、切断された前記シート部材が接着された前記半導体素子を個片化する工程と、
個片化された前記半導体素子及び前記シート部材を当該シート部材で基板に接着する工程と、
前記半導体素子を前記基板にワイヤで電気的に接続する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記10) 前記半導体素子を前記基板に前記ワイヤで電気的に接続する工程は、前記ワイヤを前記半導体素子に超音波を印加しながら熱圧着する工程を含むことを特徴とする付記8又は9に記載の半導体装置の製造方法。
(付記13) 前記シート部材を準備する工程は、前記金属シートの、前記半導体素子を個片化する工程において切断される前記シート部材の切断領域に対応する領域を除いた領域に、前記貫通孔を設ける工程を含むことを特徴とする付記8乃至12のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記15) 前記シート部材を準備する工程は、前記金属シートに前記貫通孔を設けた後、前記貫通孔に前記接着剤を充填する前に、前記貫通孔の内壁に粗化層を設ける工程を含むことを特徴とする付記8乃至14のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
110 基板
111 ボンディングリード
112,121c,132 金属層
113 ビア
120,120A,120B,120C シート部材
121,121b,121A,121B,121C 金属シート
121a 貫通孔
121d マーク
121e 粗化層
122 接着剤
122a 切断屑
130,150 半導体素子
131 ボンディングパッド
140 ワイヤ
141 ボール
160 封止樹脂
170 バンプ
200,210 ダイス付け材
220 キャピラリ
300 ドリル
310 ベースフィルム
320 スキージ
330 ウェハ
330a,330b 基体
330c ノッチ
340 ダイシングフィルム
350 ダイシングブレード
331,332 位置
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に設けられたシート部材と、
前記シート部材上に設けられ、前記基板にワイヤで電気的に接続された半導体素子と
を含み、
前記シート部材は、
貫通孔が設けられた金属シートと、
前記貫通孔に充填され、前記基板と前記半導体素子とを接着する接着剤と
を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記接着剤は、樹脂を含むことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
- 前記半導体素子は、前記シート部材との間に第1金属層を有し、前記基板は、前記シート部材との間に第2金属層を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記基板は、前記第2金属層に接続されたビアを有することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記半導体素子と前記ワイヤの接続部が、前記シート部材の前記金属シートの上方に配置されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記シート部材は、前記貫通孔の一端の開口径が、前記一端と他端との間の部位における内径よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置。
- 金属シートに貫通孔を設け、前記貫通孔に接着剤を充填して、シート部材を準備する工程と、
前記シート部材上に、半導体素子が形成されたウェハを接着する工程と、
前記ウェハ及び前記シート部材を切断し、切断された前記シート部材が接着された前記半導体素子を個片化する工程と、
個片化された前記半導体素子及び前記シート部材を当該シート部材で基板に接着する工程と、
前記半導体素子を前記基板にワイヤで電気的に接続する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子を前記基板に前記ワイヤで電気的に接続する工程は、前記ワイヤを前記半導体素子に超音波を印加しながら熱圧着する工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
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