JP2014017453A - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents

半導体装置及び半導体装置の製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】ワイヤの接続不良、接続強度不足を抑えた半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置100は、基板110上に設けられたシート部材120、及びそのシート部材120上に設けられた半導体素子130を含み、半導体素子130は、ワイヤ140で基板110に電気的に接続される。シート部材120は、貫通孔121aが設けられた金属シート121、及びその貫通孔121aに充填された接着剤122を有し、基板110と半導体素子130は、接着剤122で接着される。基板110と半導体素子130の間に、金属シート121を含むシート部材120を介在させることで、ワイヤ140の接続不良、接続強度不足を抑える。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体装置及び半導体装置の製造方法に関する。
ダイス付け材(ダイボンド材)を用いて半導体素子を基板上に搭載する技術、基板上に搭載した半導体素子をその基板にワイヤで電気的に接続(ワイヤボンディング)する技術が知られている。
ダイス付け材として、半田やペースト等の流動性を示す材料、両面に接着層を備えるテープ材(フィルム材)を用いる技術が知られている。
また、ワイヤボンディングに関し、ボンディング時に超音波を印加する方式(超音波ボンディング)を採用する技術が知られている。
特開昭56−074932号公報 特開2012−033692号公報 特開平06−216294号公報
ダイス付け材に半田やペースト等の材料を用いる場合には、ダイス付けの際、そのような材料が基板上の半導体素子の搭載領域から流出し、半導体素子とワイヤボンディングされる基板の電極部にまで達してしまう恐れがある。このようにダイス付け材が電極部にまで流出すると、その電極部へのワイヤボンディングができなくなること(接続不良)が起こり得る。
また、ダイス付け材にテープ材を用いる場合、テープ材は、上記半田等(硬化したもの)に比べて弾性率が低い。そのため、ダイス付け後の半導体素子を基板に超音波ボンディングで接続する場合には、印加する超音波がそのダイス付け材のテープ材によって減衰してしまい、所定の接続強度でワイヤボンディングが行えないことが起こり得る。
本発明の一観点によれば、基板と、前記基板上に設けられたシート部材と、前記シート部材上に設けられ、前記基板にワイヤで電気的に接続された半導体素子とを含み、前記シート部材は、貫通孔が設けられた金属シートと、前記貫通孔に充填され、前記基板と前記半導体素子とを接着する接着剤とを有する半導体装置が提供される。
また、本発明の一観点によれば、金属シートに貫通孔を設け、前記貫通孔に接着剤を充填して、シート部材を準備する工程と、前記シート部材上に、半導体素子が形成されたウェハを接着する工程と、前記ウェハ及び前記シート部材を切断し、切断された前記シート部材が接着された前記半導体素子を個片化する工程と、個片化された前記半導体素子及び前記シート部材を当該シート部材で基板に接着する工程と、前記半導体素子を前記基板にワイヤで電気的に接続する工程とを含む半導体装置の製造方法が提供される。
開示の技術によれば、金属シートとその貫通孔に充填した接着剤を有するシート部材を半導体素子と基板の間に介在させることで、接続不良、接続強度不足を抑えて半導体素子と基板がワイヤボンディングされた半導体装置を実現することが可能になる。
半導体装置の構成例を示す図である。 流動性のダイス付け材を用いた場合の説明図である。 テープ材のダイス付け材を用いた場合の説明図である。 貫通孔を設けた金属シートの形成工程の説明図である。 金属シートのベースフィルムへの貼付工程の説明図である。 貫通孔への接着剤の充填工程の説明図(その1)である。 貫通孔への接着剤の充填工程の説明図(その2)である。 ウェハの配置工程の説明図である。 ベースフィルムの剥離工程の説明図である。 ダイシング工程の説明図である。 半導体素子の搭載工程の説明図である。 ワイヤボンディング工程の説明図である。 封止工程及びバンプ搭載工程の説明図である。 金属シートの貫通孔の別例を示す図である。 第1実施例に係る半導体装置の構成例を示す図である。 第1実施例に係る金属シートの形成工程の説明図である。 第1実施例に係るウェハの配置工程の説明図である。 第1実施例に係る半導体素子の搭載工程の説明図である。 第1実施例に係る半導体装置の別の構成例を示す図である。 第2実施例に係る半導体装置の構成例を示す図である。 切断屑の説明図である。 第2実施例に係る金属シートの形成工程の説明図である。 第2実施例に係るウェハの配置工程の説明図である。 第2実施例に係る半導体素子の搭載工程の説明図である。 第3実施例に係る半導体装置の構成例を示す図である。 第3実施例に係る金属シートの形成工程の説明図である。
図1は半導体装置の構成例を示す図である。尚、図1は半導体装置の一例の断面模式図である。
図1に示す半導体装置100は、基板110、シート部材120、及び半導体素子(半導体チップ)130を有している。
基板110には、プリント基板等の回路基板が用いられる。基板110上にシート部材120を介して設けられる半導体素子130は、その電極部(ボンディングパッド)131が、ワイヤ140によって基板110の電極部(ボンディングリード)111に電気的に接続(ワイヤボンディング)される。
基板110と半導体素子130の間に介在されるシート部材120は、貫通孔121aを設けた金属シート121、及びその金属シート121の貫通孔121aに充填された接着剤122を有している。
ここでは一例として、複数の貫通孔121aを有する金属シート121を例示している。各貫通孔121aは、金属シート121の厚み方向に貫通する孔であり、等間隔或いは不等間隔で配置することができる。また、各貫通孔121aのサイズ(開口径)は、同じでも、異なっていてもよい。
接着剤122は、金属シート121の各貫通孔121aに充填され、各々の上端面及び下端面がそれぞれ金属シート121の上面側及び下面側に露出している。接着剤122は、上端面が基板110に接着され、下端面が半導体素子130に接着されている。尚、図1に示すように、接着剤122は、金属シート121の側端面に設けられていてもよい。
金属シート121には、金属箔、金属板等を用いることができる。金属シート121には、一定の弾性率を有する材料、例えばダイス付け材として用いられことのあるテープ材(ダイス(ダイ)ボンディングフィルム等)よりも高い弾性率を有する材料が用いられる。金属シート121には、銅(Cu)、タングステン(W)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、クロム(Cr)、ステンレス鋼等の材料を用いることができる。これらの材料は、一定の高い弾性率を有し、また、比較的安価な材料であるため半導体装置100の低コスト化を図ることができる。
金属シート121の貫通孔121aに充填される接着剤122には、例えば、ダイス付け材として用いられることのある、熱硬化型或いは光硬化型の樹脂材料を用いることができる。例えば、接着剤122には、エポキシ樹脂を含む材料、ポリアミド樹脂を含む材料を用いることができる。また、接着剤122には、金属等の導電性粒子を含有する材料、シリカ等の非導電性粒子を含有する材料等を用いることもできる。
上記のようなシート部材120が基板110上に設けられ、そのシート部材120上に半導体素子130が設けられて、半導体素子130と基板110がワイヤ140で電気的に接続される。シート部材120を用いた場合には、ダイス付け材として例えば半田や樹脂等の流動性を示す材料を用いた場合に生じ得る、その材料の流出による基板110のボンディングリード111の汚染、汚染による接続不良を、効果的に抑えることが可能になる。
ここで、図2は流動性のダイス付け材を用いた場合の説明図である。尚、図2は半導体装置の別例の断面模式図である。
図2(A)に示すように、流動性のダイス付け材200を用いる場合には、そのダイス付け材200が、基板110上の半導体素子130の搭載領域から流出してしまうことが起こり得る。流出したダイス付け材200が、基板110のボンディングリード111まで達し、それを汚染してしまうと、ボンディングリード111へのワイヤ140の接続が行えなくなる場合がある。
また、図2(B)に示すように、半導体素子130上に更に別の半導体素子150を設けたスタック構造の半導体装置が形成される場合もある。この半導体素子150を、流動性のダイス付け材200を用いて半導体素子130上に設ける際、その流出によるボンディングパッド131の汚染が生じると、そのボンディングパッド131へのワイヤ140の接続が行えなくなる場合がある。
一方、上記のシート部材120は、金属シート121の貫通孔121aに接着剤122が充填される構造を有している。そのため、接着剤122に流動性を示すものを用いても、その流出を抑えることができ、流出によるボンディングリード111、ボンディングパッド131の汚染を抑えることができる。
このようなシート部材120が間に介在する半導体素子130と基板110は、ワイヤ140で電気的に接続(ワイヤボンディング)される。このワイヤボンディングには、例えば、超音波を印加してワイヤ140を熱圧着する方式が用いられる。シート部材120を用いた場合には、ダイス付け材として例えばテープ状(フィルム状)のものを用いた場合に生じ得る、超音波の減衰による接続不良、接続強度不足を、効果的に抑えることが可能になる。
ここで、図3はテープ材のダイス付け材を用いた場合の説明図である。尚、図3は半導体装置の別例の断面模式図である。
図3には、半導体素子130がテープ材のダイス付け材210を介して基板110上に搭載された半導体装置を例示している。
ワイヤボンディングの際には、キャピラリ220から供給されるワイヤ140の先端にボール141が形成され、そのボール141が半導体素子130のボンディングパッド131に熱圧着される。その際、超音波がキャピラリ220からワイヤ140のボール141に印加され、更に、半導体素子130のボンディングパッド131に印加されて、ボール141とボンディングパッド131が接続される。所謂第1ボンディング工程である。
その後、キャピラリ220がループを形成しながら基板110のボンディングリード111の位置へと移動し、ワイヤ140の先端がボンディングリード111に超音波を印加されて熱圧着され、ワイヤ140とボンディングリード111が接続される。所謂第2ボンディング工程である。
このようなワイヤボンディングにより、半導体素子130と基板110がワイヤ140で電気的に接続されるようになる。
しかし、この例のように、ダイス付け材210にテープ材を用いている場合には、そのテープ材の弾性率が比較的低いため、ボンディングパッド131にワイヤ140を接続する際、印加する超音波がテープ材に吸収され、減衰してしまうことが起こり得る。ダイス付け材210として用いるテープ材の弾性率は、ワイヤ140の熱圧着時の温度、例えば170℃程度では、高いものでも数十MPa〜数Pa程度である。そのため、上記のような超音波の吸収、減衰が起こることがある。このような超音波の減衰が起こると、ワイヤ140(ボール141)とボンディングパッド131との接続不良(ボール141の剥がれ)、接続強度不足が発生する場合がある。
尚、印加する超音波のエネルギーを増大させることで、このような減衰による接続不良、接続強度不足を回避することも可能である。しかし、超音波のエネルギーを増大させた場合には、ボンディングパッド131の剥離(半導体素子130内部の層間絶縁膜からの剥離)や損傷が発生する可能性が高まってしまう。
一方、上記のシート部材120は、貫通孔121aを設けた金属シート121を用い、その貫通孔121aに接着剤122が充填される構造を有している。そのため、シート部材120は、ダイス付け材にテープ材を用いた場合に比べて、高い弾性率を示すようになる。例えば、シート部材120の金属シート121に用いることのできるCuの場合、その弾性率は10万MPa(100GPa)程度であり、テープ材に比べて4桁程度高い弾性率を有している。
このような材料の金属シート121を含んだシート部材120をダイス付け材として用いることで、半導体素子130のボンディングパッド131にワイヤ140を接続する際、印加する超音波が減衰されるのを効果的に抑えることができる。それにより、ボンディングパッド131とワイヤ140を、接続不良、接続強度不足を抑えて接続することができる。
ところで、半導体素子130には、小型のもの(例えば、縦3mm×横3mmといったサイズ、或いはそれよりも小さいサイズの半導体素子)が用いられる場合がある。半導体素子130がこのような小型のものである場合に、ダイス付け材に上記のようなテープ材を用いると、ワイヤボンディング時に印加する超音波の減衰、それによる接続不良、接続強度不足がより生じ易くなる傾向がある。上記のシート部材120は、このように小型の半導体素子130を用いる場合にも好適であり、小型の半導体素子130とワイヤ140を、接続不良、接続強度不足を抑えて接続することを可能にする。
尚、シート部材120の構成は、図1に示したものには限定されない。シート部材120と基板110及び半導体素子130との間に要求される接着強度、ワイヤボンディング時の超音波の印加条件等に基づき、シート部材120の構成を設定することが可能である。例えば、金属シート121の貫通孔121aの数、開口径を調整し、金属シート121における貫通孔121aの占有面積(開口面積)を調整することで、シート部材120表面における接着剤122の占有面積(接着面積)を調整することができる。このような調整により、所望の接着強度と超音波の減衰抑制効果を得ることのできるシート部材120を実現することができる。
また、半導体装置100は、基板110上のシート部材120、半導体素子130及びワイヤ140を封止樹脂で封止した構造としたり、基板110の半導体素子130搭載面と反対側の面に半田ボール等のバンプ(外部端子)を設けた構造としたりすることもできる。
また、半導体装置100では、半導体素子130のグランド(GND)接続や、半導体素子130で発生した熱を外部に放熱する観点から、基板110に対し、シート部材120に接続されるビアを設けることもできる。
また、基板110には、回路基板のほか、半導体素子を適用することもできる。
続いて、シート部材120の形成方法の一例、及びシート部材120を含む半導体装置100の形成方法の一例について、説明する。
図4は貫通孔を設けた金属シートの形成工程の説明図である。尚、図4(A),(B)は金属シートの形成工程の断面模式図である。
まず、図4(A)に示すような1枚の金属シート121bを準備する。この金属シート121bには、所定厚さの金属箔、金属板を用いる。金属シート121bの材料は、Cu、W、Ti、Ni、Fe、Cr、ステンレス鋼等である。
このような金属シート121bに、図4(B)に示すように、貫通孔121aを形成する。これにより、貫通孔121aを設けた金属シート121(121b)が形成される。貫通孔121aは、ドリル、パンチ等の機械的な加工方法、レーザを用いた加工方法、エッチング等の化学的な加工方法を用いて、形成することができる。尚、図4(B)には一例として、ドリル300を用いて貫通孔121aを形成する工程を図示している。
図5は金属シートのベースフィルムへの貼付工程の説明図である。尚、図5(A)は金属シートのベースフィルムへの貼付工程の平面模式図、図5(B)は図5(A)のL1−L1断面模式図である。
貫通孔121aを設けた金属シート121の形成後、その金属シート121を、図5に示すように、ベースフィルム310上に貼付する。ベースフィルム310には、貼付した金属シート121を後に剥離することができるものが用いられる。例えば、金属シート121が剥離可能な接着剤が表面に施されたフィルムを、ベースフィルム310として用いることができる。
尚、図5(図7及び図8も同様)では、金属シート121の貫通孔121aを平面六角形状とした場合を図示しているが、貫通孔121aの平面形状は、このような形状に限定されるものではない。貫通孔121aの平面形状は、形成に用いる加工方法やその加工時の条件等によって、円形、楕円形、矩形等、様々な平面形状を採り得る。
図6及び図7は貫通孔への接着剤の充填工程の説明図である。尚、図6は貫通孔への接着剤の充填工程の断面模式図、図7(A)は貫通孔への接着剤の充填工程の平面模式図、図7(B)は図7(A)のL2−L2断面模式図である。
ベースフィルム310上に金属シート121を貼付した後、例えば、図6に示すように、スキージ320を用いて接着剤122を塗布し、金属シート121の貫通孔121aに接着剤122を充填する。接着剤122には、例えば、ダイス付け材として用いられる、熱硬化型或いは光硬化型の樹脂材料(エポキシ樹脂やポリアミド樹脂を含む樹脂材料)を用いることができる。尚、接着剤122の粘度が低い場合には、スキージ320を用いず、接着剤122を貫通孔121aに流し込み、充填することもできる。金属シート121の貫通孔121aに充填された接着剤122は、半硬化状態とされる。
このように接着剤122を貫通孔121aに充填することで、図7(A),(B)に示すようなシート部材120の基本構造を得る。
図8はウェハの配置工程の説明図である。尚、図8(A),(B)はウェハの配置工程の平面模式図である。
接着剤122の貫通孔121aへの充填後、図8(A)に示すように、金属シート121及び接着剤122の上に、ウェハ330を配置する。ウェハ330には、個片化前の半導体素子130が形成されている。ウェハ330は、形成されている半導体素子130のボンディングパッド131の配設面(表面)と反対側の面(裏面)を、金属シート121及び接着剤122の側に向けて、配置される。これにより、ウェハ330の裏面が接着剤122に接着される。尚、ウェハ330のボンディングパッド131の図示は省略している。
このようにしてウェハ330を金属シート121及び接着剤122の上に配置(接着)した後、図8(B)に示すように、ウェハ330の外周に沿って、金属シート121及び接着剤122並びにベースフィルム310を切断する。これにより、ウェハ330の裏面に金属シート121及び接着剤122が貼付(接着)され、更にそれらにベースフィルム310が貼付された基体330aが切り取られる。
図9はベースフィルムの剥離工程の説明図である。尚、図9はベースフィルムの剥離工程の斜視模式図である。
上記のようにして切り取られた基体330a(ウェハ330、金属シート121、接着剤122及びベースフィルム310)から、図9に示すように、ベースフィルム310を剥離する。ベースフィルム310には、この段階で金属シート121及び接着剤122からの剥離が可能な構成を有するものが予め使用される。
図10はダイシング工程の説明図である。尚、図10はダイシング工程の斜視模式図である。
ベースフィルム310の剥離後、図10に示すように、ベースフィルム310が剥離された基体330b(ウェハ330、金属シート121及び接着剤122)をダイシングフィルム340に貼付する。基体330bは、その金属シート121及び接着剤122の側をダイシングフィルム340の側に向けて、貼付される。
このようにして基体330bをダイシングフィルム340に貼付した後、ダイシングブレード350を用い、ウェハ330に予め設定されているダイシングライン(図10のウェハ330に点線で図示)に沿って、ダイシングを行う。ダイシングは、ウェハ330並びに金属シート121及び接着剤122を切断し、ダイシングフィルム340をハーフカットするようにして行われる。
このダイシングにより、ウェハ330に形成されている半導体素子130が、その裏面の金属シート121及び接着剤122と共に、個片化される。
図11は半導体素子の搭載工程の説明図である。尚、図11(A)は半導体素子の搭載工程の斜視模式図、図11(B)は半導体素子の搭載工程の断面模式図である。
個片化された半導体素子130並びに金属シート121及び接着剤122は、ダイシングフィルム340から剥離(ピックアップ)され、図11に示すように、基板110上に搭載(ダイスボンディング)される。半導体素子130は、金属シート121及び接着剤122の側を、基板110のボンディングリード111の配設面(表面)側に向けて、搭載される。接着剤122は、基板110に接着される。
尚、接着剤122は、この段階では半硬化状態であり、半導体素子130を搭載する際、接着剤122の流出や、流出による基板110のボンディングリード111の汚染は起こらない。
このようにして半導体素子130を搭載した後、接着剤122を、加熱や光照射によって完全に硬化させる。これにより、半導体素子130と基板110の間にシート部材120が介在され、そのシート部材120の接着剤122の上端面と下端面にそれぞれ半導体素子130と基板110が接着された構造が得られる。
図12はワイヤボンディング工程の説明図である。尚、図12はワイヤボンディング工程の断面模式図である。
基板110上にシート部材120を介して搭載された半導体素子130は、図12に示すように、そのボンディングパッド131がワイヤ140によって基板110のボンディングリード111に電気的に接続される。
ワイヤ140のボンディングパッド131及びボンディングリード111への接続には、超音波を印加しながら熱圧着するワイヤボンディング方式を採用する。例えば、まず、キャピラリ220から供給されるワイヤ140の先端部(ボール141)を、超音波を印加しながらボンディングパッド131に熱圧着する(第1ボンディング工程)。次いで、ループを形成しながらそのキャピラリ220をボンディングリード111へ移動させ、ワイヤ140を、超音波を印加しながらボンディングリード111に熱圧着する(第2ボンディング工程)。ワイヤ140で接続するボンディングパッド131及びボンディングリード111に対し、このような工程を繰り返し、半導体素子130と基板110を電気的に接続する。
基板110と半導体素子130の間に介在させるダイス付け材として、比較的弾性率の高い金属シート121を含むシート部材120を用いることで、ボンディングパッド131とワイヤ140を、接続不良、接続強度不足を抑えて、接続することができる。
以上の工程により、基板110、シート部材120、半導体素子130及びワイヤ140を含む半導体装置100が形成される。
図13は封止工程及びバンプ搭載工程の説明図である。尚、図13は封止工程及びバンプ搭載工程の断面模式図である。
ワイヤボンディング後は、図13に示すように、基板110上のシート部材120、半導体素子130及びワイヤ140を、封止樹脂160で封止する。また、図13に示すように、基板110の半導体素子130搭載面と反対側の面に、半田ボール等のバンプ170を搭載する。これにより、基板110、シート部材120、半導体素子130及びワイヤ140と、更に封止樹脂160及びバンプ170を含む半導体装置100が形成される。
尚、以上の説明では、金属シート121の貫通孔121aとして、上端から下端まで同径(又は同等径)のものを例示したが、貫通孔121aは、次の図14に示すような形状とすることもできる。
図14は金属シートの貫通孔の別例を示す図である。尚、図14は貫通孔に接着剤が充填された金属シートの断面模式図である。
金属シート121の貫通孔121aは、図14(A)に示すように、その一端側の開口径を、他端側の開口径、両端間の中間部の開口径よりも大きくした形状としてもよい。図14(A)のような貫通孔121aは、例えば、上端から下端まで同径(又は同等径)の貫通孔121aを形成した後、その一端側のエッジ部をR加工或いは面取り加工(拡径加工)することで、形成することができる。
また、貫通孔121aは、図14(B)に示すように、その両端側の開口径を、両端間の中間部の開口径よりも大きくした形状としてもよい。図14(B)のような貫通孔121aは、例えば、上端から下端まで同径(又は同等径)の貫通孔121aを形成した後、その一端側のエッジ部を拡径加工し、他端側のエッジ部も同様に拡径加工することで、形成することができる。
また、貫通孔121aは、図14(C)に示すように、その一端側から他端側に向かって開口径が小さくなるテーパ形状(すり鉢形状)としてもよい。図14(C)のような貫通孔121aは、例えば、金属シート121の一方の面側から所定条件でレーザ加工を行うことで、形成することができる。
また、貫通孔121aは、図14(D)に示すように、その両端間の中間部で括れた形状(鼓形状、砂時計形状)としてもよい。図14(D)のような貫通孔121aは、例えば、金属シート121の一方の面側から所定条件でレーザ加工を行い、金属シート121の他方の面側から同様に所定条件でレーザ加工を行うことで、形成することができる。
図14(A)〜(D)のような貫通孔121aによれば、シート部材120の高弾性率に寄与する金属シート121の占有体積を確保しつつ、接着剤122と相手部品(半導体素子130、基板110)との接着面積を大きく取ることが可能になる。
尚、図14(A)〜(D)のような貫通孔121aは、必ずしも金属シート121内の全ての貫通孔121aに対して採用されていることを要しない。例えば、図14(A)〜(D)のような貫通孔121aを、上端から下端まで同径(又は同等径)の貫通孔121aと、金属シート121内で交互に配置してもよい。また、図14(A)〜(D)のような貫通孔121aを、基板110に生じ得る反り等の変形を考慮し、比較的大きな応力が生じ易い外周部に選択的に配置するようにしてもよい。
また、以上の説明では、図9に示す工程で基体330a(ウェハ330、金属シート121、接着剤122及びベースフィルム310)からベースフィルム310を剥離し、続く図10の工程でダイシングフィルム340を貼付するようにした。このほか、ベースフィルム310にダイシングフィルムとして利用可能なものを用い、ベースフィルム310を剥離する工程及びダイシングフィルム340を貼付する工程を省略することもできる。
以下、シート部材、及びシート部材を用いた半導体装置の実施例について、説明する。
まず、第1実施例について説明する。
図15は第1実施例に係る半導体装置の構成例を示す図である。尚、図15は第1実施例に係る半導体装置の一例の断面模式図である。
図15に示す半導体装置100Aは、基板110、基板110上に設けられたシート部材120A、及びシート部材120A上に設けられワイヤ140で基板110に電気的に接続された半導体素子130を有している。更に、半導体装置100Aは、基板110上のシート部材120A、半導体素子130及びワイヤ140を封止する封止樹脂160、並びに、基板110に搭載されたバンプ170を有している。
シート部材120Aの金属シート121Aは、その上面及び下面(Cu等の金属シート121bの上面及び下面)に金属層121cが設けられている。基板110の、シート部材120Aが接着される面(表面)には、金属層112が設けられている。半導体素子130の、シート部材120Aが接着される面(裏面)には、金属層132が設けられている。シート部材120Aの金属シート121Aに設けられた上下面の金属層121cはそれぞれ、基板110の金属層112、及び半導体素子130の金属層132に接合(例えば金属接合)されている。シート部材120Aの接着剤122は、基板110の金属層112、及び半導体素子130の金属層132に接着されている。
半導体装置100Aでは、このようなシート部材120Aを用いることで、その形成過程のダイス付け材の流出によるボンディングリード111の汚染を回避し、ワイヤ140の接続不良を抑えることができる。更に、半導体装置100Aでは、このようなシート部材120Aを用いることで、超音波を利用したワイヤボンディングの際、超音波の減衰によるボンディングパッド131とワイヤ140の接続不良、接続強度不足を抑えることができる。
また、半導体装置100Aでは、基板110の金属層112がシート部材120Aの下面側の金属層121cに接合され、半導体素子130の金属層132がシート部材120Aの上面側の金属層121cに接合される。これにより、半導体素子130から基板110まで金属で繋がるパス(金属層132−金属層121c−金属シート121b−金属層121c−金属層112)が形成される。
このようなパスが形成される半導体装置100Aでは、基板110を貫通し金属層112に接続されるビアを設け(例えば図19のビア113)、そのビアを半導体素子130のGND接続に利用することができる。例えば、半導体素子130にTSV(Through Silicon Via)技術を用いてその内部のGND配線を金属層132に接続する構造を形成する。これにより、半導体素子130のGNDを、上記のようなパスと基板110を貫通するビアによって、基板110の裏面まで引き出すことができる。
また、上記のようなパスが形成される半導体装置100Aでは、基板110を貫通し金属層112に接続されるビアを設け(例えば図19のビア113)、そのビアを所謂サーマルビアとして利用することもできる。この場合は、半導体素子130で発生し基板110の金属層112まで伝熱された熱を、基板110を貫通するビアを経由して基板110の裏面側に伝熱し、半導体装置100Aの外部へ効率的に放熱することが可能になる。
上記のような構成を有するシート部材120A及び半導体装置100Aは、例えば、以下のような方法で形成することができる。
図16は第1実施例に係る金属シートの形成工程の説明図である。尚、図16は第1実施例に係る金属シートの形成工程の断面模式図である。
まず、図16(A)に示すような1枚の金属シート121bを準備し、その上面及び下面に金属層121cを形成する。金属シート121bには、Cu等の材料を用いることができる。金属層121cは、例えば、金属シート121bのメッキ処理によって形成することができる。金属層121cには、金(Au)等の材料を用いることができる。
このように金属層121cを形成した金属シート121bに、図16(B)に示すように、ドリル300等を用いて貫通孔121aを形成する。これにより、金属シート121bの上下面に金属層121cが設けられ、これら金属シート121b及び金属層121cを貫通する貫通孔121aが設けられた金属シート121Aが形成される。貫通孔121aの形成には、ドリル300による加工方法のほか、パンチ等の機械的な加工方法、レーザを用いた加工方法、エッチング等の化学的な加工方法を用いてもよい。
尚、図16(A)には、貫通孔121aの形成前に、金属シート121bに金属層121cを形成する場合を例示した。このほか、貫通孔121aを形成しない領域に選択的に金属層121cを形成しておき、その後、金属層121cの未形成領域に貫通孔121aを形成するようにしてもよい。これにより、金属層121cの材料コストの削減を図ることができる。
金属層121c及び貫通孔121aを設けた金属シート121Aの形成後は、上記図5の例に従い、その金属シート121Aをベースフィルム310上に貼付する。次いで、上記図6及び図7の例に従い、ベースフィルム310上の金属シート121Aの貫通孔121aに接着剤122を充填する。充填された接着剤122は、半硬化状態とされる。
図17は第1実施例に係るウェハの配置工程の説明図である。尚、図17は第1実施例に係るウェハの配置工程の模式図である。
上記のようにベースフィルム310上に貼付され、貫通孔121aに接着剤122が充填された金属シート121Aの上に、図17に示すように、ウェハ330が配置される。
ウェハ330には、個片化前の半導体素子130が形成されており、その裏面(半導体素子130のボンディングパッド131の配設面と反対側の面)側に、予め金属層132が形成されている。例えば、ウェハ330の裏面に、スパッタリング法、蒸着法等の成膜技術を用いて、Au等の金属層132が形成される。このような金属層132が形成されたウェハ330が、その金属層132の形成面側を金属シート121A及び接着剤122の側に向けて、配置される。これにより、ウェハ330の金属層132が、金属シート121A(金属層121c)に接触し、接着剤122に接着される。尚、ウェハ330のボンディングパッド131の図示は省略している。
このようにしてウェハ330を配置した後は、上記図8(B)の例に従い、ウェハ330の外周に沿って、金属シート121A及び接着剤122並びにベースフィルム310を切断する。次いで、上記図9の例に従い、その切断後の基板からベースフィルム310を剥離する。そして、上記図10の例に従い、そのベースフィルム310を剥離した基板をダイシングフィルム340に貼付し、所定のダイシングラインに沿ってダイシングを行う。このダイシングにより、ウェハ330に形成されている半導体素子130が、その裏面の金属シート121A及び接着剤122と共に、個片化される。尚、ベースフィルム310をダイシングフィルムとして利用してもよい。
図18は第1実施例に係る半導体素子の搭載工程の説明図である。尚、図18は第1実施例に係る半導体素子の搭載工程の斜視模式図である。
個片化された半導体素子130並びに金属シート121A及び接着剤122は、ダイシングフィルム340から剥離され、図18に示すように、基板110上に搭載される。
基板110の表面(ボンディングリード111の配設面)側の、半導体素子130の搭載領域には、図18に示すように、予め金属層112が形成されている。例えば、基板110の表面にメッキ処理を施し、Au等の金属層112が形成される。尚、メッキ処理による金属層112の形成は、基板110のボンディングリード111に対して行うメッキ処理(Auメッキ処理等)と共に実施することができる。
このような金属層112が形成された基板110に、半導体素子130が金属シート121A及び接着剤122の側を金属層112の側に向けて、搭載される。尚、接着剤122は、この段階では半硬化状態であり、半導体素子130を搭載する際、接着剤122の流出や、流出による基板110のボンディングリード111の汚染は起こらない。
半導体素子130を搭載する際には、例えば、その裏面の金属シート121A及び接着剤122を、基板110の金属層112に、超音波を印加しながら熱圧着する。これにより、金属シート121Aの下面の金属層121cが、基板110の金属層112に金属接合されるようになる。この時、金属シート121Aの上面の金属層121cも同様に、半導体素子130の金属層132に金属接合されるようになる。
半導体素子130の搭載後、加熱や光照射によって接着剤122を完全に硬化させることで、半導体素子130と基板110の間にシート部材120Aが介在された構造が得られる。以上の工程により、基板110、シート部材120A、半導体素子130及びワイヤ140を含む半導体装置100Aが形成される。
以降は、上記図12の例に従い、半導体素子130のボンディングパッド131が基板110のボンディングリード111にワイヤ140で電気的に接続される。例えば、ワイヤ140は、超音波が印加されながらボンディングパッド131に熱圧着される。
この時、基板110と半導体素子130の間に、比較的弾性率の高い金属シート121Aを含むシート部材120Aを設けていることで、ボンディングパッド131とワイヤ140を、接続不良、接続強度不足を抑えて、接続することができる。
また、シート部材120Aの上下面の金属層121cがそれぞれ半導体素子130の金属層132及び基板110の金属層112に金属接合されていることで、超音波を利用したワイヤボンディング時の接続不良、接続強度不足を効果的に抑えることができる。
ワイヤボンディングの後、上記図13の例に従い、基板110上のシート部材120A、半導体素子130及びワイヤ140を封止樹脂160で封止し、基板110の裏面に半田ボール等のバンプ170を搭載する。これにより、基板110、シート部材120A、半導体素子130及びワイヤ140と、更に封止樹脂160及びバンプ170(外部端子)を含む半導体装置100Aが形成される。
半導体装置100Aでは、基板110にその金属層112に接続されたビアを設けることもできる。
図19は第1実施例に係る半導体装置の別の構成例を示す図である。尚、図19は第1実施例に係る半導体装置の別例の断面模式図である。
図19に示す半導体装置100Aaは、ビア113が設けられた基板110を有している。ここでは一例として、基板110を貫通する複数のビア113を例示している。ビア113は、Cu等の金属材料を用いて形成され、基板110の金属層112に接続されている。
このような基板110を用いることで、半導体装置100Aには、半導体素子130から外部端子まで金属で繋がるパス(金属層132−金属層121c−金属シート121b−金属層121c−金属層112−ビア113−バンプ170)が形成される。
ビア113は、半導体素子130を半導体装置100Aa外部のGNDに接続するための接続ビアとして利用することができる。これにより、半導体装置100Aaの高性能化を図ることが可能になる。
また、ビア113は、半導体素子130で発生した熱を半導体装置100Aa外部に放熱するためのサーマルビアとして利用することができる。これにより、半導体装置100Aaの放熱性を高め、過熱による破損や誤動作の発生を抑え、信頼性を高めることが可能になる。
次に、第2実施例について説明する。
図20は第2実施例に係る半導体装置の構成例を示す図である。尚、図20は第2実施例に係る半導体装置の一例の断面模式図である。
図20に示す半導体装置100Bは、金属シート121Bが側周面に露出し且つ半導体素子130のボンディングパッド131とワイヤ140の接続部の直下に配置されているシート部材120Bを有している。金属シート121Bの貫通孔121aには、接着剤122が充填されている。金属シート121Bには、Cu等の材料が用いられる。
半導体装置100Bでは、ボンディングパッド131の直下に金属シート121Bが存在するため、超音波を利用したワイヤボンディングの際、印加する超音波をワイヤ140及びボンディングパッド131に効果的に伝達させることができる。
また、シート部材120Bの側周面には金属シート121Bが露出する構造であるため、接着剤122が露出するようにダイシングを行った際に生じ得る接着剤122の切断屑(接着剤ヒゲ、バリ)の付着を効果的に抑えることができる。
ここで、図21は切断屑の説明図である。尚、図21は切断屑を有する半導体装置の一例の断面模式図である。
半導体装置100Bの形成過程で、金属シート121B及びその貫通孔121aに充填された接着剤122が設けられているウェハを、接着剤122の箇所を通るようにダイシングを行った場合には、接着剤122の切断屑122aが発生する可能性がある。発生した切断屑122aが、半導体素子130のボンディングパッド131に付着した場合には、そのボンディングパッド131へのワイヤ140の接続が行えなくなることが起こり得る。
これに対し、金属シート121Bの箇所を通るようにダイシングを行えば、上記のような接着剤122の切断屑122aの発生を回避することができ、ボンディングパッド131とワイヤ140の接続不良を抑えることができる。
このような点について、以下、シート部材120B及び半導体装置100Bの形成方法と共に、より詳細に説明する。
図22は第2実施例に係る金属シートの形成工程の説明図である。尚、図22(A)は第2実施例に係る金属シートの形成工程の断面模式図、図22(B)は第2の実施例に係る金属シートの形成工程の平面模式図である。
図22(A)に示すように、1枚の金属シート121bを準備し、ドリル300等を用いて貫通孔121aを形成する。
ここでは、貫通孔121aの形成位置を、図22(B)に示すように、後に配置されるウェハ330(図23)の位置331(点線)、及びダイシングラインの位置332(鎖線)に基づいて設定する。この例では、貫通孔121aがダイシングラインの位置332には存在せず、ダイシングラインの位置332には金属シート121bが存在するように、選択的に貫通孔121aを形成する。
金属シート121bには、後にウェハ330を位置331及び位置332に合わせて配置可能なように、ウェハ330の位置決め用のマーク121d、例えば貫通孔を設けておく。例えば、配置するウェハ330のノッチ330c(或いはオリエンテーションフラット(オリフラ))の部位に対応する位置に、マーク121dを設ける。
このようにして、貫通孔121a及びマーク121dが設けられた金属シート121Bが形成される。金属シート121Bの形成後は、上記図5の例に従い、その金属シート121Bをベースフィルム310上に貼付する。次いで、上記図6及び図7の例に従い、ベースフィルム310上の金属シート121Bの貫通孔121aに接着剤122を充填する。マーク121dが貫通孔である場合には、マーク121dにも接着剤122が充填される。充填された接着剤122は、半硬化状態とされる。
図23は第2実施例に係るウェハの配置工程の説明図である。尚、図23(A),(B)は第2実施例に係るウェハの配置工程の平面模式図である。
図23(A)のようにベースフィルム310上に貼付され、貫通孔121a、マーク121d及び接着剤122を含んだ金属シート121Bの上に、図23(B)に示すように、ウェハ330が配置される。
ウェハ330には、個片化前の半導体素子130が形成されている。ウェハ330は、その裏面(半導体素子130のボンディングパッド131の配設面と反対側の面)を金属シート121B側に向けて、ノッチ330cの位置と、金属シート121Bに設けたマーク121dの位置とを合わせて、金属シート121B上に配置される。これにより、ウェハ330の裏面が接着剤122に接着される。尚、ウェハ330のボンディングパッド131の図示は省略している。
このようにしてウェハ330を配置した後は、上記図8(B)の例に従い、ウェハ330の外周に沿って、金属シート121B及びベースフィルム310を切断する。次いで、上記図9の例に従い、その切断後の基板からベースフィルム310を剥離する。そして、上記図10の例に従い、そのベースフィルム310を剥離した基板をダイシングフィルム340に貼付し、所定のダイシングラインに沿ってダイシングを行う。このダイシングにより、ウェハ330に形成されている半導体素子130が、その裏面の金属シート121B及び接着剤122と共に、個片化される。尚、ベースフィルム310をダイシングフィルムとして利用してもよい。
このようなダイシングによる個片化の際、金属シート121Bには、ダイシングラインの位置に貫通孔121aが配置されないようにしているため、上記のような接着剤122の切断屑122aの発生を抑えることができる。それにより、そのような切断屑122aが半導体素子130のボンディングパッド131に付着するのを抑えることができる。
図24は第2実施例に係る半導体素子の搭載工程の説明図である。尚、図24は第2実施例に係る半導体素子の搭載工程の斜視模式図である。
個片化された半導体素子130並びに金属シート121B及び接着剤122は、ダイシングフィルム340から剥離され、図24に示すように、基板110上に搭載される。尚、この例では、接着剤122は側端面に露出する金属シート121Bの内側に配置されている。
半導体素子130は、金属シート121B及び接着剤122の側を基板110の側に向けて、搭載される。尚、接着剤122は、この段階では半硬化状態であり、半導体素子130を搭載する際、接着剤122の流出や、流出による基板110のボンディングリード111の汚染は起こらない。
半導体素子130の搭載後、加熱や光照射によって接着剤122を完全に硬化させることで、半導体素子130と基板110の間にシート部材120Bが介在された構造が得られる。以上の工程により、基板110、シート部材120B、半導体素子130及びワイヤ140を含む半導体装置100Bが形成される。
以降は、上記図12の例に従い、半導体素子130のボンディングパッド131が基板110のボンディングリード111にワイヤ140で電気的に接続される。例えば、ワイヤ140は、超音波が印加されながらボンディングパッド131に熱圧着される。
この時、基板110と半導体素子130の間に、比較的弾性率の高い金属シート121Bを含むシート部材120Bを設けていることで、ボンディングパッド131とワイヤ140を、接続不良、接続強度不足を抑えて、接続することができる。ボンディングパッド131の直下には接着剤122ではなく金属シート121Bが存在しているため、ワイヤ140及びボンディングパッド131に対して効果的に超音波を印加することができ、それらの接続不良、接続強度不足を効果的に抑えることができる。
また、金属シート121Bの貫通孔121aの位置を調整し、接着剤122の切断屑122aの発生を抑えるようにしたため、切断屑122aがボンディングパッド131に付着することによって生じ得るワイヤ140の接続不良を抑えることができる。
ワイヤボンディングの後、上記図13の例に従い、基板110上のシート部材120B、半導体素子130及びワイヤ140を封止樹脂160で封止し、基板110の裏面に半田ボール等のバンプ170を搭載する。これにより、基板110、シート部材120B、半導体素子130及びワイヤ140と、更に封止樹脂160及びバンプ170を含む半導体装置100Bが形成される。
尚、この第2実施例と同様に、上記第1実施例で述べたシート部材120Aを、その金属シート121Aが側周面に露出し且つ半導体素子130のボンディングパッド131とワイヤ140の接続部の直下に配置される構造としてもよい。
次に、第3実施例について説明する。
図25は第3実施例に係る半導体装置の構成例を示す図である。尚、図25は第3実施例に係る半導体装置の一例の断面模式図である。
図25に示す半導体装置100Cは、金属シート121C(Cu等の金属シート121b)の表面に粗化層(凹凸層)121eが設けられたシート部材120Cを有している。このような粗化層121eを有する金属シート121Cを用いることで、その貫通孔121aに充填される接着剤122と金属シート121Cとの接触面積を大きくすることができる。
図26は第3実施例に係る金属シートの形成工程の説明図である。尚、図26は第3実施例に係る金属シートの形成工程の断面模式図である。
上記のような粗化層121eを有する金属シート121Cの形成では、まず、1枚の金属シート121bを準備し、その所定の位置に貫通孔121aを形成する。そして、貫通孔121aを形成した金属シート121bの表面(この例では上面及び下面並びに貫通孔121aの内壁)に対し、表面粗化処理を施す。
金属シート121bの表面粗化は、例えば、金属シート121bにCuを用いる場合であれば、黒化処理によって行うことができる。このほか、金属シート121bに用いる材料に応じて、ウェットエッチング、ドライエッチング、サンドブラスト等の方法を用いて、粗化層121eを形成してもよい。
このような表面粗化処理を行うことで、粗化層121eを有する金属シート121Cが形成される。金属シート121Cの形成後は、上記図5〜図13の例に従い、各工程を実施することで、図25に示すようなシート部材120Cを有する半導体装置100Cを形成することができる。
シート部材120Cの金属シート121Cに粗化層121eが形成されていることで、金属シート121Cの貫通孔121aとそこに充填される接着剤122との接触面積が大きくなり、それらの接着強度を大きくすることができる。これにより、半導体装置100Cに大きな熱ストレスがかかった場合でも、接着剤122と金属シート121Cの剥離を効果的に抑えることができ、信頼性の高い半導体装置100Cを実現することができる。
尚、この第3実施例と同様に、上記第1実施例で述べたシート部材120A、上記第2実施例で述べたシート部材120Bを、表面に粗化層121eを有する構造としてもよい。
また、上記の第1〜第3実施例で述べたシート部材120A,120B,120Cの金属シート121A,121B,121Cには、図14に例示したような開口径の貫通孔121aを形成してもよい。
以上説明した実施の形態に関し、更に以下の付記を開示する。
(付記1) 基板と、
前記基板上に設けられたシート部材と、
前記シート部材上に設けられ、前記基板にワイヤで電気的に接続された半導体素子と
を含み、
前記シート部材は、
貫通孔が設けられた金属シートと、
前記貫通孔に充填され、前記基板と前記半導体素子とを接着する接着剤と
を有することを特徴とする半導体装置。
(付記2) 前記接着剤は、樹脂を含むことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
(付記3) 前記半導体素子は、前記シート部材との間に第1金属層を有し、前記基板は、前記シート部材との間に第2金属層を有することを特徴とする付記1又は2に記載の半導体装置。
(付記4) 前記基板は、前記第2金属層に接続されたビアを有することを特徴とする付記3に記載の半導体装置。
(付記5) 前記半導体素子と前記ワイヤの接続部が、前記シート部材の前記金属シートの上方に配置されることを特徴とする付記1乃至4のいずれかに記載の半導体装置。
(付記6) 前記シート部材は、前記貫通孔の内壁に粗化層を有することを特徴とする付記1乃至5のいずれかに記載の半導体装置。
(付記7) 前記シート部材は、前記貫通孔の一端の開口径が、前記一端と他端との間の部位における内径よりも大きいことを特徴とする付記1乃至6のいずれかに記載の半導体装置。
(付記8) 金属シートに貫通孔を設け、前記貫通孔に接着剤を充填して、シート部材を準備する工程と、
前記シート部材上に、半導体素子が形成されたウェハを接着する工程と、
前記ウェハ及び前記シート部材を切断し、切断された前記シート部材が接着された前記半導体素子を個片化する工程と、
個片化された前記半導体素子及び前記シート部材を当該シート部材で基板に接着する工程と、
前記半導体素子を前記基板にワイヤで電気的に接続する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記9) 前記接着剤は、樹脂を含むことを特徴とする付記8に記載の半導体装置の製造方法。
(付記10) 前記半導体素子を前記基板に前記ワイヤで電気的に接続する工程は、前記ワイヤを前記半導体素子に超音波を印加しながら熱圧着する工程を含むことを特徴とする付記8又は9に記載の半導体装置の製造方法。
(付記11) 前記ウェハは、前記シート部材が接着される側の面に第1金属層を有し、前記基板は、前記シート部材が接着される側の面に第2金属層を有することを特徴とする付記8乃至10のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記12) 前記基板は、前記第2金属層に接続されたビアを有することを特徴とする付記11に記載の半導体装置の製造方法。
(付記13) 前記シート部材を準備する工程は、前記金属シートの、前記半導体素子を個片化する工程において切断される前記シート部材の切断領域に対応する領域を除いた領域に、前記貫通孔を設ける工程を含むことを特徴とする付記8乃至12のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記14) 前記半導体素子の前記ワイヤが接続される部位に対応する領域を除いた領域に、前記貫通孔を設けることを特徴とする付記13に記載の半導体装置の製造方法。
(付記15) 前記シート部材を準備する工程は、前記金属シートに前記貫通孔を設けた後、前記貫通孔に前記接着剤を充填する前に、前記貫通孔の内壁に粗化層を設ける工程を含むことを特徴とする付記8乃至14のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
(付記16) 前記シート部材を準備する工程は、前記金属シートに、前記貫通孔の一端の開口径が、前記一端と他端との間の部位における内径よりも大きくなるように、前記貫通孔を設ける工程を含むことを特徴とする付記8乃至15のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
100,100A,100Aa,100B,100C 半導体装置
110 基板
111 ボンディングリード
112,121c,132 金属層
113 ビア
120,120A,120B,120C シート部材
121,121b,121A,121B,121C 金属シート
121a 貫通孔
121d マーク
121e 粗化層
122 接着剤
122a 切断屑
130,150 半導体素子
131 ボンディングパッド
140 ワイヤ
141 ボール
160 封止樹脂
170 バンプ
200,210 ダイス付け材
220 キャピラリ
300 ドリル
310 ベースフィルム
320 スキージ
330 ウェハ
330a,330b 基体
330c ノッチ
340 ダイシングフィルム
350 ダイシングブレード
331,332 位置

Claims (8)

  1. 基板と、
    前記基板上に設けられたシート部材と、
    前記シート部材上に設けられ、前記基板にワイヤで電気的に接続された半導体素子と
    を含み、
    前記シート部材は、
    貫通孔が設けられた金属シートと、
    前記貫通孔に充填され、前記基板と前記半導体素子とを接着する接着剤と
    を有することを特徴とする半導体装置。
  2. 前記接着剤は、樹脂を含むことを特徴とする付記1に記載の半導体装置。
  3. 前記半導体素子は、前記シート部材との間に第1金属層を有し、前記基板は、前記シート部材との間に第2金属層を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
  4. 前記基板は、前記第2金属層に接続されたビアを有することを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
  5. 前記半導体素子と前記ワイヤの接続部が、前記シート部材の前記金属シートの上方に配置されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置。
  6. 前記シート部材は、前記貫通孔の一端の開口径が、前記一端と他端との間の部位における内径よりも大きいことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置。
  7. 金属シートに貫通孔を設け、前記貫通孔に接着剤を充填して、シート部材を準備する工程と、
    前記シート部材上に、半導体素子が形成されたウェハを接着する工程と、
    前記ウェハ及び前記シート部材を切断し、切断された前記シート部材が接着された前記半導体素子を個片化する工程と、
    個片化された前記半導体素子及び前記シート部材を当該シート部材で基板に接着する工程と、
    前記半導体素子を前記基板にワイヤで電気的に接続する工程と
    を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  8. 前記半導体素子を前記基板に前記ワイヤで電気的に接続する工程は、前記ワイヤを前記半導体素子に超音波を印加しながら熱圧着する工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
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