JP2014015680A - スパッタリングターゲット及びそれにより得られる酸化金属薄膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インジウムと亜鉛とスズとの原子含有量の合計に対する原子比で、インジウムが60〜80at.%、亜鉛が10〜25at.%、スズが1〜20at.%となるように且つその内の亜鉛の原子含有量がスズのそれよりも多くなるように、酸化インジウム、酸化亜鉛、酸化スズとを有する酸化金属組成物を含んでいることを特徴とするスパッタリングターゲットを提供する。
【選択図】図1
Description
具定例1においてスパッタリングターゲットの原料となる金属酸化物は、それぞれ粉末状の高純度(>99.9%)の酸化インジウム3.986kg、酸化スズ0.645kg、酸化亜鉛0.37kgである。
具体例2でのスパッタリングターゲットの製造方法は上述した具体例1と同じだが、原料の比率が異なり、本具体例におけるスパッタリングターゲットの原料となる金属酸化物は、それぞれ粉末状の高純度(>99.9%)の酸化インジウム3.662kg、酸化スズ0.85kg、酸化亜鉛0.49kgである。
具体例3でのスパッタリングターゲットの製造方法は上述した具体例1と同じだが、原料の比率が異なり、本具体例におけるスパッタリングターゲットの原料となる金属酸化物は、それぞれ粉末状の高純度(>99.9%)の酸化インジウム3.415kg、酸化スズ0.777kg、酸化亜鉛0.807kgである。
具体例4でのスパッタリングターゲットの製造方法は上述した具体例1と同じだが、原料の比率が異なり、本具体例におけるスパッタリングターゲットの原料となる金属酸化物は、それぞれ粉末状の高純度(>99.9%)の酸化インジウム4.047kg、酸化スズ0.488kg、酸化亜鉛0.465kgである。
具体例5でのスパッタリングターゲットの製造方法は上述した具体例1と同じだが、原料の比率が異なり、本具体例におけるスパッタリングターゲットの原料となる金属酸化物は、それぞれ粉末状の高純度(>99.9%)の酸化インジウム4.155kg、酸化スズ0.205kg、酸化亜鉛0.637kgである。
比較例でのスパッタリングターゲットの製造方法は上述した具体例1と同じだが、原料の比率が異なり、本比較例におけるスパッタリングターゲットの原料となる金属酸化物は、それぞれ粉末状の高純度(>99.9%)の酸化インジウム4.046kg、酸化スズ0.620kg、酸化亜鉛0.335kgである。つまり、比較例においては、各具体例と逆に、スズの含有量が亜鉛の含有量よりも多い。
以下には、具体例1〜5および比較例により製造された各スパッタリングターゲット、並びにそれらを用いてスパッタリングすることでそれぞれ形成された各酸化金属薄膜(膜厚100nm)の分析方法およびその結果を示す。
<成分分析>
EDS(エネルギー分散型X線分析)を用いて各スパッタリングターゲットの主成分および副成分の成分含量を計測した。
BSE(反射電子)にて各スパッタリングターゲットの結晶構造を分析した。また、XRD(X線回折装置)を用いて回折角度の変化を観察し、主成分の化粧構造を確認した。また、XTEM(断面透過電子顕微鏡)にて各スパッタリングターゲットを観察し、主成分および副成分に六方晶層状化合物が含まれていないか確認した。
アルキメデス法により各スパッタリングターゲットの絶対密度を測定した。
四探針法により各スパッタリングターゲットの電気抵抗率を測定した。
<電気抵抗率分析>
四探針法により各酸化金属薄膜の電気抵抗率を測定した。
UV−vis分光光度計により各酸化金属薄膜の光透過率を測定した(波長400〜800nm)。
薄膜をアニール処理し、XRDにて結晶化が観察された際の温度を計測した。
一般に、ITO薄膜エッチング液としてはシュウ酸溶液が用いられる。また、アルミエッチング液としては硝酸、酢酸および燐酸の水溶液が用いられ、その内、硝酸、酢酸および燐酸の比率はメーカーが用いる技術によって異なるが、本エッチング特性分析では、硝酸5%、酢酸5%、燐酸80%、水10%のアルミエッチング液を用いた。
また、上記各分析の結果を下記表2にまとめた。
Claims (8)
- インジウムと亜鉛とスズとの原子含有量の合計に対する原子比で、インジウムが60〜80at.%、亜鉛が10〜25at.%、スズが1〜20at.%となるように且つその内の亜鉛の原子含有量がスズの原子含有量よりも多くなるように、酸化インジウムと、酸化亜鉛と、酸化スズとを有する酸化金属組成物を含んでいることを特徴とするスパッタリングターゲット。
- 亜鉛のスズに対する原子比が1より大きく2より小さい範囲内であることを特徴とする請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記酸化金属組成物は、インジウム、亜鉛および酸素により構成される六方晶層状化合物を実質的に含有しないことを特徴とする請求項2に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記酸化金属組成物は、主成分と、組成が該主成分と異なる副成分とを含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記主成分は、インジウム、亜鉛、スズおよび酸素からなっている化合物であり、且つビックスバイト型結晶構造を呈していることを特徴とする請求項4に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記副成分は、インジウム、亜鉛、スズおよび酸素からなっている化合物であり、該副成分中のインジウムの原子含有量は、前記主成分中のインジウムの原子含有量よりも少ないことを特徴とする請求項5に記載のスパッタリングターゲット。
- 前記副成分は、インジウム、亜鉛、スズおよび酸素からなっている化合物であり、該副成分中の亜鉛の原子含有量は、前記主成分中の亜鉛の原子含有量よりも多いことを特徴とする請求項5に記載のスパッタリングターゲット。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載のスパッタリングターゲットを用いてスパッタリングすることにより得られたものであって、その結晶化温度が250℃以上であることを特徴とする酸化金属薄膜。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW101124757 | 2012-07-10 | ||
TW101124757 | 2012-07-10 | ||
TW102115430A TW201341563A (zh) | 2012-07-10 | 2013-04-30 | 濺鍍靶材及氧化金屬薄膜 |
TW102115430 | 2013-04-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014015680A true JP2014015680A (ja) | 2014-01-30 |
Family
ID=49771317
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013140496A Pending JP2014015680A (ja) | 2012-07-10 | 2013-07-04 | スパッタリングターゲット及びそれにより得られる酸化金属薄膜 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014015680A (ja) |
KR (1) | KR20140007754A (ja) |
CN (1) | CN103540895B (ja) |
TW (1) | TW201341563A (ja) |
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Family Cites Families (3)
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-
2013
- 2013-04-30 TW TW102115430A patent/TW201341563A/zh unknown
- 2013-07-04 JP JP2013140496A patent/JP2014015680A/ja active Pending
- 2013-07-04 CN CN201310280288.8A patent/CN103540895B/zh active Active
- 2013-07-08 KR KR1020130079498A patent/KR20140007754A/ko not_active Application Discontinuation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103540895A (zh) | 2014-01-29 |
KR20140007754A (ko) | 2014-01-20 |
TWI437115B (ja) | 2014-05-11 |
CN103540895B (zh) | 2017-02-22 |
TW201341563A (zh) | 2013-10-16 |
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A621 | Written request for application examination |
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