JP2014007299A5 - - Google Patents
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Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012142389A JP6001934B2 (ja) | 2012-06-25 | 2012-06-25 | 重ね合わせ装置および重ね合わせ方法 |
| KR1020157001241A KR101677864B1 (ko) | 2012-06-25 | 2013-04-30 | 중첩 장치 및 중첩 방법 |
| PCT/JP2013/062572 WO2014002609A1 (ja) | 2012-06-25 | 2013-04-30 | 重ね合わせ装置および重ね合わせ方法 |
| US14/409,137 US9911637B2 (en) | 2012-06-25 | 2013-04-30 | Overlapping device, and overlapping method |
| TW102117205A TWI524463B (zh) | 2012-06-25 | 2013-05-15 | 重疊裝置及重疊方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012142389A JP6001934B2 (ja) | 2012-06-25 | 2012-06-25 | 重ね合わせ装置および重ね合わせ方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014007299A JP2014007299A (ja) | 2014-01-16 |
| JP2014007299A5 true JP2014007299A5 (enExample) | 2016-03-10 |
| JP6001934B2 JP6001934B2 (ja) | 2016-10-05 |
Family
ID=49782783
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012142389A Active JP6001934B2 (ja) | 2012-06-25 | 2012-06-25 | 重ね合わせ装置および重ね合わせ方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9911637B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6001934B2 (enExample) |
| KR (1) | KR101677864B1 (enExample) |
| TW (1) | TWI524463B (enExample) |
| WO (1) | WO2014002609A1 (enExample) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014098174A1 (ja) * | 2012-12-21 | 2014-06-26 | 株式会社新川 | フリップチップボンダ及びボンディングステージの平坦度並びに変形量補正方法 |
| JP6412786B2 (ja) * | 2014-12-03 | 2018-10-24 | 東京応化工業株式会社 | 搬送方法 |
| US10825705B2 (en) * | 2015-05-15 | 2020-11-03 | Suss Microtec Lithography Gmbh | Apparatus, system, and method for handling aligned wafer pairs |
| JP6756600B2 (ja) * | 2016-12-14 | 2020-09-16 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
| JP7291577B2 (ja) * | 2019-08-28 | 2023-06-15 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 移送装置および実装装置 |
| JP7580811B2 (ja) * | 2022-03-29 | 2024-11-12 | Ａｉメカテック株式会社 | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4535907B2 (ja) * | 2005-03-03 | 2010-09-01 | 日東電工株式会社 | 判別機能付き位置決め装置 |
| JP4781802B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2011-09-28 | 東京応化工業株式会社 | サポートプレートの貼り合わせ手段及び貼り合わせ装置、並びにサポートプレートの貼り合わせ方法 |
| JP4750724B2 (ja) | 2007-01-25 | 2011-08-17 | 東京応化工業株式会社 | 重ね合わせユニット及び貼り合わせ装置 |
| JP4744458B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2011-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板位置決め装置および基板位置決め方法 |
| TWI471971B (zh) | 2007-10-30 | 2015-02-01 | 尼康股份有限公司 | Substrate holding member, substrate bonding apparatus, laminated substrate manufacturing apparatus, substrate bonding method, laminated substrate manufacturing method, and laminated semiconductor device manufacturing method |
| US8060330B2 (en) | 2008-12-12 | 2011-11-15 | Lam Research Corporation | Method and system for centering wafer on chuck |
| JP5477053B2 (ja) * | 2010-03-02 | 2014-04-23 | 株式会社ニコン | 重ね合わせ装置、ウェハホルダ、位置検出方法およびデバイスの製造方法 |
| JP6014302B2 (ja) * | 2010-09-06 | 2016-10-25 | 東京応化工業株式会社 | 貼り合わせ装置および貼り合わせ方法 |
| JP2013033809A (ja) * | 2011-08-01 | 2013-02-14 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ搬送装置 |
-
2012
- 2012-06-25 JP JP2012142389A patent/JP6001934B2/ja active Active
-
2013
- 2013-04-30 KR KR1020157001241A patent/KR101677864B1/ko active Active
- 2013-04-30 US US14/409,137 patent/US9911637B2/en active Active
- 2013-04-30 WO PCT/JP2013/062572 patent/WO2014002609A1/ja not_active Ceased
- 2013-05-15 TW TW102117205A patent/TWI524463B/zh active