JP2014002414A - 光学フィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】IR阻止域の薄膜積層構造体43が最も厚い構成になることから、基板31の片面に第3阻止域Cの薄膜積層構造体43、他面に第1阻止域A、第2阻止域Bの薄膜積層構造体41、42を成膜する。連続したIR阻止域の薄膜積層構造体を分割して基板両面に積層することにより、基板両面の物理膜厚の差を小さくすることができ、膜応力を低減できる。
【選択図】図6
Description
図1はビデオカメラ等の撮影光学系の構成図を示し、レンズ11、光量調節部材12、レンズ13〜15、ローパスフィルタ16、CCD等から成る固体撮像素子17が順次に配列されている。光量調節部材12においては、絞り羽根支持板18に一対の絞り羽根19a、19bが可動に取り付けられている。また、絞り羽根19aには、固体撮像素子17の特性に合わせて所定の波長領域の光の透過を制限し、適正な画像を得るための光学フィルタ20が接着されている。なお、本実施例における光学フィルタ20は絞り羽根19aに貼り付けているが、撮影光学系の光路中に設ければよい。
物理膜厚(n=2.0) 物理膜厚(n=1.5)
λ=800nm 100.00nm 133.33nm
λ=950nm 118.75nm 158.33nm
12 光量調節部材
16 ローパスフィルタ
17 固体撮像素子
18 絞り羽根支持板
19a、19b 絞り羽根
20 光学フィルタ
21 冷却板
22 冷却パイプ
23 基板治具
31 基板
32 マスク
41〜43 薄膜積層構造体
A 第1阻止域
B 第2阻止域
C 第3阻止域
Claims (8)
- 透明基板に複数の薄膜を積層して、所定の波長領域の光の透過を制限する複数の薄膜積層構造体を形成し、これらの複数の前記薄膜積層構造体の内、少なくとも2つの前記薄膜積層構造体は透過を制限する波長領域が連続しており、前記波長領域が連続する前記薄膜積層構造体を前記透明基板の両面に少なくとも1つずつ配置したことを特徴とする光学フィルタ。
- 前記複数の薄膜積層構造体は3つ以上であり、前記透過を制限する波長領域が連続する少なくとも前記2つの前記薄膜積層構造体の内、物理膜厚が最も厚い前記薄膜積層構造体を前記透明基板の片面に配置し、他の前記薄膜積層構造体を他面に配置したことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 前記複数の薄膜積層構造体は3つであり、前記透過を制限する波長領域が連続する2つの前記薄膜積層構造体の内、透過を制限する中心波長が長い前記薄膜積層構造体を前記透明基板の片面に配置し、他の2つの前記薄膜積層構造体を他面に配置したことを特徴とする請求項1に記載の光学フィルタ。
- 近赤外波長領域と紫外波長領域とのそれぞれ所定の波長領域の透過を制限する光学フィルタであり、前記透過を制限する波長領域が連続する少なくとも2つの前記薄膜積層構造体は、前記近赤外波長領域の透過を制限する前記薄膜積層構造体であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1つの請求項に記載の光学フィルタ。
- 前記透明基板は樹脂基板であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1つの請求項に記載の光学フィルタ。
- 前記透明基板のガラス転移温度は70℃以上であり、曲げ弾性率は2400MPa以上であることを特徴とする請求項5に記載の光学フィルタ。
- 前記薄膜は少なくともTiO2層とSiO2層を含む蒸着膜であることを特徴とする請求項1〜6の何れか1つの請求項に記載の光学フィルタ。
- 請求項1〜6の何れか1つの請求項に記載の光学フィルタを使用した撮像装置。
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