JP5834694B2 - バンドパスフィルタ - Google Patents
バンドパスフィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5834694B2 JP5834694B2 JP2011208809A JP2011208809A JP5834694B2 JP 5834694 B2 JP5834694 B2 JP 5834694B2 JP 2011208809 A JP2011208809 A JP 2011208809A JP 2011208809 A JP2011208809 A JP 2011208809A JP 5834694 B2 JP5834694 B2 JP 5834694B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- less
- layer
- metal thin
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Description
(2) 請求項1のバンドパスフィルタにおいて、前記金属薄膜は、前記アルミ薄膜の物理膜厚が10nm以下であって物理的な膜厚を持つことを特徴とする。
(3) (1)又は(2)のバンドパスフィルタにおいて、前記バンドパスフィルタは、波長200nm以上波長250nm以下の特定の紫外域の光に対して最大透過率が30%以上60%以下となるように形成されたバンドパスフィルタであることを特徴とする。
透明基板である石英ガラス板(厚さ2mm)に1スタック分の膜構造(3層)を、真空蒸着法を用いて順次形成し、目的とするバンドパスフィルタを作製した。なお、1層目及び3層目に形成される金属薄膜層の膜材料としては、アルミを用い、各々物理膜厚9nmとして形成した。また、2層目となるキャビティ層は、SiO2の誘電体膜とされ、物理膜厚30nmとして形成した。得られたバンドパスフィルタの透過率を分光光度計(島津製作所製 UV2450)にて測定した。測定結果から得られた分光透過率特性を図3に示す。
透明基板である石英ガラス板(厚さ2mm)に2スタック分の膜構造(5層)を、真空蒸着法を用いて順次形成し、目的とするバンドパスフィルタを作製した。なお、1層目、3層目、5層目に形成される金属薄膜層の膜材料としては、実施例1と同様にアルミを用い、1層目と5層目の物理膜厚を9nm、3層目の物理膜厚を18nm(スタック1つ分としては膜厚9nm)として形成した。また、2層目、及び4層目となるキャビティ層は、SiO2の誘電体膜とされ、各々物理膜厚28nmとして形成した。得られたバンドパスフィルタの透過率を実施例1と同様に測定した。測定結果から得られた分光透過率特性を図3に示す。
1スタック分の層構造(3層)を持つバンドパスフィルタは、250nm以下の特定の紫外域の波長において透過率が50%を超えるとともに、可視域(400nm-780nm程度)においては透過率が10%を下回る性能を得ることができた。また、2スタック分の層構造(5層)を持つバンドパスフィルタは、250nm以下の特定の紫外域の波長において透過率が30%を超えるとともに、可視域(400nm-780nm程度)においては透過率が1%を下回る性能を得ることができた。
101 透明基板
102 金属薄膜層
103 キャビティ層
104 金属薄膜層
Claims (3)
- 波長250nm以下の特定の紫外域の光に対して最大透過率が30%以上60%以下となるように形成されたバンドパスフィルタであって、誘電体膜からなるキャビティ層の上下を金属薄膜にて被膜し、前記金属薄膜は、アルミ薄膜であり、前記アルミ薄膜の物理膜厚が20nm以下であって物理的な膜厚を持ち、バンドパスフィルタにおける可視域の波長の光の透過率が10%以下となることを特徴とするバンドパスフィルタ。
- 請求項1のバンドパスフィルタにおいて、
前記金属薄膜は、前記アルミ薄膜の物理膜厚が10nm以下であって物理的な膜厚を持つことを特徴とするバンドパスフィルタ。 - 請求項1又は2のバンドパスフィルタにおいて、
前記バンドパスフィルタは、波長200nm以上波長250nm以下の特定の紫外域の光に対して最大透過率が30%以上60%以下となるように形成されたバンドパスフィルタであることを特徴とするバンドパスフィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011208809A JP5834694B2 (ja) | 2011-09-26 | 2011-09-26 | バンドパスフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011208809A JP5834694B2 (ja) | 2011-09-26 | 2011-09-26 | バンドパスフィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013068885A JP2013068885A (ja) | 2013-04-18 |
JP5834694B2 true JP5834694B2 (ja) | 2015-12-24 |
Family
ID=48474610
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011208809A Active JP5834694B2 (ja) | 2011-09-26 | 2011-09-26 | バンドパスフィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5834694B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4202507A1 (en) | 2020-08-20 | 2023-06-28 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Optical filter, method for producing same and sterilization device |
KR102422624B1 (ko) * | 2021-05-14 | 2022-07-20 | 영남대학교 산학협력단 | 자외선 필터 및 이를 포함하는 광학 램프 |
WO2023112940A1 (ja) * | 2021-12-17 | 2023-06-22 | 日本電気硝子株式会社 | 光学フィルタ及び殺菌装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2883100B2 (ja) * | 1989-05-22 | 1999-04-19 | キヤノン株式会社 | 軟x線・真空紫外線用ハーフミラー又はビームスプリッター |
JP2002168998A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Nikon Corp | 金属メンブレンの製造方法及び金属フィルター |
JP2003084202A (ja) * | 2001-09-11 | 2003-03-19 | Miyagi Prefecture | 紫外領域蛍光顕微鏡、蛍光物質同定方法および洗浄度評価方法 |
JP4213379B2 (ja) * | 2001-10-31 | 2009-01-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 紫外線バンドパスフィルタ |
JP2006323379A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-30 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 光制御膜の製造方法 |
US7329876B2 (en) * | 2006-01-26 | 2008-02-12 | Xtreme Technologies Gmbh | Narrow-band transmission filter for EUV radiation |
CN107543609B (zh) * | 2010-07-01 | 2020-11-10 | 新港公司 | 光多路分用系统 |
-
2011
- 2011-09-26 JP JP2011208809A patent/JP5834694B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013068885A (ja) | 2013-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3332879B2 (ja) | ダイクロイックミラー | |
CN108680981B (zh) | 一种深紫外窄带滤光片制备方法 | |
JP2007171735A (ja) | 広帯域反射防止膜 | |
KR20180008898A (ko) | 광학 필터 및 센서 시스템 | |
JP5834694B2 (ja) | バンドパスフィルタ | |
JP2005221586A (ja) | 所定の波長光学特性を有する誘電体多層膜フィルタ、その設計方法、その設計プログラム、およびその誘電体多層膜フィルタを用いた光アド・ドロップシステム | |
JP5888124B2 (ja) | 多層膜フィルタ、及び多層膜フィルタの製造方法 | |
JP2023178283A (ja) | 超薄型薄膜光干渉フィルタ | |
CN203786316U (zh) | 衰减带通滤光片 | |
JP4339755B2 (ja) | 光学多層膜バンドパスフィルタ | |
CN103210325B (zh) | 光学多层膜带通滤波器 | |
CN114690299A (zh) | 滤光片 | |
JP5132902B2 (ja) | フォトニックバンドギャップ結晶のパスバンド用反射防止膜 | |
CN103245999B (zh) | 一种宽光谱带外抑制光学滤光片 | |
JP2021026163A5 (ja) | ||
JP2017009704A (ja) | 多層膜を用いた光学素子、光学系および光学機器 | |
JP7251099B2 (ja) | バンドパスフィルタ及びその製造方法 | |
JP5718017B2 (ja) | 多層膜フィルタ | |
CN203250040U (zh) | 宽光谱带外抑制光学滤光片 | |
JP2009031406A (ja) | 非偏光ビームスプリッター及びそれを利用した光学計測機器 | |
JP2010175838A (ja) | 光線カットフィルタ | |
JP2009276447A (ja) | 偏光子及び液晶プロジェクタ | |
JP2010271404A (ja) | 反射防止膜 | |
JP5667261B2 (ja) | 光学フィルタ | |
WO2023095574A1 (ja) | バンドパスフィルタの製造方法及びバンドパスフィルタ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140910 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150421 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150622 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151006 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20151019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5834694 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |