JP2014000553A - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】洗浄ユニット5と、リップ面23を洗浄する洗浄液を供給する洗浄液供給口14と、を有し、移動手段6によってリップ面23の長手方向へ洗浄ユニット5および洗浄液供給口14を移動させながら、リップ面23を洗浄する洗浄装置4であって、洗浄ユニット5は、超音波振動子15が取付けられ、対向溝13が形成された超音波振動部11を備えており、対向溝13とリップ面23とを近接させて、その隙間に洗浄液供給口14から洗浄液を供給することにより浸漬部19を形成し、この状態において超音波振動部11を超音波振動させることによりリップ面23の部分的洗浄が行われ、さらに洗浄ユニット5および洗浄液供給口14を前記長手方向に移動させることにより、リップ面23が長手方向に洗浄されることを特徴とする。
【選択図】図4
Description
2 塗布部
3 搬送部
4 洗浄装置
5 洗浄ユニット
6 移動手段
7 発振器
8 清掃装置
9 ブロー装置
11 超音波振動部
12 洗浄液供給部
13 対向溝
13a 対向面
13b 対向面
14 洗浄液供給口
15 超音波振動子
16 振動付与部
17 超音波振動子カバー
18 連結部
19 浸漬部
21 口金
22 リップ
23 リップ面
23a リップ面
23b リップ面
24 吐出口
31 固着物
32 残存固着物
33 残留洗浄液
34 スペーサ
35 リブ
d 隙間
W 基板
Claims (6)
- 塗布装置が有する口金の長手方向に沿って形成される吐出口を形成するリップ面に対向する対向溝を有し、当該リップ面に近接する洗浄ユニットと、
前記リップ面を洗浄する洗浄液を供給する洗浄液供給口と、
前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を前記長手方向に移動させる移動手段と、
を有し、前記移動手段によって前記長手方向へ前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を移動させながら、前記リップ面を洗浄する洗浄装置であって、
前記洗浄ユニットは、超音波振動子が取付けられ、前記対向溝が形成された超音波振動部を備えており、
前記対向溝と前記リップ面とを近接させて、前記対向溝と前記リップ面とで形成される隙間に前記洗浄液供給口から洗浄液を供給することにより、前記リップ面が洗浄液に浸漬される状態を形成し、この状態において前記超音波振動子により前記超音波振動部を超音波振動させることにより前記リップ面の部分的洗浄が行われ、さらに前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を前記長手方向に移動させることにより、前記リップ面が前記長手方向に洗浄されることを特徴とする、洗浄装置。 - 前記対向溝の前記リップ面と対向する面である対向面は、前記リップ面と平行な面を有することを特徴とする、請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記洗浄ユニットは、前記洗浄液供給口を備えた洗浄液供給部を有し、前記洗浄液供給部は、前記超音波振動子の振動の節にあたる箇所に接続されていることを特徴とする、請求項1もしくは2のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記超音波振動部と前記洗浄液供給部との間には、前記超音波振動部の振動が前記洗浄液供給部に伝搬することを遮断する振動遮断部が設けられていることを特徴とする、請求項3に記載の洗浄装置。
- 塗布装置が有する口金の長手方向に沿って形成される吐出口を形成するリップ面に対向する対向溝が形成された超音波振動部を有し、当該リップ面に近接する洗浄ユニットと、
前記リップ面を洗浄する洗浄液を供給する洗浄液供給口と、
前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を前記長手方向に移動させる移動手段と、
を有する洗浄装置により、前記リップ面を洗浄する洗浄方法であって、
前記対向溝と前記リップ面とを近接させて、前記対向溝と前記リップ面とで形成される隙間に前記洗浄液供給口から洗浄液を供給することにより、前記リップ面が洗浄液に浸漬される状態を形成し、この状態において前記超音波振動部を超音波振動させることにより前記リップ面の部分的洗浄を行い、さらに前記洗浄ユニットおよび前記洗浄液供給口を前記長手方向に移動させることにより、前記リップ面を前記長手方向に洗浄することを特徴とする、洗浄方法。 - 前記対向溝と前記リップ面との間で生じる洗浄液の表面張力によって、前記リップ面により形成されるリップの根元まで洗浄液で覆う状態を形成し、前記リップ面を超音波洗浄することを特徴とする、請求項5に記載の洗浄方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019082483A1 (ja) * | 2017-10-25 | 2019-05-02 | 株式会社カイジョー | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄システム |
CN112074352A (zh) * | 2018-05-11 | 2020-12-11 | 本田技研工业株式会社 | 涂布喷嘴的清洁方法和装置 |
JP7308182B2 (ja) | 2020-12-21 | 2023-07-13 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル洗浄装置および塗布装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI126348B (fi) | 2015-07-16 | 2016-10-14 | Boildec Oy | Menetelmä ja välineet soodakattilan seisokkiin |
JP6664952B2 (ja) * | 2015-12-17 | 2020-03-13 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布器洗浄装置及び塗布装置 |
CN105921431B (zh) * | 2016-05-04 | 2018-02-06 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种转印板清洗设备及其清洗方法 |
CN107716181B (zh) * | 2017-10-18 | 2023-03-28 | 苏州耀玮彤机械有限公司 | 一种用于压铸型显示器面壳的烤漆输送防堵装置 |
IT201800002124A1 (it) * | 2018-01-29 | 2019-07-29 | Corob Spa | Dispositivo pulitore e relativo metodo |
WO2019145988A1 (en) * | 2018-01-29 | 2019-08-01 | Corob S.P.A. | Cleaning device and corresponding method |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4735655Y1 (ja) * | 1970-08-05 | 1972-10-28 | ||
JPS61257279A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-11-14 | 大塚 公明 | 噴流式超音波洗浄機 |
US6015467A (en) * | 1996-03-08 | 2000-01-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Method of removing coating from edge of substrate |
JP2005270841A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットノズル洗浄装置 |
JP2008039654A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Axiom Co Ltd | 超音波を利用した振動センサ |
JP2009166014A (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | ヘッドクリーニング装置、フラットパネルディスプレイの製造装置、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造装置、太陽電池及びヘッドクリーニング方法 |
JP2009220056A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Toray Ind Inc | スリットノズルの清掃方法及び清掃装置並びに、ディスプレイ用部材の製造方法及び製造装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6488041B1 (en) * | 1998-01-09 | 2002-12-03 | Fastar, Ltd. | System and method for clean and priming extrusion head |
JP2000005683A (ja) * | 1998-06-22 | 2000-01-11 | Toppan Printing Co Ltd | スロット型塗布ヘッドクリーニング装置およびクリーニング方法 |
JP4451175B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2010-04-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズル洗浄装置および基板処理装置 |
KR101206776B1 (ko) * | 2006-06-09 | 2012-11-30 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 코팅 장치의 프라이밍 롤러 세정 유닛 및 세정 방법과 상기 세정 유닛을 포함하는 기판 코팅 장치 |
CN101829661A (zh) * | 2010-04-20 | 2010-09-15 | 姚建梁 | 一种高效节水型超声波清洗装置 |
CN202087472U (zh) * | 2011-05-10 | 2011-12-28 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 狭缝涂布机喷嘴的清洗装置 |
-
2012
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2013
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- 2013-06-19 CN CN201310244298.6A patent/CN103506238B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4735655Y1 (ja) * | 1970-08-05 | 1972-10-28 | ||
JPS61257279A (ja) * | 1985-04-11 | 1986-11-14 | 大塚 公明 | 噴流式超音波洗浄機 |
US6015467A (en) * | 1996-03-08 | 2000-01-18 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Method of removing coating from edge of substrate |
JP2005270841A (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | スリットノズル洗浄装置 |
JP2008039654A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Axiom Co Ltd | 超音波を利用した振動センサ |
JP2009166014A (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Hitachi High-Technologies Corp | ヘッドクリーニング装置、フラットパネルディスプレイの製造装置、フラットパネルディスプレイ、太陽電池の製造装置、太陽電池及びヘッドクリーニング方法 |
JP2009220056A (ja) * | 2008-03-18 | 2009-10-01 | Toray Ind Inc | スリットノズルの清掃方法及び清掃装置並びに、ディスプレイ用部材の製造方法及び製造装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019082483A1 (ja) * | 2017-10-25 | 2019-05-02 | 株式会社カイジョー | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄システム |
JP2019076847A (ja) * | 2017-10-25 | 2019-05-23 | 株式会社カイジョー | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄システム |
KR20190113878A (ko) * | 2017-10-25 | 2019-10-08 | 가부시끼가이샤가이죠 | 초음파 세정 장치 및 초음파 세정 시스템 |
KR102265639B1 (ko) * | 2017-10-25 | 2021-06-17 | 가부시끼가이샤가이죠 | 초음파 세정 장치 및 초음파 세정 시스템 |
US11618060B2 (en) | 2017-10-25 | 2023-04-04 | Kaijo Corporation | Ultrasonic cleaning apparatus and ultrasonic cleaning system |
CN112074352A (zh) * | 2018-05-11 | 2020-12-11 | 本田技研工业株式会社 | 涂布喷嘴的清洁方法和装置 |
CN112074352B (zh) * | 2018-05-11 | 2022-09-20 | 本田技研工业株式会社 | 涂布喷嘴的清洁方法和装置 |
JP7308182B2 (ja) | 2020-12-21 | 2023-07-13 | 株式会社Screenホールディングス | ノズル洗浄装置および塗布装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201400203A (zh) | 2014-01-01 |
CN103506238B (zh) | 2017-05-24 |
JP5701822B2 (ja) | 2015-04-15 |
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