JP2014000208A - 撮像装置及びこの撮像装置を用いた内視鏡 - Google Patents

撮像装置及びこの撮像装置を用いた内視鏡 Download PDF

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誠一郎 岡村
Tomokazu Yamashita
友和 山下
Masatoshi Nagase
正俊 永瀬
Shinya Ishikawa
真也 石川
Yasuhiro Kusano
康弘 草野
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Abstract

【課題】簡単な構成で、撮像装置の小型化を図ることができるとともに、電気的接続不良の発生のリスクを軽減することができる安価な撮像装置及びこの撮像装置を用いた内視鏡を提供する。
【解決手段】本発明に係る撮像装置1は、撮像素子2と半導体素子3とを電気的に接続するボンディングワイヤ10と、ボンディングワイヤ10の一端が接続される撮像素子2の表面2Aまたは裏2B面に設けられた複数のランド2aと、他端が接続される半導体素子3の表面3Aまたは裏面3Bの少なくとも1つの第1の側面3C1寄りに偏り設けられた複数のランド3aと、を有する第1の接続部と、半導体素子3の表面3Aまたは裏面3Bの、前記第1の側面3C1とは異なる側面の第2の側面3C2寄りに偏り設けられ、フレキシブル基板5が接続される複数の第2の接続部であるフレキシブル基板接続用ランド3bと、を有する。
【選択図】図1

Description

本発明は、複数の電子部品を実装するフレキシブル基板を有する撮像装置、及びこの撮像装置を用いた内視鏡に関する。
従来より、内視鏡は、医療分野及び工業分野において広く用いられている。内視鏡は、挿入部の先端側に設けられた湾曲部が能動的に湾曲することにより、例えば管状の被写体の内部に沿い挿入される。そして、内視鏡の挿入部の湾曲部より先端側の先端硬質部内に設けられた撮像装置の撮像素子により被写体が撮像され、被写体像がモニタ装置に表示される。術者等は、湾曲部を能動的に湾曲することにより、挿入部の先端硬質部の方向を任意に変え撮像する部位を変更することができ、モニタ装置に映し出された被写体の画像を見て、観察等を行うことができる。
挿入部の先端硬質部内に設けられる撮像素子は、例えばCCDやCMOS等のベアチップの撮像素子である。そして、撮像装置には、撮像素子以外に、例えば、撮像素子を駆動したり撮像素子からの信号を処理する信号処理IC等の半導体素子や、コンデンサ等の電子部品などが設けられ、これら半導体素子や電子部品は、フレキシブル基板に実装される。
内視鏡の場合、被写体内への挿入性を良くするために、挿入部の外径を小さくする必要があり、半導体素子や電子部品が実装されたフレキシブル基板を折り曲げて、挿入部の先端硬質部内に収納して撮像装置は構成される。
この種の従来の撮像装置としては、例えば、特許文献1によって開示された固体撮像装置がある。
この特許文献1に記載の固体撮像装置は、展開状態では十字状をなす基板部に半導体素子や電子部品を実装し、折り曲げ部に沿って十字に突出した部分を各々が対向するように基板部を折り曲げて筒状の可撓性基板を形成し、基板部の一端に設けられているインナーリードを、受光領域にカバーガラスなどの透明部材を接着した固体撮像素子のパッド部に接着し、他の基板部の一端を固体撮像素子の側面に接着剤で接着して構成している。この構成とすることにより、先端硬質部の外径サイズを大きくせずに可撓性基板の実装面積を拡大できるようにして、高密度化又は小型化を達成し得る固体撮像装置を実現している。
また、被写体の内部への内視鏡の挿入性を向上させるべく、挿入部の先端部の主要構成部材であり湾曲しない先端硬質部の、挿入部の挿入方向に沿った長手方向の長さ(以下、先端硬質部長と称す)を小さくするために、撮像素子の裏面側に、半導体素子を積層するように配置して構成された固体撮像装置が、例えば、特許文献2によって開示されている。
この特許文献2に記載の固体撮像装置は、固体撮像素子及び半導体素子を個別にTAB(Tape Automated Bonding)テープに実装し、該TABテープを所定の長さに切断して各素子の側面に沿って折り曲げて固定し、該TABテープに実装した固体撮像素子及び半導体素子を所定の間隔で積み重ねて、素子側面に沿って折り曲げたTABテープのリード同士を接続部材で接続し、更に、チップ状の電子部品を実装した基板と外部信号線を接続した基板とを折り曲げたTABテープのリードに接続することにより構成される。この構成とすることにより、固体撮像素子と半導体素子を積み重ねて配置して小型化を図れる固体撮像装置を実現している。
特開平5―115436号公報 特開平9―154814号公報
しかしながら、特許文献1に記載の固体撮像装置は、筒状に形成された可撓性基板が固体撮像素子の裏面側に配置され、かつ、半導体素子や電子部品が筒状部分の内周面に配置された構成であるため、半導体素子の外周面のうち、表面積が大きい面である表面や裏面ではなく、表面や裏面に比べ表面積が小さい面である側面部が固体撮像素子の裏面に対して対向するように配置されることになる。
すなわち、特許文献1に記載の固体撮像装置は、可撓性基板上に実装された半導体素子が固体撮像素子に積層された構成ではなく、さらに側面に対し表面積の大きい半導体素子の表面や裏面が固体撮像素子の裏面に直交し配置されているので、撮像装置の長手方向の長さを短くすることはできず、その結果、この撮像装置を内蔵する内視鏡先端部の先端硬質部長を短縮することができない。
そこで、先端硬質部長を小さくするためには、前記特許文献2に記載の発明に示すように、撮像素子の裏面側に半導体素子の表面が対向するように積層し配置して構成すればよい。
しかしながら、この特許文献2に記載の固体撮像装置は、TABテープ及びその他の基板を含む複数の基板を用いて構成されているので、コストが高価になってしまう虞がある。
また、前記特許文献2に記載の固体撮像装置は、TABテープ等の可撓性を有するフレキシブル基板を含む基板を複数用いているため、基板を複数用いない場合に対し、固体撮像素子、半導体素子及び電子部品との電気的な接続部(接合部)が数多く配設されることになり、接続部の半田等の剥がれより断線や接触不良等の接続不良が生じてしまう可能性が高くなる。
さらに、可撓性を有する複数のTABテープ同士を接続して、固体撮像素子と半導体素子との電気的な接続を行っているため、TABテープの歪み等により、TABテープ同士を接続する接点部に断線や接触不良等の接続不良が生じてしまう虞がある。よって、フレキシブル基板と、固体撮像素子、半導体素子及び電子部品との電気的な接続部における接続信頼性を低下させる。
従って、このような理由により、前記特許文献1及び2に記載の固体撮像装置では、撮像装置の径方向における長さを保ちつつ先端硬質部長の短縮化を図ることができず、また、電気的接続不良の発生のリスクを軽減することができず、コスト的にも高価になってしまうといった問題点がある。
また、先端硬質部の外径サイズを小さくするために、1mm四方に満たない受光面を有した撮像素子を用いた内視鏡がある。
このように非常に小型の撮像素子を前記特許文献1に記載の固体撮像装置に用いた場合、十字状をなす基板部を精度よく筒状に形成することが困難であり、固体撮像装置の外形寸法にばらつきが生じてしまい、撮像装置の小型化の妨げとなる虞がある。
そして、このように非常に小型の撮像素子を前記特許文献2に記載の固体撮像装置に用いた場合、撮像装置の大きさに合わせ小型化した複数のTABテープ同士を、接点の位置を合わせ正確に接続することが困難であり、接点の接触不良等の電気的接続不良を起こす虞がある。
また、電子部品や外部信号線は、基板を介しTABテープのリードに接続されており、挿入部の挿入方向と鉛直方向における投影面が、撮像素子の投影面に対し、電子部品や外部信号線が接続された基板の投影面が大きくはみ出ることとなり、先端硬質部の外径サイズの小型化の妨げとなる。
そこで、本発明は前記問題点に鑑みてなされたものであり、簡単な構成で、撮像装置の小型化を図ることができるとともに、電気的接続不良の発生のリスクを軽減することができる安価な撮像装置及びこの撮像装置を用いた内視鏡を提供することを目的とする。
本発明の一態様の撮像装置は、表面に受光面を有する撮像素子と、表面が前記撮像素子の裏面に対向するように前記撮像素子の裏面側に積層して設けられた半導体素子と、前記半導体素子と外部信号線とを直接または電子部品を介して電気的に接続するための外部信号線用接続部を一端寄りに偏り有し、前記一端が前記半導体素子の裏面に対し離間するように延出し設けられたフレキシブル基板と、前記撮像素子と前記半導体素子とを電気的に接続するボンディングワイヤと、前記ボンディングワイヤの一端が接続される前記撮像素子の前記表面または前記裏面に設けられた撮像素子側接続部と、前記ボンディングワイヤの他端が接続される前記半導体素子の前記表面または前記裏面に設けられた半導体素子側接続部と、を有し、前記半導体素子の第1の側面寄りに偏り設けられた第1の接続部と、前記半導体素子の前記表面または前記裏面に設けられたフレキシブル基板用接続部と、前記フレキシブル基板用接続部と電気的に接続される前記フレキシブル基板の他端寄りに偏り設けられた半導体素子用接続部と、を有し、前記半導体素子の前記第1の側面とは異なる側面である第2の側面寄りに偏り設けられた第2の接続部と、を具備している。
また、本発明の一様態の内視鏡は、本発明の撮像装置を挿入部の先端部内に備えたことを特徴とする。
本発明によれば、簡単な構成で、撮像装置の小型化を図ることができるとともに、電気的接続不良の発生を防ぐことができる安価な撮像装置及びこの撮像装置を用いた内視鏡を実現することができる。
本発明の第1の実施形態に係わる撮像装置の全体構成を示す一部破断した斜視図 図1のフレキシブル基板の折り曲げ部の構成を説明するためのA−A線断面図 図1に示す撮像装置の上面図 図1に示す撮像装置の側面図。 本発明の実施形態の変形例1に係る撮像装置の側面図 本発明の実施形態の変形例2に係る撮像装置の斜視図 本発明の実施形態の変形例3に係る、撮像素子の表面から見た場合の撮像装置の正面図 本発明の第2の実施形態に係わる撮像装置の全体構成を示す斜視図
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
なお、以下の説明に用いる各図においては、各構成要素を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各構成要素毎に縮尺を異ならせてあるものもあり、本発明は、これらの図に記載された構成要素の数量、構成要素の形状、構成要素の大きさの比率、及び各構成要素の相対的な位置関係のみに限定されるものではない。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の第1の実施形態に係わる撮像装置の全体構成を示す一部破断した斜視図、図2は、図1のフレキシブル基板の配線パターンにおける折り曲げ部の構成を説明するためのA−A線断面図、図3は、図1に示す撮像装置の上面図、図4は、図1に示す撮像装置の側面図である。
図1に示すように、本実施形態に係る撮像装置1は、CCDやCMOS等の撮像素子2、信号処理IC等の半導体素子3、及びコンデンサや抵抗等の周辺電子部品4と、TABテープ等のフレキシブル基板5と、カバーガラス6と、を有して構成される。
まず、フレキシブル基板5の構成について、図1〜図4を用いて説明する。
図1、図3及び図4に示すように、撮像装置1を構成するフレキシブル基板5は、例えば、長方形に形成された基板である。このフレキシブル基板5の表面5Aは、半導体素子3や、周辺電子部品4を実装するための実装面である。
フレキシブル基板5の表面5Aには、実装される周辺電子部品や不図示の外部信号線との電気的な導通をとり接続するための複数のランド電極(以下、ランドという)が設けられている。
図1及び図3に示すように、表面5Aには、周辺電子部品4が実装されたときに周辺電子部品4の端子との接続により電気的な導通をとるための複数(ここでは4個)の周辺電子部品用ランド7Aが形成されている。
また、フレキシブル基板5の表面5Aには、図示しない外部信号線との接続により外部との電気的な導通をとるための外部信号線用接続部を構成する、複数(ここでは4個)の外部用ランド7Bが、フレキシブル基板5の一端5C1寄りに偏り形成されている。
そして、半導体素子用接続部7Cが、フレキシブル基板5の他端5C2寄りに偏り形成され、フレキシブル基板5の表面5Aの一部である半導体素子用接続部7Cの表面が、半導体素子3の表面3Aに設けられた複数のフレキシブル基板接続用ランド3b(以下、単にランド3bと称す)と接合して電気的に接続される。
配線パターン8は、外部用ランド7Bと撮像素子2との間で電気的に導通をとるためにフレキシブル基板5に設けられている。
すなわち、フレキシブル基板5は、フレキシブル基板5に形成された複数の配線パターン8により、周辺電子部品用ランド7A及び外部用ランド7Bを含むランドや半導体素子用接続部7Cが、電気的に接続されている。
なお、半導体素子用接続部7Cは、本実施形態においては、図2に示すように、フレキシブル基板5の配線パターン8の一部が突出し形成されているが、これに限らず、例えば、フレキシブル基板5の表面5Aに、半導体素子3の複数のランド3bに接続されるランドを、フレキシブル基板5の他端5C2寄りに偏り形成し、このランドにより半導体素子用接続部7Cが形成されても良い。
さらに、フレキシブル基板5は、図1及び図4に示すように、半導体素子用接続部7Cから半導体素子3の第2の側面3C2に沿うように折り曲げる折り曲げ部9を有する。
折り曲げ部9は、外部用ランド7Bが偏り設けられたフレキシブル基板5の一端5C1が、半導体素子3の裏面3Bに対し離間するように、フレキシブル基板5を延出し設けるためのものである。
この折り曲げ部9は、半導体素子3のランド3bとフレキシブル基板5の半導体素子用接続部7Cとの電気的接続後、図2に示すように、半導体素子3のランド3bの外形の一辺、あるいは半導体素子3の外形の一辺を折り曲げ基点として、撮像素子2の表面2Aに設けられた受光面に直交する方向の軸(光軸O)に向けて折り曲げられている。そして、折り曲げ部9で折り曲げられた後、半導体素子3の第2の側面3C2と、フレキシブル基板5の表面5Aの半導体素子3の第2の側面3C2に対向する面と、を接着剤や接着テープ等で固定する。
これにより、フレキシブル基板5を、図1及び図4に示すように、半導体素子3の裏面3B側(撮像装置1の後方側)に延出するように曲げて配置することができる。
なお、本実施形態においては、半導体素子3のランド3bとフレキシブル基板5の半導体素子用接続部7Cとを接続した後、フレキシブル基板5の折り曲げ部9を折り曲げているが、これに限らず、フレキシブル基板5の表面5Aを、半導体素子3の第2の側面3C2に固定した後、折り曲げ部9を折り曲げ、その後、ランド3bと半導体素子用接続部7Cとを接続してもよい。
このように、周辺電子部品用ランド7A、外部用ランド7B及び半導体素子用接続部7Cを、フレキシブル基板5の表面5Aに設けることにより、フレキシブル基板5に設けられるランドを表面5Aの片面のみに設けることとなり、安価なフレキシブル基板の構成となる。
フレキシブル基板5の表面5Aの周辺電子部品用ランド7A及び外部用ランド7Bを含むランドと半導体素子用接続部7C以外の領域、及び裏面5Bは、レジスト等の絶縁部材で覆われている。また、フレキシブル基板5の厚さL1は、例えば、0.03〜0.05mmである。
撮像素子2の裏面2Bと表面3Aが対向するように撮像素子2の裏面2B側に積層して設けられ、フレキシブル基板5の表面5Aに実装される半導体素子3は、例えば、信号処理ICであり、半導体素子3の厚さL2は、例えば、0.5mmである。この半導体素子3の表面3Aには、図1〜図4に示すように、半導体素子側接続部を構成する撮像素子接続用の撮像素子接続用ランド3a(以下、単にランド3aと称す)と、フレキシブル基板用接続部を構成するフレキシブル基板接続用のフレキシブル基板接続用ランド3b(以下、単にランド3bと称す)とが形成されている。
半導体素子3は、一般的な上面回路構成の素子だけではなく、例えば、ランド3aが、貫通電極部に設けられたBGA(Ball Grid Array)あるいはLGA(Land Grid Array)からなる、複数(ここでは7個)の第1の接続部を構成するものでもよい。ランド3aは、半導体素子3の表面3Aの、一方の側面である第1の側面3C1寄りに偏って設けられている。これらのランド3aは、後述するが、撮像素子2と電気的に接続するための第1の接続部を構成するワイヤボンディングのボンディングワイヤ(以下、単にワイヤと称す)10の一方の端部10bと、例えば、超音波熱圧着接合により電気的に接続される。
また、ランド3bは、同様に貫通電極部に設けられたBGAあるいはLGAからなる、複数(ここでは7個)の第2の接続部を構成するものであり、半導体素子3の表面3Aの、他方の側面である第2の側面3C2寄りに偏って設けられている。ランド3bは、第2の接続部を構成するフレキシブル基板5の半導体素子用接続部7Cと、例えば、半田部材を介して電気的に接続される。
半導体素子3の表面3A側に配置される撮像素子2は、例えば、CMOSイメージセンサである。撮像素子2の受光面(撮像面)を有する表面2Aの、前記半導体素子3の第1の側面3C1側の端部には、貫通電極部に設けられたBGAあるいはLGAからなる、複数(ここでは7個)の第1の接続部を構成する撮像素子ランド2a(以下、単にランド2aと称す)が形成されている。
撮像素子2のランド2aは、後述するが、半導体素子3と電気的に接続するためのワイヤボンディングのワイヤ10の他方の端部10aと、例えば、超音波熱圧着接合により電気的に接続される。撮像素子2の表面2A側には、受光面を覆うようにカバーガラス6が設けられている。
なお、撮像素子2の厚さL3は、例えば、0.5mmであり、カバーガラス6の厚さL4は、例えば0.5mmである(図4参照)。また、撮像素子2の受光面は、例えば1mm四方である。
フレキシブル基板5の表面5Aの第2の実装面5A2に実装される周辺電子部品4は、例えば、コンデンサや抵抗である。これらの周辺電子部品4は、例えば信号処理IC等の半導体素子3における信号処理する際の信号のノイズ低減等を行う機能を有し、フレキシブル基板5の表面5A上の対応する周辺電子部品用ランド7Aと、例えば、半田部材を介して電気的に接続される。
本実施形態において、撮像装置1は、前記撮像素子2と前記半導体素子3とを電気的に接続するための第1の接続部を構成する、撮像素子2の一方の側面である第1の側面2C1に沿って設けられたワイヤボンディングのワイヤ10を有する。
また、撮像装置1は、ワイヤ10と、ワイヤ10が接続される撮像素子側接続部であってワイヤ10の一端10aが接続される撮像素子2の表面2Aに設けられた複数のランド2aと、半導体素子側接続部であってワイヤ10の他端10bが接続される半導体素子3の表面3Aの設けられた複数のランド3aと、を有し、半導体素子3の第1の側面3C1寄りに偏り設けられた第1の接続部(10、2a、3a)を具備するとともに、フレキシブル基板5が接続されるフレキシブル基板用接続部であって半導体素子3の表面3Aに設けられた複数のランド3bと、ランド3bに接続されるフレキシブル基板5の他端5C2寄りに偏り設けられた複数の半導体素子用接続部7Cと、を有し、半導体素子3の前記第1の側面3C1とは異なる側面である第2の側面3C2寄りに偏り設けられた第2の接続部(3b、7C)と、を具備する。
なお、第1の接続部としては、上述したように撮像素子2の表面2Aに設けられた複数のランド2aと、半導体素子3の表面3Aに設けられたランド3aと、ワイヤ10と、が対応する。第2の接続部としては、半導体素子3の表面3Aに設けられたランド3bと、フレキシブル基板5に設けられた半導体素子用接続部7Cと、が対応する。そして、第1の接続部は半導体素子3の第1の側面3C1寄りに、第2の接続部は半導体素子3の第2の側面3C2寄りに、各々配設されている。
ワイヤ10の一方の端部10bは、図1、図3及び図4に示すように、半導体素子3のランド3aと、例えば、超音波熱圧着接合により電気的に接続される。また、ワイヤ10の他方の端部10aは、撮像素子2のランド2aと、例えば、超音波熱圧着接合により電気的に接続される。
このように、本実施形態においては、ワイヤボンディングのワイヤ10により、撮像素子2と半導体素子3とが電気的に接続される。
撮像素子2と半導体素子3とをワイヤボンディングにより接続する場合、第1の接続部を構成するランド2a、3aは、撮像素子2の表面2A及び半導体素子3の表面3Aの、半導体素子3の第1の側面3C1寄りに偏り設けられている。
そして、撮像素子2のランド2aがカバーガラス6により隠れず外部に露出するように、撮像素子2の表面2Aと平行する方向における、カバーガラス6と撮像素子2の相対位置がずれて配設されている。また、半導体素子3のランド3aが撮像素子2の裏面2Bにより隠れず外部に露出するように、半導体素子3の表面3Aと平行する方向における、撮像素子2と半導体素子3の相対位置がずれて配設されている。
このように、ランド2aとランド3aは、同じ方向を向き、外部に露出するとともに、半導体素子3の第1の側面3C1寄りに偏り設けられている。このため、ランド2a、3aにワイヤ10を接合する際の作業がし易くなるとともに、ワイヤ10により、撮像素子2と半導体素子3の確実な電気的接続が可能となる。
なお、本実施形態においては、図4に示すように、撮像素子2は、表面2A上の複数のランド2aが積層されるカバーガラス6から露出するようにカバーガラス6に対して光軸O方向にずらすように配置しているが、このランド2aを含む露出する領域の長さL5は、例えば、0.1mmである。
また、半導体素子3は、表面3A上の複数のランド3aが撮像素子2から露出するように撮像素子2に対してずらすように配置しているが、このランド3aを含む露出する領域の長さL6は、例えば、0.1mmである。
なお、撮像素子2の受光面と平行の方向における撮像装置1の大きさであり撮像装置1の外径の大きさを極力小さくするために、ランド2a、3aを半導体素子3の第1の側面3C1に極力近接し設けるとともに、長さL5、L6を、ワイヤ10をワイヤボンディングする際に必要な最低限の長さとすることが好ましい。
各構成要素が極めて小型化であり、小型化の各構成要素を用いて構成される撮像装置1は、撮像素子2の裏面2B側に、信号処理IC等の半導体素子3を積層して構成されている。また、フレキシブル基板5の半導体素子用接続部7Cが接続される半導体素子用接続部7Cは、半導体素子3の表面3Aに設けられている。
フレキシブル基板5は、半導体素子用接続部7Cから半導体素子3の第2の側面3C2に沿うように折り曲げ部9で折り曲げられ、一端5C1が半導体素子3の裏面3Bに対し離間するように延出し設けられている。そして、フレキシブル基板5の折り曲げ部9の内側となる面である表面5Aに、半導体素子3と周辺電子部品4と外部信号線が実装され、半導体素子3の裏面3B側に、周辺電子部品4と外部信号線が位置付けられる。
このように、撮像装置1を構成する撮像素子2と半導体素子3が撮像素子2の受光面と平行の方向におけるずれ量が最小限となるように積層して配設され、撮像素子2と半導体素子3が接合される第1の接続部が半導体素子3の第1の側面3C1寄りに偏り設けられ半導体素子3とフレキシブル基板5が接合される第2の接続部が半導体素子3の他端5C2寄りに偏り設けられるとともに、フレキシブル基板5が半導体素子3の第2の側面3C2に沿い半導体3の裏面3B側に延出し配設され、半導体素子3と周辺電子部品4と外部信号線が同一面に実装されている。これにより、撮像素子2の受光面と平行の方向における撮像装置1の大きさであり、撮像装置1の外径の大きさを小型化することができる。
また、第1の接続部と第2の接続部を、半導体素子3の異なる側面寄りに偏り設けることにより、ランド3aおよびランド3bを半導体素子3の同一面上に設けることが可能となり、半導体素子3の構造の簡略化が図れる。
また、ランド3aとランド3bとを、半導体素子3の表面3Aの同一の側面寄りに偏り設けた場合、ランド3aから撮像素子2側に延出するワイヤ10と、ランド3bから半導体素子3の裏面3Bに延出するフレキシブル基板5と、の接触(干渉)を避けるため、ランド3bはランド3aより表面3Aの端部寄りに設ける必要がある。
この場合、半導体素子3のランド3aが撮像素子2の裏面2Bにより隠れず外部に露出するようにするための、半導体素子3の表面3Aと平行する方向における、撮像素子2と半導体素子3の相対位置をずらす量(露出させる面積)が、単にランド3aを露出する場合のずらし量(露出させる面積)に加え、ランド3bを露出するためのずらし量(露出させる面積)が必要となり、撮像素子2の受光面と平行の方向における撮像装置1の大きさであり撮像装置1の外径の大きさが大きくなってしまう。
これに対し、本実施形態にある撮像装置1は、ランド3aとランド3bとを、半導体素子3の表面3Aの異なる側面寄りに偏り設けることにより、ランド3aを露出するためのみのずらし量(露出させる面積)となり、ランド3aとランド3bとを半導体素子3の表面3Aの同一の側面寄りに偏り設けた場合に対し、撮像素子2の受光面と平行の方向における撮像装置1の大きさであり撮像装置1の外径の大きさを、小さくすることができる。
また、撮像装置1を構成する撮像素子2と半導体素子3が積層して配設されるとともに、周辺電子部品4と外部信号線が半導体素子3の裏面3B側に配設されている。すなわち、撮像素子2と半導体素子3と周辺電子部品4とが積層して配置されることとなる。これにより、撮像素子2の受光面と直交する方向における撮像装置1の大きさであり、撮像装置1の長手方向の大きさを小型化することができる。
したがって、本実施形態の撮像装置1は、この撮像装置1の径方向における長さを保ちつつ該撮像装置1の長手方向を小型化することができ、この撮像装置1を内蔵する内視鏡先端部の先端部硬質部長を短くすることができるので、特に前記したような極めて小さい各構成要素を備えた小型化の内視鏡先端部内に搭載するには有効である。
また、本実施形態の撮像装置1は、図1及び図4に示すように、撮像素子2と半導体素子3との電気的な接続を、ワイヤボンディングのワイヤ10を用いて行うとともに、半導体素子3とフレキシブル基板5との電気的な接続を、半導体素子用接続部7Cを用いて行っている。そして、半導体素子3と周辺電子部品4と外部信号線が、1枚のフレキシブル基板5に直接接続される。
したがって、撮像装置1は、複数のフレキシブル基板を用いることなく、1枚のフレキシブル基板5とワイヤボンディング10により該撮像装置1内の各構成要素間の電気的接続を行うことができる。
これにより、本実施形態の撮像装置1を、安価に構成できることは勿論、複数のフレキシブル基板を用いた構成よりも、フレキシブル基板における、撮像素子及び半導体素子を含む各種部品との電気的な接続部の数を減らすことができるので、電気的接続不良の発生のリスクを軽減することができる。
次に、本実施形態の撮像装置1を製造する手順について図1〜図4を用いて説明する。
まず、図3および図4に示した、半導体素子3及び周辺電子部品4が実装されたフレキシブル基板5を作成する。その作成は、従来の、所定の配線パターン8が形成された平板状のフレキシブル基板5上に、クリーム半田を印刷し、マウンタ(図示せず)により複数の周辺電子部品4を搭載し、その後半田リフローにより、複数の周辺電子部品4をフレキシブル基板5の表面5Aの周辺電子部品用ランド7A上に実装することによって、行われる。
そして、フレキシブル基板5の半導体素子用接続部7Cに半導体素子3のランド3bを重ねるように配置した後、配線パターン8の半導体素子用接続部7Cと半導体素子3のランド3bとを、例えば、半田部材を用いて接続固定する。
なお、半導体素子用接続部7Cは、本実施形態においては、図2に示すように、フレキシブル基板5の配線パターン8の一部が突出し形成されているが、これに限らず、例えば、フレキシブル基板5の表面5Aに、半導体素子3の複数のフレキシブル基板接続用ランド3bに接続されるランドを、フレキシブル基板5の他端5C2寄りに偏り形成し、このランドにより半導体素子用接続部7Cが形成されても良い。
この場合は、周辺電子部品4と同様に、マウンタにより半導体素子3をフレキシブル基板上に搭載し、その後半田リフローにより、半導体素子3のランド3bがフレキシブル基板5の表面5Aの半導体素子用接続部7Cに接合される。
また、半導体素子3のランド3bと、フレキシブル基板5の表面5Aの半導体素子用接続部7Cとの接合は、半田部材に限らず、例えばランド3bと半導体素子用接続部7Cとの間に金等のバンプを用いた接合でもよい。
その後、半導体素子3及び周辺電子部品4が実装されたフレキシブル基板5の裏面5Bが表となるように該フレキシブル基板5を裏返し、半導体素子3の表面3A上に、予め表面2A側にカバーガラス6を透明な接着剤を用いて固定した撮像素子2の裏面2Bを配置する。このとき、撮像素子2の裏面2Bと半導体素子3の表面3Aとの間を、接着剤等により固定してもよい。その後、ワイヤボンディングのワイヤ10を用いて、この撮像素子2のランド2aと、半導体素子3のランド3aとの接続を行う。
このときのワイヤボンディングのワイヤ10を用いた電気的接続作業は、周知の方法を用いればよく、例えば、図示しないワイヤクランプと接続治具(キャピラリ)を用いてワイヤ10を保持し、かつ荷重した状態で、ワイヤ10の両側端部10a、10bを各ランド2a、3aにそれぞれ超音波熱圧着等により接合することにより、ボール接合部等が形成されて確実に接合される。
なお、本実施形態では、図1に示すように、半導体素子3側のワイヤ10の端部10bがボール接合部を形成しているが、これに限定されるものではなく、撮像素子2側のワイヤ10の端部10aにボール接合部を形成するように接合してもよい。
次に、フレキシブル基板5を、折り曲げ部9を介して表面5A側へ垂直に折り曲げる。
この時、半導体素子3の第2の側面3C2上に、接着剤や接着テープを設け、半導体素子3をフレキシブル基板5の表面5A上に固定して実装する(図4参照)。
その後、フレキシブル基板5の表面5A上の複数の外部用ランド7Bに、対応する図示しない外部信号線を、半田により接続する。
こうして、図1に示すような撮像装置1が構成される。
なお、図1に示すようなフレキシブル基板5が折り曲げられた状態の撮像装置1は、その後、図示しないレンズ枠等に嵌装後、芯だし治具等を用いて撮像素子2の表面2Aの受光面の光軸Oの位置調整を行い、レンズ枠(図示せず)の内部に充填剤等を充填して封止することによって、内視鏡挿入部の先端部内に装着される。
なお、ワイヤボンディングによる接続手順は、フレキシブル基板5の折り曲げ手順を実施する前に行ったが、作業内容によっては、フレキシブル基板5の折り曲げ手順終了後に、行ってもよい。
以上、説明したように本実施形態の撮像装置1は、該撮像素子2の裏面2B側に、信号処理IC等の半導体素子3が積層するように配置され、また、撮像装置1構成するフレキシブル基板5は、複数のランド7A、7B、および周辺電子部品4が同一面に実装され、配線パターン8の折り曲げ部9によって折り曲げられることにより、これら複数のランド7A、7B、及び周辺電子部品4が半導体素子3の裏面3B側に配設される。
これにより、撮像装置1の径方向における長さを保ちつつ該撮像装置1の長手方向を小型化することができ、この撮像装置1を内蔵する内視鏡先端部の先端部硬質部長を短くすることができる。
また、本実施形態の撮像装置1は、図1及び図4に示すように、撮像素子2と半導体素子3との電気的な接続を、ワイヤボンディングにより行うとともに、半導体素子3とフレキシブル基板5との電気的な接続を、半導体素子用接続部7Cを用いて行っている。
したがって、撮像装置1は、半導体素子3のみをフレキシブル基板5に実装する構成であるため、複数のフレキシブル基板を用いることなく、1枚のフレキシブル基板5とワイヤボンディングのワイヤ10により該撮像装置1内の各構成要素間の電気的接続を行うことができる。
これにより、本実施形態の撮像装置1を、安価に構成できることは勿論、複数のフレキシブル基板を用いた構成よりも、フレキシブル基板5における、撮像素子2及び半導体素子3を含む各種部品との電気的な接続部の数を減らすことができるので、電気的接続不良の発生のリスクを軽減することができる。
従って、第1の実施形態によれば、簡単な構成で、撮像装置1の小型化を図ることができるとともに、電気的接続不良の発生のリスクを軽減することができる安価な撮像装置1及びこの撮像装置1を用いた内視鏡の実現が可能となる。
なお、本実施形態の撮像装置1は、図1〜図4に示す構成に限定されるものではなく、例えば、後述する変形例1〜3に示す構成としてもよい。このような変形例1〜3について図5〜図7を用いて説明する。
(変形例1)
図5は、本発明の実施形態の変形例1に係る撮像装置の側面図である。なお、図5は、第1の実施形態と同様な構成要素については同一符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
上述した実施形態に係る撮像装置1は、図1〜図4に示すように、撮像素子2の裏面2B側に、1つの半導体素子3を積層するように配置した構成であるが、本変形例1では、さらに、もう一つの半導体素子30を半導体素子3の裏面3B側に積層するように配置して他のフレキシブル基板50に実装する。
すなわち、図5に示すように、前記第1の実施形態の構成と略同様に構成されたもう一つの半導体素子30及びフレキシブル基板50を、半導体素子3の裏面3B側に配置する。
そして、新たに設けられた半導体素子30は、さらに、複数の接続用ランド(以下、単にランドと称す)30cが、表面30Aにおいて、半導体素子側接続部を構成する撮像素子接続用ランド(以下、単にランドと称す)30aに隣接するように設けられている。これらランド30cは、半導体素子3の表面3Aに新たに設けられたランド3cと、前記第1の実施形態と同様にワイヤボンディングのボンディングワイヤ(以下、単にワイヤと称す)10Bにより電気的に接続される。
また、半導体素子30のランド30aは、前記第1の実施形態と同様に、撮像素子2のランド2aと、ワイヤボンディングのワイヤ10Aにより電気的に接続される。
なお、本変形例1では、フレキシブル基板5に周辺電子部品4は実装されていないが、実装されても良い。
その他の構成は、第1の実施形態と同様である。
このような構成によれば、撮像装置1の径方向の長さは僅かに大きくなるが、2つの半導体素子3、30を有することにより、信号処理能力等の機能を拡大することが可能となり、撮像装置1Bの機能性向上に大きく寄与できる。
なお、本変形例1では、2つの半導体素子3、30を設けた構成について説明したが、これに限定されるものではなく、必要に応じて3つ以上の半導体素子を設けて同じように光軸方向に積層するように構成してもよい。
従って、第1の実施形態は、本変形例1に示すように、半導体素子3の裏面3B側に、さらにもう一つの半導体素子30及びフレキシブル基板50を配置するように構成しても良く、本変形例1においても第1の実施形態と略同様の効果が得られる。
(変形例2)
図6は、本発明の実施形態の変形例2に係る撮像装置の斜視図である。なお、図6は、第1の実施形態と同様な構成要素については同一符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
上述した実施形態に係る撮像装置1は、図1及び図4に示すように、第1の接続部が、半導体素子3の一方の側面である第1の側面3C1側寄りに偏って設けられた構成であるが、本変形例2では、該第1の接続部を、第1の側面3C1側寄りに偏った第1の接続部と第1の側面3C3側寄りに偏った第1の接続部の、複数の第1の接続部を設けている。
すなわち、図6に示すように、複数の第1の接続部は、半導体素子3の第1の側面3C1側寄りに偏った方向の一方向だけではなく、半導体素子3の第1の側面3C1に隣接する第1の側面3C3側寄りに偏った方向との2方向に各々偏って設けられている。
この場合、半導体素子3の大きさは特に限定されるものではないが、前記第1の実施形態における同じ大きさの半導体素子3を用いた場合、撮像素子2と半導体素子3を、図6に示すように、ランド3aが外部に露出するようにずらして配置する。
これにより、予め半導体素子3の表面3Aの、第1の側面3C1に隣接する第1の側面3C3側の端部に設けられた3つのランド3aを含む領域と、第1の側面3C1に設けられた4つのランド3aを含む領域とを、撮像素子2から露出させて、ワイヤボンディングのワイヤ10による電気的接続を行うことができる。
なお、撮像素子2は、半導体素子3の第3の側面3C3側に設けられた3つのランド3aに対応するように、予め撮像素子2の表面2Aにおける、半導体素子3の第1の側面3C3側寄りに偏った端部に3つのランド2aが設けられている。
そして、本変形例においても、第1の実施形態と同様に、ワイヤボンディングのワイヤ10を用いた電気的接続作業を行い、例えば、図示しないワイヤクランプと接続治具(キャピラリ)を用いてワイヤを保持し、かつ荷重した状態で、ワイヤ10の両側端部10a、10bを各ランド2a、3aにそれぞれ超音波熱圧着接合することにより、ボール接合部等が形成されて確実に接合される。
本変形例にて用いられる半導体素子3は、必要に応じて撮像素子2の大きさよりも小さいものを用いてもよく、この大きさに合わせてランド3a及びランド2aの数を適宜変更して設ければよい。
また、半導体素子3と図示しないフレキシブル基板5との接続は、図示はしないが前記第1の実施形態と同様に接続される。
このような構成によれば、撮像素子2と半導体素子3とを電気的に接続するワイヤボンディングのワイヤ10を2方向に沿って設けたことにより、電気回路設計の自由度を拡大することができる。
なお、本変形例2では、1つの半導体素子3を設けた構成について説明したが、これに限定されるものではなく、前記変形例1に示すように、複数の半導体素子を裏面側に積層する構成についても適用可能である。
従って、第1の実施形態は、本変形例2に示すように、複数の第1の接続部を、半導体素子3の第1の側面3C1側に偏った方向の一方向だけではなく、半導体素子3の第1の側面3C1に隣接する第1の側面3C3側に偏った方向との2方向に各々偏って設けても良く、本変形例2においても第1の実施形態と略同様の効果が得られる。
(変形例3)
図7は、本発明の実施形態の変形例3に係る、撮像素子の表面から見た場合の撮像装置の正面図である。なお、図7は、第1の実施形態と同様な構成要素については同一符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
上述した実施形態に係る撮像装置1は、図4に示すように、撮像素子2の裏面2B側に、該撮像素子2の裏面2Bの面積よりも表面3Aの面積が小さく、あるいは略同じの半導体素子3を積層するように配置して構成したが、本変形例3では、撮像素子2の裏面2B側に、該撮像素子2の裏面2Bの面積よりも表面3Aの面積が大きい半導体素子3を積層するように配置するとともに、複数の第1の接続部の各々を3方向に偏って設けて撮像素子2と半導体素子3との電気的な接続を行うように構成した。
すなわち、図7に示すように、本変形例3の撮像装置1は、撮像素子2の裏面2B側に、該撮像素子2の裏面2Bの面積よりも表面3Aの面積が大きい半導体素子3を積層するように配置して構成される。
また、複数の第1の接続部は、図6に示す変形例2と同様に、2つの第1の接続部が半導体素子3の第1の側面3C1、3C3側寄りに各々偏り設けられる他に、更に半導体素子3の第1の側面3C3側寄りに偏った第1の接続部が設けられている。
半導体素子3のランド3aは、図6に示す変形例2と同様に、半導体素子3の表面3Aの、第1の側面3C1、3C3側の端部にそれぞれ設けられる他に、表面3Aの第1の側面3C4側の端部にも4つのランド3aが設けられている。
また、撮像素子2についても、前記半導体素子3に設けられたランド3aに合わせるように、表面2Aにおける半導体素子3の第1の側面3C1側寄り及び第1の側面3C3側寄りの端部にそれぞれランド2aが設けられる他に、表面2Aにおける半導体素子3の第1の側面3C4側の端部にも4つのランド2aが設けられている。
そして、前記変形例2と同様に、ワイヤボンディングを用いた電気的接続作業を行い、例えば、図示しないワイヤクランプと接続治具(キャピラリ)を用いてワイヤ10を保持し、かつ荷重した状態で、ワイヤ10の両側端部10a、10bを各ランド2a、3aにそれぞれ超音波熱圧着接合することにより、ボール接合部等が形成されて確実に接合される。
これにより、本変形例3の撮像装置1は、図7に示すように、撮像素子2及び半導体素子3が3方向に沿ったワイヤボンディングのワイヤ10により接続がなされたものとなる。
このような構成によれば、撮像素子2と半導体素子3とを電気的に接続するワイヤボンディングのワイヤ10を3方向に沿った方向に設けたことにより、前記変形例2よりも電気回路設計の自由度を拡大することができる。
従って、第1の実施形態は、本変形例3に示すように、複数の第1の接続部を、半導体素子3の第1の側面3C1側に偏った方向の一方向だけではなく、半導体素子3の第1の側面3C3側寄り及び第1の側面3C4側寄りに偏った3方向に各々設けても良く、本変形例3においても第1の実施形態と略同様の効果が得られる。
(第2の実施形態)
図8は、本発明の第2の実施形態に係わる撮像装置の全体構成を示す斜視図である。なお、図8は、第1の実施形態と同様な構成要素については同一符号を付して説明を省略し、異なる部分のみを説明する。
上述した第1の実施形態に係る撮像装置1は、図1に示すように、撮像素子2の表面2A及び半導体素子3の表面3Aにそれぞれ各ランド2a、3aが設けられるとともに、撮像素子2の第1の側面2C1に沿ってワイヤボンディングのワイヤ10を配置した構成であるが、第2の実施形態では、裏面に撮像素子ランドを備える裏面型の撮像素子20を設け、この撮像素子20の裏面側に、表面が対向するように半導体素子31を積層し配置するとともに、撮像素子接続用ランドおよびフレキシブル基板接続用ランドを半導体素子31の裏面に備えて構成している。
具体的には、図8に示すように、前記第1の実施形態と同様に構成されているフレキシブル基板5と電気的に接続される半導体素子31は、裏面31Bの、第2の側面31C2側の端部に複数(例えば7個)のフレキシブル基板接続用ランド31b(以下、単にランド31bと称す)が設けられている。
これらランド31bは、前記第1の実施形態と同様に、フレキシブル基板5の半導体素子用接続部7Cと、例えば、半田部材を介して電気的に接続される。
つまり、半導体素子31のランド31b及びフレキシブル基板5の半導体素子用接続部7Cからなる第2の接続部は、半導体素子31の第2の側面31C2側寄りに偏り設けられている。
そして、フレキシブル基板5は、半導体素子31の第2の側面31C2寄りに偏り設けられた折り曲げ部9によって、前記第1の実施形態と同様に、半導体素子31の裏側31B(撮像装置1Cの後方)側に延出するように曲げて配置される。
半導体素子31は、裏面31Bの、第1の側面3C1側の端部に複数(例えば7個)の撮像素子接続用ランド31a(以下、単にランド31aと称す)が設けられている。また、撮像素子20は、裏面20Bにおける、半導体素子31の第1の側面3C1側の端部に複数(例えば7個)の撮像素子ランド20a(以下、単にランド20aと称す)が設けられている。
そして、半導体素子31と撮像素子20との電気的な接続は、前記第1の実施形態と同様に、ワイヤボンディングのワイヤ10を用いて行う。すなわち、ワイヤボンディングのワイヤ10を用いて、この撮像素子20のランド20aと、半導体素子31のランド31aとの接続を行う。
つまり、撮像素子20のランド20aと、半導体素子31のランド31aと、ワイヤ10と、からなる第1の接続部は、半導体素子31の第1の側面31C1側寄りに偏り設けられている。
このときのワイヤボンディングを用いた電気的接続作業は、前記第1の実施形態と同様に周知の方法を用いればよく、例えば、図示しないワイヤクランプと接続治具(キャピラリ)を用いてワイヤ10を保持し、かつ荷重した状態で、ワイヤ10の両側端部10a、10bを各ランド20a、31aにそれぞれ超音波熱圧着接合することにより、ボール接合部等が形成されて確実に接合される。
なお、半導体素子31とフレキシブル基板5との電気的な接続は、半導体素子31の裏面31Bに設けられたランド31bに半導体素子用接続部7Cを接続することにより行ったが、これに限定されることはなく、前記第1の実施の形態と同様に、半導体素子31の表面31A側に複数のフレキシブル基板接続用ランド31bを設け、これら複数のランド31bに図1に示すフレキシブル基板5の半導体素子用接続部7Cを、例えば、半田部材等を用いて接続してもよい。その他の撮像装置1Cの構成は、前記第1の実施形態と同様である。
このように、本実施形態の撮像装置1Cは、裏面型の撮像素子20の裏面20B側に、信号処理IC等の半導体素子31が積層するように配置されている。また、撮像装置1Cを構成するフレキシブル基板5は、図示はしないが複数のランド7A、7B、および周辺電子部品4が同一面に実装され、配線パターン8の折り曲げ部9によって折り曲げられることにより、これら複数のランド7A、7B、及び周辺電子部品4が半導体素子31の裏面3B側に配設されている。
したがって、本実施形態の撮像装置1Cは、前記第1の実施形態と同様にこの撮像装置1Cの径方向における長さ及び該撮像装置1Cの長手方向を小型化することができ、この撮像装置1Cを内蔵する内視鏡先端部の先端部硬質部長を短くすることができる。
また、本実施形態の撮像装置1Cは、図8に示すように、前記第1の実施形態と同様に撮像素子20と半導体素子31との電気的な接続を、ワイヤボンディングのワイヤ10を用いて行うとともに、半導体素子31とフレキシブル基板5との電気的な接続を、半導体素子用接続部7Cを用いて行っている。
したがって、撮像装置1Cは、複数のフレキシブル基板を用いることなく、1枚のフレキシブル基板5とワイヤボンディングのワイヤ10により該撮像装置1C内の各構成要素間の電気的接続を行うことができる。
これにより、本実施形態の撮像装置1Cを、安価に構成できることは勿論、複数のフレキシブル基板を用いた構成よりも、フレキシブル基板における、撮像素子及び半導体素子を含む各種部品との電気的な接続部の数を減らすことができるので、電気的接続不良の発生のリスクを軽減することができる。
従って、第2の実施形態によれば、前記第1の実施形態と同様に、簡単な構成で、撮像装置1Cの小型化を図ることができるとともに、電気的接続不良の発生のリスクを軽減することができる安価な撮像装置1C及びこの撮像装置1Cを用いた内視鏡の実現が可能となる。
本発明は、上述した実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。
1…撮像装置
2…撮像素子
2A…表面
2B…裏面
2C1…第1の側面
2a…撮像素子ランド
3…半導体素子
3A…表面
3B…裏面
3C1、3C3、3C4…第1の側面
3C2…第2の側面
3a…撮像素子接続用ランド
3b…フレキシブル基板接続用ランド
4…周辺電子部品
5…フレキシブル基板
5A…表面
6…カバーガラス
7A…周辺電子部品用ランド
7B…外部用ランド
7C…半導体素子用接続部
8…配線パターン
9…折り曲げ部

Claims (7)

  1. 表面に受光面を有する撮像素子と、
    表面が前記撮像素子の裏面に対向するように前記撮像素子の裏面側に積層して設けられた半導体素子と、
    前記半導体素子と外部信号線とを直接または電子部品を介して電気的に接続するための外部信号線用接続部を一端寄りに偏り有し、前記一端が前記半導体素子の裏面に対し離間するように延出し設けられたフレキシブル基板と、
    前記撮像素子と前記半導体素子とを電気的に接続するボンディングワイヤと、前記ボンディングワイヤの一端が接続される前記撮像素子の前記表面または前記裏面に設けられた撮像素子側接続部と、前記ボンディングワイヤの他端が接続される前記半導体素子の前記表面または前記裏面に設けられた半導体素子側接続部と、を有し、前記半導体素子の第1の側面寄りに偏り設けられた第1の接続部と、
    前記半導体素子の前記表面または前記裏面に設けられたフレキシブル基板用接続部と、前記フレキシブル基板用接続部と電気的に接続される前記フレキシブル基板の他端寄りに偏り設けられた半導体素子用接続部と、を有し、前記半導体素子の前記第1の側面とは異なる側面である第2の側面寄りに偏り設けられた第2の接続部と、
    を具備したことを特徴とする撮像装置。
  2. 前記フレキシブル基板用接続部は前記半導体素子の前記表面に設けられ、
    前記フレキシブル基板は、前記半導体素子用接続部から前記半導体素子の前記第2の側面に沿うように折り曲げ部で折り曲げられ、前記一端が前記半導体素子の裏面に対し離間するように延出し設けられることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
  3. 前記フレキシブル基板用接続部は前記半導体素子の前記裏面に設けられ、
    前記フレキシブル基板は、前記半導体素子用接続部から前記半導体素子の前記フレキシブル基板用接続部より前記第2の側面寄りに設けられた折り曲げ部で折り曲げられ、前記一端が前記半導体素子の裏面に対し離間するように延出し設けられることを特徴とする請求項1に記載の撮像装置。
  4. 前記フレキシブル基板の表裏面のうち前記折り曲げ部の内側となる面に、前記外部信号線用接続部が設けられ、外部信号線用接続部が前記半導体素子の前記裏面側に位置付けられることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の撮像装置。
  5. 前記フレキシブル基板の表裏面のうち前記折り曲げ部の内側となる面に、前記電子部品が実装され、前記電子部品が前記半導体素子の前記裏面側に位置付けられることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1つに記載の撮像装置。
  6. 前記半導体素子と前記電子部品と前記外部信号線は、1つの前記フレキシブル基板に直接接続されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1つに記載の撮像装置。
  7. 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像装置を挿入部の先端部内に備えたことを特徴とする内視鏡。
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