JPH06260622A - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

Info

Publication number
JPH06260622A
JPH06260622A JP4696693A JP4696693A JPH06260622A JP H06260622 A JPH06260622 A JP H06260622A JP 4696693 A JP4696693 A JP 4696693A JP 4696693 A JP4696693 A JP 4696693A JP H06260622 A JPH06260622 A JP H06260622A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solid
image pickup
state image
bonding pad
element chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP4696693A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Nakajima
中島  茂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP4696693A priority Critical patent/JPH06260622A/ja
Publication of JPH06260622A publication Critical patent/JPH06260622A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/02Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/1012Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers
    • H01L2224/10122Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers being formed on the semiconductor or solid-state body to be connected
    • H01L2224/10125Reinforcing structures
    • H01L2224/10126Bump collar
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/783Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/78301Capillary

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Endoscopes (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】固体撮像装置の小型化を図る。 【構成】固体撮像素子チップ23のボンディングパット
28にワイヤボンディングされる2次側のボンディング
パット29を、素子チップ23の背面投影空間内に設け
た。前記空間位置としては回路基板24の側面、或は、
回路基板とは別体のベース側面である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子チップ上
にワイヤボンディングを行うものであって、小型化でき
るよう改良した固体撮像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、従来の固体撮像装置は、例えば
セラミック等のベースに固体撮像素子チップをダイボン
ディングし、固体撮像素子チップ上のワイヤボンディン
グ用ボンディングパットと、この素子チップ前面に対し
略同一面ないし隣接面に位置させたベース上のボンディ
ングパットとにワイヤボンディングしている。この構成
を図10に示すと、固体撮像素子チップ1はこの素子チ
ップよりも面積を大きく形成し、且つ背面に外部リード
2を延設したベース3にダイボンディングされ、素子チ
ップ1に設けたボンディングパット4と素子チップ1の
隣接位置にあるベース3の前面上に設けたボンディング
パット5とをボンディングワイヤ6で接続している。
尚、固体撮像素子チップ1の前面にはカバーガラス7が
配設されていると共に、このカバーガラス7及び素子チ
ップ1の側部から前記ボンディングパット4、5、ボン
ディングワイヤ6を含んだベース3前面に樹脂が充填さ
れて封止されている。また、前記ベース3の外部リード
2には回路基板7a,7bが接続され、基板7aには電
子部品8a,8bが搭載されていると共に、これら基板
7a,7bには信号ケーブル9が接続され、且つ両基板
7a,7bの信号ケーブル接続側端部は支持部材10で
支持されている。
【0003】しかしながら、固体撮像素子チップのボン
ディングパットにボンディングワイヤを介して接続され
るベースのボンディングパットは、図10からも理解さ
れるように固体撮像素子チップ前面に対し、同一面ない
し隣接面に設けられているため、ベースは固体撮像素子
チップ搭載スペース以外に、その前面側の面積を前記ボ
ンディングパットを配設するスペース分、余分に確保す
る必要がある。したがって、前記従来の固体撮像装置
は、ベースがその前面にボンディングパットを配設する
のに要するスペース分大型になっている。このような固
体撮像装置は、例えばビデオ内視鏡に用いられると、挿
入部先端部内に配設されることから、前記ベースの大型
化分、先端部の径も太径にせざるを得ない。しかし、内
視鏡は、患者の体腔内に挿入されるものであることか
ら、患者の苦痛軽減、挿入しやすさから挿入部は小径で
あることが望ましく、或は処置能力向上のために多チャ
ンネル化やチャンネル径のアップを図る上からも、先端
部内に配設される固体撮像装置は小型であることが望ま
れている。
【0004】また、固体撮像装置の周辺には、固体撮像
素子の出力信号を増幅したり、素子駆動信号を調整する
ための電気回路部品が設けられており、前記図示の従来
例では固体撮像素子チップのベースとは別に回路基板を
設けている。そのため、従来の固体撮像装置は用いられ
る基板の数が多く、その分撮像ユニットも大径になって
しまっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】従来の固体撮像装置
は、固体撮像素子チップ用ベースの前面側面積として、
素子チップ搭載スペース以外にボンディングパット配設
スペースを必要とし、このベースのスペース分大型にな
っている。
【0006】本発明は、これらの事情に鑑みてなされた
もので、固体撮像素子チップのボンディングパットに接
続される2次側のボンディングパットを、固体撮像素子
チップ前面に対し同一面ないし隣接面に設けないで、小
型化を可能にした固体撮像装置を提供することを目的と
している。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明による固体撮像装置は、固体撮像素子チップのボ
ンディングパットに接続される2次側のボンディングパ
ットを、固体撮像素子チップの背面側に設けている。
【0008】
【作用】この構成で、2次側のボンディングパットが固
体撮像素子チップの前面に対し同一面ないし隣接面に位
置せず、略固体撮像素子チップの背面側に設けられる。
【0009】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。図1ないし図3は本発明の第1実施例に係り、図
1は固体撮像ユニットを示す断面図、図2(A)(B)
(C)はこの固体撮像装置のワイヤボンディングを示す
説明図、図3はこの固体撮像ユニットを挿入部先端部に
組み込んだビデオ内視鏡装置を示す概略説明図である。
【0010】図3に示すように、固体撮像装置が組込ま
れる一例としてのビデオ内視鏡11は、手元側の把持部
を兼ねた操作部12の前方に細長で体腔内等の被検体内
に挿入される挿入部13を延設しており、この挿入部1
3はフレキシブルな可撓管14を主体とし、この可撓管
14の先端に上下/左右に湾曲可能な湾曲部15を連接
していると共に、この湾曲部15の前方に先端部16を
設けている。この先端部は撮像光学系17を有し、この
光学系17の焦点面に固体撮像素子チップの撮像面を位
置させて固体撮像ユニット18が配設され、図示しない
照明光学系によって照明された体腔内の被検体像を撮像
して撮像信号を得、信号ケーブル19を経て手元側の操
作部12側に伝送するようになっている。そして、操作
部12には、その側部より信号ケーブル、ライトガイド
ファイババンドル等を内設したユニバーサルコード20
を延設し、このユニバーサルコード20はコネクタを介
して例えば光源装置を内蔵したビデオプロセッサ21に
接続され、モニタ22に内視鏡画像を表示するようにな
っている。
【0011】前記固体撮像ユニット18は、固体撮像素
子チップ23を直接回路基板24にダイボンディングし
ている。この回路基板24の前部は素子チップベース部
24bを兼ねていると共に、固体撮像素子チップ23の
撮像面に対し垂直方向に基板本体24aを延設してい
る。そして、この基板本体24aには、樹脂封止された
電子部品25と、封止されていない電子部品26等が搭
載され、さらに信号ケーブル19を接続している。前記
固体撮像素子チップ23は前面の撮像面等をカバーガラ
スマクで覆っている。このカバーガラス27で覆われて
いない素子チップ23の前面縁辺部にはボンディングパ
ット28が設けられている。一方、前記回路基板24の
ベース部24bの図1における横断面は、素子チップ2
3の同図における横断面と同じか小さく形成されており
(図示例では小さい)、このベース部24bの側部であ
って前記固体撮像素子チップ23のボンディングパット
側に2次のボンディングパット29が設けられている。
したがって、回路基板24に設けられる2次側のボンデ
ィングパット29は、固体撮像素子チップ23の背面投
影空間内に設けられ、この2次側のボンディングパット
29の配設スペースにより固体撮像ユニット18の図1
における横断面方向面積が大きくなることは全くない。
そして、前記固体撮像素子チップ23のボンディングパ
ット28と回路基板24の2次側ボンディングパット2
9とはボンディングワイヤ30でワイヤボンディングさ
れている。また、前記ボンディングパット28、29及
びボンディングワイヤ30を含んだカバーガラス27、
素子チップ23、回路基板ベース部24bの側部に封止
樹脂31を充填し、封止している。
【0012】前記構成の固体撮像ユニット18では、前
記したように2次側のボンディングパット29は固体撮
像素子チップ23の背面投影空間内に設けられるので、
このボンディングパット29により横幅方向の面積が増
加することがなく、その分ユニット18を小型にでき、
例えばビデオ内視鏡の細径化に寄与できる。また、前記
撮像ユニット18では、従来用いていた固体撮像素子チ
ップ用のベースが不要で、このベースとして回路基板を
兼用したことにより、小型化及び部品点数の低減が図れ
る。さらに、この撮像ユニット18では、電気的な接続
箇所の削減により耐久性を向上できる。
【0013】次に、前記固体撮像素子チップ23のボン
ディングパット28と回路基板24のボンディングパッ
ト29との3次元的ワイヤボンディング方法を説明す
る。◎図2(A)及び(B)に示す如く、一対のホルダ
(ボンディングマシンのステージ)32,32の内側に
チャック軸32a,32aを突設し、この軸32a,3
2aで回路基板24のベース部24b側面をホールドす
る。尚、前記ベース部24bの側面には、軸32a,3
2aの先端先鋭部を係入する凹部33が形成されてい
る。そして、まず、図2(A)に示すようにボンディン
グツール34からボンディングワイヤ30を少く突出さ
せ、トーチ35の炎によりワイヤボール30aを形成
し、このワイヤボール30aを固体撮像素子チップ23
のボンディングパット28に押し当て、熱圧着して接続
する。次に、(A)、(B)に示す如く回転軸32cを
中心にホルダ32,32を90度回転させ、(C)の状
態に設定する。そして、この状態でボンディングツール
34から繰り出されたボンディングワイヤ30を切断す
ると共に前記と同様にして回路基板24のボンディング
パット29に接続する。このワイヤボンディング方法で
あると、2次側のボンディングパット29は素子チップ
23側の面ではなく、背面投影空間に位置するが、90
度回転することにより平面上に位置することになり、接
続作業が容易である。
【0014】図4は本発明固体撮像ユニットの第2実施
例に係り、(A)は正面図、(B)は側面図である。こ
の実施例は、前記第1実施例の構成に加えて固体撮像素
子チップ23の側面とボンディングワイヤ30との間
に、絶縁性仕切板36を介装し、ボンディングワイヤ3
0と素子チップ23との間、並びにボンディングワイヤ
30同士の短絡を防止したものである。尚、図中符号3
6aはガイド溝を示す。図5は本発明固体撮像ユニット
の第3実施例に係り、(A)は正面図、(B)は側面図
である。第1実施例では、固体撮像素子チップを回路基
板のベース部にダイボンディングしているが、この実施
例は、回路基板24とは別体の絶縁材からなるベース3
7に固体撮像素子チップ23をダイボンディングしてい
る。前記ベース37には半田により回路基板24が強固
に接続されている。この構成は、特に小画素数の小型の
撮像ユニット18に有効で、回路基板24のみでは固体
撮像素子チップ23をダイボンディングするのに充分な
強度が確保できないとき有効である。また、この実施例
では、ボンディングワイヤ38として絶縁被覆付きのワ
イヤを用い、ワイヤ38間及びワイヤ38と固体撮像素
子ユニット23との間の短絡を防止している。このよう
に、回路基板24と別体のベース37を設けることによ
り、小型の撮像ユニットであっても、第1実施と同じに
3次元的にワイヤボンディングすることができる。
【0015】図6は本発明固体撮像ユニットの第4実施
例に係り、(A)は断面図、(B)は(A)の縦断面
図、(C)は平面図である。撮像ユニット18が小型に
なると、固体撮像素子ユニット23側のボンディングパ
ット28も回路基板24側のボンディングパット29も
ともに一列のみでは入りきれなくなる。そこで、この実
施例は、第1実施例の撮像ユニットにおいて前記ボンデ
ィングパット28,29を多列(図示例では2列)に
し、狭ピッチにしたものである。
【0016】図7は本発明撮像ユニットの第5実施例に
係る撮像素子チップの平面図である。この実施例は、前
述の各実施例に用いた固体撮像素子チップを改良したも
のである。一般に固体撮像素子チップ23にカバーガラ
ス27を被せるときは、光線のけられや、カバーガラス
27のエッジによる乱反射等によるフレアを防止するべ
く、必ずイメージエリア(受光面)39に対するカバー
ガラス27のオーバーラップ27aが必要である。これ
は、イメージエリアの全ての縁辺に必要なスペースであ
る。一方、イメージエリア39の前記オーバラップ27
aと素子チップ23の縁辺の必要幅とを加えたスペース
23lも、ボンディングパット28側縁部を除いた素子
チップ23の3辺に必要である。またクリアランス23
cはカバーガラス端面とボンディングパット28との間
に必要な間隔である。ところで、この実施例の固体撮像
素子チップ23は、オプティカルブラック40をボンデ
ィングパット側の前記カバーガラスオーバラップ27a
に設けたことが特徴である。これは、撮像に寄与しない
オプティカルブラック40が、カバーガラスオーバラッ
プ27a内にあり、しかも前記ボンディングパット28
側の必要クリアランス23cに影響しないため、オプテ
ィカルブラック40の有無にかかわらず、カバーガラス
のオーバラップ27aとクリアランス23cとを加えた
間隔は同じである。一方、イメージエリア39の他の辺
は前記スペース23lが必要である。ここで、前記オプ
ティカルブラック40を前記位置に設けない場合でも、
この位置はカバーガラスオーバラップ27aと上記クリ
アランス23cとを加えた間隔を必要とし、他方オプテ
ィカルブラック40を素子チップ23の他の縁辺に必要
とすることになり、そうすると、その分素子チップ23
の幅が大きくなる。したがって、この実施例によれば、
前記幅分固体撮像素子チップを小型化できる。
【0017】図8は本発明撮像ユニットの第6実施例に
係り、(A)は固体撮像素子チップとカバーガラスとを
示す側面説明図、(B)及び(C)はカバーガラスを示
す説明図である。固体撮像素子チップを小型するべく画
素面積を縮小し、それによるゲイン不足を補うために1
画素宛1個のマイクロレンズを設けることが考えられ
る。しかし、このマイクロレンズはゼラチン等の有機物
により形成され、したがって吸湿性を有し、耐久性がよ
くない。特に、例えば内視鏡の様に常に多湿雰囲気中で
使用される場合など、悪影響を受けやすい。そうかとい
って、無機質材で前記マイクロレンズを作成するのは困
難である。そこで、この実施例の固体撮像ユニットで
は、固体撮像素子チップ23に被覆するカバーガラスと
して、屈折率分散型マイクロレンズを有するガラス27
zを用い、素子チップ23の各画素23sに対向する部
位毎に屈折率分散型マイクロレンズ部27mを形成し、
このマイクロレンズ部27mで画素23sへの集光性を
高めるようになっている。前記カバーガラス27zは、
図8(B)(C)に示す如く、ガラス面の各画素対応部
位毎にイオンビームを照射して屈折率分散型マイクロレ
ンズ部27mを形成し、その後イオンビーム照射方向か
ら各画素に対応した無機フィルタアレイ27fを形成
し、このフィルタアレイ27f側を素子チップ23の画
素側に対面させてカバーガラス27を接合する。この構
成では、無機質のカバーガラス自身でマイクロレンズの
機能を持たせることができ、耐湿性を有しながら撮像素
子チップが小型化し、画素が縮小しても充分なゲインを
得ることができる。また、マイクロレンズはカバーガラ
ス自体に形成されているため、小型化に寄与できる。
【0018】ところで、図9(A)(B)はモニタに表
示される内視鏡画像を示す。(A)に示す画像は、胃内
観察など正面視を多用する患者を見るときの画面形状
で、表示画面71は面取り(図示例では8角形)画面と
なっている。この画面で、画角を120度としたとき、
胃角正面視像72は120度となるため、中心倍率73
が高くなり、中心画像がよく見え、正面観察に適する。
一方、(B)は気管支、腸管の管腔臓器を観察するとき
の画面形状で、表示画面74は円形である。前記と同じ
に画角を120度にすると、表示画面74全周において
画角120度が確保される。管腔観察は、表示画面74
の中心よりも画像周辺75をよく見るため、(B)に示
す画面形状が適する。(A)の表示画面71における対
辺75は120度の画角はなく、壁面をより滑らかに見
ることになるが、(B)の表示画面74では全周に12
0度の画角が確保され、一様に且つ管壁をより正面視に
近く観察できる。したがって、内視鏡の操作部、或はそ
の周辺機器に、観察対象に応じて、モニタへの表示画面
の形状が面取り型か、円形かを選択切換える手段を設け
ておくと、観察に便利である。
【0019】尚、ビデオ内視鏡を、外科手段に使用する
場合、手術用器具などは、内視鏡とは別体で内視鏡先端
部近傍の任意の位置で使用される。このとき内視鏡と手
術用器具との位置関係は一定であるにもかかわらず、内
視鏡の操作上、内視鏡を回転させると、内視鏡像上に表
示される器具の位置関係がずれてしまう。これである
と、術者は手術中混乱をきたすことがあるため、内視鏡
画像を画像処理して回転補正するイメージローテータが
用いられている。そこで、操作性向上のためこのイメー
ジローテータのスイッチを、例えば図3に示す内視鏡の
操作部に設ける。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、2
次側のボンディングパット位置を変更するのみで、固体
撮像装置を小型化できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1ないし図3は本発明の第1実施例に係り、
図1は固体撮像ユニットを示す断面図、
【図2】固体撮像装置のワイヤボンディングを示す説明
図、
【図3】固体撮像ユニットを挿入部先端部に組み込んだ
ビデオ内視鏡装置を示す概略説明図、
【図4】本発明固体撮像ユニットの第2実施例に係り、
(A)は正面図、(B)は側面図、
【図5】本発明固体撮像ユニットの第3実施例に係り、
(A)は正面図、(B)は側面図、
【図6】本発明固体撮像ユニットの第4実施例に係り、
(A)は断面図、(B)は(A)の縦断面図、(C)は
平面図、
【図7】本発明撮像ユニットの第5実施例に係る撮像素
子チップの平面図、
【図8】本発明撮像ユニットの第6実施例に係り、
(A)は固体撮像素子チップとカバーガラスとを示す側
面説明図、(B)及び(C)はカバーガラスを示す説明
図、
【図9】モニタに表示される内視鏡画像を示す説明図、
【図10】従来の固体撮像ユニットを示す断面図、
【符号の説明】
18…固体撮像ユニット 23…固体撮像素子チップ 24…回路基板 27…カバーガラス 28…ボンディングパット 29…2次側のボンディングパット 30…ボンディングワイヤ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 固体撮像素子チップのボンディングパッ
    トに接続される2次側のボンディングパットを、固体撮
    像素子チップの背面側に設けたことを特徴とする固体撮
    像装置。
JP4696693A 1993-03-08 1993-03-08 固体撮像装置 Withdrawn JPH06260622A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4696693A JPH06260622A (ja) 1993-03-08 1993-03-08 固体撮像装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4696693A JPH06260622A (ja) 1993-03-08 1993-03-08 固体撮像装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06260622A true JPH06260622A (ja) 1994-09-16

Family

ID=12762013

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4696693A Withdrawn JPH06260622A (ja) 1993-03-08 1993-03-08 固体撮像装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06260622A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001120501A (ja) * 1999-10-28 2001-05-08 Olympus Optical Co Ltd 固体撮像装置
JP2002290787A (ja) * 2001-03-23 2002-10-04 Olympus Optical Co Ltd 撮像装置
JP2014000208A (ja) * 2012-06-18 2014-01-09 Olympus Medical Systems Corp 撮像装置及びこの撮像装置を用いた内視鏡

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001120501A (ja) * 1999-10-28 2001-05-08 Olympus Optical Co Ltd 固体撮像装置
JP2002290787A (ja) * 2001-03-23 2002-10-04 Olympus Optical Co Ltd 撮像装置
JP2014000208A (ja) * 2012-06-18 2014-01-09 Olympus Medical Systems Corp 撮像装置及びこの撮像装置を用いた内視鏡

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5220198A (en) Solid state imaging apparatus in which a solid state imaging device chip and substrate are face-bonded with each other
US4757805A (en) Endoscope
WO2011030608A1 (ja) 撮像装置及び撮像装置の製造方法
US8179428B2 (en) Imaging apparatus for electronic endoscope and electronic endoscope
JP2002291693A (ja) 撮像装置
JP5063834B2 (ja) 電子内視鏡システム
JP2828116B2 (ja) 固体撮像装置
WO2019176601A1 (ja) 撮像ユニットおよび斜視型内視鏡
JP4530497B2 (ja) 撮像装置
JP3735163B2 (ja) 固体撮像装置
JP3967469B2 (ja) 内視鏡装置
JPH0990243A (ja) 撮像装置
JP2002136474A (ja) 内視鏡
JP3548467B2 (ja) 撮像装置
JPH06260622A (ja) 固体撮像装置
JP2902734B2 (ja) 固体撮像素子
JP4938936B2 (ja) 固体撮像装置
JPH10248804A (ja) 撮像装置
JP3698839B2 (ja) 内視鏡装置
JPH04106974A (ja) 固体撮像装置
JP4197767B2 (ja) 固体撮像装置
JP7176858B2 (ja) 撮像ユニットおよび斜視型または側視型内視鏡
JP2002131656A (ja) 撮像装置
JP3230801B2 (ja) 内視鏡
JPS6363425A (ja) 電子内視鏡

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20000509