JP2013546009A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 回転可能な軸（３４）に配置され、かつ、少なくとも１つの偏向ミラー（３１．１，３１．２，３２．１，３２．２）を備えた少なくとも１つのミラーユニット（３１，３２）と、前記回転可能な軸（３４）を駆動する駆動ユニット（３３）とを有する、光学測定装置用の偏向ミラー配置であって、前記少なくとも１つのミラーユニット（３１，３２）が、少なくとも２つの偏向ミラー（３１．１，３１．２，３２．１，３２．２）を備え、該偏向ミラーが、前記回転可能な軸（３４）に対して径方向に離間するように共通水平面に配置され、前記駆動ユニット（３３）の少なくとも一部が、前記２つの偏向ミラー（３１．１，３１．２，３２．１，３２．２）の間の空間に配置されるものにおいて、
   前記少なくとも１つのミラーユニットは、少なくとも２つの送信偏向ミラー（３１．１，３１．２）を有する送信ミラーユニット（３１）と、少なくとも２つの受信偏向ミラー（３２．１，３２．２）を有する受信ミラーユニット（３２）を含み、
   穴（３５．１）を有する前記キャリアプレート（３５）に径方向に離間するように配置された２つの送信偏向ミラー（３１．１，３１．２）を有する送信ミラーユニット（３１）と、２つの受信偏向ミラー（３２．１，３２．２）を有する受信ミラーユニット（３２）とが、互いに軸方向に離間するように前記共通の回転可能な軸（３４）に配置されている
   ことを特徴とする偏向ミラー部品。
2. 前記駆動ユニット（３３）は、前記２つの送信偏向ミラー（３１．１，３１．２）の間の空間に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の偏向ミラー部品。
3. 前記少なくとも２つの偏向ミラー（３１．１，３１．２，３２．１，３２．２）は、キャリアプレート（３５）に配置され、前記駆動ユニット（３３）は、前記キャリアプレート（３５）の穴（３５．１）に配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の偏向ミラー部品。
4. 前記キャリアプレート（３５）の前記穴（３５．１）の端に、カラーが形成されていることを特徴とする、請求項３に記載の偏向ミラー部品。
5. 前記受信偏向ミラー（３２．１，３２．２）は、径方向に離間するようにキャリアボディ（３８）の側に固定されることを特徴とする請求項１から４のうちのいずれか一項に記載の偏向ミラー部品。
6. 前記回転可能な軸（３４）の回転角度を判断するために検査可能な符号化ディスク（３７）が、前記送信ミラーユニット（３１）と前記受信ミラーユニット（３２）との間で、前記キャリアプレート（３５）の下に配置されることを特徴とする請求項１から５のうちのいずれか一項に記載の偏向ミラー部品。
7. 前記駆動ユニット（３３）は、ステッパモータとして構成されることを特徴とする請求項１から６のうちのいずれか一項に記載の偏向ミラー部品。
8. 前記回転可能な軸（３４）は、両側に取り付けられる、ことを特徴とする請求項１から７のうちのいずれか一項に記載の偏向ミラー部品。
9. 少なくとも１つの光送信器（１４）と、少なくとも１つの光受信器（２４）と、少なくとも１つのミラーユニット（３１，３２）を有する偏向ミラー部品（３０）と、を備え、前記偏向ミラー部品が、回転可能な軸（３４）に配置され、かつ、少なくとも１つの偏向ミラー（３１．１，３１．２，３２．１，３２．２）と、前記回転可能な軸（３４）を駆動する駆動ユニット（３３）とを有する、光学測定装置であって、
   前記偏向ミラー部品（３０）は、請求項１から８のうちのいずれか一項に記載の偏向ミラー部品であることを特徴とする光学測定装置。