JP2013544322A - 蒸着ユニット及び真空コーティング装置 - Google Patents

Abstract

ウェブをコーティングするための真空コーティング装置は、第１の回転可能なコーティングドラム（１１）と、第１ドラム（１１）と平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラム（１２）を含み、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間には少なくとも１つのウェブ（１５）を搬送するためのギャップ（１７）が形成されている。第１の蒸着器（２１）は、第１の蒸着ビーム（３１ｂ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２１ａ）を有し、第１の蒸着器（２１）は、第１のコーティングドラム（１１）の隣に配置されている。第２の蒸着器（２２）は、第２の蒸着ビーム（３２ｂ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２２ａ）を有し、第２の蒸着器（２２）は、第２のコーティングドラム（１２）の隣に配置されている。第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、互いに対して傾斜している。

Description

発明の背景

（発明の分野）
本明細書内で説明される実施形態は、ウェブのコーティング用の真空コーティング装置に関する。より具体的には、少なくとも１つの蒸着源と、少なくとも２つのコーティングドラムを有する真空コーティング装置の実施形態を説明する。更なる実施形態は、少なくとも２つのコーティングドラムと、互いに対して傾斜している少なくとも２つの蒸着源を有する真空コーティング装置に関する。更なる実施形態は、互いに対して傾斜している蒸着源を有する蒸着ユニットに関する。

（関連技術の説明）
材料オーバーレイを有する箔又はフィルムなどのコーティングウェブ用にコーティング装置が使用される。コーティング装置は、蒸着源とコーティングドラムとの間に形成された堆積ゾーンを通ってウェブを搬送するコーティングドラムに向けられた蒸着源を含む。蒸着源から蒸着した材料は、特定の開き角を有する「蒸着ビーム」を形成し、これによって蒸着した材料は広がる。ウェブ上への蒸着材料の堆積を制限するために、及びコーティング装置の他の領域への堆積を避けるために、保護すべき領域を覆う遮蔽手段が提供される。これらの遮蔽手段は、定期的に清掃する必要がある。また、かなりの量の蒸着した材料が、これらの遮蔽手段上に堆積され、したがってこれらは無駄になり、歩留まりを減少させる。

したがって、真空コーティング装置を改良する必要がある。

上記に鑑み、請求項１に係る真空コーティング装置が提供される。また、請求項９に係る真空コーティング装置が提供される。更に、請求項１４に係る真空コーティング装置が提供される。更に、請求項１７に係る蒸着ユニットが提供される。また、請求項２０に係るウェブをコーティングする方法が提供される。

一実施形態によると、ウェブをコーティングするための真空コーティング装置が提供される。この装置は、真空チャンバと、第１の回転可能なコーティングドラムと、第１ドラムと平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラムを含み、第１及び第２のコーティングドラムの間には少なくとも１つのウェブを搬送するためのギャップが形成されている。第１の蒸着器は、第１の蒸着ビームを生成するための少なくとも１つの蒸着源を含み、第１のコーティングドラムの隣に配置されている。第２の蒸着器は、第２の蒸着ビームを生成するための少なくとも１つの蒸着源を含み、第２のコーティングドラムの隣に配置されている。第１及び第２の蒸着器は、互いに対して傾斜している。

一実施形態によると、蒸着ユニットが提供される。蒸着ユニットは、第１の蒸着ビームを生成するための少なくとも１つの蒸着源を有する第１の蒸着器と、第２の蒸着ビームを生成するための少なくとも１つの蒸着源を有する第２の蒸着器を含む。第１及び第２の蒸着器は互いに対して傾斜している。

一実施形態によると、ウェブをコーティングするための方法が提供される。本方法は、第１の回転可能なコーティングドラムと、第１ドラムと平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラムを提供する工程であって、第１及び第２のコーティングドラムの間にはギャップが形成されている工程と、第１の蒸着方向から第１の蒸着器からの材料を蒸発させ、第２の蒸着方向から第２の蒸着器からの材料を蒸発させることによって、第１及び第２のコーティングドラムの表面に隣接して共通の蒸着ゾーンを形成する工程と、第１のコーティングドラム及び／又は第２のコーティングドラムによって、共通の蒸着ゾーンを通して少なくとも１つのウェブを搬送する工程を含む。

本発明の上述した構成を詳細に理解することができるように、上記に簡単に要約した本発明のより具体的な説明を、実施形態を参照して行う。実施形態のいくつかは添付図面に示されている。しかしながら、添付図面は本発明の典型的な実施形態を示すに過ぎず、したがってこの範囲を制限していると解釈されるべきではなく、本発明は他の等しく有効な実施形態を含み得ることに留意すべきである。
２つの蒸着源と２つのコーティングドラムが互いに平行に配置された真空コーティング装置の一実施形態を示す。 一実施形態に係るコーティングドラムに対する蒸着源の構成を示すための２つの蒸着源を有する真空コーティング装置の拡大断面を示す。 一実施形態に係るコーティングドラムに対する蒸着源の構成を示すための２つの蒸着源を有する真空コーティング装置の拡大断面を示す。 一実施形態に係るコーティングドラムに対する蒸着源の構成を示すための２つの蒸着源を有する真空コーティング装置の拡大断面を示す。 １つの蒸着源と２つのコーティングドラムが互いに平行に配置された真空コーティング装置の一実施形態を示す。 ２つの蒸着源と１つのコーティングドラムを有する真空コーティング装置の一実施形態を示す。 １つの蒸着源と２つのコーティングドラムが互いに平行に配置された真空コーティング装置の一実施形態を示す。 ２つの蒸着源と２つのコーティングドラムが互いに平行に配置された真空コーティング装置の一実施形態を示す。 １以上の実施形態に係る真空コーティング装置を示す。 １以上の実施形態に係る蒸着器ユニットを示す。 〜 蒸着源の蒸着ビームを示す。 １以上の実施形態に係る互いに平行に配置された２つのコーティングドラムの平面図を示す。

理解を促進するために、図面に共通する同一の要素を示す際には可能な限り同一又は類似の参照番号を使用している。一実施形態で開示される要素を特定の参照なしに他の実施形態で有益に使用してもよいと理解される。

詳細な説明

本明細書内で説明される実施形態は、真空チャンバ内に配置された少なくとも１つのコーティングドラムによって搬送されるウェブのコーティングなどの多様なコーティングプロセス用に使用することができる。

以下の詳細な説明において、本明細書の一部を形成する添付の図面が参照され、その中で本発明を実施可能な特定の実施形態が例示によって示されている。この点で、方向に関する用語（例えば、「上部」、「底部」、「前」、「後」、「先頭」、「末尾」等）は、記載されている図の向きを参照して使用される。実施形態の構成要素は、多くの異なる向きに配置することができるので、方向に関する用語は、図解の目的で用いられ、決して限定するものではない。他の実施形態を用いてもよく、構造的又は論理的な変更をしてもよいことが理解されるべきである。したがって、以下の詳細な説明は、限定的な意味で解釈されるべきではない。説明される実施形態は、特定の言葉遣いを用いており、添付の特許請求の範囲を限定するものとして解釈されるべきではない。

特に断りのない限り、本明細書に記載の様々な例示的実施形態の構成は、互いに組み合わせ可能なことを理解すべきである。例えば、一実施形態の一部として例示又は説明した構成は、更なる一実施形態を得るために、他の実施形態の構成と組み合わせて使用することができる。本説明には、そのような修正及び変形を含むことが意図される。

本明細書の目的のために、「横方向」という用語は、コーティングドラムの方向に垂直で、コーティングドラムの回転軸を結ぶ接続線に対して実質的に平行な方向を表すことを意図している。「コーティングドラムの後方」という用語は、蒸着源に対してコーティングドラムの後方に配置される領域を表すことを意図している。したがって、「コーティングドラムの前方」という用語は、１又は複数のコーティングドラムと蒸着源との間にある領域を表すことを意図している。

図１は、一実施形態に係る真空コーティング装置１００を示しており、この装置は本明細書に記載する他の実施形態と組み合わせ可能である。真空コーティング装置１００は、第１のコーティングドラム１１が周囲を回転可能な回転軸１１ａを有する第１のコーティングドラム１１を含む。図１は、第１のコーティングドラム１１の幾何学的中心としての軸１１ａを示している。真空コーティング装置１００は、第２のコーティングドラム１２が周囲を回転可能な回転軸１２ａを有する第２のコーティングドラム１２を更に含む。図１は、第２のコーティングドラム１２の幾何学的中心としての軸１２ａを示している。第１及び第２のコーティングドラム１１と１２は、それらの軸１１ａと１２ａが互いに平行に配置されるように互いに配置されている。ギャップ１７が、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２の外周面２５と２６の間に形成されている。

第１及び第２のコーティングドラム１１と１２の並列配置は、以下に更に説明するように、コーティングドラムと接触しながら、ウェブ１５をコーティングすることができる利用可能な面を増加させる。これは、例えば、単一の大きなコーティングドラムを使用した真空コーティング装置と比較して、より小さなコーティングドラムの使用を可能にする。より小さなコーティングドラムを使用すると、真空コーティング装置の小型化を図ることができる。更に、コーティングドラムを回転させるために必要な駆動力を低減させることができる。本明細書に記載される１以上の実施形態と組み合わせ可能な実施形態では、ウェブ１５は、回転している第１及び第２の回転コーティングドラム１１と１２の外表面２５と２６によって支持され、それらの一部に接触しながらコーティングされる。

ギャップ１７は、以下で更に説明するように、例えば、上部チャンバと下部チャンバの間の圧力差を維持するために、比較的小さくすることができる。ギャップ１７は、約１ｍｍ〜約６０ｍｍの範囲内とすることができる。更に、コーティングドラム１１、１２の半径Ｒとギャップ１７の幅Ｄの間の比Ｒ／Ｄは、約５００〜約１の範囲内とすることができる。例えば、比Ｒ／Ｄは、１５以上とすることができる。本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な実施形態によると、比Ｒ／Ｄは、１００以上とすることができる。

図１に示される実施形態では、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２の両方は、同一の半径Ｒを有する。更なる実施形態では、第１のコーティングドラム１１は、第２のコーティングドラム１２よりも大きな半径を有することができる。あるいはまた、第１のコーティングドラム１１は、第２のコーティングドラム１２よりも小さな半径を有することができる。

真空コーティング装置１００は、少なくとも１つの蒸着源２１ａを有する少なくとも１つの第１の蒸着器２１を更に含む。典型的には、真空コーティング装置１００は、各々が蒸着源２１ａを有する複数の第１の蒸着器２１を含む。あるいはまた、第１の蒸着器２１は、複数の蒸着源２１ａを含む。個々の第１の蒸着器２１があるかどうか、又は複数の蒸着源２１ａを有する唯一の第１の蒸着器２１があるかどうかに関係なく、蒸着源２１ａは、第１及び第２のコーティングドラム１１、１２の回転軸１１ａ、１２ａに平行な線に沿って配置することができる。そして、蒸着源２１ａは、軸１１ａに平行な第１の列内に配置される。図１は軸１１ａ、１２ａに沿った投影を示しているので、１つの蒸着源２１ａのみが示されている。第１の蒸着器２１は、第１のコーティングドラム１１の隣に配置されている。第１の蒸着器２１は、特に、第１の蒸着器２１の蒸着源２１ａは、第２のコーティングドラム１２よりも第１のコーティングドラム１１の近くに配置されている。

蒸着源２２ａを有する第２の蒸着器２２は、第２のコーティングドラム１２の隣に配置することができる。第２の蒸着器２２は、特に、第２の蒸着器２２の蒸着源２２ａは、第１のコーティングドラム１１よりもむしろ第２のコーティングドラム１２の近くに配置されている。第２の蒸着器２２は、第１の蒸着器２１と同様の構成を有することができる。例えば、第２の蒸着器２２は、軸１２ａに平行な第２の列内に配置される複数の蒸着源２２ａを含むことができる。第１及び第２の列の蒸着源２１ａ、２２ａは、後述するように、互いに対して横方向にずれている。

第１及び第２の蒸着器２１と２２は、それぞれの蒸着ビーム３１ｂと３２ｂを生成するように構成され、これらを蒸着材料の蒸着ローブ又は放射ローブとも呼ぶことができる。蒸着ビーム３１ｂと３２ｂの各々は、材料が蒸発するそれぞれの蒸着源２１ａと２２ａの表面に対して典型的には法線方向である主蒸着方向３１ａと３２ａを有する。当業者は、各蒸着源２１ａ、２２ａは、所定の空間的な広がりを有していることを理解するであろう。したがって、蒸着源は、材料が蒸発する領域として画定される。上述したように、第１及び第２の蒸着器２１と２２の各々は、少なくとも１つの蒸着源２１ａと２２ａを含むことができる。蒸着源は、互いに別個であり、離間している。例えば、蒸着器は、金属を溶融するように構成されたセラミックスのるつぼ又はボートを含むことができる。るつぼは、導電性セラミックスで作り、直接電流を通すことによって加熱することができる。誘導加熱は、別の選択肢である。更なる選択肢は、電子ビーム加熱である。したがって、蒸着源は、材料が加熱によって蒸発する熱源である。溶融金属の領域が、実際の蒸着源を形成する。図１では、蒸着ビーム３１ｂ、３２ｂを破線によって示している。

溶融金属は通常、るつぼの所定の領域を覆う又は濡らす。溶融金属によって湿潤したるつぼ表面の向きは、これに直交する主蒸着方向を決定する。したがって、所与の向きにるつぼを配置することによって、主蒸着方向を変化させることができる。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２の蒸着器２１と２２は、第１及び第２の軸１１ａと１２ａに垂直に投影して見たとき、千鳥状に配置することができる。図８及び１０は、各々が１つの蒸着源２１ａを有する複数の第１の蒸着器２１と、各々が複数の蒸着源を有する複数の第２の蒸着器２２を示すことによって、これを説明している。本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な更なる実施形態では、第１及び第２の蒸着器２１と２２は、互いに離間した２列の蒸着源を有する単一の蒸着器ユニットに融合可能である。

当業者は、蒸着ビーム３１ｂと３２ｂ内で蒸着材料の分布が一様ではなく、蒸着ビームの中心から、ここで破線３１ｂと３２ｂによって示されるそれらの境界に向かって減少することを理解するであろう。また、蒸着ビーム３１ｂ、３２ｂは、所定の開口角度を有する。蒸着ビームは典型的には、蒸着材料の空間的分布のため、明確な境界をもたない。単なる例示目的のためであり、いかなる意味においても限定することを意図していないが、表面から約１８０ｍｍ離間されたＡｌ蒸着源を考える。蒸着源は、約３０ｍｍの横寸法を有する。蒸着源は、堆積層の端部における層の厚さが堆積層領域の中央における層の厚さのわずか約１０％である、約８０〜１００ｍｍの横方向の広がりを有する表面上に堆積されたＡｌ層領域をもたらす所定の温度で蒸着ビームを生成する。

図１に示されるように、第１の蒸着器２１の蒸着ビーム３１ｂは、第１のドラム１１の表面に対して傾斜している。蒸着ビーム３１ｂの主蒸着方向３１ａは、軸１１ａに沿って投影して見たとき、第１の蒸着器２１の蒸着源２１ａと第１のコーティングドラム１１の軸１１ａの間の仮想線に対して傾斜している。また、第２の蒸着器２２の蒸着ビーム３２ｂは、第２のドラム１２の表面に対して傾斜している。蒸着ビーム３２ｂの主蒸着方向３２ａは、軸１２ａに沿って投影して見たとき、第２の蒸着器２２の蒸着源２２ａと第２のコーティングドラム１２の軸１２ａの間の仮想線に対して傾斜している。したがって、蒸着ビーム３１ｂと３２ｂの主蒸着方向３１ａと３２ａは、垂直ではあるが、特定の入射角であり、それぞれ最も近いコーティングドラム１１と１２の外表面２５と２６には衝突しない。

更に、蒸着ビーム３１ｂと３２ｂは、互いに対して傾斜させることができる。上述したように、蒸着ビーム３１ｂと３２ｂの方向は、蒸着源２１ａと２２ａの方向によって画定することができる。蒸着ビーム３１ｂと３２ｂを互いに対して傾斜させるために、蒸着源２１ａと２２ａが、互いに対して傾斜している。図１は、軸１１ａと１２ａに沿って投影して見たときに、蒸着源２１ａと２２ａが互いに対して傾斜しており、これによって蒸着ビーム３１ｂと３２ｂが互いに向かって傾斜され、互いに重なっていることを示している。こうして、共通の堆積ゾーン又は共通の蒸着雲（クラウド）が形成される。

上述のように、第１及び第２の蒸着源２１ａと２２ａは、軸１１ａと１２ａに平行な方向にずらすことができる。例えば、複数の蒸着源２１ａと２２ａは、千鳥状に配置することができる。したがって、「互いに向かって傾斜」という用語は、軸１１ａと１２ａに沿って投影して見たときの方向に関する。

第１及び第２コーティングドラム１１と１２は、それらの外周面２５と２６に沿った堆積ゾーンを通してコーティングされるウェブ１５を搬送する。図１に示されるように、ウェブ１５は、第２のコーティングドラム１２の下半分の周りで搬送され、ギャップ１７を通過し、ガイドローラ１８によってギャップ１７を通って案内されて戻り、その後第１のコーティングドラム１１の下半分に沿って搬送される。第１及び第２のコーティングドラム１１と１２は、ウェブ１５をコーティングすることができる大きなコーティング領域を共に形成する。ガイドローラ１８の使用により、ウェブ１５は、第２のコーティングドラム１２によって搬送されたときに起こる第１のコーティングと、第１のコーティングドラム１１によって搬送されたときに起こる第２のコーティングによって、「二重」コーティングされる。第１及び第２のコーティングドラム１１と１２は、同じ回転方向を有する。

第１及び第２のコーティングドラム１１と１２と共にガイドローラ１８も冷却することができる。また、ガイドローラ１８のみを冷却することも可能である。あるいはまた、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２のみを冷却することもできる。

蒸着器２１と２２の傾斜配置は、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２の横方向外側の外側領域における材料の堆積を回避又は少なくとも大幅に低減する。これらの外側領域は、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２のギャップ１７に面した側とは反対側に配置されている。したがって、傾斜した構成は、ウェブ１５上に堆積された材料の、コーティング装置内の他の表面（例えば、遮蔽手段）上に堆積された材料に対する比率を増加させる。したがって、コーティングプロセスは効率的となり、歩留まりを増加させ、生産コストを低減させる。これはまた、所定の時間内により多くの材料を堆積させることができるので、ウェブ１５の搬送速度を増加させることができる。

第１及び第２の蒸着器２１と２２の傾斜配置を用いることによって、例えば、最大９０％、及び更にそれ以上のコーティング効率が得られる。これは、６０％以下のコーティング効率を有する同じ方向に向いた複数の蒸着源を有する一般的に使用される蒸着器ユニットに比べて大きな改善である。

遮蔽手段上への材料堆積の減少は、多くの理由のために有用である。遮蔽手段は、典型的には、所望の領域内に堆積を制限し、堆積から他の領域を保護するために使用される。例えば、横方向の遮蔽手段は、「成形」堆積ゾーンに提供することができる。本明細書に記載されるような傾斜配置は、堆積ゾーンを成形する、又は集束させるために使用することができ、これによっていくつかの用途においては、堆積ゾーンを制約する追加の遮蔽手段が必要とされない。しかしながら、例えば、蒸着ビーム３１ｂと３２ｂの「外側」領域からの材料の堆積を回避すべき場合は、オプションで遮蔽手段を使用することもできる。蒸着ビーム３１ｂと３２ｂは、特定の領域のみを覆うように示されているが、程度は少ないにせよ、蒸着ビームの外側の領域にも材料が蒸着されることを当業者は理解するであろう。しかしながら、この少量が堆積されると、コーティング層を劣化させる可能性がある。例えば、ウェブは、しばしば反射面を得るために、アルミニウムでコーティングされる。技術的に有用な蒸着ビームの「外側」から堆積された材料は、反射率を低減させる可能性がある。これを回避するために、遮蔽手段を設けることができる。

遮蔽手段上への蒸着材料の堆積の低減は更に、クリーニングを高い頻度で行う必要がないので、真空コーティング装置のクリーニングを容易にする。

例えば、第１及び第２の蒸着器２１と２２の蒸着源２１ａと２２ａは、仮想接続線１３に直交し、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２のそれぞれの軸１１ａと１２ａを通過する垂線６５内に配置することができる。仮想線１３は、第１のコーティングドラム１１の回転軸１１ａを第２のコーティングドラム１２の回転軸１２ａと接続する。換言すれば、蒸着源２１ａと２２ａは、２＊Ｒ＋Ｄ未満、典型的にはギャップ１７の幅Ｄは半径Ｒよりもはるかに小さいので、典型的には２＊Ｒ未満とすることができる距離Ｌだけ互いに対して離間している。本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態では、Ｌは半径Ｒ以下である。距離Ｌは、例えば、１５０ｍｍ〜２００ｍｍとすることができる。

蒸着源２１ａと２２ａを、互いに比較的小さな距離で、例えば２＊Ｒ未満の距離に配置する場合、蒸着ビーム３１ｂと３２ｂのそれぞれの「外側」の境界は内側にシフトし、これによって軸１１ａと１２ａに沿って投影して見たときに、それぞれのコーティングドラム１１と１２の横方向外側端部から境界はより離れる。これは、横方向外側の領域から離れて、コーティングドラム１１と１２の間の中心に向かって堆積を集束し、したがって材料がコーティングドラム１１と１２の横方向外側に横方向に堆積される可能性を低減させる。

上記のように互いに向かって蒸着器２１と２２を傾けるとき、この効果はより顕著である。蒸着器２１と２２のそれぞれの外側端部を、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２の共通の中心に向かって傾斜させることができる。

第１及び第２の蒸着器２１と２２は、仮想接続線１３に対して垂直に構成された垂線１４に横方向に間隔を空けて配置することができる。垂線１４は、ギャップ１７を通過する。距離ｄ１とｄ２によるそれぞれの横方向のずれは、特定のニーズに応じて選択することができる。距離ｄ１とｄ２は同一であってもよい。あるいはまた、距離ｄ１とｄ２は、互いに異なっていてもよい。例えば、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２が同じ半径Ｒを有する場合、典型的にはｄ１はｄ２に実質的に等しい。異なる半径のコーティングドラムを使用する場合、ｄ１はｄ２と異なることが可能である。

ウェブ１５は、任意の適切な帯状のフレキシブルな材料とすることができる。典型的な例は、箔である。コーティングされた箔は食品包装材料として使用することができる。蒸着材料は、好適に蒸着可能な任意の材料（例えば、金属又は誘電体材料）とすることができる。一例はアルミニウムである。別の一例は銅である。材料は、加熱された蒸着器内で溶融されるワイヤとして供給することができる。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な実施形態によると、蒸着器２１と２２は、蒸着材料が、それぞれの蒸着源２１ａと２２ａから直線に沿ってギャップ１７を通過することができないように配置されている。これは、図１の拡大詳細図を示す図２Ａに示されている。第１及び第２の蒸着器２１と２２の蒸着源２１ａと２２ａは、互いに対して、及びギャップ１７を通る線１４に対しても傾斜してコーティングドラム１１及び１２の方に向いている。用語「方に向く」は、各蒸着源の主蒸着方向が、示された方向を指すことを記述することを意図している。

蒸着源２１ａと２２ａは、ギャップ１７を通過し、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２の共通接線である線６１と６２によって構成することができる領域６３の外側に配置されている。各線６１と６２は、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２の両方の接線を形成している。これらの線６１と６２は、線１４を中心とする領域６３を制約する。領域６３は灰色で示されている。領域６３の外側に蒸着される材料は、直線に沿って直接ギャップ１７を通過することはできない。第１及び第２のコーティングドラム１１と１２は、蒸着材料がギャップ１７を通過するのを防ぐギャップ１７用の遮蔽を形成する。したがって、堆積ゾーンは、実質的にギャップ１７の「前方」にある領域に制限される。

上記のように蒸着源２１ａと２２ａを配置する場合は、ギャップ１７の前方にも後方にも、遮蔽手段を必要としない。これは、定期的に清掃する必要がある遮蔽手段上に材料が堆積しないので、歩留まりを更に向上させる。

図２Ａに示されるように、蒸着源２１ａと２２ａは、主蒸着方向３１ａと３２ａの幾何学的な延長線が、ギャップ１７の後方に配置される点Ｐ（ここでは図示せず）で交差するように配置されている。こうすることによって、蒸着材料はより均一に堆積ゾーン内に分散され、単一の領域に集束しない。一方、蒸着ビーム３１ｂと３２ｂは互いに向かって傾斜しているので、蒸着ゾーン内の蒸着材料の密度は増加し、これは蒸着源２１ａと２２ａをより離れた距離に配置可能とし、例えばウェブ１５の熱応力を低減させることができる。更に、ウェブ１５の搬送速度を増加させることができる。

図２Ｂは、本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な別の一実施形態を示す。第１及び第２の蒸着器２１と２２の構成は、第１及び第２の蒸着器２１と２２が、互いに向かってより傾斜している以外は、図２Ａに示されたものと同様であり、主蒸着方向３１ａと３２ａの幾何学的交点Ｐは、ギャップ１７の前方に配置されている。これは、蒸着材料の濃度を更に増加させ、これはまた、蒸着源２１ａと２２ａと、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２の表面との間の距離を増加可能にする。

蒸着ビーム３１ｂと３２ｂは、コーティングドラム１１と１２の表面２５と２６に到達する前に、軸１１ａと１２ａの法線方向に投影して見たとき、本実施形態では互いに「交差」している。特に、第１のコーティングドラム１１の隣に配置された第１の蒸着器２１は、第２のコーティングドラム１２の方に向けられており、一方、第２のコーティングドラム１２の隣に配置された第２の蒸着器２２は、第１のコーティングドラム１１の方に向けられており、これによって「クロス蒸着」が起こる。

第１の蒸着源２１ａからの蒸着材料は、第１のコーティングドラム１１の外表面２５を「通過する」。第１の蒸着源２１ａによる第１コーティングドラム１１上への堆積も発生する。材料は、第１のコーティングドラム１１の表面２５の法線に対して傾斜した角度で堆積される。同様に、第２の蒸着源２２ａからの第２のコーティングドラム１２上への堆積も発生する。したがって、ウェブ１５は、第１のコーティングドラム１１の表面２５上にあるとき、第１及び第２の蒸着源２１と２２の両方の蒸着源２１ａと２２ａによってコーティングされる。同様に、ウェブ１５は、第２のコーティングドラム１２の表面２６上にあるとき、第１及び第２蒸着源２１と２２の両方の蒸着源２１ａと２２ａによってコーティングされる。

１つの蒸着源に対する第１及び第２のコーティングドラム１１と１２上への堆積の割合は、ドラム面２５と２６の法線に対する傾斜角度と、コーティングドラム１１と１２までの距離によって調整することができる。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第２のコーティングドラム１２上への第１の蒸着器２１からの堆積は、第１コーティングドラム１１上への第１の蒸着器２１からの堆積が起こる角度よりも大きな角度で起こることができる。角度は、主蒸着方向がそれぞれの表面に当たるコーティングドラムの表面に対して定義される。したがって、第１のコーティングドラム１１上への第２の蒸着器２２からの堆積は、第２のコーティングドラム１２への第２の蒸着器２２からの堆積が起こる角度よりも大きな角度で起こることができる。

しかしながら、領域６３内に第１及び第２の蒸着器２１と２２を配置することも可能である。「直線」パスが蒸着源２１ａと２２ａと、ギャップ１７との間に形成されるが、それぞれの蒸着源２１ａと２２ａの主蒸着方向３１ａと３２ａが、それぞれ反対のコーティングドラムの方へ向くように蒸着源２１ａと２２ａを互いに向かって傾斜させることによって、ギャップ１７を通った堆積を著しく低減させることができる。必要に応じて、ギャップ１７を覆うように遮蔽５８を設けることができる。

隣接するコーティングドラムの隣に配置される蒸着源は、図２Ｂ及び図２Ｃに示されるように、隣接するコーティングドラムよりもその蒸着源からより大きな距離に配置された別のコーティングドラムの方に向けられている。図２Ａでは、蒸着源は、それに隣接するコーティングドラムの方に向けられ、蒸着源の遠位に配置された別のコーティングドラムに向かって部分的に傾斜している。

蒸着源２１ａと２２ａ間の傾斜角（主蒸着方向３１ａと３２ａの間の角度で定義される）は、特定のニーズに応じて選択することができ、例えば、約６０°〜約１８０°とすることができる。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、真空コーティング装置２００は、図３に示されるように、第１の蒸着器２１のみを含むことができる。図１及び図２Ａ〜図２Ｃのいずれかに関連して説明したように、第１の蒸着器２１を同様に配置することができる。第１の蒸着器２１は、図２Ａ〜図２Ｃのいずれかに関連して説明したような、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２に対する位置及び配置を有することができる。

図４は、本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な別の一実施形態を示す。真空コーティング装置３００は、唯一のコーティングドラム１１を含む。第１及び第２の蒸着器２１と２２は、上記のように配置することができる。第１及び第２の蒸着器２１と２２の主蒸着方向３１ａと３２ａの幾何学的な延長線は、コーティングドラム１１の表面２５と、コーティングドラム１１によって搬送されるウェブ１５にそれぞれ到達する前に、点Ｐで交差する。そして、点Ｐは、距離Ｂだけコーティングドラム１１の外表面２５から離間される。あるいはまた、点Ｐは、コーティングドラム１１の外表面２５に近く、又は外表面２５上にあることができる。更なる代替形態において、点Ｐは、コーティングドラム１１の外表面２５とその回転軸１１ａとの間に位置することができる。

点Ｐがコーティングドラム１１の外周面から離間されるとき、Ｂは０ｍｍ〜１００ｍｍとすることができる。あるいはまた、点Ｐがコーティングドラム１１「内」にある場合、Ｂは、Ｒをコーティングドラム１１の半径であるとして、約０（表面）〜約−Ｒ（コーティングドラムの中心）の範囲にあることができる。

上述したように、蒸着源２１ａと２２ａを互いに向かって傾斜させることは、単一の蒸着源を用いるよりも、又は同じ方向を向く２つの蒸着源を使用した場合、つまり互いに平行な場合よりも、蒸着材料のより均一な分布を有する、より集束した堆積ゾーンをもたらす。更に、蒸着ビームは、コーティングドラム１１の外周面２５に、したがって、ウェブ１５の表面に、表面に垂直ではなく傾斜した角度をもって衝突する。これはまた、堆積プロセスを改善する。

図５は、本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な真空コーティング装置４００の更なる一実施形態を示す。真空コーティング装置４００は、図１のギャップ１７よりも大きいギャップ１７’によって互いに平行に配置された２つのコーティングドラム１１と１２を含む。ガイドローラ１８は、第１及び第２のコーティングドラム１１と１２の間の中央を通過する垂線１４に対して横方向にずれている。ガイドローラ１８の横方向のずれは、ギャップ１７’を通過する蒸着材料がウェブ１５上に堆積することを保証する。

図６は、本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な真空コーティング装置５００の更なる一実施形態を示す。真空コーティング装置５００は、間にギャップ１７が形成され、互いに平行に配置された２つのコーティングドラム１１と１２を含む。図１とは対照的に、第１のコーティングドラム１１によってウェブ１５’が搬送され、一方、第２のコーティングドラム１２によってウェブ１５”が搬送され、２つのウェブが同時にコーティングされる。コーティングドラム１１と１２は、同じ回転方向を有することができる。あるいはまた、コーティングドラム１１と１２は、反対の回転方向を有することができる。

図７は、本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な真空コーティング装置６００の更なる一実施形態を示す。真空コーティング装置６００は、互いに平行に配置された２つのコーティングドラム１１と１２を含み、２つのコーティングドラム１１と１２の間にはギャップ１７が形成されている。真空コーティング装置６００は、上部チャンバ５１と下部チャンバ５２を有するハウジング５０を含む。巻き戻しドラム４１及び巻取りドラム４２が、上部チャンバ５１内に配置されている。ガイドローラ１８も、上部チャンバ５１内に配置されている。第１及び第２のコーティングドラム１１と１２は、部分的に上部チャンバ５１内に配置され、一方、蒸着源２１と２２が配置された成膜チャンバを形成する下部チャンバ５２内に、両方の下部、例えば下半分が突出している。蒸着材料の痕跡が搬送されたウェブ１５上に堆積する可能性を避けるために、蒸着源２１と２２の側方に遮蔽手段５７を配置することができる。

まず、上部チャンバ５１は、バルブ５３を介して排気することができ、一方、下部チャンバ５２はバルブ５４を介して排気することができる。典型的には、上部及び下部チャンバ５１と５２の間には圧力差がある。圧力差を維持するために、壁部５５は、わずかなクリアランスのみを残して、コーティングドラムの外周面近くまで延びている。ギャップ１７を比較的小さくして、これによって上部チャンバ５１と下部チャンバ５２の間の真空圧力差を維持することもできる。

図８は、本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な蒸着器ユニット７００の一実施形態を示す。蒸着ユニット７００は、２つの蒸着列７０１と７０１を含む。各列７０１と７０２は、ウェブ１５の移動方向に対して垂直に配置された線７０５に沿って、各列７０１と７０２内に実質的に一定の距離で互いに横方向に間隔を置いた複数の蒸着器７２１と７２２を含む。ウェブ１５はここでは図示していない。第１及び第２のコーティングドラム７１１と７１２は、極細線で示されている。

蒸着器ユニット７００は、例えば、２つの列７０１と７０２に配置された、２５〜３０個の蒸着器７２１と７２２を含むことができる。

列７０１と７０２は、線７０５に沿って互いにずれており、これによって個々の蒸着器７２１と７２２の千鳥配置を得る。更に、各列７０１と７０２の蒸着器７２１と７２２は、コーティングドラムの回転軸に平行な線７０５に沿って見たときに、互いに部分的に重なることができる。

図８に示されるように、列７０１の蒸着器７２１と列７０２の蒸着器７２１は、更に上述したように、互いに対して傾斜しており、共通の蒸着ゾーンを形成している。

蒸着器７２１と７２２は、ここではワイヤ７７０として供給される金属を溶融する加熱るつぼによって形成されている。各るつぼは、それぞれの蒸着ビーム７３２を形成するために細長い形状を有している。図９Ａ及び図９Ｂは、図８で使用されるそれぞれの蒸着器７２１と７２２の蒸着ビーム７３２を示している。

蒸着器７２１と７２２を形成するるつぼは、互いに対して傾斜している。各るつぼは、金属を溶融する金属ワイヤ７７０と共に提供される。ワイヤ７７０の供給速度は、溶融速度が蒸着速度と同様になるように調整することができる。過剰な溶融金属は、溶融金属が傾斜したるつぼから流れ落ちるのを避けるために低減することができる。例えば、溶融金属の供給速度は、るつぼの表面が薄い液体金属膜によってただ湿潤されるように調整することができる。各るつぼ７２１と７２２は、例えば、幅３０ｍｍ、長さ１８０ｍｍとすることができる。

図１０は、本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な蒸着ユニット８００の一実施形態を示す。蒸着ユニット８００は、蒸着器８２１の第１の列８０１と、蒸着器８２２の第２の列８０２を含み、それぞれが各蒸着源８２１ａと８２２ａをそれぞれ含む。図８の蒸着ユニット７００とは異なり、各列８０２と８０２の蒸着器８２１と８２２は、コーティングドラム１１と１２の軸１１ａと１２ａに平行に投影したとき、互いに重ならない。

図１０は更に、コーティングドラム１１と１２のそれぞれの端部を覆う可動の遮蔽手段５６を示している。遮蔽手段５６は、堆積を制限するために、そして異なる大きさのバンド材料を用いた場合に、堆積ゾーンを適応させるために使用される。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、ウェブをコーティングするための真空コーティング装置が提供される。この装置は、真空チャンバと、第１の回転可能なコーティングドラムと、少なくとも１つのウェブを搬送するための第１及び第２のコーティングドラム間に形成されるギャップを有する、第１ドラムと平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラムを含む。第１の蒸着器は、第１の蒸着ビームを生成するように構成された少なくとも１つの蒸着源を含み、第１の蒸着器は、第１のコーティングドラムの隣に配置される。第２の蒸着器は、第２の蒸着ビームを生成するように構成された少なくとも１つの蒸着源を含み、第２の蒸着器は、第２のコーティングドラムの隣に配置される。第１及び第２の蒸着器は、それらの蒸着ビームが互いに対して傾斜するように配置されている。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、ウェブをコーティングするための真空コーティング装置が提供される。この装置は、真空チャンバと、第１の回転可能なコーティングドラムと、少なくとも１つのウェブを搬送するための第１及び第２のコーティングドラム間に形成されるギャップを有する、第１ドラムと平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラムを含む。第１の蒸着器は、第１のコーティングドラムの隣に配置される少なくとも１つの蒸着源を含む。第２の蒸着器は、第２のコーティングドラムの隣に配置される少なくとも１つの蒸着源を含む。第１及び第２の蒸着器は、互いに対して傾斜している。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２の蒸着器の蒸着ビームのそれぞれは主蒸着方向を含み、それぞれの主蒸着方向の幾何学的な延長線は、ギャップの前方に配置された点Ｐで交差する。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２の蒸着器の蒸着ビームのそれぞれは主蒸着方向を含み、それぞれの主蒸着方向の幾何学的な延長線は、ギャップの後方に配置された点Ｐで交差する。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２の蒸着器の蒸着ビームのそれぞれは主蒸着方向を含み、それぞれの主蒸着方向の幾何学的な延長線は、ギャップ内に配置された点Ｐで交差する。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２のコーティングドラムは、ギャップを通してウェブを搬送するように構成され、第１及び第２の蒸着器は、それぞれの蒸着器の蒸着源から見たときに、第１及び第２のコーティングドラムのそれぞれ１つによって視界からギャップが隠されるように、第１及び第２のコーティングドラムに対して配置される。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２のコーティングドラムの各々は半径Ｒを有し、第１及び第２のコーティングドラムの間のギャップは、第１のコーティングドラムの回転軸を第２のコーティングドラムの回転軸とを結ぶ仮想接続線に沿って測定したときに幅Ｄを有し、比Ｒ／Ｄは１５以上、特には１００を超える。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、真空コーティング装置は、ギャップを通してウェブを案内するために、第１及び第２の蒸着器に対して第１及び第２のコーティングドラムの後方に配置されたガイドローラを更に含む。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２の蒸着ビームは、第１及び第２の蒸着器と第１及び第２のコーティングドラムの間に配置された共通の堆積ゾーンを形成する。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、共通の堆積ゾーンは、第１及び第２のコーティングドラムの軸に沿って投影して見たとき、単一の蒸着器によって形成される堆積ゾーンよりも蒸着された材料のより均一な分布を有する。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、真空コーティング装置は、ギャップを通して第１コーティングドラムによって第１ウェブを搬送し、同時にギャップを通して第２コーティングドラムによって第２ウェブを搬送するように構成される。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、ウェブをコーティングするための真空コーティング装置が提供される。装置は、真空チャンバと、第１の回転可能なコーティングドラムと、第１ドラムと平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラムを含み、第１及び第２のコーティングドラムの間にはギャップを通してウェブを搬送するためのギャップが形成されている。ギャップを通して第２のコーティングドラムによって搬送されたときに、ウェブ上に材料を堆積させるために、蒸着源を有する少なくとも１つの第１の蒸着器が、第１のコーティングドラムの隣に配置され、第２のコーティングドラムに向かって傾斜している。第１の蒸着器の蒸着源は、第２コーティングドラムよりも第１のコーティングドラムにより近くに配置され、第１の蒸着器の蒸着源から見たときに、第１のコーティングドラムによってギャップが視界から隠されるように第１及び第２のコーティングドラムに対して配置されている。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、真空コーティング装置は、第１コーティングドラムによって搬送されたときに、ウェブ上に材料を堆積する第１のコーティングドラムに向かって傾斜した蒸着源を有する少なくとも１つの第２の蒸着器を更に含み、第２の蒸着器は、第１のコーティングドラムよりも第２のコーティングドラムにより近くに配置され、第２の蒸着器の蒸着源から見たときに、第２のコーティングドラムによってギャップが視界から隠されるように第１及び第２のコーティングドラムに対して配置されている。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１の蒸着器は第１の主蒸着方向を有し、第２の蒸着器は第２の主蒸着方向を有する。第１の主蒸着方向と第２の主蒸着方向は、第１及び第２のコーティングドラム間に形成されるギャップの後方に配置された点Ｐで交差する。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１の蒸着器は第１の主蒸着方向を有し、第２の蒸着器は第２の主蒸着方向を有する。第１の主蒸着方向と第２の主蒸着方向は、第１及び第２のコーティングドラム間に形成されるギャップの後方に配置された点Ｐで交差する。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２のコーティングドラムの各々は半径Ｒを含む。第１の蒸着器の蒸着源は、コーティングドラムの半径Ｒ未満である距離Ｌによって、第２の蒸着器の蒸着源から離間している。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２のコーティングドラムの半径Ｒは、第１のコーティングドラムと第２の蒸着器の蒸着源との間の距離よりも大きい、及び／又は、第２のコーティングドラムと第１の蒸着器の蒸着源との間の距離よりも大きい。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、ウェブをコーティングするための真空コーティング装置が提供される。真空コーティング装置は、真空チャンバと、回転軸及びウェブを搬送するための面を有する少なくとも１つの回転可能なコーティングドラムと、少なくとも１つの蒸着源を有する第１の蒸着器と、少なくとも１つの蒸着源を有する第２の蒸着器を含む。第１及び第２の蒸着器は、コーティングドラムの隣に配置され、互いに対して傾斜している。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１の蒸着器の蒸着源は、第１の主蒸着方向を有する第１の蒸着ビームを生成するように構成されており、第２の蒸着器の蒸着源は、第２の主蒸着方向を含む第２の蒸着ビームを生成するように構成されている。第１及び第２の蒸着器は、その蒸着ビームが互いに対して傾斜するように配置されている。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、回転軸に平行に投影して見たときに、第１の主蒸着方向と第２の主蒸着方向が、コーティングドラムと第１及び第２の蒸着器の間に配置される点Ｐで交差するように第１及び第２の蒸着器は配置されている。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１の蒸着ビーム（３１ａ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源を備えた第１の蒸着器と、第２の蒸着ビームを生成するための少なくとも１つの蒸着源（２２ａ）を備えた第２の蒸着器を有し、第１及び第２の蒸着器は、互いに対して傾斜している蒸着ユニット又は蒸着装置が提供される。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、蒸着器又は蒸着装置は、第１の蒸着器の第１の列であって、第１の蒸着器の各々は、第１の蒸着ビームを生成するように構成されている第１の列と、第２の蒸着器の第２の列であって、第２の蒸着器の各々は、第２の蒸着ビームを生成するように構成されている第２の列を更に含む。第１及び第２の列は、互いに平行に配置されており、第１の列の第１の蒸着器と第２の列の第２の蒸着器は、第１及び第２の列に沿って投影して見たときに、第１の蒸着器の蒸着ビームが第２の蒸着器の蒸着ビームに対して傾斜するように配置されている。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、第１及び第２の蒸着器は千鳥状に配置されている。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、真空コーティング装置が提供される。真空コーティング装置は、真空チャンバと、軸を有する第１のコーティングドラムと、第１のドラムに平行に配置された軸を有する第２のコーティングドラムであって、第１及び第２のコーティングドラム間にはギャップが形成される第２のコーティングドラムと、ギャップを通して第２のコーティングドラムによって搬送されたときに、ウェブ上に材料を堆積させるための、第２のコーティングドラムへ向けられた蒸着源を有する少なくとも１つの第１の蒸着器を含む。第１の蒸着器の蒸着源は、軸に平行に投影して見たときに、ギャップを通り、第１及び第２のコーティングドラムの両方の接線である第１の仮想線の間に画定された領域の外側に配置される。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、真空コーティング装置は、第１のコーティングドラムによって搬送されたときに、ウェブ上に材料を堆積させるための、第１のコーティングドラムへと向かう蒸着源を有する少なくとも１つの第２の蒸着器を更に含む。第２の蒸着器の蒸着源は、軸に平行に投影して見たときに、第１の仮想線の間に画定された領域の外側に配置される。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、軸は、ギャップを通る仮想接続線に沿って互いに配置されている。第１の蒸着器及び／又は第２の蒸着器の蒸着源は、第１及び第２のコーティングドラムの軸のそれぞれ１つを通り、仮想接続線に垂直である第２の仮想線の間に画定される領域内に配置される。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、ウェブをコーティングための真空コーティング装置が提供される。真空コーティング装置は、真空チャンバと、第１の回転可能なコーティングドラムと、第１ドラムと平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラムを含み、第１及び第２のコーティングドラムの間にはギャップを通してウェブを搬送するためのギャップが形成されている。軸が、ギャップを通過する仮想接続線に沿って互いに対して配置されている。蒸着源を有する少なくとも１つの第１の蒸着器は、ギャップを通して第２のコーティングドラムによって搬送されたときに、ウェブ上に材料を堆積させるために、第２のコーティングドラムの方に向いている。第１の蒸着器は、ギャップを通る蒸着源からの直線が、第１のコーティングドラムによって遮られるように、第１及び第２のコーティングドラムに対して配置されている。

本明細書に記載の１以上の実施形態と組み合わせ可能な一実施形態によると、ウェブコーティングするための方法が提供される。本方法は、第１の回転可能なコーティングドラムと、第１ドラムと平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラムを提供する工程であって、第１及び第２のコーティングドラムの間にはギャップが形成されている工程と、第１の蒸着方向から第１の蒸着器からの材料を蒸発させ、第２の蒸着方向から第２の蒸着器からの材料を蒸発させることによって、第１及び第２のコーティングドラムの表面に隣接して共通の蒸着ゾーンを形成する工程と、第１のコーティングドラム及び／又は第２のコーティングドラムによって、共通の蒸着ゾーンを通して少なくとも１つのウェブを搬送する工程を含む。

上記は本発明の実施形態を対象としているが、本発明の他の及び更なる実施形態は本発明の基本的範囲を逸脱することなく創作することができ、その範囲は以下の特許請求の範囲に基づいて定められる。

Claims (20)

1. ウェブをコーティングするための真空コーティング装置であって、
   真空チャンバ（５０）と、
   第１の回転可能なコーティングドラム（１１）と、第１ドラム（１１）と平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラム（１２）であって、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間には少なくとも１つのウェブ（１５）を搬送するためのギャップ（１７）が形成された第１の回転可能なコーティングドラム（１１）及び第２の回転可能なコーティングドラム（１２）と、
   第１の蒸着ビーム（３１ｂ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２１ａ）を含み、第１のコーティングドラム（１１）の隣に配置された第１の蒸着器（２１）と、
   第２の蒸着ビーム（３２ｂ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２２ａ）を含み、第２のコーティングドラム（１２）の隣に配置された第２の蒸着器（２２）とを含み、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、互いに対して傾斜している真空コーティング装置。
2. 第１及び第２の蒸着器（２１、２２）の各々が主蒸着方向（３１ａ、３２ａ）を含み、夫々の主蒸着方向（３１ａ、３２ａ）の幾何学的な延長線は、ギャップ（１７）の前方に配置された点Ｐで交差する請求項１記載の真空コーティング装置。
3. 第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）は、ギャップ（１７）を通してウェブ（１５）を輸送するように構成され、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、夫々の蒸着器（２１、２２）の蒸着源（２１ａ、２２ａ）から見たときに、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）のそれぞれ１つによってギャップ（１７）が視界から隠されるように第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）に対して配置されている請求項１又は２記載の真空コーティング装置。
4. 第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の各々は半径Ｒを有し、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間のギャップ（１７）は、第１のコーティングドラム（１１）の回転軸（１１ａ）を第２のコーティングドラム（１２）の回転軸（１２ａ）と結ぶ仮想接続線（１３）に沿って測定したときに幅Ｄを有し、比Ｒ／Ｄが１５以上である請求項１〜３のいずれか１項記載の真空コーティング装置。
5. ギャップ（１７）を通してウェブ（１５）を案内するために、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）に対して第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の後方に配置されたガイドローラ（１８）を含む請求項１記載の真空コーティング装置。
6. 第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、第１及び第２の蒸着ビーム（３１ｂ、３２ｂ）が、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）と第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間に配置された共通の堆積ゾーンを形成するように配置されている請求項１〜５のいずれか１項記載の真空コーティング装置。
7. 共通の堆積ゾーンは、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の軸（１１ａ、１２ａ）に沿って投影して見たとき、単一の蒸着器によって形成される堆積ゾーンよりも蒸着された材料のより均一な分布を有する請求項６記載の真空コーティング装置。
8. ギャップ（１７）を通して第１コーティングドラム（１１）によって第１ウェブ（１５’）を搬送し、同時にギャップ（１７）を通して第２コーティングドラム（１２）によって第２ウェブを搬送するように構成された請求項１〜７のいずれか１項記載の真空コーティング装置。
9. ウェブをコーティングするための真空コーティング装置であって、
   真空チャンバ（５０）と、
   第１の回転可能なコーティングドラム（１１）と、第１ドラム（１１）と平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラム（１２）であって、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間にはギャップ（１７）を通してウェブ（１５）を搬送するためのギャップ（１７）が形成された第１の回転可能なコーティングドラム（１１）及び第２の回転可能なコーティングドラム（１２）と、
   ギャップ（１７）を通して第２のコーティングドラム（１２）によって搬送されたときに、ウェブ（１５）上に材料を堆積させるための、第１のコーティングドラム（１１）の隣に配置され、第２のコーティングドラム（１２）に向かって傾斜された蒸着源（２１ａ）を含む少なくとも１つの第１の蒸着器（２１）を含み、第１の蒸着器（２１）の蒸着源は、第２コーティングドラム（１２）よりも第１のコーティングドラム（１１）により近くに配置され、第１の蒸着器（２１）の蒸着源（２１ａ）から見たときに、第１のコーティングドラム（１１、１２）によってギャップ（１７）が視界から隠されるように第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）に対して配置されている装置。
10. 第１コーティングドラム（１１）によって搬送されたときに、ウェブ（１５）上に材料を堆積する第１のコーティングドラム（１１）に向かって傾斜した蒸着源（２２ａ）を含む少なくとも１つの第２の蒸着器（２２）を含み、第２の蒸着器（２２）は、第１のコーティングドラム（１１）よりも第２のコーティングドラム（１２）により近くに配置され、第２の蒸着器（２２）の蒸着源（２２ａ）から見たときに、第２のコーティングドラム（１２）によってギャップ（１７）が視界から隠されるように第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）に対して配置されている請求項９記載の真空コーティング装置。
11. 第１の蒸着器（２１）が第１の主蒸着方向（３１ａ）を含み、第２の蒸着器（２２）が第２の主蒸着方向（３２ａ）を含み、第１の主蒸着方向（３１ａ）と第２の主蒸着方向（３２ａ）は、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）間に形成されるギャップ（１７）の後方に配置された点（Ｐ）で交差する請求項１０記載の真空コーティング装置。
12. 第１及び第２のコーティングドラム（１１、２１）の各々が半径（Ｒ）を含み、第１の蒸着器（２１）の蒸着源（２１ａ）は、コーティングドラム（１１、１２）の半径（Ｒ）未満である距離（Ｌ）によって、第２の蒸着器（２２）の蒸着源（２２ａ）から離間している請求項１０又は１１記載の真空コーティング装置。
13. 第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の半径（Ｒ）は、第１のコーティングドラム（１１）と第２の蒸着器（２２）の蒸着源（２２ａ）との間の距離よりも大きい、及び／又は、第２のコーティングドラム（１２）と第１の蒸着器（２１）の蒸着源（２１ａ）との間の距離よりも大きい請求項９〜１２のいずれか１項記載の真空コーティング装置。
14. ウェブをコーティングするための真空コーティング装置であって、
    真空チャンバ（５０）と、
    回転軸（１１ａ）と、ウェブ（１５）を搬送するための面（２５）を含む少なくとも１つの回転可能なコーティングドラム（１１）と、
    少なくとも１つの蒸着源（２１ａ）を含む第１の蒸着器（２１）と、
    少なくとも１つの蒸着源（２２ａ）を含む第２の蒸着器（２２）であって、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）が、コーティングドラム（１１）の隣に配置され、互いに対して傾斜している第２の蒸着器（２２）を含む真空コーティング装置。
15. 第１の蒸着器（２１）の蒸着源（２１ａ）は、第１の主蒸着方向（３１ａ）を含む第１の蒸着ビーム（３１ａ）を生成するように構成されており、
    第２の蒸着器の蒸着源（２２ａ）は、第２の主蒸着方向（３２ａ）を含む第２の蒸着ビーム（３２ａ）を生成するように構成されており、
    第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、その蒸着ビーム（３１ｂ、３２ｂ）が互いに対して傾斜するように配置されている請求項１４記載の真空コーティング装置。
16. 回転軸（１１ａ）に平行に投影して見たときに、第１の主蒸着方向（３１ａ）と第２の主蒸着方向（３２ａ）が、コーティングドラム（１１）と第１及び第２の蒸着器（２１、２２）の間に配置される点（Ｐ）で交差するように第１及び第２の蒸着器（２１、２２）が配置されている請求項１５記載の真空コーティング装置。
17. 第１の蒸着ビーム（３１ａ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２１ａ）を含む第１の蒸着器（２１）と、
    第２の蒸着ビーム（３２ａ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２２ａ）を含む第２の蒸着器（２２）を含み、
    第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、互いに対して傾斜している蒸着ユニット。
18. 第１の蒸着器（７２１）の第１の列（７０１）であって、第１の蒸着器（７２１）の各々は、第１の蒸着ビーム（７３２）を生成するように構成されている第１の列（７０１）と、
    第２の蒸着器（７２２）の第２の列（７０２）であって、第２の蒸着器（７２２）の各々は、第２の蒸着ビーム（７３２）を生成するように構成され、第１及び第２の列（７０１、７０２）は互いに平行に配置されている第２の列（７０２）を含み、
    第１の列（７０１）の第１の蒸着器（７２１）と第２の列（７０２）の第２の蒸着器（７２２）は、第１及び第２の列（７０１、７０２）に沿って投影して見たときに、第１の蒸着器（７２１）の蒸着ビーム（７３２）が第２の蒸着器（７２２）の蒸着ビーム（７３２）に対して傾斜するように配置されている請求項１７記載の蒸着ユニット。
19. 第１及び第２の蒸着器（７２１、７２２）は千鳥状に配置されている請求項１８記載の蒸着ユニット。
20. ウェブをコーティングするための方法であって、
    第１の回転可能なコーティングドラム（１１）と、第１ドラム（１１）と平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラム（１２）を提供する工程であって、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間にはギャップ（１７）が形成されている工程と、
    第１の蒸着方向から第１の蒸着器（２１）からの材料を蒸発させ、第２の蒸着方向から第２の蒸着器（２２）からの材料を蒸発させることによって、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の表面に隣接して共通の蒸着ゾーンを形成する工程と、
    第１のコーティングドラム（１１）、第２のコーティングドラム（１２）、及びこれらの組み合わせのうちの少なくとも１つによって、共通の蒸着ゾーンを通して少なくとも１つのウェブ（１５）を搬送する工程を含む方法。