KR20180002912A

KR20180002912A - 증발 유닛 및 진공 코팅 장치

Info

Publication number: KR20180002912A
Application number: KR1020177037777A
Authority: KR
Inventors: 슈테판 하인; 게르트 호프만
Original assignee: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Priority date: 2010-12-01
Filing date: 2010-12-01
Publication date: 2018-01-08
Also published as: US20140030435A1; KR20130121905A; CN103249861A; WO2012072132A1; EP2646594A1; JP2013544322A; CN103249861B

Abstract

웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치가 제 1 회전가능한 코팅 드럼(11) 및 상기 제 1 드럼(11)과 평행하게 배치된 제 2 회전가능한 코팅 드럼(12)을 포함하고, 상기 제 1 코팅 드럼(11)과 제 2 코팅 드럼(12) 사이에는 적어도 하나의 웹(15)을 이송하기 위한 갭(17)이 형성된다. 제 1 증발기(21)는 제 1 증발 비임(31b)을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원(21a)을 갖고, 상기 제 1 증발기(21)는 제 1 코팅 드럼(11)의 옆에 배열된다. 제 2 증발기(22)는 제 2 증발 비임(32b)을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원(22a)을 갖고, 상기 제 2 증발기(22)는 제 2 코팅 드럼(12)의 옆에 배열된다. 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)은 서로에 대해서 경사진다.

Description

증발 유닛 및 진공 코팅 장치{EVAPORATION UNIT AND VACUUM COATING APPARATUS}

본원에 기술된 실시예들은 웹(web)을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 적어도 하나의 증발 공급원 및 적어도 2개의 코팅 드럼들을 가지는 진공 코팅 장치들의 실시예들이 설명된다. 추가적인 실시예들은 적어도 2개의 코팅 드럼들 및 서로에 대해서 경사진 적어도 2개의 증발 공급원들을 가지는 진공 코팅 장치들에 관한 것이다. 추가적인 실시예들은 서로에 대해서 경사진 진공 공급원들을 가지는 증발 유닛에 관한 것이다.

코팅 장치들은 재료 오버레이(material overlay)로 호일들 또는 필름들과 같은 웹들을 코팅하기 위해서 이용된다. 코팅 장치는 증발 공급원과 코팅 드럼 사이에 형성된 증착(deposition; 이하에서, 편의상 증착이라 함) 구역을 통해서 웹을 이송하는, 코팅 드럼을 향하여 지향된 증발 공급원을 포함한다. 증발된 재료가 스프레드(spread)되도록, 증발 공급원으로부터 증발된 재료는 특정 개방(opening) 각도를 갖는 "증발 비임(beam)"을 형성한다. 증발된 재료의 증착을 웹 상으로 한정하기 위해서 그리고 코팅 장치의 다른 영역들 상으로의 증착을 피하기 위해서, 차폐(shielding) 수단이 제공되고, 그러한 차폐 수단은 보호하고자 하는 영역들을 커버한다. 이러한 차폐 수단은 규칙적인 간격들로 세정될 필요가 있다. 또한, 증발된 재료의 상당량은 이러한 차폐 수단 상으로 증착되고 그에 따라 폐기되어 산출량(yield)을 감소시킨다.

따라서, 진공 코팅 장치들을 개선할 필요성이 존재한다.

전술한 내용에 비추어 볼 때, 제 1 항에 따른 진공 코팅 장치가 제공된다. 또한, 제 6 항에 따른 진공 코팅 장치가 제공된다. 또한, 제 11 항에 따른 진공 코팅 장치가 제공된다. 또한, 제 14 항에 따른 진공 유닛이 제공된다. 또한, 제 15 항에 따른 웹 코팅 방법이 제공된다.

일 실시예에 따라서, 웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치가 제공된다. 그러한 장치는 진공 챔버, 제 1 회전가능한 코팅 드럼 및 상기 제 1 드럼과 평행하게 배치된 제 2 회전가능한 코팅 드럼을 포함하고, 상기 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에는 적어도 하나의 웹을 이송하기 위한 갭이 형성된다. 제 1 증발기는 제 1 증발 비임을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원을 포함하고, 상기 제 1 증발기는 제 1 코팅 드럼의 옆에 배열된다. 제 2 증발기는 제 2 증발 비임을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원을 포함하고, 상기 제 2 증발기는 제 2 코팅 드럼의 옆에 배열된다. 제 1 및 제 2 증발기들은 서로에 대해서 경사진다.

실시예에 따라서, 증발 유닛이 제공된다. 증발 유닛은 제 1 증발 비임을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원을 가지는 제 1 증발기 및 제 2 증발 비임을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원을 가지는 제 2 증발기를 포함한다. 제 1 및 제 2 증발기들은 서로에 대해서 경사진다.

실시예에 따라서, 웹을 코팅하기 위한 방법이 제공된다. 그러한 방법은 제 1 회전가능한 코팅 드럼 및 상기 제 1 드럼과 평행하게 배치된 제 2 회전가능한 코팅 드럼을 제공하는 단계로서, 상기 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에 갭이 형성되는 제공 단계; 제 1 증발 방향으로부터 제 1 증발기로부터의 재료를 증발시킴으로써 그리고 제 2 증발 방향으로부터 제 2 증발기로부터의 재료를 증발시킴으로써, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들의 표면의 옆에 공통 증발 구역을 형성하는 단계; 제 1 및/또는 제 2 코팅 드럼들에 의해서 상기 공통 증발 구역을 통하여 적어도 하나의 웹을 이송하는 단계를 포함한다.

본 발명의 상기 열거된 특징들이 상세히 이해될 수 있는 방식으로, 앞서 간략히 요약된 본 발명의 보다 구체적인 설명이 실시예들을 참조로 하여 이루어질 수 있는데, 이러한 실시예들의 일부는 첨부된 도면들에 예시되어 있다. 그러나, 첨부된 도면들은 본 발명의 단지 전형적인 실시예들을 도시하는 것이므로 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 간주되지 않아야 한다는 것이 주목되어야 하는데, 이는 본 발명이 다른 균등하게 유효한 실시예들을 허용할 수 있기 때문이다.
도 1은 2개의 증발 공급원들 및 서로에 대해서 평행하게 배열된 2개의 코팅 드럼들을 가지는 진공 코팅 장치의 실시예를 도시한다.
도 2a는 실시예에 따른 코팅 드럼들에 대한 증발 공급원들의 배열을 설명하기 위한, 2개의 증발 공급원들을 가지는 진공 코팅 장치의 확대된 단면도를 도시한다.
도 2b는 실시예에 따른 코팅 드럼에 대한 증발 공급원들의 배열을 설명하기 위한, 2개의 증발 공급원들을 가지는 진공 코팅 장치의 확대된 단면도를 도시한다.
도 2c는 실시예에 따른 코팅 드럼에 대한 증발 공급원들의 배열을 설명하기 위한, 2개의 증발 공급원들을 가지는 진공 코팅 장치의 확대된 단면도를 도시한다.
도 3은 하나의 증발 공급원 및 서로에 대해서 평행하게 배열된 2개의 코팅 드럼들을 가지는 진공 코팅 장치의 실시예를 도해한다.
도 4는 2개의 증발 공급원들 및 하나의 코팅 드럼을 가지는 진공 코팅 장치의 실시예를 도해한다.
도 5는 하나의 증발 공급원 및 서로에 대해서 평행하게 배열된 2개의 코팅 드럼들을 가지는 진공 코팅 장치의 실시예를 도해한다.
도 6은 2개의 증발 공급원들 및 서로에 대해서 평행하게 배열된 2개의 코팅 드럼들을 가지는 진공 코팅 장치의 실시예를 도해한다.
도 7은 하나 또는 둘 이상의 실시예들에 따른 진공 코팅 장치를 도해한다.
도 8은 하나 또는 둘 이상의 실시예들에 따른 증발기 유닛을 도해한다.
도 9a 및 9b는 증발 공급원의 증발 비임을 도해한다.
도 10은 하나 또는 둘 이상의 실시예들에 따라 서로에 대해서 평행하게 배열된 2개의 코팅 드럼들의 평면도를 도해한다.
이해를 돕기 위해서, 가능한 경우에, 도면들에 대해 공통되는 동일한 요소들을 지시하기 위해서 동일하거나 유사한 참조 번호들을 사용하였다. 특별한 언급이 없이도, 일 실시예에 개시된 요소들이 다른 실시예들에서 유리하게 이용될 수 있는 것으로 간주된다.

본원에 기술된 실시예들은, 진공 챔버 내에 배열된 적어도 하나의 코팅 드럼에 의해서 운송되는(conveyed) 웹의 코팅과 같은, 다양한 코팅 프로세스들을 위해서 이용될 수 있다.

이하의 상세한 설명에서, 그 일부를 형성하고 그리고 본 발명이 실행될 수 있는 특정 실시예들을 예로서 도시한 첨부 도면들에 대해 참조한다. 이와 관련하여, "상단부", "하단부", "전방", "후방", "선도(leading)", "추종(trailing)" 등과 같은 "방향적인" 용어가 설명되는 도면(들)의 배향에 대하여 사용된다. 실시예들의 구성요소들이 많은 수의 상이한 배향들로 위치될 수 있기 때문에, 방향적인 용어는 설명의 목적으로 이용되며 그리고 결코 제한적인 것은 아니다. 다른 실시예들이 이용될 수 있고 그리고 구조적 또는 논리적 변화들이 이루어질 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 그에 따라, 이하의 상세한 설명은 제한적인 의미로 받아들여서는 안된다. 설명되는 실시예들은 특별한 언어를 이용하고, 그러한 언어는 첨부된 청구항들의 범위를 제한하는 것으로 해석되지 않아야 한다.

특별하게 달리 언급되지 않은 경우에, 본원에 기술된 여러 가지 예시적인 실시예들의 특징들이 서로 조합될 수 있다는 것이 이해되어야 한다. 예를 들어, 하나의 실시예의 일부로서 설명된 또는 기술된 특징들이 다른 실시예들의 특징들과 함께 이용되어 또한 추가적인 실시예를 초래할 수 있다. 본 설명은 그러한 수정들 및 변경들을 포함하는 것으로 의도된다.

본 명세서의 목적을 위해서, "측방"이라는 용어는 코팅 드럼들의 배향에 대해서 수직이고 그리고 코팅 드럼들의 회전 축을 연결하는 연결 라인에 대해서 실질적으로 평행한 방향을 기술하기 위한 것이다. "코팅 드럼들의 뒤쪽(behind)"이라는 용어는 증발 공급원에 대해서 코팅 드럼들의 뒤쪽에 배열된 영역을 설명하기 위한 것이다. 그에 따라, "코팅 드럼들의 앞쪽(before)"이라는 용어는 코팅 드럼 또는 드럼들과 증발 공급원 사이에 있는 영역을 설명하기 위한 것이다.

도 1은, 본원에 기술된 다른 실시예들과 조합될 수 있는 일 실시예에 따른 진공 코팅 장치(100)를 도해한다. 진공 코팅 장치(100)는 회전 축(11a)을 가지는 제 1 코팅 드럼(11)을 포함하고, 상기 회전 축(11a) 주위에서 상기 제 1 코팅 드럼(11)이 회전 가능하다. 도 1은 상기 축(11a)을 제 1 코팅 드럼(11)의 기하형태적(geometrical) 중심으로서 도시한다. 진공 코팅 장치(100)는 회전 축(12a)을 가지는 제 2 코팅 드럼(12)을 더 포함하고, 상기 회전 축(12a) 주위에서 상기 제 2 코팅 드럼(12)이 회전 가능하다. 도 1은 상기 축(12a)을 제 2 코팅 드럼(12)의 기하형태적 중심으로서 도시한다. 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)의 축들(11a 및 12a)이 서로에 대해서 평행하게 배열되도록, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)이 서로에 대해서 배치된다. 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)의 외측 원주방향 표면들(25 및 26) 사이에 갭(17)이 형성된다.

제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)의 평행한 배열은, 이하에서 추가적으로 설명하는 바와 같이, 웹(15)이 코팅 드럼들과 접촉하는 동안 웹(15)이 코팅될 수 있는 이용가능한 표면을 증대시킨다. 이는, 예를 들어, 하나의 큰 코팅 드럼을 이용하는 진공 코팅 장치들에 대비하여, 보다 작은 코팅 드럼들의 이용을 허용한다. 보다 작은 크기의 코팅 드럼들을 이용할 때, 진공 코팅 장치의 크기가 감소될 수 있다. 또한, 코팅 드럼들을 회전시키기 위해서 필요한 드라이브들이 감소될 수 있다. 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에서, 웹(15)은, 회전하는 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)의 외측 표면들(25 및 26)에 의해서 지지되는 동안, 그리고 상기 외측 표면들의 일부와 접촉하는 동안, 코팅된다.

갭(17)은 비교적 작아서, 예를 들면 이하에서 추가적으로 설명하는 바와 같이, 상부 챔버와 하부 챔버 사이에서 압력 차이를 유지할 수 있다. 갭(17)은 약 1 mm 내지 약 60 mm의 범위 이내일 수 있다. 또한, 코팅 드럼들(11 및 12)의 반경(R)과 갭(17)의 폭(D) 사이의 비율(R/D)이 약 500 내지 약 1의 범위 이내일 수 있다. 예를 들어, 비율(R/D)이 15와 같거나 그보다 더 클 수 있다. 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 비율(R/D)이 100과 같거나 그보다 더 클 수 있다.

도 1에 도해된 실시예에서, 제 1 코팅 드럼(11) 및 제 2 코팅 드럼(12) 모두가 동일한 반경(R)을 가진다. 추가적인 실시예들에서, 제 1 코팅 드럼(11)이 제 2 코팅 드럼(12)보다 더 큰 반경을 가질 수 있다. 대안적으로, 제 1 코팅 드럼(11)이 제 2 코팅 드럼(12)보다 더 작은 반경을 가질 수 있다.

진공 코팅 장치(100)는 적어도 하나의 증발 공급원(21a)을 가지는 적어도 제 1 증발기(21)를 더 포함한다. 전형적으로, 진공 코팅 장치(100)는, 증발 공급원(21a)을 각각 가지는 복수의 제 1 증발기들(21)을 포함한다. 대안적으로, 제 1 증발기(21)가 복수의 증발 공급원들(21a)을 포함한다. 개별적인 제 1 증발기들(21)이 존재하는지의 여부 또는 복수의 증발 공급원들(21a)을 가지는 단지 하나의 제 1 증발기(21)가 존재하는지의 여부와 관계없이, 증발 공급원들(21a)이 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)의 회전 축들(11a, 12a)에 대해서 평행한 라인을 따라서 배열될 수 있다. 이어서, 증발 공급원들(21a)이 축(11a)에 대해서 평행한 제 1 행(row)으로 배열된다. 도 1이 축들(11a, 12a)을 따른 프로젝션(projection)을 도해하기 때문에, 단지 하나의 증발 공급원(21a)이 도시된다. 제 1 증발기(21)가 제 1 코팅 드럼(11)의 옆에 배열된다. 제 1 증발기(21), 특히 제 1 증발기(21)의 증발 공급원(21a)은 제 2 코팅 드럼(12)에 대해서보다 제 1 코팅 드럼(11)에 대해서 더 근접하여 배열된다.

증발 공급원(22a)을 가지는 제 2 증발기(22)가 제 2 코팅 드럼(12)의 옆에 배열될 수 있다. 제 2 증발기(22), 특히 제 2 증발기(22)의 증발 공급원(22a)이 제 1 코팅 드럼(11)에 대해서보다 제 2 코팅 드럼(12)에 대해서 더 근접하여 배열된다. 제 2 증발기(22)가 제 1 증발기(21)와 동일한 배열을 가질 수 있다. 예를 들어, 제 2 증발기(22)는, 축(12a)에 대해서 평행한 제 2 행으로 배열되는 복수의 증발 공급원들(22a)을 포함할 수 있다. 이하에서 설명하는 바와 같이, 증발 공급원들(21a, 22a)의 제 1 및 제 2 행들이 서로에 대해서 측방향으로 변위된다.

제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)은 각각의 증발 비임들(31b 및 32b)을 생성하도록 구성되고, 상기 증발 비임들은 또한 증발된 재료의 증발 로브들(lobes) 또는 방출 로브들로서 지칭될 수 있다. 증발 비임들(31b 및 32b)의 각각은, 재료가 증발되는 각각의 증발 공급원(21a 및 22a)의 표면에 대해서 전형적으로 수직인 메인(main) 증발 방향(31a 및 32a)을 가진다. 당업자는, 각각의 증발 공급원(21a, 22a)이 주어진 공간적 연장부를 가진다는 것을 이해할 것이다. 그에 따라, 증발 공급원은 재료가 증발되는 지역(area)으로서 규정된다. 전술한 바와 같이, 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)의 각각이 적어도 하나의 증발 공급원(21a 및 22a)을 포함할 수 있다. 증발 공급원들은 서로에 대해서 분리되고 그리고 서로로부터 이격된다. 예를 들어, 증발기는 금속을 용융시키도록 구성된 세라믹 도가니(crucible) 또는 보트(boat)를 포함할 수 있다. 도가니는 전도성 세라믹으로 제조될 수 있고 그리고 직접적으로 관통하여 통과하는 전류에 의해서 가열될 수 있다. 유도 가열이 다른 옵션이 된다. 추가적인 옵션은 전자 비임 가열이다. 그에 따라, 증발 공급원들은 열적 공급원들이 되고, 그러한 열적 공급원들에서 재료가 가열로 인해 증발된다. 용융된 금속의 영역이 실제적인 증발 공급원을 형성한다. 도 1은 점선들에 의해 증발 비임들(31b, 32b)을 지시한다.

용융된 금속은 전형적으로 도가니의 주어진 영역을 커버하거나 또는 습윤(wet)시킨다. 용융된 금속에 의해서 습윤된 도가니의 표면의 배향은, 그러한 표면에 수직인 메인 증발 방향을 결정한다. 따라서, 도가니를 주어진 배향으로 배열함으로써, 증발의 메인 방향이 변화될 수 있다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)은, 제 1 및 제 2 축들(11a 및 12a)에 대해서 수직한 프로젝션에서 볼 때, 엇갈린(staggered) 방식으로 배열될 수 있다. 도 8 및 도 10은, 증발 공급원(21a)을 각각 가지는 복수의 제 1 증발기들(21) 및 복수의 증발 공급원들을 각각 가지는 복수의 제 2 증발기들(22)을 도시함으로써, 이러한 것을 설명한다. 본원에 개시된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 추가적인 실시예들에서, 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)이 서로로부터 이격된 2개의 행들의 증발 공급원들을 가지는 단일한 증발기 유닛으로 조합될 수 있다.

당업자는, 증발된 재료의 분포(distribution)가 증발 비임들(31b 및 32b) 내에서 균일하지 않고 그리고 증발 비임들의 중심으로부터 여기에서 점선들(31b 및 32b)에 의해서 도해된 증발 비임들의 경계를 향해서 감소된다는 것을 이해할 것이다. 또한, 증발 비임들(31b 및 32b)은 주어진 개방 각도를 가질 것이다. 전형적으로, 증발 비임들은 증발된 재료의 공간적인 분포로 인해서 뚜렷한(sharp) 경계들을 가지지 않는다. 설명 목적들만을 위해서 그리고 어떠한 방식으로도 제한하는 것을 의미하지 않으며, 약 180 mm 만큼 표면으로부터 이격된 Al 증발 공급원이 고려된다. 증발 공급원은 약 30 mm의 측방향 크기를 가진다. 증발 공급원은 주어진 온도에서 증발 비임을 생성하고, 이는 약 80-100 mm의 측방향 연장부를 가지는 표면 상에 증착된 Al 층 지역을 초래하고, 증착된 층의 엣지에서의 층 두께는 증착된 층 지역의 중심에서의 층 두께의 단지 약 10%이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 제 1 증발기(21)의 증발 비임(31b)이 제 1 드럼(11)의 표면에 대해서 경사진다. 증발 비임(31b)의 메인 증발 방향(31a)은, 축(11a)을 따른 프로젝션에서 볼 때, 제 1 증발기(21)의 증발 공급원(21a)과 제 1 코팅 드럼(11)의 축(11a) 사이의 가상 라인에 대해서 경사진다. 또한, 제 2 증발기(22)의 증발 비임(32b)이 제 2 드럼(12)의 표면에 대해서 경사진다. 증발 비임(32b)의 메인 증발 방향(32a)은, 축(12a)을 따른 프로젝션에서 볼 때, 제 2 증발기(22)의 증발 공급원(22a)과 제 2 코팅 드럼(12)의 축(12a) 사이의 가상 라인에 대해서 경사진다. 그에 따라, 증발 비임들(31b 및 32b)의 메인 증발 방향들(31a 및 32a)은, 수직하지만 특정 입사 각도에 있는, 각각의 가장 근접한 코팅 드럼들(11 및 12)의 외측 표면들(25 및 26)과 만나지(strike) 않는다.

증발 비임들(31b 및 32b)은 서로에 대해서 또한 경사질 수 있다. 전술한 바와 같이, 증발 비임들(31b 및 32b)의 배향은 증발 공급원들(21a 및 22a)의 배향에 의해서 규정될 수 있다. 증발 비임들(31b 및 32b)을 서로에 대해서 경사지게 하기 위해서, 증발 공급원들(21a 및 22a)이 서로에 대해서 경사진다. 도 1은, 증발 비임들(31b 및 32b)이 서로를 향해서 경사지도록 그리고 축들(11a 및 12a)을 따른 프로젝션에서 볼 때 서로 중첩되도록, 증발 공급원들(21a 및 22a)이 서로에 대해서 경사진 것을 도해한다. 그에 따라, 공통 증착 구역 또는 공통 증발 클라우드(cloud)가 형성된다.

전술한 바와 같이, 제 1 및 제 2 증발 공급원들(21a 및 22a)이 축들(11a 및 12a)에 대해서 평행한 방향으로 변위될 수 있다. 예를 들어, 복수의 증발 공급원들(21a 및 22a)이 엇갈린 방식으로 배열될 수 있다. 그에 따라, "서로를 향해서 경사진"이라는 용어는, 축(11a 및 12a)을 따른 프로젝션에서 볼 때의 배향과 관련된다.

제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)은 코팅하고자 하는 웹(15)을, 그들의 원주 표면들(25 및 26)을 따라, 증착 구역을 통해서 이송한다. 도 1에 도해된 바와 같이, 웹(15)은 제 2 코팅 드럼(12)의 하부 절반 주위에서 이송되고, 안내 롤러(18)에 의해서 다시 갭(17)을 통해서 안내되도록 갭(17)을 통과하고, 이어서 제 1 코팅 드럼(11)의 하부 절반을 따라서 이송된다. 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)은 큰 코팅 지역을 함께 형성하고, 그러한 코팅 지역에서 웹(15)이 코팅될 수 있다. 안내 롤러(18)의 이용으로 인해서, 웹(15)은, 제 2 코팅 드럼(12)에 의해서 이송될 때 발생되는 제 1 코팅 및 제 1 코팅 드럼(11)에 의해서 이송될 때 발생되는 제 2 코팅으로, "이중(double)" 코팅된다. 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)은 동일한 회전 방향을 가진다.

안내 롤러(18)뿐만 아니라 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)이 냉각될 수 있다. 또한, 안내 롤러(18)만을 냉각할 수 있을 것이다. 대안적으로, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)만이 냉각될 수 있다.

증발기들(21 및 22)의 경사진 배열은, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)에 대한 측방향 외측의 외측 영역들 내의 재료의 증착을 회피하거나 또는 적어도 상당히 감소시킨다. 이러한 외측 영역들은, 갭(17)과 대면하는(facing) 측부들(sides)에 대향하는 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)의 측부들 상에 배열된다. 그에 따라, 경사진 배열은 웹(15) 상으로 증착된 재료 대 차폐 수단과 같은 코팅 장치 내의 다른 표면들 상에 증착된 재료의 비율을 증대시킨다. 따라서, 코팅 프로세스가 보다 효율적이고, 그러한 코팅 프로세스는 산출량을 증대시키고 그리고 제조 비용을 감소시킨다. 이는 또한 웹(15)의 운송 속도 증가를 허용하는데, 이는 보다 많은 재료가 주어진 시간에 증착될 수 있기 때문이다.

예를 들어, 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)의 경사진 배열을 이용하여, 90% 까지 그리고 훨씬 초과의 코팅 효율이 얻어질 수 있다. 이는, 코팅 효율이 60%를 초과하지 않는, 동일한 방향으로 지향된 복수의 증발 공급원들을 가지는 일반적으로 이용되는 증발기 유닛들에 비해 상당한 개선이 된다.

차폐 수단 상으로의 재료의 감소된 증착은 많은 이유들로 유용하다. 전형적으로, 차폐 수단은 희망하는 구역들 내의 증착을 제한하기 위해서 그리고 다른 지역들을 증착으로부터 보호하기 위해서 이용된다. 예를 들어, 측방향 차폐 수단은 증착 구역을 "성형(shape)"하기 위해서 제공될 수 있다. 본원에 개시된 바와 같은 경사진 배열은 증착 구역을 성형 또는 포커스(focus)하기 위해서 이용될 수 있고, 그에 따라 일부 적용예들에서 증착 구역을 속박(constrain)하기 위해 부가적인 차폐 수단들이 필요하지 않게 된다. 그러나, 차폐 수단은, 예를 들어, 증발 비임들(31b 및 32b)에 대한 "외부"의 영역들로부터의 재료 증착을 피해야 할 때, 선택적으로(optionally) 이용될 수 있다. 비록 증발 비임들(31b 및 32b)이 특정 영역 만을 커버하도록 도해되지만, 비록 단지 적은 정도로이나 증발 비임들 외부의 영역들로 재료가 또한 증발된다는 것을 당업자는 이해할 것이다. 그러나 이러한 적은 양은, 증착될 때, 코팅된 층을 저하(低下)시킬 수 있을 것이다. 예를 들어, 반사 표면을 얻기 위해서 웹들이 종종 알루미늄으로 코팅된다. 기술적으로 유용한 증발 비임들의 "외부"로부터 증착된 재료가 반사율을 감소시킬 수 있다. 이러한 것을 피하기 위해서, 차폐 수단이 제공될 수 있다.

또한, 차폐 수단 상에서의 증발된 재료의 증착을 감소시키는 것은 진공 코팅 장치의 세정을 돕는데, 이는 세정이 매우 빈번하게 실시될 필요가 없기 때문이다.

예를 들어, 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)의 증발 공급원들(21a 및 22a)은 가상 연결 라인(13)에 대해서 수직이고 그리고 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)의 각각의 축(11a 및 12a)을 통과하는 수직 라인들(65) 내에 배열될 수 있다. 가상 라인(13)은 제 1 코팅 드럼(11)의 회전 축(11a)을 제 2 코팅 드럼(12)의 회전 축(12a)과 연결시킨다. 다시 말해서, 증발 공급원들(21a 및 22a)이 거리(L) 만큼 서로에 대해서 이격되며, 상기 거리(L)는, 전형적으로 갭(17)의 폭(D)이 반경(R)보다 훨씬 더 작기 때문에, 2*R + D보다 작을 수 있고, 전형적으로 2*R보다 작을 수 있다. 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 하나의 실시예에서, L은 반경(R)과 같거나 그보다 작다. 거리(L)가, 예를 들어, 150 mm 내지 200 mm일 수 있다.

서로로부터 비교적 작은 거리에, 예를 들어 2*R 미만의 거리에 증발 공급원들(21a 및 22a)을 배치할 때, 증발 비임들(31b 및 32b)의 각각의 "외측" 경계들이 내측으로 천이되며(shifted), 그에 따라, 축(11a 및 12a)을 따른 프로젝션에서 볼 때, 그 경계들이 각각의 코팅 드럼들(11 및 12)의 측방향 외측 엣지로부터 보다 멀리 떨어진다. 이는 측방향 외측 영역들로부터 멀리 코팅 드럼(11)과 코팅 드럼(12) 사이의 중심을 향해서 증착을 포커스하고 그에 따라 재료가 코팅 드럼들(11 및 12)의 측방향 외부에 증착될 가능성을 감소시킨다.

이러한 효과는, 전술한 바와 같이 증발기들(21 및 22)을 서로를 향해서 경사지게 할 때, 훨씬 더 두드러진다. 증발기들(21 및 22)의 각각의 외측 엣지들이 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)의 공통 중심을 향해서 심지어 틸팅될 수 있다.

제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)은 가상 연결 라인(13)에 수직으로 구축된 수직 라인(14)에 대해서 이격된 관계로 측방향으로 배열될 수 있다. 수직 라인(14)은 갭(17)을 통해서 연장한다. 거리들(d1 및 d2) 만큼의 각각의 측방향 변위가 특정 요구들에 따라서 선택될 수 있다. 거리들(d1 및 d2)은 동일할 수 있다. 대안적으로, 거리들(d1 및 d2)은 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)이 동일한 반경(R)을 가질 때, d1은 전형적으로 d2와 실질적으로 동일하다. 상이한 반경들의 코팅 드럼들을 이용할 때, d1이 d2와 상이할 수 있다.

웹(15)은 임의의 적합한 밴드-형상의 가요성 재료일 수 있다. 전형적인 예들은 호일들이다. 코팅된 호일들이 음식물 패키징 재료로서 이용될 수 있다. 증발된 재료는, 금속들 또는 유전체 재료들과 같이 적절하게 증발될 수 있는 임의의 재료일 수 있다. 한 예는 알루미늄이다. 다른 예는 구리이다. 재료는, 가열된 증발기 내에서 용융되는 와이어로서 전달될 수 있다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예들에 따라서, 증발된 재료가 각각의 증발 공급원(21a 및 22a)으로부터의 직선 라인을 따라서 갭(17)을 통과할 수 없도록, 증발기들(21 및 22)이 배열된다. 이러한 것이, 도 1의 확대된 상세 부분을 도시한 도 2a에 도해되어 있다. 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)의 증발 공급원들(21a 및 22a)은 서로에 대해서 그리고 또한 갭(17)을 통해서 연장하는 라인(14)에 대해서 경사진 방식으로 코팅 드럼들(11 및 12)을 향해서 지향된다. "~를 향해서 지향된"이라는 용어는 각각의 증발 공급원의 메인 증발 방향이 표시된 방향으로 가리키는(point) 것을 기술하기 위한 것이다.

증발 공급원들(21a 및 22a)은, 갭(17)을 통과하고 그리고 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)의 공통 접선들(tangents)이 되는, 라인들(61 및 62)에 의해서 구축될 수 있는 지역(63) 외부에 배열된다. 각각의 라인(61 및 62)은 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12) 모두의 접선을 형성한다. 이러한 라인들(61 및 62)은 라인(14) 상에서 센터링되는(centred) 지역(63)을 속박한다. 지역(63)은 회색으로 도해되어 있다. 지역(63) 외부에서 증발된 재료는 직선을 따라서 갭(17)을 직접적으로 통과할 수 없다. 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)은, 증발된 재료가 갭(17)을 통과하는 것을 방지하기 위해서 갭(17)에 대한 차폐를 형성한다. 그에 따라, 증착 구역은 갭(17) "앞쪽"에 놓인 영역으로 실질적으로 제한된다.

전술한 바와 같이 증발 공급원들(21a 및 22a)을 배열할 때, 차폐 수단이 갭(17)의 앞과 뒤의 어디에서도 요구되지 않는다. 이는, 규칙적인 간격들로 세정하여야 할 필요가 있을 것인 차폐 수단 상으로 재료가 증착되지 않기 때문에, 산출량을 추가적으로 개선한다.

도 2a에 도해된 바와 같이, 메인 증발 방향(31a 및 32a)의 기하형태적인 연장부가 갭(17)의 뒤쪽에 배열되는 지점(P)(여기에 도해되지 않음)에서 교차하도록, 증발 공급원들(21a 및 22a)이 배열된다. 그렇게 함으로써, 증발된 재료가 보다 균일하게 증착 구역 내에서 분포되고 그리고 하나의 영역 상으로 포커스되지 않는다. 다른 한편으로, 증발 비임들(31b 및 32b)이 서로를 향해서 경사지기 때문에, 증발 구역 내의 증발된 재료의 농도가 증가되고, 그러한 농도 증가는 증발 공급원들(21a 및 22a)을 보다 먼 거리에 배치할 수 있게 허용하여, 예를 들면 웹(15)의 열적 응력을 감소시킨다. 또한, 웹(15)의 운송 속도가 증가될 수 있다.

도 2b는 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 다른 실시예를 도해한다. 메인 증발 방향들(31a 및 32a)의 기하형태적 교차 지점(P)이 갭(17)의 앞쪽에 배열되도록, 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)이 서로를 향해서 보다 경사진다는 것을 제외하고, 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)의 배열은 도 2a에 도시된 것과 유사하다. 이는 증발된 재료의 농도를 보다 더 증가시키고, 그러한 농도 증가는 또한 증발 공급원들(21a 및 22a)과 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)의 표면 사이의 거리가 증가하도록 허용한다.

이러한 실시예에서, 축(11a 및 12a)에 대해서 수직인 프로젝션에서 볼 때, 코팅 드럼들(11 및 12)의 표면(25 및 26)에 도달하기 전에, 증발 비임들(31b 및 32b)이 서로 "교차"한다. 특히, 제 1 코팅 드럼(11)의 옆에 배열된 제 1 증발기(21)가 제 2 코팅 드럼(12)을 향해서 지향되는 한편, 제 2 코팅 드럼(12)의 옆에 배열된 제 2 증발기(22)가 제 1 코팅 드럼(11)을 향해서 지향되며, 그에 따라 "교차-증착"이 발생된다.

제 1 증발 공급원(21a)으로부터 증발된 재료가 제 1 코팅 드럼(11)의 외측 표면(25)을 "통과한다". 제 1 증발 공급원(21a)에 의한 제 1 코팅 드럼(11) 상의 증착이 또한 발생된다. 재료는 제 1 코팅 드럼(11)의 표면(25)의 법선에 대해서 경사진 각도로 증착된다. 유사한 방식으로, 제 2 증발 공급원(22a)으로부터 제 2 코팅 드럼(12) 상으로의 증착이 발생된다. 따라서, 웹(15)은, 제 1 코팅 드럼(11)의 표면(25) 상에 있을 때, 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22) 모두의 증발 공급원들(21a 및 22a)에 의해서 코팅된다. 유사하게, 웹(15)은, 제 2 코팅 드럼(12)의 표면(26) 상에 있을 때, 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22) 모두의 증발 공급원들(21a 및 22a)에 의해서 코팅된다.

하나의 증발 공급원에 대한 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12) 상으로의 증착의 비율은 드럼 표면들(25 및 26)의 법선에 대한 경사 각도 및 코팅 드럼들(11 및 12)에 대한 거리에 의해서 조정될 수 있다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 증발기(21)로부터 제 2 코팅 드럼(12) 상으로의 증착은, 제 1 증발기(21)로부터 제 1 코팅 드럼(11) 상으로의 증착이 발생하는 중인 각도보다 더 큰 각도 하에서 이루어질 수 있다. 각도는 코팅 드럼의 표면에 대해서 규정되고, 그러한 각도하에서 메인 증발 방향이 각각의 표면과 만난다. 따라서, 제 2 증발기(22)로부터 제 1 코팅 드럼(11) 상으로의 증착은, 제 2 증발기(22)로부터 제 2 코팅 드럼(12) 상으로의 증착이 발생하는 중인 각도보다 더 큰 각도하에서 발생될 수 있다.

그러나, 또한 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)을 지역(63) 내에 배열할 수 있다. 비록 "직선" 경로가 증발 공급원들(21a, 22a)과 갭(17) 사이에 형성되지만, 증발 공급원들(21a 및 22a)을 서로를 향해서 경사지게 함으로써 갭(17)을 통한 증착이 상당히 감소될 수 있고, 그에 따라 각각의 증발 공급원들(21a 및 22a)의 메인 증발 방향(31a 및 32a)은 각각의 대향하는 코팅 드럼을 향해서 가리키게 된다. 만약 필요하다면, 갭(17)을 커버하기 위해서 차폐부(58)가 제공될 수 있다.

이웃하는 코팅 드럼의 옆에 배열된 증발 공급원은, 도 2b 및 2c에 도해된 바와 같이 이웃하는 코팅 드럼보다 해당 증발 공급원으로부터 더 먼 거리에 배열되는 다른 코팅 드럼을 향해서 지향된다. 도 2a에서, 증발 공급원이 그 이웃하는 코팅 드럼을 향해서 지향되고 그리고 증발 공급원에 대해서 원위에(distal) 배열된 다른 코팅 드럼을 향해서 부분적으로 경사진다.

(메인 증발 방향들(31a와 32a) 사이의 각도에 의해서 규정된) 증발 공급원들(21a 및 22a) 사이의 경사 각도는 특정 요구들에 따라서 선택될 수 있고 그리고, 예를 들어, 약 60 °내지 약 180°일 수 있다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 진공 코팅 장치(200)는, 도 3에 도해된 바와 같은, 제 1 증발기(21)만을 포함할 수 있다. 제 1 증발기(21)는 도 1 및 도 2a 내지 2c 중 임의의 도면과 관련하여 기술한 바와 유사하게 배열될 수 있다. 제 1 증발기(21)는, 도 2a 내지 2c 중 임의의 도면과 관련하여 기술한 바와 같이, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)에 대한 위치 및 배치(position and placement)를 가질 수 있다.

도 4는, 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 추가적인 실시예를 도해한다. 진공 코팅 장치(300)는 하나의 코팅 드럼(11) 만을 포함한다. 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)이 전술한 바와 같이 배열될 수 있다. 제 1 및 제 2 증발기들(21 및 22)의 메인 증발 방향들(31a 및 32a)의 기하형태적 연장부는 코팅 드럼(11)에 의해서 이송되는 웹(15) 및 코팅 드럼(11)의 표면(25) 각각에 도달하기 전에 지점(P)에서 교차한다. 이어서, 지점(P)은 거리(B) 만큼 코팅 드럼(11)의 외측 표면(25)으로부터 이격된다. 대안적으로, 지점(P)은 코팅 드럼(11)의 외측 표면(25)에 대해서 근접할 수 있고 또는 그 외측 표면 상에 위치될 수 있다. 추가적인 대안에서, 지점(P)은 코팅 드럼(11)의 외측 표면(25)과 그 회전 축(11a) 사이에 놓일 수 있다.

지점(P)이 코팅 드럼(11)의 외측 표면으로부터 이격될 때, B가 0 mm 내지 100 mm일 수 있다. 대안적으로, 지점(P)이 코팅 드럼(11) "내에" 있을 때, B가 약 0(표면에서) 내지 약 -R(코팅 드럼의 중심에서)의 범위 내에 있을 수 있고, 상기 R은 코팅 드럼(11)의 반경이다.

전술한 바와 같이, 증발 공급원들(21a 및 22a)을 서로를 향해서 경사지게 하는 것은, 단일한 공급원을 이용하는 것보다 또는 동일한 방향으로 가리키는 즉, 서로 평행한 2개의 증발 공급원들을 이용할 때보다, 더 균일한 증발된 재료의 분포를 가지는 보다 포커스된 증착 구역을 초래한다. 또한, 증발 비임들은, 표면에 대해서 경사진 그리고 수직하지 않은 각도하에서, 코팅 드럼(11)의 원주방향 표면(25)과, 그리고 그에 따라 웹(15)의 표면과 만난다. 이는 또한, 증착 프로세스를 개선한다.

도 5는, 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 진공 코팅 장치(400)의 추가적인 실시예를 도해한다. 진공 코팅 장치(400)는, 도 1의 갭(17)보다 더 큰 갭(17') 만큼 서로에 대해서 평행하게 배열된 2개의 코팅 드럼들(11, 12)을 포함한다. 안내 롤러(18)가 제 1 코팅 드럼(11)과 제 2 코팅 드럼(12) 사이의 중간을 통과하는 수직 라인(14)에 대해서 측방향으로 변위된다. 안내 롤러(18)의 측방향 변위는, 갭(17')을 통과하는 증발된 재료가 웹(15) 상으로 증착되는 것을 보장한다.

도 6은, 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 진공 코팅 장치(500)의 추가적인 실시예를 도해한다. 진공 코팅 장치(500)는 갭(17)을 사이에 형성하면서 서로에 대해서 평행하게 배열된 2개의 코팅 드럼들(11 및 12)을 포함한다. 도 1과 대조적으로, 2개의 웹들이 동시에 코팅되고, 웹(15')은 제 1 코팅 드럼(11)에 의해서 운송되는 한편, 웹(15")은 제 2 코팅 드럼(12)에 의해서 운송된다. 코팅 드럼들(11 및 12)은 동일한 회전 방향을 가질 수 있다. 대안적으로, 코팅 드럼들(11 및 12)이 반대되는 회전 방향들을 가질 수 있다.

도 7은 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 진공 코팅 장치(600)의 추가적인 실시예를 도해한다. 진공 코팅 장치(600)는 서로에 대해서 평행하게 배열된 2개의 코팅 드럼들(11 및 12)을 포함하고, 상기 2개의 코팅 드럼들(11 및 12) 사이에는 갭(17)이 형성된다. 진공 코팅 장치(600)는 상부 챔버(51) 및 하부 챔버(52)를 가지는 하우징(50)을 포함한다. 풀림(unwinding) 드럼(41) 및 권취(winding) 드럼(42)이 상부 챔버(51) 내에 배열된다. 또한, 안내 롤러(18)가 상부 챔버(51) 내에 배열된다. 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11 및 12)이 상부 챔버(51) 내에 부분적으로 배열되는 한편, 양자의 하부 부분, 예를 들어, 하부 절반이 하부 챔버(52) 내로 돌출하고, 상기 하부 챔버(52)는 증발기들(21 및 22)이 내부에 배열되는 증착 챔버를 형성한다. 차폐 수단(57)이 증발기들(21 및 22)에 대해서 측방향으로 배열되어, 증발된 재료의 트레이스들(traces)이 이송되는 웹(15) 상으로 증착될 수 있는 것을 방지할 수 있다.

제 1 상부 챔버(51)가 밸브(53)를 통해서 배기될 수 있는 한편, 하부 챔버(52)는 밸브(54)를 통해서 배기될 수 있다. 전형적으로, 상부 챔버(51)와 하부 챔버(52) 사이에 압력 차이가 존재한다. 그러한 압력 차이를 유지하기 위해서, 벽 부분들(55)이 코팅 드럼들의 외측 표면에 대해서 근접하게 도달하여 작은 간극(clearance)만을 남긴다. 상부 챔버(51)와 하부 챔버(52) 사이의 진공 압력 차이를 유지하기 위해서, 갭(17)이 또한 비교적 작게 만들어질 수 있다.

도 8은 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 증발기 유닛(700)의 실시예를 도해한다. 증발기 유닛(700)은 2개의 증발 행들(701, 702)을 포함한다. 각각의 행(701, 702)은 복수의 증발기들(721, 722)을 포함하고, 상기 증발기들은, 웹(15)의 이동 방향에 대해서 수직하게 배열된 라인(705)을 따라서 각각의 행(701 및 702) 내에서 실질적으로 일정한 거리에서 서로에 대해 측방향으로 이격된다. 웹(15)은 여기에서 도해되지 않는다. 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(711 및 712)이 국부투시 라인들(phantom lines)로 도해된다.

증발기 유닛(700)은, 예를 들어, 2개의 행들(701 및 702)로 배열된 25개 내지 30개의 증발기들(721 및 722)을 포함할 수 있다.

행들(701 및 702)이 라인(705)을 따라서 서로에 대해서 변위되어, 개별적인 증발기들(721 및 722)의 엇갈린 배열을 획득한다. 또한, 각각의 행들(701 및 702)의 증발기들(721 및 722)은, 코팅 드럼들의 회전 축에 대해서 평행한 라인(705)을 따라서 볼 때, 서로 부분적으로 중첩될 수 있다.

도 8에 도해된 바와 같이, 행(701)의 증발기들(721) 및 행(702)의 증발기들(721)은 앞서서 추가적으로 기술한 바와 같이 서로에 대해서 경사져서 공통의 증발 구역을 형성한다.

여기에서, 증발기들(721 및 722)은, 와이어(770)로서 전달되는 금속을 용융시키기 위해 가열된 도가니들에 의해서 형성된다. 각각의 도가니는 각각의 증발 비임(732)을 형성하기 위해 세장형 형상을 가진다. 도 9a 및 9b는 도 8에서 사용된 각각의 증발기들(721 및 722)의 증발 비임들(732)을 도해한다.

증발기들(721 및 722)을 형성하는 도가니들은 서로에 대해서 경사진다. 금속을 용융시키기 위해서, 각각의 도가니로 금속 와이어(770)가 공급된다. 용융 레이트(rate)가 증발 레이트와 유사하도록, 와이어(770)의 전달 레이트가 조정될 수 있다. 용융된 금속이 경사진 도가니들을 벗어나 흐르는 것을 방지하기 위해서, 과다(excess)의 용융 금속을 줄일 수 있다. 예를 들어, 도가니들의 표면만이 얇은 액체 금속 필름에 의해서 단지 습윤되도록, 용융 금속의 전달 레이트가 조정될 수 있다. 각각의 도가니(721 및 722)는, 예를 들어, 30 mm 넓이 및 180 mm 길이일 수 있다.

도 10은 본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 증발기 유닛(800)의 실시예를 도해한다. 증발기 유닛(800)은 증발기들(821)의 제 1 행(801) 및 증발기들(822)의 제 2 행(802)을 포함하고, 각각의 증발기는 개별적인 증발 공급원들(821a 및 822a)을 각각 포함한다. 도 8의 증발 유닛(700)과 달리, 각각의 행들(801 및 802)의 증발기들(821 및 822)은, 코팅 드럼들(11 및 12)의 축들(11a 및 12a)에 대해 평행한 프로젝션에서 서로 중첩되지 않는다.

도 10은 코팅 드럼들(11 및 12)의 각각의 단부들을 커버하는 이동가능한 차폐 수단(56)을 추가적으로 도해한다. 차폐 수단(56)은, 상이한 크기의 밴드(band) 재료가 이용될 때, 증착을 제한하기 위해서 그리고 증착 구역을 구성하기(adapt) 위해서 이용된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치가 제공된다. 그러한 장치는 진공 챔버, 제 1 회전가능한 코팅 드럼 및 상기 제 1 드럼에 대해서 평행하게 배치된 제 2 회전가능한 코팅 드럼을 포함하고, 상기 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에는 적어도 하나의 웹을 이송하기 위한 갭이 형성된다. 제 1 증발기는 제 1 증발 비임을 생성하도록 구성된 적어도 하나의 증발 공급원을 포함하고, 상기 제 1 증발기는 제 1 코팅 드럼의 옆에 배열된다. 제 2 증발기는 제 2 증발 비임을 생성하도록 구성된 적어도 하나의 증발 공급원을 포함하고, 상기 제 2 증발기는 제 2 코팅 드럼의 옆에 배열된다. 제 1 및 제 2 증발기들의 증발 비임들이 서로에 대해서 경사지도록, 제 1 및 제 2 증발기들이 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치가 제공된다. 그러한 장치는 진공 챔버, 제 1 회전가능한 코팅 드럼 및 상기 제 1 드럼에 대해서 평행하게 배치된 제 2 회전가능한 코팅 드럼을 포함하고, 상기 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에는 적어도 하나의 웹을 이송하기 위한 갭이 형성된다. 제 1 증발기는 제 1 코팅 드럼의 옆에 배열된 적어도 하나의 증발 공급원을 포함한다. 제 2 증발기는 제 2 코팅 드럼의 옆에 배열된 적어도 하나의 증발 공급원을 포함한다. 제 1 및 제 2 증발기들은 서로에 대해서 경사진다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 및 제 2 증발기들의 증발 비임들의 각각이 메인 증발 방향을 포함하고, 상기 각각의 메인 증발 방향들의 기하형태적 연장부들은 갭 앞쪽에 배열된 지점(P)에서 교차한다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 및 제 2 증발기들의 증발 비임들의 각각이 메인 증발 방향을 포함하고, 상기 각각의 메인 증발 방향들의 기하형태적 연장부들은 갭 뒤쪽에 배열된 지점(P)에서 교차한다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 및 제 2 증발기들의 증발 비임들의 각각이 메인 증발 방향을 포함하고, 상기 각각의 메인 증발 방향들의 기하형태적 연장부들은 갭 내에 배열된 지점(P)에서 교차한다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들이 갭을 통해서 웹을 이송하도록 구성되고, 각각의 증발기들의 증발 공급원들로부터 볼 때, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들 중 각각의 하나에 의해서 시야(view)로부터 갭이 은폐되도록, 상기 제 1 및 제 2 증발기들이 제 1 및 제 2 코팅 드럼들에 대해서 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들의 각각이 반경(R)을 가지고, 그리고 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이의 갭은 상기 제 1 코팅 드럼의 회전 축과 상기 제 2 코팅 드럼의 회전 축을 연결하는 가상의 연결 라인을 따라서 측정될 때 폭(D)을 가지며, 그 비율(R/D)은 15와 같거나 그보다 크고, 특히 100보다 더 크다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 진공 코팅 장치는 갭을 통해서 웹을 안내하기 위해서 제 1 및 제 2 증발기들에 대해서 상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들 뒤쪽에 배열된 안내 롤러를 더 포함한다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 상기 제 1 및 제 2 증발 비임들이 상기 제 1 및 제 2 증발기들과 상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들 사이에 배열된 공통 증착 구역을 형성한다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 상기 공통 증착 구역은, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들의 축들을 따른 프로젝션에서 볼 때 단일 증발기에 의해서 형성된 증착 구역보다 더 균일한 증발 재료의 분포를 가진다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 상기 진공 코팅 장치는 제 1 코팅 드럼에 의해 상기 갭을 통하여 제 1 웹을 운송하도록 그리고 동시에 제 2 코팅 드럼에 의해 상기 갭을 통하여 제 2 웹을 운송하도록 구성된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치가 제공된다. 그러한 장치는 진공 챔버, 제 1 회전가능한 코팅 드럼 및 상기 제 1 드럼에 대해서 평행하게 배치된 제 2 회전가능한 코팅 드럼을 포함하고, 상기 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에는 갭을 통해서 웹을 이송하기 위한 갭이 형성된다. 증발 공급원을 가지는 적어도 제 1 증발기는 제 1 코팅 드럼의 옆에 배열되고 그리고, 갭을 통해서 제 2 코팅 드럼에 의해서 이송될 때, 웹 상으로 재료를 증착시키기 위해서 제 2 코팅 드럼들을 향해서 경사진다. 제 1 증발기의 증발 공급원이 제 2 코팅 드럼에보다 제 1 코팅 드럼에 더 근접하여 배열되고 그리고, 제 1 증발기의 증발 공급원으로부터 볼 때, 제 1 코팅 드럼에 의해서 시야로부터 갭이 은폐되도록, 상기 1 및 제 2 코팅 드럼들에 대해서 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 진공 코팅 장치는, 웹이 제 1 코팅 드럼에 의해서 이송될 때, 웹 상으로 재료를 증착하기 위해서 제 1 코팅 드럼을 향해서 경사진 증발 공급원을 가지는 적어도 제 2 증발기를 더 포함하고, 상기 제 2 증발기는 제 1 코팅 드럼에보다 제 2 코팅 드럼에 더 근접하여 배열되고 그리고, 제 2 증발기의 증발 공급원으로부터 볼 때, 제 2 코팅 드럼에 의해서 시야로부터 갭이 은폐되도록, 상기 1 및 제 2 코팅 드럼들에 대해서 배치된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 증발기는 제 1 메인 증발 방향을 가지고 그리고 제 2 증발기는 제 2 메인 증발 방향을 가진다. 제 1 메인 증발 방향 및 제 2 메인 증발 방향은 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에 형성된 갭의 뒤쪽에 배열된 지점(P)에서 교차한다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 증발기는 제 1 메인 증발 방향을 가지고 그리고 제 2 증발기는 제 2 메인 증발 방향을 가진다. 제 1 메인 증발 방향 및 제 2 메인 증발 방향은 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에 형성된 갭의 앞쪽에 배열된 지점(P)에서 교차한다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들의 각각은 반경(R)을 포함한다. 제 1 증발기의 증발 공급원은, 상기 코팅 드럼들의 반경(R)보다 작은 거리(L) 만큼 제 2 증발기의 증발 공급원으로부터 이격된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들의 반경(R)은 제 1 코팅 드럼과 제 2 증발기의 증발 공급원 사이의 거리보다 더 크고 및/또는 제 2 코팅 드럼과 제 1 증발기의 증발 공급원 사이의 거리보다 더 크다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치가 제공된다. 그러한 진공 코팅 장치는 진공 챔버; 회전 축 및 웹을 이송하기 위한 표면을 가지는 적어도 하나의 회전가능한 코팅 드럼; 적어도 하나의 증발 공급원을 가지는 제 1 증발기; 적어도 하나의 증발 공급원을 가지는 제 2 증발기를 포함한다. 상기 제 1 및 제 2 증발기들은 상기 코팅 드럼의 옆에 배열되고 그리고 서로에 대해서 경사진다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 증발기의 증발 공급원이 제 1 메인 증발 방향을 가지는 제 1 증발 비임을 생성하도록 구성되고 그리고 제 2 증발기의 증발 공급원이 제 2 메인 증발 방향들을 가지는 제 2 증발 비임을 생성하도록 구성된다. 제 1 및 제 2 증발기들의 증발 비임들이 서로를 향해서 경사지도록 제 1 및 제 2 증발기들이 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 회전 축에 평행한 프로젝션에서 볼 때, 제 1 메인 증발 방향 및 제 2 메인 증발 방향이 코팅 드럼과 제 1 및 제 2 증발기들 사이에 배열된 지점(P)에서 교차하도록, 상기 제 1 및 제 2 증발기들이 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 증발 비임을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원을 가지는 제 1 증발기; 및 제 2 증발 비임을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원을 가지는 제 2 증발기를 구비하는, 증발 유닛 또는 증발 설비(arrangement)가 제공되며, 상기 제 1 및 제 2 증발기들은 서로에 대해서 경사진다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 증발 유닛 또는 증발 설비가 제 1 증발기들의 제 1 행 및 제 2 증발기들의 제 2 행을 더 포함하고, 상기 각각의 제 1 증발기는 제 1 증발 비임을 생성하도록 구성되고, 상기 각각의 제 2 증발기는 제 2 증발 비임을 생성하도록 구성된다. 제 1 및 제 2 행들은 서로에 대해서 평행하게 배열되고, 상기 제 1 및 제 2 행들을 따른 프로젝션에서 볼 때, 상기 제 1 증발기들의 증발 비임들이 상기 제 2 증발기들의 증발 비임들을 향해서 경사지도록 상기 제 1 행의 제 1 증발기들 및 상기 제 2 행의 제 2 증발기들이 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 제 1 및 제 2 증발기들이 엇갈린 방식으로 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 진공 코팅 장치가 제공된다. 그러한 진공 코팅 장치는 진공 챔버; 축을 가지는 제 1 코팅 드럼 및 상기 제 1 드럼에 평행하게 배치된 축을 가지는 제 2 코팅 드럼으로서, 상기 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에 갭이 형성된, 제 1 및 제 2 코팅 드럼; 웹이 제 2 코팅 드럼에 의해 갭을 통하여 이송될 때, 웹 상으로 재료를 증착하기 위해서 제 2 코팅 드럼을 향해서 지향된 증발 공급원을 가지는 적어도 제 1 증발기를 포함한다. 상기 제 1 증발기의 증발 공급원은, 상기 갭을 통해서 연장하고 그리고 축들에 평행한 프로젝션에서 볼 때 제 1 및 제 2 코팅 드럼들 모두의 접선들이 되는 제 1 가상 라인들 사이에 규정된 지역의 외부에 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 진공 코팅 장치는 웹이 제 1 코팅 드럼에 의해서 이송될 때 상기 웹 상으로 재료를 증착하기 위해서 제 1 코팅 드럼을 향해서 지향된 증발 공급원을 가지는 적어도 제 2 증발기를 더 포함한다. 상기 제 2 증발기의 증발 공급원은, 축들에 평행한 프로젝션에서 볼 때, 제 1 가상 라인들 사이에 규정된 지역의 외부에 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 축들은 상기 갭을 통과하는 가상의 연결 라인을 따라서 서로에 대해서 배치된다. 제 1 및/또는 제 2 증발기의 증발 공급원이 제 2 가상 라인들 사이에 규정된 지역 내에 배열되고, 상기 제 2 가상 라인들은 제 1 및 제 2 코팅 드럼들의 축들 중 각각의 하나를 통해서 연장하고 그리고 가상의 연결 라인에 수직이다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치가 제공된다. 진공 코팅 장치는 진공 챔버; 제 1 회전가능한 코팅 드럼; 및 상기 제 1 드럼에 평행하게 배치된 제 2 회전가능한 코팅 드럼을 포함하고, 갭을 통해 웹을 이송하기 위해 상기 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에 갭이 형성된다. 축들은 갭을 통과하는 가상의 연결 라인을 따라서 서로에 대해서 배치된다. 증발 공급원을 가지는 적어도 제 1 증발기는, 웹이 갭을 통해서 제 2 코팅 드럼에 의해서 이송될 때, 웹 상으로 재료를 증착하기 위해서 제 2 코팅 드럼들을 향해서 지향된다. 갭을 통한 증발 공급원으로부터의 직선이 제 1 코팅 드럼에 의해서 차단되도록(obsturcted), 제 1 증발기가 제 1 및 제 2 코팅 드럼들에 대해서 배열된다.

본원에 기술된 하나 또는 둘 이상의 실시예들과 조합될 수 있는 실시예에 따라서, 웹을 코팅하기 위한 방법이 제공된다. 그러한 방법은 제 1 회전가능한 코팅 드럼 그리고 상기 제 1 드럼에 대해서 평행하게 배치된 제 2 회전가능한 코팅 드럼을 제공하는 단계로서, 상기 제 1 코팅 드럼과 제 2 코팅 드럼 사이에 갭이 형성된 제공 단계; 제 1 증발 방향으로부터 제 1 증발기로부터의 재료를 증발시킴으로써 그리고 제 2 증발 방향으로부터 제 2 증발기로부터의 재료를 증발시킴으로써 제 1 및 제 2 코팅 드럼들의 표면의 옆에 공통 증발 구역을 형성하는 단계; 제 1 및/또는 제 2 코팅 드럼들에 의해서 상기 공통 증발 구역을 통해서 적어도 하나의 웹을 이송하는 단계를 포함한다.

전술한 내용들이 본 발명의 실시예들에 관한 것이지만, 본 발명의 다른 그리고 추가적인 실시예들이 본 발명의 기본적인 범위로부터 벗어나지 않고도 안출될 수 있을 것이고, 그리고 본 발명의 범위는 이하의 청구항들에 의해서 결정된다.

Claims

웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치로서:
진공 챔버(50);
제 1 회전가능 코팅 드럼(11) 및 상기 제 1 드럼(11)과 평행하게 배치된 제 2 회전가능 코팅 드럼(12)으로서, 상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12) 사이에는 적어도 하나의 웹(15)을 이송하기 위한 갭(17)이 형성되는, 제 1 회전가능 코팅 드럼(11) 및 제 2 회전가능 코팅 드럼(12);
제 1 증발 비임(31b)을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원(21a)을 포함하고 상기 제 1 코팅 드럼(11) 다음에 배열되는 제 1 증발기(21); 및
제 2 증발 비임(32b)을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원(22a)을 포함하고 상기 제 2 코팅 드럼(12) 다음에 배열되는 제 2 증발기(22)를 포함하고;
상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)이 서로에 대해서 경사지는, 진공 코팅 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)의 각각이 메인 증발 방향(31a, 32a)을 포함하고, 상기 각각의 메인 증발 방향들(31a, 32a)의 기하형태적 연장부들이 갭(17)의 앞쪽에 배열된 지점(P)에서 교차하는, 진공 코팅 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)이 상기 갭(17)을 통해서 웹(15)을 이송하도록 구성되고, 그리고 각각의 증발기들(21, 22)의 증발 공급원들(21a 및 22a)로부터 볼 때, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)의 각각의 하나에 의해서 시야로부터 상기 갭(17)이 은폐되도록, 상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)이 상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)에 대해서 배열되는, 진공 코팅 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)의 각각이 반경(R)을 가지고, 그리고 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12) 사이의 갭(17)은, 상기 제 1 코팅 드럼(11)의 회전 축(11a)과 상기 제 2 코팅 드럼(12)의 회전 축(12a)을 연결하는 가상의 연결 라인(13)을 따라서 측정될 때, 폭(D)을 가지며, 상기 비율(R/D)이 15 와 같거나 그보다 큰, 진공 코팅 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 갭(17)을 통해서 웹(15)을 안내하기 위해서 상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)에 대해서 상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12) 뒤쪽에 배열된 안내 롤러(18)를 더 포함하는, 진공 코팅 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 증발 비임들(31b, 32b)이 상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22) 그리고 상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12) 사이에 배열된 공통 증착 구역을 형성하도록 상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)이 배열된, 진공 코팅 장치.
제 6 항에 있어서,
상기 공통 증착 구역은, 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)의 축들(11a, 12a)을 따른 프로젝션을 따라서 볼 때 단일 증발기에 의해서 형성되는 증착 구역 보다 더 균일한 증발 재료의 분포를 가지는, 진공 코팅 장치.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 코팅 드럼(11)에 의해서 상기 갭(17)을 통해서 제 1 웹(15')을 운송하도록 그리고 동시에 제 2 코팅 드럼(12)에 의해서 상기 갭(17)을 통해서 제 2 웹(15")을 운송하도록 구성되는, 진공 코팅 장치.
웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치로서:
진공 챔버(50);
제 1 회전가능 코팅 드럼(11) 및 상기 제 1 드럼(11)에 대해서 평행하게 배치된 제 2 회전가능 코팅 드럼(12)으로서, 갭(17)을 통해서 웹(15)을 이송하기 위해서 상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12) 사이에 갭(17)이 형성되는, 제 1 회전가능 코팅 드럼(11) 및 제 2 회전가능 코팅 드럼(12); 및
제 1 코팅 드럼(11) 다음에 배열되고 그리고, 상기 갭(17)을 통해서 상기 제 2 코팅 드럼(12)에 의해서 이송될 때, 상기 웹(15) 상으로 재료를 증착시키기 위해서 상기 제 2 코팅 드럼들(12)을 향해서 경사진 증발 공급원(21a)을 포함하는 적어도 제 1 증발기(21)를 포함하고, 상기 제 1 증발기(21)의 증발 공급원이 상기 제 2 코팅 드럼(12) 보다 상기 제 1 코팅 드럼(11)에 더 근접하여 배열되고 그리고, 상기 제 1 증발기(21)의 증발 공급원(21a)으로부터 볼 때, 상기 제 1 코팅 드럼(11, 12)에 의해서 시야로부터 갭(17)이 은폐되도록, 상기 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)에 대해서 배열되는, 진공 코팅 장치.
제 9 항에 있어서,
상기 웹(15)이 제 1 코팅 드럼(11)에 의해서 이송될 때, 상기 웹(15) 상으로 재료를 증착하기 위해서 상기 제 1 코팅 드럼(11)을 향해서 경사진 증발 공급원(22a)을 포함하는 적어도 제 2 증발기를 더 포함하고, 상기 제 2 증발기(22)는 상기 제 1 코팅 드럼(11) 보다 상기 제 2 코팅 드럼(12)에 더 근접하여 배열되고 그리고, 상기 제 2 증발기(22)의 증발 공급원(22a)으로부터 볼 때, 상기 제 2 코팅 드럼(12)에 의해서 시야로부터 갭(17)이 은폐되도록, 상기 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)에 대해서 배열되는, 진공 코팅 장치.
제 10 항에 있어서,
상기 제 1 증발기(21)가 제 1 메인 증발 방향(31a)을 가지고 그리고 상기 제 2 증발기(22)가 제 2 메인 증발 방향(32a)을 가지며, 상기 제 1 메인 증발 방향(31a) 및 상기 제 2 메인 증발 방향(32a)은 상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12) 사이에 형성된 갭(17)의 뒤쪽에 배열된 지점(P)에서 교차하는, 진공 코팅 장치.
제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)의 각각이 반경(R)을 포함하고, 상기 제 1 증발기(21)의 증발 공급원(21a)은, 상기 코팅 드럼들(11, 12)의 반경(R) 보다 작은 거리(L) 만큼 상기 제 2 증발기(22)의 증발 공급원(22a)으로부터 이격되는, 진공 코팅 장치.
제 9 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)의 반경(R)은 상기 제 1 코팅 드럼(11)과 상기 제 2 증발기(22)의 증발 공급원(22a) 사이의 거리 보다 더 크고 및/또는 상기 제 2 코팅 드럼(12)과 상기 제 1 증발기(21)의 증발 공급원(21a) 사이의 거리 보다 더 큰, 진공 코팅 장치.
웹을 코팅하기 위한 진공 코팅 장치로서:
진공 챔버(50);
회전 축(11a) 및 웹(15)을 이송하기 위한 표면(25)을 포함하는 적어도 하나의 회전가능한 코팅 드럼(11);
적어도 하나의 증발 공급원(21a)을 포함하는 제 1 증발기(21);
적어도 하나의 증발 공급원(22a)을 가지는 제 2 증발기(22)를 포함하고,
상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)은 상기 코팅 드럼(11) 다음에 배열되고 그리고 서로에 대해서 경사지는, 진공 코팅 장치.
제 14 항에 있어서,
상기 제 1 증발기(21)의 증발 공급원(21a)이 제 1 메인 증발 방향(31a)을 포함하는 제 1 증발 비임(31a)을 생성하도록 구성되고;
상기 제 2 증발기의 증발 공급원(22a)이 제 2 메인 증발 방향(32a)을 포함하는 제 2 증발 비임(32a)을 생성하도록 구성되며;
상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)의 비임들(31b, 32b)이 서로를 향해서 경사지도록 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)이 배열되는, 진공 코팅 장치.
제 15 항에 있어서,
상기 회전 축(11a)에 평행한 프로젝션을 따라서 볼 때, 상기 제 1 메인 증발 방향(31a) 및 제 2 메인 증발 방향(32a)이 상기 코팅 드럼(11)과 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22) 사이에 배열된 지점(P)에서 교차하도록, 상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)이 배열되는, 진공 코팅 장치.
증발 유닛으로서:
제 1 증발 비임(31a)을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원(21a)을 포함하는 제 1 증발기(21); 및
제 2 증발 비임(32a)을 생성하기 위한 적어도 하나의 증발 공급원(22a)을 포함하는 제 2 증발기(22)를 포함하고,
상기 제 1 및 제 2 증발기들(21, 22)이 서로에 대해서 경사지는, 증발 유닛.
제 17 항에 있어서,
제 1 증발 비임(732)을 생성하도록 각각 구성되는 제 1 증발기들(721)의 제 1 행(701);
제 2 증발 비임(732)을 생성하도록 각각 구성되는 제 2 증발기들(722)의 제 2 행(702)을 더 포함하고,
상기 제 1 행 및 제 2 행(701, 702)이 서로에 대해서 평행하게 배열되고,
상기 제 1 및 제 2 행들(701, 702)을 따른 프로젝션을 따라서 볼 때, 상기 제 1 증발기들(721)의 증발 비임들(732)이 상기 제 2 증발기들(722)의 증발 비임들(732)에 대해서 경사지도록, 상기 제 1 행(701)의 제 1 증발기들(721) 및 상기 제 2 행(702)의 제 2 증발기들(722)이 배열되는, 증발 유닛.
제 18 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 증발기들(721, 722)이 엇갈린 방식으로 배열되는, 증발 유닛.
웹을 코팅하기 위한 방법으로서:
제 1 회전가능 코팅 드럼(11) 그리고 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12) 사이에 형성된 갭(17)을 가지고 상기 제 1 드럼(11)에 대해서 평행하게 배치된 제 2 회전가능 코팅 드럼(12)을 제공하는 단계;
상기 제 1 증발 방향으로부터 제 1 증발기(21)로부터 재료를 증발시킴으로써 그리고 제 2 증발 방향으로부터 제 2 증발기(22)로부터 재료를 증발시킴으로써 상기 제 1 및 제 2 코팅 드럼들(11, 12)의 표면 다음에 공통 증발 구역을 형성하는 단계; 및
상기 제 1 코팅 드럼(11), 제 2 코팅 드럼(12), 및 이들의 조합 중 적어도 하나에 의해서 상기 공통 증발 구역을 통해서 적어도 하나의 웹(15)을 이송하는 단계를 포함하는, 웹 코팅 방법.