JP2013544322A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. ウェブをコーティングするための真空コーティング装置であって、
   真空チャンバ（５０）と、
   第１のコーティングドラム（１１）が周囲を回転可能な回転軸（１１ａ）を有する第１の回転可能なコーティングドラム（１１）と、第２のコーティングドラム（１２）が周囲を回転可能な回転軸（１２ａ）を有し、第１ドラム（１１）と平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラム（１２）であって、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間には少なくとも１つのウェブ（１５）を搬送するためのギャップ（１７）が形成された第１の回転可能なコーティングドラム（１１）及び第２の回転可能なコーティングドラム（１２）と、
   第１の蒸着ビーム（３１ｂ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２１ａ）を含み、第１のコーティングドラム（１１）の隣に配置された第１の蒸着器（２１）と、
   第２の蒸着ビーム（３２ｂ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２２ａ）を含み、第２のコーティングドラム（１２）の隣に配置された第２の蒸着器（２２）とを含み、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の軸（１１ａ、１２ａ）に沿って投影して見たときに、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、互いに対して傾斜している真空コーティング装置。
2. 第１及び第２の蒸着器（２１、２２）の各々が主蒸着方向（３１ａ、３２ａ）を含み、夫々の主蒸着方向（３１ａ、３２ａ）の幾何学的な延長線は、ギャップ（１７）の前に配置された点Ｐで交差する請求項１記載の真空コーティング装置。
3. 第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）は、ギャップ（１７）を通してウェブ（１５）を輸送するように構成され、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、夫々の蒸着器（２１、２２）の蒸着源（２１ａ、２２ａ）から見たときに、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）のそれぞれ１つによってギャップ（１７）が視界から隠されるように第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）に対して配置されている請求項１又は２記載の真空コーティング装置。
4. 第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の各々は半径Ｒを有し、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間のギャップ（１７）は、第１のコーティングドラム（１１）の回転軸（１１ａ）を第２のコーティングドラム（１２）の回転軸（１２ａ）と結ぶ仮想接続線（１３）に沿って測定したときに幅Ｄを有し、比Ｒ／Ｄが１５以上である請求項１〜３のいずれか１項記載の真空コーティング装置。
5. 第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、第１及び第２の蒸着ビーム（３１ｂ、３２ｂ）が、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）と第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間に配置された共通の堆積ゾーンを形成するように配置されている請求項１〜４のいずれか１項記載の真空コーティング装置。
6. ウェブをコーティングするための真空コーティング装置であって、
   真空チャンバ（５０）と、
   第１の回転可能なコーティングドラム（１１）と、第１ドラム（１１）と平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラム（１２）であって、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間にはギャップ（１７）を通してウェブ（１５）を搬送するためのギャップ（１７）が形成された第１の回転可能なコーティングドラム（１１）及び第２の回転可能なコーティングドラム（１２）と、
   ギャップ（１７）を通して第２のコーティングドラム（１２）によって搬送されたときに、ウェブ（１５）上に材料を堆積させるための、第１のコーティングドラム（１１）の隣に配置され、第２のコーティングドラム（１２）に向かって傾斜された蒸着源（２１ａ）を含む少なくとも１つの第１の蒸着器（２１）を含み、第１の蒸着器（２１）の蒸着源は、第２コーティングドラム（１２）よりも第１のコーティングドラム（１１）により近くに配置され、第１の蒸着器（２１）の蒸着源（２１ａ）から見たときに、第１のコーティングドラム（１１、１２）によってギャップ（１７）が視界から隠されるように第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）に対して配置されている装置。
7. 第１コーティングドラム（１１）によって搬送されたときに、ウェブ（１５）上に材料を堆積する第１のコーティングドラム（１１）に向かって傾斜した蒸着源（２２ａ）を含む少なくとも１つの第２の蒸着器（２２）を含み、第２の蒸着器（２２）は、第１のコーティングドラム（１１）よりも第２のコーティングドラム（１２）により近くに配置され、第２の蒸着器（２２）の蒸着源（２２ａ）から見たときに、第２のコーティングドラム（１２）によってギャップ（１７）が視界から隠されるように第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）に対して配置されている請求項６記載の真空コーティング装置。
8. 第１の蒸着器（２１）が第１の主蒸着方向（３１ａ）を含み、第２の蒸着器（２２）が第２の主蒸着方向（３２ａ）を含み、第１の主蒸着方向（３１ａ）と第２の主蒸着方向（３２ａ）は、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）間に形成されるギャップ（１７）の後方に配置された点（Ｐ）で交差する請求項７記載の真空コーティング装置。
9. 第１及び第２のコーティングドラム（１１、２１）の各々が半径（Ｒ）を含み、第１の蒸着器（２１）の蒸着源（２１ａ）は、コーティングドラム（１１、１２）の半径（Ｒ）未満である距離（Ｌ）によって、第２の蒸着器（２２）の蒸着源（２２ａ）から離間している請求項７又は８記載の真空コーティング装置。
10. 第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の半径（Ｒ）は、第１のコーティングドラム（１１）と第２の蒸着器（２２）の蒸着源（２２ａ）との間の距離よりも大きい、及び／又は、第２のコーティングドラム（１２）と第１の蒸着器（２１）の蒸着源（２１ａ）との間の距離よりも大きい請求項６〜９のいずれか１項記載の真空コーティング装置。
11. ウェブをコーティングするための真空コーティング装置であって、
    真空チャンバ（５０）と、
    回転軸（１１ａ）と、ウェブ（１５）を搬送するための面（２５）を含む少なくとも１つの回転可能なコーティングドラム（１１）と、
    少なくとも１つの蒸着源（２１ａ）を含む第１の蒸着器（２１）と、
    少なくとも１つの蒸着源（２２ａ）を含む第２の蒸着器（２２）であって、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）が、コーティングドラム（１１）の隣に配置され、第１のコーティングドラム（１１）の軸（１１ａ）に沿って投影して見たときに、互いに対して傾斜している第２の蒸着器（２２）を含む真空コーティング装置。
12. 第１の蒸着器（２１）の蒸着源（２１ａ）は、第１の主蒸着方向（３１ａ）を含む第１の蒸着ビーム（３１ａ）を生成するように構成されており、
    第２の蒸着機の蒸着源（２２ａ）は、第2の主蒸着方向（３２ａ）を含む第２の蒸着ビーム（３２a）を生成するように構成されており、
    第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、その蒸着ビーム（３１ｂ、３２ｂ）が互いに対して傾斜するように配置されている請求項１１記載の真空コーティング装置。
13. 回転軸（１１ａ）に平行に投影して見たときに、第１の主蒸着方向（３１ａ）と第２の主蒸着方向（３２ａ）が、コーティングドラム（１１）と第１及び第２の蒸着器（２１、２２）の間に配置される点（Ｐ）で交差するように第１及び第２の蒸着器（２１、２２）が配置されている請求項１２記載の真空コーティング装置。
14. 第１の蒸着ビーム（３１ａ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２１ａ）を含む第１の蒸着器（２１）と、
    第２の蒸着ビーム（３２ａ）を生成するための少なくとも１つの蒸着源（２２ａ）を含む第２の蒸着器（２２）であって、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、互いに対して傾斜している第２の蒸着器（２２）と、
    第１の蒸着器（７２１）の第１の列（７０１）であって、第１の蒸着器（７２１）の各々は、第１の蒸着ビーム（７３２）を生成するように構成されている第１の列（７０１）と、
    第２の蒸着器（７２２）の第２の列（７０２）であって、第２の蒸着器（７２２）の各々は、第２の蒸着ビーム（７３２）を生成するように構成され、第１及び第２の列（７０１、７０２）は互いに平行に配置されている第２の列（７０２）を含み、
    第１の列（７０１）の第１の蒸着器（７２１）と第２の列（７０２）の第２の蒸着器（７２２）は、第１及び第２の列（７０１、７０２）に沿って投影して見たときに、第１の蒸着器（７２１）の蒸着ビーム（７３２）が第２の蒸着器（７２２）の蒸着ビーム（７３２）に対して傾斜するように配置されており、第１及び第２の蒸着器（７２１、７２２）は千鳥状に配置されている蒸着ユニット。
15. ウェブをコーティングするための方法であって、
    第１の回転可能なコーティングドラム（１１）と、第１ドラム（１１）と平行に配置された第２の回転可能なコーティングドラム（１２）を提供する工程であって、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の間にはギャップ（１７）が形成されている工程と、
    第１の蒸着方向から第１の蒸着器（２１）からの材料を蒸発させ、第２の蒸着方向から第２の蒸着器（２２）からの材料を蒸発させることによって、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の表面に隣接して共通の蒸着ゾーンを形成する工程であって、第１及び第２の蒸着器（２１、２２）は、第１及び第２のコーティングドラム（１１、１２）の軸（１１ａ、１２ａ）に沿って投影して見たときに、互いに対して傾斜している工程と、
    第１のコーティングドラム（１１）、第２のコーティングドラム（１２）、及びこれらの組み合わせのうちの少なくとも１つによって、共通の蒸着ゾーンを通して少なくとも１つのウェブ（１５）を搬送する工程を含む方法。