JP2017115246A5

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Info

Publication number: JP2017115246A5
Application number: JP2017002003A
Authority: JP
Filing date: 2017-01-10
Publication date: 2017-10-12
Anticipated expiration: 2033-12-10

Claims

有機材料用の蒸発源であって、
前記有機材料を蒸発させるように構成された蒸発るつぼと、
前記蒸発るつぼと流体連通しており、蒸発中に軸周囲を回転可能である、一又は複数の排出口を有する分配管と、
有機材料を遮蔽するための少なくとも１つのサイドシールドと
を備える蒸発源。
第１のドライバと連結可能であり又は前記第１のドライバを含む、前記分配管の支持体であって、前記第１のドライバが前記支持体及び前記分配管の並進運動のために構成されている、支持体
を更に備える、請求項１に記載の蒸発源。
前記少なくとも１つのサイドシールドが、前記支持体と前記分配管の並進運動に従うように構成されている、請求項２に記載の蒸発源。
前記少なくとも１つのサイドシールドが、更なるサイドシールドを備える、請求項１から３の何れか一項に記載の蒸発源。
前記少なくとも１つのサイドシールドが、前記分配管の前記軸周囲での回転が行われているとき、静止している、請求項１から４の何れか一項に記載の蒸発源。
前記少なくとも１つのサイドシールドが、有機材料の蒸発を基板に向かう方向に範囲を定めるように構成されている、請求項１から５の何れか一項に記載の蒸発源。
前記少なくとも１つのサイドシールドが、アイドルモードにおける側方への蒸発のために構成されている、請求項１から６の何れか一項に記載の蒸発源。
前記分配管が、蒸気が前記蒸発源から出ていくのを回避するために前記サイドシールドに向かって回転可能である、請求項１から７の何れか一項に記載の蒸発源。
蒸発器制御ハウジングを更に備え、前記分配管が前記蒸発器制御ハウジングの回転によって回転可能である、請求項１から８の何れか一項に記載の蒸発源。
前記蒸発るつぼが前記蒸発器制御ハウジングに取り付けられ、前記分配管及び前記蒸発るつぼは一緒に回転できるように取り付けられている、請求項９に記載の蒸発源。
前記分配管、前記蒸発るつぼ、及び前記蒸発器制御ハウジングが一緒に回転可能である、請求項１０に記載の蒸発源。
前記少なくとも１つのサイドシールドが、前記支持体に固定して取り付けられている、請求項２に記載の蒸発源。
前記少なくとも１つのサイドシールドが、前記分配管と一緒に回転しないように固定して取り付けられている、請求項１２に記載の蒸発源。
前記分配管が、前記一又は複数の排出口を含む蒸気分配シャワーヘッドであり、特に前記蒸気分配シャワーヘッドが、直線的蒸気分配シャワーヘッドである、請求項１から１３の何れか一項に記載の蒸発源。
前記分配管が、本質的に垂直に延びる線源を提供し、及び／又は前記分配管を回転させる前記軸が、本質的に垂直に延びる、請求項１から１４の何れか一項に記載の蒸発源。
前記分配管が、少なくとも１６０度回転可能である、請求項１から１５の何れか一項に記載の蒸発源。
前記分配管が、前記支持体に対して前記分配管を回転させる第２のドライバによって、前記軸周囲を回転可能である、請求項２から１６の何れか一項に記載の蒸発源。
前記支持体が、内部で大気圧を維持するように構成された支持体ハウジングを含み、前記支持体が、回転可能な真空フィードスルーを介して、前記分配管を支持する、請求項１７に記載の蒸発源。
前記支持体によって支持されている少なくとも１つの第２の蒸発るつぼと、
前記少なくとも１つの第２の蒸発るつぼと流体連通している、前記支持体によって支持されている少なくとも１つの第２の分配管と
を更に備える、請求項２から１８の何れか一項に記載の蒸発源。
真空チャンバの中で有機材料を堆積させるための堆積装置であって、
真空チャンバと、
前記真空チャンバの中で前記有機材料を蒸発させる、請求項１から１９の何れか一項に記載の蒸発源と、
前記真空チャンバの中に配置され、少なくとも２つのトラックを有する基板支持体システムであって、前記基板支持体システムの前記少なくとも２つのトラックが、前記基板又は前記真空チャンバの中で前記基板を運ぶキャリアの本質的に垂直な支持のために構成されている、基板支持体システムと
を備える堆積装置。
前記少なくとも１つのサイドシールドが、有機材料の蒸発を前記基板に向かう方向に範囲を定めるように構成されている、請求項２０に記載の堆積装置。
有機材料を蒸発させるための方法であって、
本質的に垂直な第１の処理位置で第１の基板を移動させることと、
蒸発源が前記有機材料を蒸発させる間に、少なくとも並進運動で前記第１の基板に沿って前記蒸発源を移動させることと、
前記第１の処理位置と異なる本質的に垂直な第２の処理位置で第２の基板を移動させることと、
蒸発中に軸周囲で前記蒸発源の分配管を回転させることと、
少なくとも１つのサイドシールドで前記有機材料の蒸発を遮蔽することと、
前記蒸発源が前記有機材料を蒸発させる間に、少なくとも更なる並進運動で前記第２の基板に沿って前記蒸発源を移動させることと
を含む方法。
アイドルモードにおける側方への蒸発のために前記分配管を回転させることを更に含む、請求項２２に記載の方法。
蒸気が前記蒸発源から出ていくのを回避するために前記分配管を前記サイドシールドに向かって回転させることを更に含む、請求項２２又は２３に記載の方法。
蒸発中に軸周囲で前記蒸発源の分配管を回転させることが、第１の回転方向で行われ、前記第２の基板に沿って前記蒸発源を移動させることの後に、前記第１の回転方向で蒸発中に軸周囲で前記蒸発源の分配管を回転させることを更に含む、請求項２２から２４の何れか一項に記載の方法。
前記サイドシールドで蒸気ビームを遮断することを更に含む、請求項２２から２５の何れか一項に記載の方法。