JP6627181B1 - 蒸発源及び蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】第１線状部材と第２線状部材とが絡まってしまったり、これらと回転台との接続部に支障を来してしまったりすることを抑制する。【解決手段】チャンバの底板１１に形成された取付孔１１ａの位置に固定される固定台１１０と、固定台１１０に対して回転可能に設けられる回転台１２０と、回転台１２０に備えられる複数の蒸発源ユニット１５０と、貫通孔２１０を通るように設けられる複数の第１配管Ｌ１１が接続される複数の第１接続部１６０と、貫通孔２１０を通るように設けられる複数の第１配線Ｌ２１が接続される複数の第２接続部１７０と、を備える蒸発源１００であって、複数の第１接続部１６０は、複数の第２接続部１７０よりも、回転台１２０の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向上方に設けられると共に、複数の第１配管Ｌ１１と複数の第２接続部１７０との間を仕切るガイド部材１８０が備えられている。【選択図】図４
Description
本発明は、複数の蒸発源ユニットが回転する回転式の蒸発源及び蒸着装置に関する。
従来、複数の蒸発源ユニットが回転可能に設けられることによって、材料を蒸発させる蒸発源ユニットを変更可能に構成された蒸発源が知られている。ここで、複数の蒸発源ユニットには、冷却液を循環させるための配管や電気を供給するための電線がそれぞれ接続されている。複数の蒸発源ユニットを回転可能にしつつ、複数の配管及び電線を設けるための方式として、ロータリージョイントを採用する技術が知られている。しかしながら、この方式の場合には、配管等の接続部分に回転機構が設けられるため、冷却液の漏れをなくすのが難しいという問題がある。
これに対して、蒸発源ユニットを回転させるための回転台を正方向と逆方向に１回転ずつ交互に回転させる回転式の蒸発源も知られている。この方式の場合には、配管（第１線状部材）や電線（第２線状部材）の接続部は固定されており、回転機構が設けられていないため、冷却液の漏れなどの問題は殆どない。しかしながら、この方式の場合には、配管及び配線における回転台との接続部が、回転台の回転に伴って移動する。そのため、配管及び配線の配置スペースが狭いと、配管と配線が絡まってしまったり、これらと回転台との接続部に支障を来してしまったりするおそれがある。
本発明の目的は、第１線状部材と第２線状部材とが絡まってしまったり、これらと回転台との接続部に支障を来してしまったりすることを抑制することのできる蒸発源及び蒸着装置を提供することにある。
本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
すなわち、本発明の蒸発源は、
内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第１装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第１線状部材が接続される少なくとも一つの第１接続部と、
前記床下に設けられた第２装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第２線状部材が接続される少なくとも一つの第２接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第１接続部は、全ての前記第２接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向上方に設けられると共に、
全ての前記第１線状部材と全ての前記第２接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする。
内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第１装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第１線状部材が接続される少なくとも一つの第１接続部と、
前記床下に設けられた第２装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第２線状部材が接続される少なくとも一つの第２接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第１接続部は、全ての前記第２接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向上方に設けられると共に、
全ての前記第１線状部材と全ての前記第２接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする。
また、他の本発明の蒸発源は、
内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第１装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第１線状部材が接続される少なくとも一つの第１接続部と、
前記床下に設けられた第２装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第２線状部材が接続される少なくとも一つの第２接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第２接続部は、全ての前記第１接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向下方に設けられると共に、
全ての前記第１線状部材と全ての前記第２接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする。
内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第１装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第１線状部材が接続される少なくとも一つの第１接続部と、
前記床下に設けられた第２装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第２線状部材が接続される少なくとも一つの第２接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第２接続部は、全ての前記第１接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向下方に設けられると共に、
全ての前記第１線状部材と全ての前記第２接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする。
また、本発明の蒸着装置は、
前記チャンバと、
前記蒸発源と、
を備えることを特徴とする。
前記チャンバと、
前記蒸発源と、
を備えることを特徴とする。
以上説明したように、本発明によれば、第１線状部材と第２線状部材とが絡まってしまったり、これらと回転台との接続部に支障を来してしまったりすることを抑制することができる。
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
（実施例１）
図１〜図４を参照して、本発明の実施例１に係る蒸発源及び蒸着装置について説明する。
図１〜図４を参照して、本発明の実施例１に係る蒸発源及び蒸着装置について説明する。
＜蒸着装置＞
図１及び図２を参照して、本実施例に係る蒸発源を備える蒸着装置について説明する。図１は本発明の実施例１に係る蒸発源を備える蒸着装置の概略構成図である。なお、図１においては、蒸着装置の概略構成について断面的な図にて示している。図２は本発明の実施例１に係る蒸発源を備える蒸着装置の内部構成図であり、蒸着装置のチャンバの内部を上方から見た概略構成を示している。
図１及び図２を参照して、本実施例に係る蒸発源を備える蒸着装置について説明する。図１は本発明の実施例１に係る蒸発源を備える蒸着装置の概略構成図である。なお、図１においては、蒸着装置の概略構成について断面的な図にて示している。図２は本発明の実施例１に係る蒸発源を備える蒸着装置の内部構成図であり、蒸着装置のチャンバの内部を上方から見た概略構成を示している。
蒸着装置１は、真空ポンプ２０によって、内部が真空（減圧雰囲気）となるように構成されるチャンバ１０と、チャンバ１０の内部に配置される複数の蒸発源１００とを備えている。蒸発源１００は、基板３０に蒸着させる物質の材料（例えば金属（銀など））を加熱することで、当該材料を蒸発又は昇華させる役割を担っている。これら複数の蒸発源１００によって蒸発または昇華された物質が、チャンバ１０の内部に設置された基板３０に付着することで、基板３０に薄膜が形成される。なお、図示の例では、５つの蒸発源１００が設けられる場合を示しているが、蒸発源１００の個数は限定されるものではない。複数の蒸発源１００の鉛直方向上方には、それぞれ、蒸発源１００の上方を開閉可能な蒸発源シャッター４０が設けられている。図２中、実線で示す蒸発源シャッター４０は、蒸発源１００の上方を開放し、それぞれの蒸発源１００から蒸発又は昇華された物質が基板３０に向かって移動可能とする状態を示している。また、図２中、点線で示す蒸発源シャッター４０Ｘは、蒸発源１００の上方を遮ることで、蒸着させる材料を遮断して、基板３０への蒸着を停止させている状態を示している。
複数の蒸発源１００は、チャンバ１０の底板１１に形成された複数の取付孔１１ａの位置にそれぞれ固定されている。また、チャンバ１０が設置される床２００の床下には、第１装置としての冷却液循環装置３００と、第２装置としての電源４００が設けられている。以下、説明の便宜上、冷却液循環装置３００と電源４００が設置されているフロアーを第１フロアーＦ１と称し、チャンバ１０が設置されているフロアーを第２フロアーＦ２と称する。そして、第１フロアーＦ１に設置された冷却液循環装置３００から伸びる複数の第１線状部材としての第１配管Ｌ１１がそれぞれの蒸発源１００に接続されている。また、第１フロアーＦ１に設置された電源４００から伸びる複数の第２線状部材としての第１配線Ｌ２１もそれぞれの蒸発源１００に接続されている。これら複数の第１配管Ｌ１１及び第１配線Ｌ２１は、床２００に形成された貫通孔２１０を通るように設けられている。
ここで、床２００は、工場などの建物の床２００であり、その内部には梁などが設けられている。従って、貫通孔２１０は自由な位置に形成することができる訳ではない。そのため、蒸着装置１が配置される位置によっては、第１配管Ｌ１１及び第１配線Ｌ２１を大きく迂回させなければならないこともある。特に、蒸着装置１が小型化される場合には、チャンバ１０と床２００との間が狭くなり、第１配管Ｌ１１及び第１配線Ｌ２１の配置スペースが狭くなってしまう。これにより、第１配管Ｌ１１及び第１配線Ｌ２１は、蒸発源１００の下方でほぼ直角に折り曲げられる場合もある。なお、第１配管Ｌ１１は、樹脂材料などにより構成されるチューブ状の部材である。
＜蒸発源＞
特に、図３及び図４を参照して、本実施例に係る蒸発源１００について、より詳細に説明する。図３は本発明の実施例に係る蒸発源の平面図である。なお、図３においては、各部材の構成を分かり易くするために、一部を透視して示している。図中、点線が透視した部分である。図４は本発明の実施例に係る蒸発源の設置状態を示す模式的断面図である。なお、図４中の蒸発源の断面図は、図３中のＡＡ断面図に相当する。
特に、図３及び図４を参照して、本実施例に係る蒸発源１００について、より詳細に説明する。図３は本発明の実施例に係る蒸発源の平面図である。なお、図３においては、各部材の構成を分かり易くするために、一部を透視して示している。図中、点線が透視した部分である。図４は本発明の実施例に係る蒸発源の設置状態を示す模式的断面図である。なお、図４中の蒸発源の断面図は、図３中のＡＡ断面図に相当する。
蒸発源１００は、チャンバ１０の底板１１に形成された取付孔１１ａの位置に固定され
る固定台１１０と、固定台１１０に対して回転可能に設けられる回転台１２０と、回転台１２０に備えられる複数の蒸発源ユニット１５０とを備えている。
る固定台１１０と、固定台１１０に対して回転可能に設けられる回転台１２０と、回転台１２０に備えられる複数の蒸発源ユニット１５０とを備えている。
固定台１１０は、円筒状の胴体部１１１と、胴体部１１１の鉛直方向上方の端部に設けられる外向きフランジ部１１２と、胴体部１１１の鉛直方向下方の端部に設けられる内向きフランジ部１１３とを備えている。また、胴体部１１１の鉛直方向上方には、開口部１１４ａを有するカバー１１４が固定されている。このカバー１１４は、開口部１１４ａの真下に位置する蒸発源ユニット１５０から蒸発又は昇華された物質のみ基板３０に向かって移動可能とし、それ以外の蒸発源ユニット１５０から蒸発又は昇華された物質については遮断する役割を担っている。これにより、予め定められた位置からのみ物質が基板３０に向かって移動するため、基板３０に対して所望の膜を精度良く形成させることができる。
回転台１２０は、第１円筒部１２１と、第１円筒部１２１の下端に設けられる底板部１２２と、底板部１２２の下方に設けられる第２円筒部１２３と、第２円筒部１２３よりも下方に設けられる歯車部１２４と、歯車部１２４の下方に設けられる内向きフランジ部１２５とを備えている。第１円筒部１２１と第２円筒部１２３は同心的に設けられており、後者の方が前者よりも径が小さい。また、蒸発源１００には、固定台１１０に対して、回転台１２０を回転可能とするためのベアリング１４０が設けられている。このベアリング１４０は、内輪側が回転台の第２円筒部１２３と歯車部１２４との間に固定され、外輪側が固定台１１０における内向きフランジ部１１３の先端に固定されている。
また、固定台１１０における外向きフランジ部１１２にはモータ１３０が固定されている。このモータ１３０の回転軸に固定された歯車１３１と、回転台１２０に設けられた歯車部１２４とが噛み合っている。これにより、モータ１３０の回転軸が回転すると、歯車１３１を介して歯車部１２４が回転することで、回転台１２０が回転する。
そして、固定台１１０における外向きフランジ部１１２の上面側には、この外向きフランジ部１１２とチャンバ１０の底板１１との間の端面同士の隙間を封止するガスケットＧが設けられている。また、回転台１２０における第２円筒部１２３の外周面と、固定台１１０における内向きフランジ部１１３の先端との間にはパッキンＰが設けられている。このパッキンＰは、第２円筒部１２３の外周面と、固定台１１０における内向きフランジ部１１３の先端のうちの少なくともいずれか一方に対して摺動自在に設けられ、かつ、これらの間の環状隙間を封止する機能を有している。以上のようにガスケットＧとパッキンＰが設けられることにより、真空ポンプ２０による排気動作によって、固定台１１０の外側の空間が大気状態（Ａ）のまま、チャンバ１０の内部を真空（減圧雰囲気）状態（Ｖ）にすることができる。
また、回転台１２０における第１円筒部１２１の内側には、底板部１２２に固定される複数の蒸発源ユニット１５０が設けられている。これら複数の蒸発源ユニット１５０は、それぞれ、基板３０に蒸着させる物質の材料を収容する坩堝１５１と、坩堝１５１を収容するケース１５２と、坩堝１５１を加熱するヒータ１５３とを備えている。また、ケース１５２の内部には、坩堝１５１を冷却させる冷却液が流れる流路１５２ａが設けられている。なお、流路１５２ａは、坩堝１５１を冷却する冷却手段としての機能を発揮する。
以上のように構成される蒸発源１００においては、カバー１１４における開口部１１４ａの真下に位置する蒸発源ユニット１５０のヒータ１５３に電気を供給することで、当該蒸発源ユニット１５０の坩堝１５１が加熱される。これにより、当該坩堝１５１内の材料が蒸発又は昇華して、開口部１１４ａを通って、基板３０への蒸着が行われる。そして、適時のタイミング（材料がなくなったタイミングなど）で、モータ１３０により回転台１
２０を回転させることで、蒸着に用いる蒸発源ユニット１５０を交換することができる。従って、本実施例に係る回転式の蒸発源１００によれば、長期間、連続的に蒸着を行うことができる。
２０を回転させることで、蒸着に用いる蒸発源ユニット１５０を交換することができる。従って、本実施例に係る回転式の蒸発源１００によれば、長期間、連続的に蒸着を行うことができる。
ここで、本実施例に係る蒸発源１００においては、回転台１２０によって、複数の蒸発源ユニット１５０を回転可能にしつつ、複数の配管及び電線を設ける方式として、ロータリージョイント方式を採用していない。すなわち、本実施例に係る蒸発源１００においては、回転台１２０を正方向と逆方向に１回転ずつ交互に回転させる方式を採用している。以下、第１線状部材としての配管と、第２線状部材としての配線に関する構成について、より詳細に説明する。
＜第１線状部材（配管）と第２線状部材（配線）に関する構成＞
上記の通り、第１フロアーＦ１に設置された冷却液循環装置３００から伸びる複数の第１線状部材としての第１配管Ｌ１１と、電源４００から伸びる複数の第２線状部材としての第１配線Ｌ２１が蒸発源１００に接続される。第１配管Ｌ１１は、複数の蒸発源ユニット１５０にそれぞれ備えられる流路１５２ａに循環させる冷却液を供給及び排出させるための配管である。また、第１配線Ｌ２１は、ヒータ１５３に電気を供給するための電線である。そして、複数の第１配管Ｌ１１は、各蒸発源ユニット１５０に備えられたケース１５２の流路１５２ａにそれぞれ接続された第２配管Ｌ１２と、第１接続部１６０によって、それぞれ接続される。また、複数の第１配線Ｌ２１は、各蒸発源ユニット１５０に備えられたヒータ１５３にそれぞれ接続された第２配線Ｌ２２と、第２接続部１７０によって、それぞれ接続される。なお、第２接続部１７０は、配線同士を接続するコネクタである。
上記の通り、第１フロアーＦ１に設置された冷却液循環装置３００から伸びる複数の第１線状部材としての第１配管Ｌ１１と、電源４００から伸びる複数の第２線状部材としての第１配線Ｌ２１が蒸発源１００に接続される。第１配管Ｌ１１は、複数の蒸発源ユニット１５０にそれぞれ備えられる流路１５２ａに循環させる冷却液を供給及び排出させるための配管である。また、第１配線Ｌ２１は、ヒータ１５３に電気を供給するための電線である。そして、複数の第１配管Ｌ１１は、各蒸発源ユニット１５０に備えられたケース１５２の流路１５２ａにそれぞれ接続された第２配管Ｌ１２と、第１接続部１６０によって、それぞれ接続される。また、複数の第１配線Ｌ２１は、各蒸発源ユニット１５０に備えられたヒータ１５３にそれぞれ接続された第２配線Ｌ２２と、第２接続部１７０によって、それぞれ接続される。なお、第２接続部１７０は、配線同士を接続するコネクタである。
ここで、第１接続部１６０と第２接続部１７０の配置については、接続作業やメンテナンスの観点から、極力、下方の位置に設けるのが望ましい。しかしながら、第１接続部１６０については、底板部１２２に設けざるを得ない。これは、真空（減圧雰囲気）状態（Ｖ）になる領域と、大気状態（Ａ）の領域とを隔てる底板部１２２に、冷却液が流れる通路を形成しなければならないことに起因する。これに対して、電気配線の場合には、そのような制約がないため、内向きフランジ部１２５の下方に第２接続部１７０が設けられている。以上のように、複数の第１接続部１６０は、複数の第２接続部１７０よりも、鉛直方向上方に設けられる。また、複数の第１配管Ｌ１１と、複数の第１配線Ｌ２１とが絡まり難いように、複数の第１接続部１６０は、複数の第２接続部１７０よりも、回転台１２０の回転中心側に偏った位置に設けられている。
しかしながら、上記の通り、蒸着装置１と、床２００に形成された貫通孔２１０との位置関係によっては、第１配管Ｌ１１及び第１配線Ｌ２１が、蒸発源１００の下方でほぼ直角に折り曲げられるような場合もある。そのため、このような場合に、何も対策を施さない場合には、回転台１２０が回転した際に、第１配管Ｌ１１が第１配線Ｌ２１と絡まってしまったり、第１配管Ｌ１１が第２接続部１７０（コネクタ）に衝突して、第２接続部１７０に支障を来してしまったりするおそれがある。例えば、電気的な接続不良を引き起こす原因にもなる。
そこで、本実施例に係る蒸発源１００においては、複数の第１配管Ｌ１１と複数の第２接続部１７０との間を仕切るガイド部材１８０が備えられている。このガイド部材１８０は、回転台１２０における内向きフランジ部１２５の底面に固定されている。また、このガイド部材１８０の下端は、第２接続部１７０の下端よりも鉛直方向下方に位置するように構成されている。より具体的には、このガイド部材１８０は、その内側に複数の第１配管Ｌ１１が通り、その外側に複数の第２接続部１７０が配置されるように備えられる筒状部材（本実施例の場合には、円筒状部材）により構成されている。ここで、回転台１２０
が回転した際に、ガイド部材１８０と第１配管Ｌ１１、及びガイド部材１８０と第１配線Ｌ２１とは摺動し得る。そこで、ガイド部材１８０は、摺動抵抗を低減させて摩耗しにくくするために、摺動材である樹脂材料（例えば、ナイロンモノマー、ＰＡ６（６ナイロン））により構成されるのが望ましい。また、ガイド部材１８０の表面にフッ素加工を施すことで、ガイド部材１８０の表面にフッ素コーティング層を設けることも好適である。
が回転した際に、ガイド部材１８０と第１配管Ｌ１１、及びガイド部材１８０と第１配線Ｌ２１とは摺動し得る。そこで、ガイド部材１８０は、摺動抵抗を低減させて摩耗しにくくするために、摺動材である樹脂材料（例えば、ナイロンモノマー、ＰＡ６（６ナイロン））により構成されるのが望ましい。また、ガイド部材１８０の表面にフッ素加工を施すことで、ガイド部材１８０の表面にフッ素コーティング層を設けることも好適である。
＜本実施例に係る蒸発源及び蒸着装置の優れた点＞
本実施例に係る蒸発源１００によれば、ガイド部材１８０によって、複数の第１配管Ｌ１１と複数の第２接続部１７０との間が仕切られている。従って、複数の第１配管Ｌ１１と複数の第１配線Ｌ２１とが絡まってしまうことを抑制することができる。また、第１配管Ｌ１１が第２接続部１７０に衝突することも避けられるため、第２接続部１７０に支障を来すことも抑制することができる。以上のことから、第１配管Ｌ１１や第１配線Ｌ２１の配置スペースを狭くすることができるため、蒸着装置１の小型化に対応することができる。また、蒸着装置１の配置の自由度も大きくなる。
本実施例に係る蒸発源１００によれば、ガイド部材１８０によって、複数の第１配管Ｌ１１と複数の第２接続部１７０との間が仕切られている。従って、複数の第１配管Ｌ１１と複数の第１配線Ｌ２１とが絡まってしまうことを抑制することができる。また、第１配管Ｌ１１が第２接続部１７０に衝突することも避けられるため、第２接続部１７０に支障を来すことも抑制することができる。以上のことから、第１配管Ｌ１１や第１配線Ｌ２１の配置スペースを狭くすることができるため、蒸着装置１の小型化に対応することができる。また、蒸着装置１の配置の自由度も大きくなる。
（実施例２）
図５には、本発明の実施例２が示されている。本実施例においては、第１接続部と第２接続部の配置に関する構成が、上記実施例１の場合とは異なる場合の構成を示す。その他の構成および作用については実施例１と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は省略する。
図５には、本発明の実施例２が示されている。本実施例においては、第１接続部と第２接続部の配置に関する構成が、上記実施例１の場合とは異なる場合の構成を示す。その他の構成および作用については実施例１と同一なので、同一の構成部分については同一の符号を付して、その説明は省略する。
図５は本発明の実施例２に係る蒸発源の設置状態を示す模式的断面図である。蒸着装置全体の構成については、上記実施例１で説明した通りであるので、その説明は省略する。また、蒸発源についても、第１接続部１６０と第２接続部１７０の配置に関する構成以外の基本的構成については、上記実施例１で説明した通りであるので、その説明は省略する。
本実施例においても、第１フロアーＦ１に設置された冷却液循環装置３００から伸びる複数の第１線状部材としての第１配管Ｌ１１と、電源４００から伸びる複数の第２線状部材としての第１配線Ｌ２１が蒸発源１００に接続される。第１配管Ｌ１１は、複数の蒸発源ユニット１５０にそれぞれ備えられる流路１５２ａに循環させる冷却液を供給及び排出させるための配管である。また、第１配線Ｌ２１は、ヒータ１５３に電気を供給するための電線である。そして、複数の第１配管Ｌ１１は、各蒸発源ユニット１５０に備えられたケース１５２の流路１５２ａにそれぞれ接続された第２配管Ｌ１２と、第１接続部１６０によって、それぞれ接続される。また、複数の第１配線Ｌ２１は、各蒸発源ユニット１５０に備えられたヒータ１５３にそれぞれ接続された第２配線Ｌ２２と、第２接続部１７０によって、それぞれ接続される。なお、第２接続部１７０は、配線同士を接続するコネクタである。
また、実施例１で説明した通り、第１接続部１６０と第２接続部１７０の配置については、極力、下方の位置に設けるのが望ましいが、第１接続部１６０については、底板部１２２に設けざるを得ない。これに対して、電気配線の場合には、そのような制約がない。そこで、本実施例においては、底板部１２２の中央に配線が通る孔が設けられ、かつ、この孔の下方に有底筒状部１２２ａが設けられている。そして、この有底筒状部１２２ａの底の下方に第２接続部１７０が設けられている。以上のように、複数の第１接続部１６０は、複数の第２接続部１７０よりも、鉛直方向上方に設けられる。また、複数の第１配管Ｌ１１と、複数の第１配線Ｌ２１とが絡まり難いように、複数の第２接続部１７０は、複数の第１接続部１６０よりも、回転台１２０の回転中心側に偏った位置に設けられている。
そして、本実施例に係る蒸発源１００においては、複数の第１配管Ｌ１１と複数の第２接続部１７０との間を仕切るガイド部材１８０が備えられている。このガイド部材１８０は、回転台１２０における有底筒状部１２２ａの底面に固定されている。また、このガイド部材１８０の下端は、第２接続部１７０の下端よりも鉛直方向下方に位置するように構成されている。より具体的には、このガイド部材１８０は、その外側に複数の第１配管Ｌ１１が通り、その内側に複数の第２接続部１７０が配置されるように備えられる筒状部材（本実施例の場合には、円筒状部材）により構成されている。ガイド部材１８０の材料等に関しては、上記実施例１で説明した通りである。
以上のように構成される本実施例に係る蒸発源１００においても、上記実施例１の場合と同様の効果が得られることは言うまでもない。
（その他）
上記実施例１及び２においては、第１配管Ｌ１１，第１接続部１６０，第１配線Ｌ２１及び第２接続部１７０が、一つの蒸発源１００に対して、それぞれ複数設けられる場合の構成を示した。しかしながら、本発明においては、第１配管Ｌ１１及び第１接続部１６０が一つの蒸発源１００に対して一つのみ設けられる場合、及び第１配線Ｌ２１及び第２接続部１７０が一つの蒸発源１００に対して一つのみ設けられる場合も含まれる。つまり、複数の蒸発源ユニット１５０にそれぞれ接続された第２配管Ｌ１２は、回転台１２０の内部で一つの配管（集合管）に集約させることができる。この場合、第１配管Ｌ１１と第１接続部１６０は、一つの蒸発源１００に対して一つのみ設ければよい。また、複数の蒸発源ユニット１５０にそれぞれ接続された第２配線Ｌ２２についても、同様に、回転台１２０の内部で一つの配線に集約させることができる。この場合、第１配線Ｌ２１と第２接続部１７０は、一つの蒸発源１００に対して一つのみ設ければよい。
上記実施例１及び２においては、第１配管Ｌ１１，第１接続部１６０，第１配線Ｌ２１及び第２接続部１７０が、一つの蒸発源１００に対して、それぞれ複数設けられる場合の構成を示した。しかしながら、本発明においては、第１配管Ｌ１１及び第１接続部１６０が一つの蒸発源１００に対して一つのみ設けられる場合、及び第１配線Ｌ２１及び第２接続部１７０が一つの蒸発源１００に対して一つのみ設けられる場合も含まれる。つまり、複数の蒸発源ユニット１５０にそれぞれ接続された第２配管Ｌ１２は、回転台１２０の内部で一つの配管（集合管）に集約させることができる。この場合、第１配管Ｌ１１と第１接続部１６０は、一つの蒸発源１００に対して一つのみ設ければよい。また、複数の蒸発源ユニット１５０にそれぞれ接続された第２配線Ｌ２２についても、同様に、回転台１２０の内部で一つの配線に集約させることができる。この場合、第１配線Ｌ２１と第２接続部１７０は、一つの蒸発源１００に対して一つのみ設ければよい。
１…蒸着装置，１０…チャンバ，１１…底板，１１ａ…取付孔，１００…蒸発源，１１０…固定台，１２０…回転台，１５０…蒸発源ユニット，１５１…坩堝，１５３…ヒータ，１６０…第１接続部，１７０…第２接続部，１８０…ガイド部材，２００…床，２１０…貫通孔，Ｌ１１…第１配管，Ｌ１２…第１配管，Ｌ２１…第２配線，Ｌ２２…第２配線
Claims (12)
- 内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第１装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第１線状部材が接続される少なくとも一つの第１接続部と、
前記床下に設けられた第２装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第２線状部材が接続される少なくとも一つの第２接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第１接続部は、全ての前記第２接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向上方に設けられると共に、
全ての前記第１線状部材と全ての前記第２接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする蒸発源。 - 前記ガイド部材は、その内側に全ての前記第１線状部材が通り、その外側に全ての前記第２接続部が配置されるように備えられる筒状部材であることを特徴とする請求項１に記載の蒸発源。
- 内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
少なくとも坩堝と該坩堝を加熱するヒータと前記坩堝を冷却する冷却手段とをそれぞれ有し、前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
前記チャンバが設置される床の床下に設けられた第１装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第１線状部材が接続される少なくとも一つの第１接続部と、
前記床下に設けられた第２装置から伸び、前記床に形成された貫通孔を通るように設けられる少なくとも一つの第２線状部材が接続される少なくとも一つの第２接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第２接続部は、全ての前記第１接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置であって、かつ、鉛直方向下方に設けられると共に、
全ての前記第１線状部材と全ての前記第２接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする蒸発源。 - 前記ガイド部材は、その外側に全ての前記第１線状部材が通り、その内側に全ての前記第２接続部が配置されるように備えられる筒状部材であることを特徴とする請求項３に記載の蒸発源。
- 内部が減圧雰囲気となるように構成されるチャンバの底板に形成された取付孔の位置に固定される固定台と、
前記固定台に対して回転可能に設けられる回転台と、
前記回転台に備えられる複数の蒸発源ユニットと、
第１装置から伸びる少なくとも一つの第１線状部材が接続される少なくとも一つの第１接続部と、
第２装置から伸びる少なくとも一つの第２線状部材が接続される少なくとも一つの第２接続部と、
を備える蒸発源であって、
全ての前記第１接続部は、全ての前記第２接続部よりも、前記回転台の回転中心側に偏った位置に設けられると共に、
全ての前記第１線状部材と全ての前記第２接続部との間を仕切るガイド部材が備えられていることを特徴とする蒸発源。 - 前記ガイド部材の下端は、前記第２接続部の下端よりも鉛直方向下方に位置することを特徴とする請求項１〜５のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記回転台は、前記固定台に対して、正方向と逆方向に１回転ずつ繰り返すように構成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記ガイド部材は、摺動材である樹脂材料により構成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記ガイド部材の表面には、フッ素コーティング層が設けられていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記第１線状部材は、複数の前記蒸発源ユニットにそれぞれ備えられる流路に循環させる冷却液を供給及び排出させるための配管であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記第２線状部材は、前記ヒータに電気を供給するための電線であることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一つに記載の蒸発源。
- 前記チャンバと、
請求項１〜１１のいずれか一つに記載の蒸発源と、
を備えることを特徴とする蒸着装置。
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