KR20200014168A

KR20200014168A - 증발원 및 증착 장치

Info

Publication number: KR20200014168A
Application number: KR1020180149003A
Authority: KR
Inventors: 코지 후지나카
Original assignee: 캐논 톡키 가부시키가이샤
Priority date: 2018-07-31
Filing date: 2018-11-27
Publication date: 2020-02-10
Also published as: KR102698278B1; CN110777333B; JP6627181B1; CN110777333A; JP2020019993A

Abstract

[과제] 제1 선상 부재와 제2 선상 부재가 얽혀거나, 이들과 회전대와의 접속부에 지장을 초래하는 것 등을 억제한다.
[해결 수단] 챔버의 저판(11)에 형성된 장착 구멍(11a)의 위치에 고정되는 고정대(110)와, 고정대(110)에 대해 회전 가능하게 설치되는 회전대(120)와, 회전대(120)에 구비되는 복수의 증발원 유닛(150)과, 관통공(210)을 통과하도록 설치되는 복수의 제1 배관(L11)이 접속되는 복수의 제1 접속부(160)와, 관통공(210)을 통과하도록 설치되는 복수의 제1 배선(L21)이 접속되는 복수의 제2 접속부(170)를 구비하는 증발원(100)으로서, 복수의 제1 접속부(160)는, 복수의 제2 접속부(170)보다, 회전대(120)의 회전 중심 측에 치우친 위치로서, 또한, 연직 방향 상방에 설치되고, 복수의 제1 배관(L11)와 복수의 제2 접속부(170)와의 사이를 구획하는 가이드 부재(180)가 구비되어 있다.

Description

증발원 및 증착 장치{EVAPORATION SOURCE AND DEPOSITION APPARATUS}

본 발명은, 복수의 증발원 유닛이 회전하는 회전식의 증발원 및 증착 장치에 관한 것이다.

종래, 복수의 증발원 유닛이 회전 가능하게 설치됨으로써, 재료를 증발시키는 증발원 유닛을 변경 가능하게 구성한 증발원이 알려져 있다. 여기서, 복수의 증발원 유닛에는, 냉각액을 순환시키기 위한 배관이나 전기를 공급하기 위한 전선이 각각 접속되고 있다. 복수의 증발원 유닛을 회전 가능하게 하면서, 복수의 배관 및 전선을 설치하기 위한 방식으로서, 로터리 조인트를 채용하는 기술이 알려져 있다. 그러나, 이러한 방식의 경우에는, 배관 등의 접속 부분에 회전 기구가 설치되기 때문에, 냉각액의 누설을 없애는 것이 어렵다는 문제가 있다.

이에 대하여, 증발원 유닛을 회전시키기 위한 회전대를 정방향과 역방향으로 1회전씩 교대로 회전시키는 회전식의 증발원도 알려져 있다. 이 방식의 경우에는, 배관(제1 선상 부재)이나 전선(제2 선상 부재)의 접속부는 고정되어 있고, 회전 기구가 설치되어 있지 않기 때문에, 냉각액의 누설 등의 문제는 거의 없다. 그러나, 이 방식의 경우에는, 배관 및 배선에 있어서의 회전대와의 접속부가 회전대의 회전에 수반하여 이동한다. 이 때문에, 배관 및 배선의 배치 스페이스가 좁으면, 배관과 배선이 얽히거나, 이들과 회전대와의 접속부에 지장을 초래하는 등의 우려가 있다.

일본특허공개 제2012-1764호 공보

본 발명의 목적은, 제1 선상 부재와 제2 선상 부재가 얽히거나, 이들과 회전대와의 접속부에 지장을 초래하는 것 등을 억제할 수 있는 증발원 및 증착 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위해 이하의 수단을 채용하였다.

즉, 본 발명의 증발원은,

내부가 감압 분위기가 되도록 구성되는 챔버의 저판에 형성된 장착 구멍의 위치에 고정되는 고정대와,

상기 고정대에 대해 회전 가능하게 설치되는 회전대와,　

적어도 도가니와, 해당 도가니를 가열하는 히터와, 상기 도가니를 냉각하는 냉각 수단을 각각 갖고, 상기 회전대에 구비되는 복수의 증발원 유닛과,

상기 챔버가 설치되는 플로어의 플로어 아래에 설치된 제1 장치로부터 연장하고, 상기 플로어에 형성된 관통공을 통과하도록 설치되는 적어도 하나의 제1 선상 부재가 접속되는 적어도 하나의 제1 접속부와,

상기 플로어 아래에 설치된 제2 장치로부터 연장하고, 상기 플로어에 형성된 관통공을 통과하도록 설치되는 적어도 하나의 제2 선상 부재가 접속되는 적어도 하나의 제2 접속부

를 구비하는 증발원으로서,

모든 제1 접속부는, 모든 제2 접속부보다, 상기 회전대의 회전 중심 측에 치우친 위치로서, 또한, 연직 방향 상방에 설치되고,

모든 제1 선상 부재와 모든 제2 접속부와의 사이를 구획하는 가이드 부재가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 증발원은,

상기 고정대에 대해 회전 가능하게 설치되는 회전대와,

를 구비하는 증발원으로서,

모든 제2 접속부는, 모든 제1 접속부보다, 상기 회전대의 회전 중심 측에 치우친 위치로서, 또한, 연직 방향 하방에 설치되고,

또한, 본 발명의 증착 장치는,

상기 챔버와,

상기 증발원을 구비하는 것을 특징으로 한다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 제1 선상 부재와 제2 선상 부재가 얽히거나, 이들과 회전대와의 접속부에 지장을 초래하는 것 등을 억제할 수 있다.

[도 1] 도 1은 본 발명의 실시예 1과 관련되는 증발원을 구비하는 증착 장치의 개략 구성도이다.
[도 2] 도 2는 본 발명의 실시예 1과 관련되는 증발원을 구비하는 증착 장치의 내부 구성도이다.
[도 3] 도 3은 본 발명의 실시예 1과 관련되는 증발원의 평면도이다.
[도 4] 도 4는 본 발명의 실시예 1과 관련되는 증발원의 설치 상태를 나타내는 모식적 단면도이다.
[도 5] 도 5는 본 발명의 실시예 2와 관련되는 증발원의 설치 상태를 나타내는 모식적 단면도이다.

이하 도면을 참조하여, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 실시예에 기초하여 예시적으로 상세히 설명한다. 다만, 이 실시예에 기재되어 있는 구성 부품의 치수, 재질, 형상, 그 상대 배치 등은 특히 특정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 이들만으로 한정하는 취지의 것은 아니다.

(실시예 1)

도 1 ~ 도 4를 참조하여, 본 발명의 실시예 1과 관련되는 증발원 및 증착 장치에 대해 설명한다.

＜증착 장치＞

도 1 및 도 2를 참조하여, 본 실시예와 관련되는 증발원을 구비하는 증착 장치에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 실시예 1과 관련되는 증발원을 구비하는 증착 장치의 개략 구성도이다. 또한, 도 1에 있어서는, 증착 장치의 개략 구성에 대해 단면적인 도면으로서 나타내고 있다. 도 2는 본 발명의 실시예 1과 관련되는 증발원을 구비하는 증착 장치의 내부 구성도이며, 증착 장치의 챔버의 내부를 위에서부터 본 개략 구성을 나타내고 있다.

증착 장치(1)은, 진공 펌프(20)에 의해, 내부가 진공(감압 분위기)이 되도록 구성되는 챔버(10)와, 챔버(10)의 내부에 배치되는 복수의 증발원(100)을 구비하고 있다. 증발원(100)은, 기판(30)에 증착시키는 물질의 재료(예를 들어, 금속(은 등))을 가열함으로써, 해당 재료를 증발 또는 승화시키는 역할을 담당하고 있다. 이들 복수의 증발원(100)에 의해 증발 또는 승화된 물질이 챔버(10)의 내부에 설치된 기판(30)에 부착함으로써, 기판(30)에 박막이 형성된다. 또한, 도시된 예에서는, 5개의 증발원(100)이 설치되는 경우를 나타내고 있지만, 증발원(100)의 개수는 한정되는 것은 아니다. 복수의 증발원(100)의 연직 방향 상방에는, 각각, 증발원(100)의 상방을 개폐 가능한 증발원 셔터(40)가 설치되어 있다. 도 2 중 실선으로 나타낸 증발원 셔터(40)는 증발원(100)의 상방을 개방하여, 각각의 증발원(100)으로부터 증발 또는 승화된 물질이 기판(30)을 향해 이동 가능한 상태를 나타내고 있다. 또한, 도 2 중 점선으로 나타낸 증발원 셔터(40X)는 증발원(100)의 상방을 차단함으로써 증착시키는 재료를 차단하여, 기판(30)으로의 증착을 정지시키고 있는 상태를 나타내고 있다.

복수의 증발원(100)은, 챔버(10)의 저판(11)에 형성된 복수의 장착 구멍(11a)의 위치에 각각 고정되어 있다. 또한, 챔버(10)가 설치되는 플로어(200)의 플로어 아래에는, 제1 장치로서의 냉각액 순환 장치(300)와, 제2 장치로서의 전원(400)이 설치되어 있다. 이하, 설명의 편의 상, 냉각액 순환 장치(300)와 전원(400)이 설치되어 있는 플로어를 제1 플로어(F1)라고 하고, 챔버(10)가 설치되어 있는 플로어를 제2 플로어(F2)라고 한다. 그리고, 제1 플로어(F1)에 설치된 냉각액 순환 장치(300)로부터 연장하는 복수의 제1 선상 부재로서의 제1 배관(L11)이 각각의 증발원(100)에 접속되어 있다. 또한, 제1 플로어(F1)에 설치된 전원(400)으로부터 연장하는 복수의 제2 선상 부재로서의 제1 배선(L21)도 각각의 증발원(100)에 접속되어 있다. 이들 복수의 제1 배관(L11) 및 제1 배선(L21)은, 플로어(200)에 형성된 관통공(210)을 통과하도록 설치되어 있다.

여기서, 플로어(200)는 공장 등의 건물의 플로어(200)이며, 그 내부에는 대들보 등이 설치되어 있다. 따라서, 관통공(210)은 자유로운 위치에 형성할 수 있은 것은 아니다. 그 때문에, 증착 장치(1)가 배치되는 위치에 따라서는, 제1 배관(L11) 및 제1 배선(L21)을 크게 우회시키지 않으면 안되는 경우도 있다. 특히, 증착 장치(1)가 소형화되는 경우에는, 챔버(10)와 플로어(200)의 사이가 좁아져, 제1 배관(L11) 및 제1 배선(L21)의 배치 스페이스가 좁게 되어 버린다. 이에 의해, 제1 배관(L11) 및 제1 배선(L21)은, 증발원(100)의 하방에서 거의 직각에 접혀 구부러지는 경우도 있다. 또한, 제1 배관(L11)은 수지 재료 등에 의해 구성되는 튜브 형상의 부재이다.

＜증발원＞

특히, 도 3 및 도 4를 참조하여, 본 실시예와 관련되는 증발원(100)에 대하여보다 상세히 설명한다. 도 3은 본 발명의 실시예와 관련되는 증발원의 평면도이다. 또한, 도 3에 있어서는, 각 부재의 구성을 알기 쉽게 하기 위하여 일부를 투시해 나타내고 있다. 도면 중, 점선이 투시한 부분이다. 도 4는 본 발명의 실시예와 관련되는 증발원의 설치 상태를 나타내는 모식적 단면도이다. 또한, 도 4 중의 증발원의 단면도는, 도 3 중의 AA 단면도에 해당한다.

증발원(100)은, 챔버(10)의 저판(11)에 형성된 장착 구멍(11a)의 위치에 고정되는 고정대(110)와, 고정대(110)에 대해 회전 가능하게 설치되는 회전대(120)와, 회전대(120)에 구비되는 복수의 증발원 유닛(150)을 구비하고 있다.

고정대(110)는, 원통 형상의 동체부(111)와, 동체부(111)의 연직 방향 상방의 단부에 설치되는 외향 플랜지부(112)와, 동체부(111)의 연직 방향 하방의 단부에 설치되는 내향 플랜지부(113)를 구비하고 있다. 또한, 동체부(111)의 연직 방향 상방에는, 개구부(114a)를 갖는 커버(114)가 고정되어 있다. 이 커버(114)는, 개구부(114a)의 바로 밑에 위치하는 증발원 유닛(150)으로부터 증발 또는 승화된 물질만 기판(30)을 향해 이동 가능하게 하고, 그 이외의 증발원 유닛(150)으로부터 증발 또는 승화된 물질에 대해서는 차단하는 역할을 담당하고 있다. 이에 의해, 미리 정해진 위치에서만 물질이 기판(30)을 향해 이동하기 때문에, 기판(30)에 대해 소망하는 막을 좋은 정밀도로 형성할 수 있다.

회전대(120)는, 제1 원통부(121)와, 제1 원통부(121)의 하단에 설치되는 저판부(122)와, 저판부(122)의 하방에 설치되는 제2 원통부(123)와, 제2 원통부(123)보다 하방에 설치되는 기어부(124)와, 기어부(124)의 하방에 설치되는 내향 플랜지부(125)를 구비하고 있다. 제1 원통부(121)와 제2 원통부(123)는 동심적으로 설치되어 있고, 후자가 전자보다 직경이 작다. 또한, 증발원(100)에는, 고정대(110)에 대하여, 회전대(120)를 회전 가능하게 하기 위한 베어링(140)이 설치되고 있다. 이 베어링(140)은, 내륜 측이 회전대의 제2 원통부(123)와 기어부(124)와의 사이에 고정되고, 외륜 측이 고정대(110)에 있어서의 내향 플랜지부(113)의 선단에 고정되고 있다.

또한, 고정대(110)에 있어서의 외향 플랜지부(112)에는 모터(130)가 고정되어 있다. 이 모터(130)의 회전축에 고정된 기어(131)와, 회전대(120)에 설치된 기어부(124)가 서로 맞물리고 있다. 이에 의해, 모터(130)의 회전축이 회전하면, 기어(131)를 거쳐 기어부(124)가 회전함으로써 회전대(120)가 회전한다.

그리고, 고정대(110)에 있어서의 외향 플랜지부(112)의 상면 측에는, 이 외향 플랜지부(112)와 챔버(10)의 저판(11)과의 사이의 단면끼리의 틈새를 밀봉하는 개스킷(G)이 설치되고 있다. 또한, 회전대(120)에 있어서의 제2 원통부(123)의 외주면과, 고정대(110)에 있어서의 내향 플랜지부(113)의 선단과의 사이에는 패킹(P)이 설치되어 있다. 이 패킹(P)은, 제2 원통부(123)의 외주면과, 고정대(110)에 있어서의 내향 플랜지부(113)의 선단 중 적어도 어느 한 쪽에 대하여 슬라이딩 이동 가능하게 설치되고, 또한, 이들 사이의 환상 틈새를 밀봉하는 기능을 갖고 있다. 이상과 같이 개스킷(G)과 패킹(P)이 설치됨으로써, 진공 펌프(20)에 의한 배기 동작에 의해, 고정대(110)의 외측 공간이 대기 상태(A)인 채로, 챔버(10)의 내부를 진공(감압 분위기) 상태(V)로 할 수 있다.

또한, 회전대(120)에 있어서의 제1 원통부(121)의 내측에는, 저판부(122)에 고정되는 복수의 증발원 유닛(150)이 설치되고 있다. 이들 복수의 증발원 유닛(150)은, 각각, 기판(30)에 증착시키는 물질의 재료를 수용하는 도가니(151)와, 도가니(151)를 수용하는 케이스(152)와, 도가니(151)를 가열하는 히터(153)를 구비하고 있다. 또한, 케이스(152)의 내부에는, 도가니(151)를 냉각시키는 냉각액이 흐르는 유로(152a)가 설치되어 있다. 또한, 유로(152a)는 도가니(151)을 냉각시키는 냉각 수단으로서의 기능을 발휘한다.

이상과 같이 구성되는 증발원(100)에 있어서는, 커버(114)에 있어서의 개구부(114a)의 바로 아래에 위치하는 증발원 유닛(150)의 히터(153)에 전기를 공급함으로써, 해당 증발원 유닛(150)의 도가니(151)가 가열된다. 이에 의해, 해당 도가니(151) 내의 재료가 증발 또는 승화하여, 개구부(114a)를 통하여 기판(30)으로의 증착이 행해진다. 그리고, 적시의 타이밍(재료가 없어진 타이밍 등)에서 모터(130)에 의해 회전대(120)를 회전시킴으로써, 증착에 이용하는 증발원 유닛(150)을 교환할 수 있다. 따라서, 본 실시예와 관련되는 회전식의 증발원(100)에 의하면, 장기간 연속적으로 증착을 실시할 수 있다.

여기서, 본 실시예와 관련되는 증발원(100)에 있어서는, 회전대(120)에 의해, 복수의 증발원 유닛(150)을 회전 가능하게 하면서, 복수의 배관 및 전선을 설치하는 방식으로서, 로터리 조인트 방식을 채용하고 있지 않다. 즉, 본 실시예와 관련되는 증발원(100)에 있어서는, 회전대(120)를 정방향과 역방향으로 1회전씩 교대로 회전시키는 방식을 채용하고 있다. 이하, 제1 선상 부재로서의 배관과 제2 선상 부재로서의 배선에 관한 구성에 대하여 보다 상세히 설명한다.

＜제1 선상 부재(배관)와 제2 선상 부재(배선)에 관한 구성＞

상기한 바와 같이, 제1 플로어(F1)에 설치된 냉각액 순환 장치(300)로부터 연장되는 복수의 제1 선상 부재로서의 제1 배관(L11)과, 전원(400)으로부터 연장되는 복수의 제2 선상 부재로서의 제1 배선(L21)이 증발원(100)에 접속된다. 제1 배관(L11)은, 복수의 증발원 유닛(150)에 각각 구비되는 유로(152a)로 순환시키는 냉각액을 공급 및 배출시키기 위한 배관이다. 또한, 제1 배선(L21)은, 히터(153)에 전기를 공급하기 위한 전선이다. 그리고, 복수의 제1 배관(L11)은, 각 증발원 유닛(150)에 구비된 케이스(152)의 유로(152a)에 각각 접속된 제2 배관(L12)과, 제1 접속부(160)에 의해, 각각 접속된다. 또한, 복수의 제1 배선(L21)은, 각 증발원 유닛(150)에 구비된 히터(153)에 각각 접속된 제2 배선(L22)과, 제2 접속부(170)에 의해, 각각 접속된다. 또한, 제2 접속부(170)는, 배선끼리를 접속하는 커넥터이다.

여기서, 제1 접속부(160)와 제2 접속부(170)의 배치에 관해서는, 접속 작업이나 유지 보수의 관점에서, 가능한 한 하방의 위치에 설치하는 것이 바람직하다. 그러나, 제1 접속부(160)에 관하여는, 저판부(122)에 설치하지 않을 수 없다. 이는 진공(감압 분위기) 상태(V)로 되는 영역과 대기 상태(A)의 영역을 구획하는 저판부(122)에, 냉각액이 흐르는 통로를 형성하여만 하는 것에 기인한다. 이에 대해, 전기 배선의 경우에는, 이러한 제약이 없기 때문에, 내향 플랜지부(125)의 하방에 제2 접속부(170)가 설치되고 있다. 이상과 같이, 복수의 제1 접속부(160)는, 복수의 제2 접속부(170)보다 연직 방향 상방에 설치된다. 또한, 복수의 제1 배관(L11)과 복수의 제1 배선(L21)이 얽히기 어렵도록, 복수의 제1 접속부(160)는 복수의 제2 접속부(170)보다 회전대(120)의 회전 중심 측에 치우친 위치에 설치되고 있다.

그러나, 상기한 바와 같이, 증착 장치(1)와 플로어(200)에 형성된 관통공(210)과의 위치 관계에 따라서는, 제1 배관(L11) 및 제1 배선(L21)이 증발원(100)의 하방에서 거의 직각으로 접혀 구부러지는 것과 같은 경우도 있다. 이 때문에, 이와 같은 경우에 아무런 대책을 취하지 않는 경우에는, 회전대(120)가 회전하였을 때 제1 배관(L11)이 제1 배선(L21)과 얽혀 버리거나, 제1 배관(L11)이 제2 접속부(170)(커넥터)에 충돌하여 제2 접속부(170)에 지장을 초래하는 등의 우려가 있다. 예를 들어, 전기적인 접속 불량을 일으키는 원인으로도 된다.

이에, 본 실시예와 관련되는 증발원(100)에 있어서는, 복수의 제1 배관(L11)과 복수의 제2 접속부(170)와의 사이를 구획하는 가이드 부재(180)가 구비되어 있다. 이 가이드 부재(180)는, 회전대(120)에 있어서의 내향 플랜지부(125)의 저면에 고정되어 있다. 또한, 이 가이드 부재(180)의 하단은, 제2 접속부(170)의 하단보다 연직 방향 하방에 위치하도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 이 가이드 부재(180)는, 그 내측에 복수의 제1 배관(L11)이 통과하고, 그 외측에 복수의 제2 접속부(170)가 배치되도록 구비되는 통 형상 부재(본 실시예의 경우에는, 원통 형상 부재)에 의해 구성되어 있다. 여기서, 회전대(120)가 회전하였을 때 가이드 부재(180)와 제1 배관(L11) 및 가이드 부재(180)와 제1 배선(L21)은 슬라이딩 이동할 수 있다. 이에, 가이드 부재(180)는, 슬라이딩 이동 저항을 저감시켜 마모되기 어렵게 하기 위하여, 슬라이딩 이동재인 수지 재료(예를 들어, 나일론 모노머, PA6(6나일론))에 의해 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 가이드 부재(180)의 표면에 불소 가공을 함으로써, 가이드 부재(180)의 표면에 불소 코팅층을 형성하는 것도 바람직하다.

＜본 실시예와 관련되는 증발원 및 증착 장치의 우수성＞

본 실시예와 관련되는 증발원(100)에 의하면, 가이드 부재(180)에 의해, 복수의 제1 배관(L11)과 복수의 제2 접속부(170)의 사이가 구획되고 있다. 따라서, 복수의 제1 배관(L11)과 복수의 제1 배선(L21)이 얽히는 것을 억제할 수 있다. 또한, 제1 배관(L11)이 제2 접속부(170)에 충돌하는 것도 피할 수 있기 때문에, 제2 접속부(170)에 지장을 초래하는 것도 억제할 수 있다. 이상으로부터, 제1 배관(L11)이나 제1 배선(L21)의 배치 스페이스를 좁게 할 수 있기 때문에, 증착 장치(1)의 소형화에 대응할 수 있다. 또한, 증착 장치(1)의 배치 자유도도 커진다.

(실시예 2)

도 5에는 본 발명의 실시예 2가 도시되어 있다. 본 실시예에 있어서는, 제1 접속부와 제2 접속부의 배치에 관한 구성이 상기 실시예 1의 경우와 다른 구성을 나타낸다. 그 외의 구성 및 작용에 관하여는 실시예 1과 동일하므로, 동일 구성 부분에 대해서는 동일 부호를 붙여 그 설명은 생략한다.

도 5는 본 발명의 실시예 2와 관련되는 증발원의 설치 상태를 나타내는 모식적 단면도이다. 증착 장치 전체의 구성에 관하여는, 상기 실시예 1에서 설명한 바와 같으므로 그 설명은 생략한다. 또한, 증발원에 대하여도, 제1 접속부(160)와 제2 접속부(170)의 배치에 관한 구성 이외의 기본적 구성에 대해서는, 상기 실시예 1에서 설명한 대로이므로 그 설명은 생략한다.

본 실시예에 있어서도, 제1 플로어(F1)에 설치된 냉각액 순환 장치(300)로부터 연장되는 복수의 제1 선상 부재로서의 제1 배관(L11)과, 전원(400)으로부터 연장되는 복수의 제2 선상 부재로서의 제1 배선(L21)이 증발원(100)에 접속된다. 제1 배관(L11)은, 복수의 증발원 유닛(150)에 각각 구비되는 유로(152a)에 순환시키는 냉각액을 공급 및 배출시키기 위한 배관이다. 또한, 제1 배선(L21)은, 히터(153)에 전기를 공급하기 위한 전선이다. 그리고, 복수의 제1 배관(L11)은, 각 증발원 유닛(150)에 구비된 케이스(152)의 유로(152a)에 각각 접속된 제2 배관(L12)과, 제1 접속부(160)에 의해, 각각 접속된다. 또한, 복수의 제1 배선(L21)은, 각 증발원 유닛(150)에 구 비된 히터(153)에 각각 접속된 제2 배선(L22)과, 제2 접속부(170)에 의해, 각각 접속된다. 또한, 제2 접속부(170)는, 배선끼리를 접속하는 커넥터이다.

또한, 실시예 1에서 설명한 바와 같이, 제1 접속부(160)와 제2 접속부(170)의 배치에 관하여는, 가능한 한 하방의 위치에 설치하는 것이 바람직하지만, 제1 접속부(160)에 대해서는 저판부(122)에 설치하지 않을 수 없다. 이에 대해, 전기 배선의 경우에는 그러한 제약이 없다. 이에, 본 실시예에 있어서는, 저판부(122)의 중앙에 배선이 통과하는 구멍이 설치되고, 또한, 이 구멍의 하방에 바닥이 있는 통형상부(122a)가 설치되고 있다. 그리고, 이 바닥이 있는 통형상부(122a)의 바닥의 하방에 제2 접속부(170)가 설치되고 있다. 이상과 같이, 복수의 제1 접속부(160)는, 복수의 제2 접속부(170)보다 연직 방향 상방에 설치된다. 또한, 복수의 제1 배관(L11)과 복수의 제1 배선(L21)이 얽히기 어렵도록, 복수의 제2 접속부(170)는 복수의 제1 접속부(160)보다 회전대(120)의 회전 중심 측에 치우친 위치에 설치되고 있다.

그리고, 본 실시예와 관련되는 증발원(100)에 있어서는, 복수의 제1 배관(L11)과 복수의 제2 접속부(170)의 사이를 구획하는 가이드 부재(180)가 구비되어 있다. 이 가이드 부재(180)는, 회전대(120)에 있어서의 바닥이 있는 통형상부(122a)의 저면에 고정되고 있다. 또한, 이 가이드 부재(180)의 하단은, 제2 접속부(170)의 하단보다 연직 방향 하방에 위치하도록 구성되어 있다. 보다 구체적으로는, 이 가이드 부재(180)는, 그 외측에 복수의 제1 배관(L11)이 통과하고, 그 내측에 복수의 제2 접속부(170)가 배치되도록 구비되는 통 형상 부재(본 실시예의 경우에는, 원통 형상 부재)에 의해 구성되어 있다. 가이드 부재(180)의 재료 등에 관해서는, 상기 실시예 1에서 설명한 바와 같다.

이상과 같이 구성되는 본 실시예와 관련되는 증발원(100)에 있어서도, 상기 실시예 1의 경우와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있음은 말할 필요도 없다.

(그 외)

상기 실시예 1및 2에 있어서는, 제1 배관(L11), 제1 접속부(160), 제1 배선(L21) 및 제2 접속부(170)이, 하나의 증발원(100)에 대하여, 각각 복수 개 설치되는 경우의 구성을 나타내었다. 그러나, 본 발명에 있어서는, 제1 배관(L11) 및 제1 접속부(160)가 하나의 증발원(100)에 대해 하나만 설치되는 경우 및 제1 배선(L21) 및 제2 접속부(170)가 하나의 증발원(100)에 대해 하나만 설치되는 경우도 포함된다. 즉, 복수의 증발원 유닛(150)에 각각 접속된 제2 배관(L12)은, 회전대(120)의 내부에서 하나의 배관(집합관)으로 집약시킬 수 있다. 이 경우, 제1 배관(L11)과 제1 접속부(160)는 하나의 증발원(100)에 대해 하나만 설치하면 된다. 또한, 복수의 증발원 유닛(150)에 각각 접속된 제2 배선(L22)에 대해서도, 마찬가지로 회전대(120)의 내부에서 하나의 배선으로 집약시킬 수 있다. 이 경우, 제1 배선(L21)과 제2 접속부(170)는 하나의 증발원(100)에 대해 하나만 설치하면 된다.

1: 증착 장치
10: 챔버
11: 저판
11a: 장착 구멍
100: 증발원
110: 고정대
120: 회전대
150: 증발원 유닛
151: 도가니
153: 히터
160: 제1 접속부
170: 제2 접속부
180: 가이드 부재
200: 마루
210: 관통공
L11: 제1 배관
L12: 제1 배관
L21: 제2 배선
L22: 제2 배선

Claims

내부가 감압 분위기가 되도록 구성되는 챔버의 저판에 형성된 장착 구멍의 위치에 고정되는 고정대와,
상기 고정대에 대해 회전 가능하게 설치되는 회전대와,
적어도 도가니와, 해당 도가니를 가열하는 히터와, 상기 도가니를 냉각하는 냉각 수단을 각각 갖고, 상기 회전대에 구비되는 복수의 증발원 유닛과,
상기 챔버가 설치되는 플로어의 플로어 아래에 설치된 제1 장치로부터 연장하고, 상기 플로어에 형성된 관통공을 통과하도록 설치되는 적어도 하나의 제1 선상 부재가 접속되는 적어도 하나의 제1 접속부와,
상기 플로어 아래에 설치된 제2 장치로부터 연장하고, 상기 플로어에 형성된 관통공을 통과하도록 설치되는 적어도 하나의 제2 선상 부재가 접속되는 적어도 하나의 제2 접속부
를 구비하는 증발원으로서,
모든 제1 접속부는, 모든 제2 접속부보다, 상기 회전대의 회전 중심 측에 치우친 위치로서, 또한, 연직 방향 상방에 설치되고,
모든 제1 선상 부재와 모든 제2 접속부와의 사이를 구획하는 가이드 부재가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 증발원.
제1항에 있어서,
상기 가이드 부재는, 그 내측에 모든 제1 선상 부재가 통과하고, 그 외측에 모든 제2 접속부가 배치되도록 구비된 통 형상 부재인 것을 특징으로 하는 증발원.
내부가 감압 분위기가 되도록 구성되는 챔버의 저판에 형성된 장착 구멍의 위치에 고정되는 고정대와,
상기 고정대에 대해 회전 가능하게 설치되는 회전대와,
적어도 도가니와, 해당 도가니를 가열하는 히터와, 상기 도가니를 냉각하는 냉각 수단을 각각 갖고, 상기 회전대에 구비되는 복수의 증발원 유닛과,
상기 챔버가 설치되는 플로어의 플로어 아래에 설치된 제1 장치로부터 연장하고, 상기 플로어에 형성된 관통공을 통과하도록 설치되는 적어도 하나의 제1 선상 부재가 접속되는 적어도 하나의 제1 접속부와,
상기 플로어 아래에 설치된 제2 장치로부터 연장하고, 상기 플로어에 형성된 관통공을 통과하도록 설치되는 적어도 하나의 제2 선상 부재가 접속되는 적어도 하나의 제2 접속부
를 구비하는 증발원으로서,
모든 제2 접속부는, 모든 제1 접속부보다, 상기 회전대의 회전 중심 측에 치우친 위치로서, 또한, 연직 방향 하방에 설치되고,
모든 제1 선상 부재와 모든 제2 접속부와의 사이를 구획하는 가이드 부재가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 증발원.
제3항에 있어서,
상기 가이드 부재는, 그 외측에 모든 제1 선상 부재가 통과하고, 그 내측에 모든 제2 접속부가 배치되도록 구비되는 통 형상 부재인 것을 특징으로 하는 증발원.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가이드 부재의 하단은, 제2 접속부의 하단보다 연직 방향 하방에 위치하는 것을 특징으로 하는 증발원.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 회전대는, 상기 고정대에 대해, 정방향과 역방향으로 1회전씩 반복하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 증발원.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가이드 부재는, 슬라이딩 이동재인 수지 재료에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 증발원.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가이드 부재의 표면에는 불소 코팅층이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 증발원.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
제1 선상 부재는, 복수의 상기 증발원 유닛에 각각 구비되는 유로에 순환시키는 냉각액을 공급 및 배출시키기 위한 배관인 것을 특징으로 하는 증발원.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
제2 선상 부재는, 상기 히터에 전기를 공급하기 위한 전선인 것을 특징으로 하는 증발원.
상기 챔버와,
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 기재된 증발원을 구비하는 것을 특징으로 하는 증착 장치.