JP2013538680A - 流体供給装置及びそれを用いた薄板洗浄システム、並びにその方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図16は、上述した第1実施例、第2実施例、及び第7実施例による流体供給装置を、それぞれ本発明の望ましい実施例による薄板洗浄システムに採用したとき、各スロットを通って排出される流体の流量を測定したグラフである。
表1は、図1に示された従来の単一管形態の流体供給装置5を使用した比較例の実験結果である。比較例で使用された流体供給装置5はその断面が円形であり、直径が130mmであり、孔8の直径が10mmである単一管形態のノズル管である。
表2は、本発明の望ましい第1実施例による二重管形態の流体供給装置10を使用した場合の実験結果である。実験例1で使用した二重管は内管14と外管16の断面が円形である。内管14の直径は100mmであり、孔13の直径は10mmである。また、外管16の直径は130mmであり、スロット15、17の長さは240mmである。
表3は、本発明の望ましい第2実施例による二重管形態の流体供給装置20を使用した場合の実験結果である。実験例2で使用した二重管は内管24と外管26の断面が楕円形である。内管24の長軸の直径は200mmであり、その短軸の直径は100mmであり、内管24に形成された孔23の直径は10mmである。また、外管26の長軸の直径は230mmであり、その短軸の直径は130mmであり、外管26のスロット25、27の長さは240mmである。
表4は、本発明の望ましい第7実施例による二重管形態の流体供給装置70を使用した場合の実験結果である。実験例3で使用した二重管は内管14と外管16の断面が円形である。内管14の直径は100mmであり、孔18、19の直径は10mmである。また、孔18、19は一対であり、内管14の長さ方向に沿ってその下面に形成される。外管16の直径は130mmであり、外管16に形成されたスロット15、17の長さは240mmである。
12 供給部
13、23、33、43 孔
14、24、34、44 内管
15 第1側面スロット
16、26、36、46 外管
17 第2側面スロット
31a 内部側壁
31b 内部上部壁
31c 内部下部壁
32a 外部側壁
32b 外部上部壁
32c 外部下部壁
202 洗浄槽
203 洗浄液
204 薄板
Claims (17)
- 供給部から供給される流体を分配するための多数の孔が配列された内管と、
前記内管を取り囲むように配置され、前記孔からその内部に分配される前記流体を外部に噴射するための多数のスロットが配列された外管と、を備えることを特徴とする流体供給装置。 - 前記内管と前記外管は、それぞれ両端が密閉されていることを特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。
- 前記内管と前記外管は、同軸に配置されることを特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。
- 前記内管と前記外管は、実質的に等しい長さを有することを特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。
- 前記スロットが、
前記外管の長さ方向に沿って一側面に配置された第1側面スロット部と、
前記第1側面スロット部と対向するように前記外管の他側面に配置された第2側面スロット部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。 - 前記孔の配列位置は、前記スロットの配列位置に対して相互実質的に直交することを特徴とする請求項5に記載の流体供給装置。
- 前記内管と前記外管の断面は、それぞれ実質的に円形、楕円形、四角形、六角形、及びこれらの組合せから選択されたいずれか1つであることを特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。
- 前記孔が、
前記内管の長さ方向に沿って一側面に配置された第1側面孔部と、
前記第1側面孔部と対称するように前記内管の他側面に配置された第2側面孔部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。 - 前記内管と前記外管の断面が円形または楕円形であるとき、前記外管の直径と前記内管の直径との差または前記外管の幅及び高さと前記内管の幅及び高さとの差は、全て略25mmないし35mmであることを特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。
- 前記それぞれの孔の直径は略10mmであり、前記スロットの長さは略240mmであることを特徴とする請求項9に記載の流体供給装置。
- 前記流体は液体を含むことを特徴とする請求項1に記載の流体供給装置。
- 薄板が浸かった状態で進行できるように流体が貯蔵される洗浄槽と、
前記薄板側に前記流体を噴射できるように前記洗浄槽の内部に設けられた請求項1ないし請求項11のうちいずれか1項に記載の流体供給装置と、を備えることを特徴とする薄板洗浄システム。 - (a)洗浄槽の内部に貯蔵される流体に浸かった状態で薄板を進行させる段階と、
(b)多数の孔が形成された内管と多数のスロットが形成された外管とを備える二重管形態の流体供給装置が前記流体に浸かった状態で、前記スロットを通って前記流体を均一な圧力で噴射する段階と、を含むことを特徴とする薄板洗浄方法。 - 前記薄板の進行方向に対して実質的に垂直または平行に前記二重管形態の流体供給装置を配置することを特徴とする請求項13に記載の薄板洗浄方法。
- 前記(b)段階は、前記外管の長さ方向に沿って相互反対側に前記流体を噴射することを特徴とする請求項13に記載の薄板洗浄方法。
- 前記二重管の内管と外管の断面は、それぞれ実質的に円形、楕円形、四角形、六角形、及びこれらの組合せから選択されたいずれか1つであることを特徴とする請求項13に記載の薄板洗浄方法。
- 前記流体は液体を含むことを特徴とする請求項13に記載の薄板洗浄方法。
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